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一种沉积设备及其沉积方法

文献发布时间:2023-06-19 11:44:10


一种沉积设备及其沉积方法
相关技术
  • 用于在真空沉积工艺中在基板上进行材料沉积的设备、用于在基板上进行溅射沉积的系统和用于制造用于在基板上进行材料沉积的设备的方法
  • 溅射沉积源、具有该溅射沉积源的溅射沉积设备以及将层沉积于基板上的方法
技术分类

06120113037440