一种芯片换盘设备

技术领域

本发明涉及半导体集成电路芯片换盘技术领域，特别是涉及一种芯片换盘设备。

背景技术

半导体集成电路芯片在生产制作过程中，因环节众多，工艺精细复杂，部分芯片在制作过程中便已出现损坏，若将损坏芯片与正常芯片同时向市场进行投放，必会造成市场的混乱，因此在芯片进入市场前，需对芯片进行检测。传统的芯片检测工艺属于劳动密集型工艺，检测人员用镊指拾取芯片，放在测试机上，再人工按压，获取芯片数据，目前市场正逐步淘汰传统的芯片检测工艺，当下最先进的检测方式是通过检测设备模拟人工检测动作，对芯片进行检测，效率得到非常大的提高，通过机械抓手拾取芯片，快速精确，但是这些检测设备需要使用专用的芯片料盘装载芯片才能让机械抓手对芯片进行抓取拾放，而在生产过程中芯片一般都使用一些通用料盘进行装载，而现有的一些通用的料盘和专用的料盘之间进行芯片转移的装置在运行过程中效率有限，不能因应料盘装载单元格的距离而调整，又不能适应不同料盘的外尺寸进行适应性定位调整，并不方便。

发明内容

本发明的目的是：提供一种能够能适应不同料盘尺寸，高效地实现芯片在料盘之间进行换盘的芯片换盘设备。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种芯片换盘设备

一种芯片换盘设备，包括换盘料盘运输轨道和换盘模组，所述换盘料盘运输轨道有至少两个；

所述换盘料盘运输轨道包括换盘轨道主架、安装在所述换盘轨道主架上的料盘运输装置和料盘定位装置，所述料盘运输装置用于运载通用料盘或专用料盘在所述换盘轨道主架上移动，所述料盘定位装置用于将通用料盘或专用料盘定位；

所述换盘模组包括换盘运动架和换盘抓手，所述换盘运动架用于带动所述换盘抓手水平地移动，所述换盘抓手能抓取单个芯片或张合调整间距地抓取至少两个芯片。

作为本发明的优选方案，所述料盘运输装置包括料盘运输带和运输驱动器，所述料盘定位装置包括料盘阻挡模组、后推夹紧模组和侧推夹紧模组，所述料盘阻挡模组和所述后推夹紧模组一前一后地分别安装在所述换盘轨道主架上的中部工位处，所述侧推夹紧模组安装在所述换盘轨道主架的中部工位处侧边。

作为本发明的优选方案，所述料盘阻挡模组包括阻挡基座、阻挡气缸、阻挡架、阻挡片、阻挡滑轨和阻挡滑块，所述阻挡基座呈L型，所述阻挡气缸和所述阻挡滑轨分别竖立地安装在所述阻挡基座的两侧，所述阻挡架为直角板，其上端连接所述阻挡气缸的活塞杆，所述阻挡架的下端内侧面连接所述阻挡滑块并与所述阻挡滑轨滑接，所述阻挡片安装在所述阻挡架的外侧面上。

作为本发明的优选方案，所述后推夹紧模组包括后推夹紧基座、后推气缸、敲打气缸、后推杆和敲击头，所述后推气缸和所述敲打气缸水平同向地安装所述后推夹紧基座上，所述后推杆连接与所述后推气缸的活塞杆连接，所述敲击头与所述敲打气缸的活塞杆连接，所述后推夹紧基座凸起有敲击板。

作为本发明的优选方案，所述侧推夹紧模组包括侧推气缸、侧推基座和侧推杆，所述侧推基座与所述换盘轨道主架相对固定，所述侧推气缸固定在所述侧推基座上，所述侧推气缸的活塞杆与所述侧推杆333连接。

作为本发明的优选方案，所述换盘轨道主架的两端均设置有料盘堆叠限位架、料盘顶升模组、料盘支撑模组。

作为本发明的优选方案，所述料盘堆叠限位架包括四个直立的直角条板，四个所述直角条板呈矩形的四角分布。

作为本发明的优选方案，所述料盘顶升模组设置在所述换盘轨道主架的两端工位的下方，所述料盘顶升模组包括顶升驱动器、顶升底座、顶升台架和顶升导杆机构，所述顶升驱动器和所述顶升导杆机构的一端安装在所述顶升底座上，所述顶升台架的下侧与所述顶升导杆机构的另一端连接，所述顶升驱动器的另一端驱动连接所述顶升台架。

作为本发明的优选方案，所述料盘支撑模组包括支撑驱动器、支撑底座和支撑托块，所述支撑驱动器安装在所述支撑底座上，所述支撑驱动器带动所述支撑托块水平移动。

作为本发明的优选方案，所述换盘运动架包括换盘运动主架、手臂支架、第一换盘驱动器、第二换盘驱动器和换盘抓手连接块，所述换盘运动主架和所述手臂支架水平设置，且所述手臂支架垂直地活动连接所述换盘运动主架，所述第一换盘驱动器驱动所述手臂支架沿所述换盘运动主架移动，所述换盘抓手连接块活动连接在所述手臂支架上，所述第二换盘驱动器驱动所述换盘抓手连接块沿所述手臂支架移动。

作为本发明的优选方案，所述第一换盘驱动器为紧固连接在所述换盘运动主架上的电机，所述第一换盘驱动器的电机轴通过同步带驱动所述手臂支架往复移动，所述第二换盘驱动器为紧固在所述手臂支架上的电机，所述第二换盘驱动器的电机轴通过同步带驱动所述换盘抓手连接块往复移动；

作为本发明的优选方案，所述手臂支架通过滑块导轨活动连接所述换盘运动主架，所述换盘抓手连接块也通过滑块导轨活动连接所述手臂支架。

作为本发明的优选方案，所述换盘运动架还包括换盘运动副架，所述换盘运动副架与所述换盘运动主架平行，所述手臂支架的两端分别垂直地活动连接所述换盘运动主架和所述换盘运动副架。

作为本发明的优选方案，所述换盘运动副架上设置有两个从动轮并通过同步带驱动连接所述手臂支架的另一端，所述换盘运动副架上的一个从动轮通过一换盘联动轴与所述换盘运动主架上的从动轮联动。

作为本发明的优选方案，所述换盘抓手包括换盘抓手背板、固定吸嘴模组、张合吸嘴模组、张合驱动模组和吸嘴驱动模组，所述固定吸嘴模组与所述换盘抓手背板固连，所述张合吸嘴模组可水平移动地与所述换盘抓手背板活动连接，所述张合驱动模组带动所述张合吸嘴模组水平移动，所述固定吸嘴模组和所述张合吸嘴模组均设置有通过所述吸嘴驱动模组带动升降的吸嘴。

作为本发明的优选方案，所述换盘抓手背板通过水平的滑块滑轨机构活动连接所述张合吸嘴模组，所述张合驱动模组包括张合电机、张合带轮、张合驱动带和张合从动轮，所述张合电机固定连接所述换盘抓手背板，所述张合电机的电机轴连接所述张合带轮、所述张合从动轮可转动地安装在所述换盘抓手背板上，所述张合驱动带的两端分别连接所述张合带轮和所述张合从动轮，且所述张合驱动带水平地传动连接所述张合吸嘴模组。

作为本发明的优选方案，所述张合吸嘴模组平行地有至少两个，所述张合带轮、所述张合驱动带和所述张合从动轮分别对应地也至少有两个，所述张合电机的电机轴串接至少两个所述张合带轮，所述张合驱动带和所述张合从动轮上下分布，且所述张合带轮之间具有直径差距。

作为本发明的优选方案，所述吸嘴驱动模组有至少两个并分别连接所述固定吸嘴模组和张合吸嘴模组，每个所述吸嘴驱动模组包括吸嘴驱动电机、吸嘴驱动带和两个吸嘴驱动带轮，两个所述吸嘴驱动带轮一上一下地安装在所述换盘抓手背板上，所述吸嘴驱动带的两端分别连接两个所述吸嘴驱动带轮，所述吸嘴驱动电机固连在所述换盘抓手背板上，所述吸嘴驱动电机的电机轴连接其中一个所述吸嘴驱动带轮，至少两个的所述吸嘴驱动模组的所述吸嘴驱动带分别带动所述固定吸嘴模组和所述张合吸嘴模组。

作为本发明的优选方案，所述换盘抓手背板上还设置有至少两个分别连接所述固定吸嘴模组和张合吸嘴模组的吸嘴下坠保护件，所述吸嘴下坠保护件的一端与所述换盘抓手背板连接，所述吸嘴下坠保护件的另一端连接所述固定吸嘴模组或张合吸嘴模组。

作为本发明的优选方案，所述吸嘴下坠保护件为拉簧，所述拉簧的上端连接在所述换盘抓手背板上端，所述拉簧的下端连接所述固定吸嘴模组或张合吸嘴模组。

作为本发明的优选方案，所述张合吸嘴模组包括第二吸嘴模组下安装座、第二吸嘴模组上安装座、第二吸嘴模组主架和张合横向导杆，所述第二吸嘴模组下安装座通过滑块滑轨机构可水平移动地连接在所述换盘抓手背板，所述第二吸嘴模组上安装座通过滑块滑轨机构可升降移动地连接在所述换盘抓手背板上，所述第二吸嘴模组主架通过滑块滑轨机构可升降移动地连接在所述第二吸嘴模组下安装座上，所述张合横向导杆水平地安装在所述第二吸嘴模组上安装座上，所述第二吸嘴模组主架滑动连接所述张合横向导杆。

作为本发明的优选方案，所述第二吸嘴模组主架的上端通过两个转销夹接所述张合横向导杆，所述第二吸嘴模组主架的上端连接所述吸嘴下坠保护件，所述第二吸嘴模组上安装座和所述吸嘴驱动带连接，所述第二吸嘴模组下安装座和所述张合驱动带连接。

作为本发明的优选方案，所述固定吸嘴模组包括第一吸嘴模组下安装座、第一吸嘴模组上安装座和第一吸嘴模组主架，所述第一吸嘴模组下安装座通过滑块滑轨机构可升降地连接在所述第一吸嘴模组主架上，所述第一吸嘴模组主架的上端连接所述吸嘴下坠保护件，所述第一吸嘴模组上安装座和第一吸嘴模组主架固定连接，所述第一吸嘴模组上安装座和所述吸嘴驱动带连接，所述第一吸嘴模组下安装座和所述换盘抓手背板固定连接。

本发明实施例一种芯片换盘设备与现有技术相比，其有益效果在于：能实现将通用料盘上的芯片换盘到专用料盘中的动作，也能实现将专用料盘上的芯片换盘到通用料盘中的动作；料盘可适应地在工位中定位，并且通过敲打能将芯片在料盘上的位置导正；换盘抓手可张合，适应多种规格的芯片或料盘，柔性高；能多个抓手同时进行换盘工序，有效提高芯片换盘效率；换盘运动架确保换盘抓手的移动定位精度高，移动稳定性好；换盘料盘运输轨道可互换料盘或更换方向运输方向进行运用，灵活性好，而且轨道两端的入料位和出料位有堆叠结构设计，可一次性送入大量料盘，节约工作人员的送料时间和取料时间。

附图说明

图1是本发明实施例的总体安装结构示意图；

图2是本发明中换盘料盘运输轨道的组装结构示意图；

图3是本发明中料盘阻挡模组的组装结构示意图；

图4是本发明中后推夹紧模组的组装结构示意图；

图5是本发明中侧推夹紧模组的组装结构示意图；

图6是图2中A处的局部结构放大示意图；

图7是本发明中料盘顶升模组的组装结构示意图；

图8是本发明中料盘支撑模组的组装结构示意图；

图9是本发明中换盘运动架的组装结构示意图；

图10是本发明中换盘抓手的组装结构示意图；

图11是本发明中张合驱动模组的组装结构示意图；

图12是本发明中吸嘴驱动模组的组装结构示意图；

图13是本发明中张合吸嘴模组的组装结构示意图；

图中，21、换盘轨道主架；22、料盘运输装置；221、料盘运输带；222、运输驱动器；23、换盘运动架；231、换盘运动主架；232、换盘运动副架；233、手臂支架；234、第一换盘驱动器；235、第二换盘驱动器；236、换盘抓手连接块；24、换盘抓手；241、换盘抓手背板；242、固定吸嘴模组；243、张合吸嘴模组；2431、第二吸嘴模组下安装座；2432、第二吸嘴模组上安装座；2433、第二吸嘴模组主架；2434、张合横向导杆；244、张合驱动模组；2441、张合电机；2442、张合带轮；2443、张合驱动带；2444、张合从动轮；245、吸嘴驱动模组；2451、吸嘴驱动电机；2452、吸嘴驱动带；2453、吸嘴驱动带轮；

31、料盘阻挡模组；311、阻挡基座；312、阻挡气缸；313、阻挡架；314、阻挡片；315、阻挡滑轨；316、阻挡滑块；32、后推夹紧模组；321、后推夹紧基座；3211、敲击板；322、后推气缸；323、敲打气缸；324、后推杆；325、敲击头；33、侧推夹紧模组；331、侧推气缸；332、侧推基座；333、侧推杆；

41、料盘堆叠限位架；42、料盘顶升模组；421、顶升驱动器；422、顶升底座；423、顶升台架；424、顶升导杆机构；43、料盘支撑模组；431、支撑驱动器；432、支撑底座；433、支撑托块。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

在本发明的描述中，应当理解的是，除非另有明确的规定和限定，本发明中采用术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明的描述中，还需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的机或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。应当理解的是，本发明中采用术语“第一”、“第二”等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语，这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如，在不脱离本发明范围的情况下，“第一”信息也可以被称为“第二”信息，类似的，“第二”信息也可以被称为“第一”信息。

参考图1，本发明实施例的一种芯片换盘设备，包括换盘料盘运输轨道和换盘模组，所述换盘料盘运输轨道平行地并排有至少两个，所述换盘模组可横跨在所述换盘料盘运输轨道上方，两个所述换盘料盘运输轨道分别用于放置和运送通用料盘和专用料盘，所述换盘模组用于将芯片从通用料盘转移到专用料盘或从专用料盘转移到通用料盘；通过所述换盘料盘运输轨道和换盘模组配合操作，能连续地实现将多个通用料盘上的芯片对应地换盘到多个专用料盘中，也能实现连续地将多个专用料盘上的芯片对应地换盘到多个通用料盘中；

所述换盘料盘运输轨道包括换盘轨道主架21、安装在所述换盘轨道主架21上的料盘运输装置22和料盘定位装置，所述料盘运输装置用于运载通用料盘或专用料盘在所述换盘轨道主架21上移动，所述料盘定位装置用于将通用料盘或专用料盘在工位处定位，料盘能在换盘料盘运输轨道上逐个传送，并在工位处自适应地将不同尺寸的料盘定位来连续对芯片转移；

所述换盘模组包括换盘运动架23和换盘抓手24，所述换盘运动架23用于带动所述换盘抓手24在所述换盘料盘运输轨道的上方水平地移动，所述换盘抓手24用于升降，和抓取单个通用料盘或专用料盘上的单个芯片或张合调整间距地抓取通用料盘或专用料盘上的至少两个芯片，不同料盘的芯片放置间距能被所述换盘抓手24在换盘时实时调整，从而每次抓取芯片均能够将芯片正确地拾放，有效提高多芯片的换盘效率。

参考图2和6，示例性的，所述料盘运输装置22包括料盘运输带221和运输驱动器222，所述料盘运输带221安装在所述换盘轨道主架21上并由所述运输驱动器222带动运转，所述料盘运输带221承载专用料盘或通用料盘并相应地沿所述换盘轨道主架21上进行拖动。

参考图2和6，示例性的，所述换盘轨道主架21为矩形的框架，所述料盘运输带221有两个并分别能回转地安装在所述换盘轨道主架21的内侧两边壁面处；所述运输驱动器222包括电机、连接电机的电机带轮和轨道带轮，所述料盘运输带221的一端匹配套接所述轨道带轮，所述电机带轮和其中一侧的轨道带轮通过传动带连接带动，同时两侧的轨道带轮轴连接，从而电机启动即联动驱使所述料盘运输带221回转运动，当通用料盘或专用料盘放置在所述换盘轨道主架21中自然被两侧的所述料盘运输带221承托和带动。

参考图2，示例性的，所述料盘定位装置包括料盘阻挡模组31、后推夹紧模组32和侧推夹紧模组33，所述料盘阻挡模组31和所述后推夹紧模组32一前一后地分别安装在所述换盘轨道主架21上的中部工位处，所述侧推夹紧模组33安装在所述换盘轨道主架21的中部工位处侧边，当料盘运输到工位处，所述料盘阻挡模组31先挡住料盘，同时所述后推夹紧模组32从料盘的另一侧将料盘顶压而夹紧，同时所述侧推夹紧模组33从侧方将料盘顶压到所述换盘轨道主架21的另一侧来夹紧，从而使料盘定位在工位处，所述后推夹紧模组32和侧推夹紧模组33可通过动力缸、电动推杆或转动、移动的活动机构等实现顶压操作，而所述料盘阻挡模组31可通过活动机构来移动到相应位置对料盘进行阻挡。

参考图2和3，示例性的，所述料盘阻挡模组31包括阻挡基座311、阻挡气缸312、阻挡架313、阻挡片314、阻挡滑轨315和阻挡滑块316，所述阻挡基座311呈L型，所述阻挡气缸312和所述阻挡滑轨315分别竖立地安装在所述阻挡基座311的两侧，所述阻挡架313为直角板，其上端连接所述阻挡气缸312的活塞杆，所述阻挡架313的下端内侧面连接所述阻挡滑块316并与所述阻挡滑轨315滑接，所述阻挡片314安装在所述阻挡架313的下端外侧面上，从而当所述料盘阻挡模组31在所述换盘轨道主架21中间下部向上伸出所述阻挡片314，即可将料盘阻挡。

参考图2和4，示例性的，所述后推夹紧模组32包括后推夹紧基座321、后推气缸322、敲打气缸323、后推杆324和敲击头325，所述后推气缸322和所述敲打气缸323水平同向地安装所述后推夹紧基座321上，所述后推杆324连接与所述后推气缸322的活塞杆连接，所述敲击头325与所述敲打气缸323的活塞杆连接，所述后推夹紧基座321凸起有敲击板3211，所述敲打气缸323带动所述敲击头325敲打所述敲击板3211，故当料盘被所述料盘阻挡模组31挡住后，所述后推气缸322带动所述后推杆324水平移动而将料盘压紧到所述料盘阻挡模组31实现后推夹紧，然后所述敲打气缸323带动敲击头325水平地向所述敲击板3211敲打，从而透过所述后推夹紧模组32使料盘震动，即可将料盘中歪斜或放置不当的芯片震回到正确位置，而且可通过设置敲打速度，敲打频率，确保不会因为敲打力气过大，将原本在指定位置的芯片敲翻，也不会因为力气和频率不够，导致芯片敲不下去。

参考图2和5，示例性的，所述侧推夹紧模组33包括侧推气缸331、侧推基座332和侧推杆333，所述侧推基座332与所述换盘轨道主架21相对固定，所述侧推气缸331固定在所述侧推基座332上，所述侧推气缸331的活塞杆与所述侧推杆333连接，所述侧推杆333由所述侧推气缸331驱动而顶着通用料盘或专用料盘的一侧边部，使通用料盘或专用料盘的另一侧边部紧贴于所述换盘轨道主架21的侧板；所述阻挡基座311和所述后推夹紧基座321可固定在所述换盘轨道主架21或设备所在的机台、机架上。

参考图2和6，示例性的，所述换盘轨道主架21的两端均设置有料盘堆叠限位架41、料盘顶升模组42、料盘支撑模组43，通用料盘或专用料盘能沿所述料盘堆叠限位架41堆叠地放置到所述换盘轨道主架21的任一端上，所述料盘顶升模组42可将料盘顶起或降下，配合所述料盘支撑模组43单次可挂起上方的料盘，料盘即可在换盘轨道主架21的任一端从堆叠逐个放出或逐个堆叠起来，同时所述料盘运输装置22料盘即可双向堆叠释放再堆叠收集，实现双向运输。

参考图2和6，示例性的，所述料盘堆叠限位架41包括四个直立的直角条板，四个所述直角条板呈矩形的四角分布，当所述料盘顶升模组42将料盘从所述换盘轨道主架21顶起即可四角对应四个所述直角条板升起，又或者堆叠的料盘沿四个所述直角条板逐个下放，从而料盘即可顺沿所述料盘堆叠限位架41升降实现堆叠收集或释放，由于所述换盘轨道主架21的两端分别均有四个所述直角条板，优选地，靠外一侧的直角条板较靠内一侧的矮，非常方便取放堆叠的料盘。

参考图2、6和7，示例性的，所述料盘顶升模组42设置在所述换盘轨道主架21的两端工位的下方，所述料盘顶升模组42包括顶升驱动器421、顶升底座422、顶升台架423和顶升导杆机构424，所述顶升驱动器421和所述顶升导杆机构424的一端安装在所述顶升底座422上，所述顶升台架423的下侧与所述顶升导杆机构424的另一端连接，所述顶升驱动器421的另一端驱动连接所述顶升台架423，所述顶升底座422可安装在所述换盘轨道主架21的两端下方，所述顶升驱动器421可为动力缸或电机，优选地所述顶升驱动器421为电机并通过滚柱丝杠机构或其它回转运动转化直线运动的传动机构连接所述顶升台架423，同时所述顶升导杆机构424辅助导向所述顶升台架423平稳升降。

参考图2和8，示例性的，所述料盘支撑模组43包括支撑驱动器431、支撑底座432和支撑托块433，所述支撑驱动器431可为动力缸或电动伸缩杆，所述支撑驱动器431安装在所述支撑底座432上，所述支撑驱动器431带动所述支撑托块433水平移动，当所述料盘顶升模组42承托料盘升降时所述支撑托块433后移避免从下卡接料盘特设的卡口，当料盘升降经过后所述支撑托块433伸出对应卡接料盘特设的卡口，从而支撑堆叠的料盘而所述料盘支撑模组43在堆叠料盘的下方可放下料盘或顶起下一料盘，所述支撑驱动器431优选为气缸，所述支撑底座432优选为L形，所述支撑托块433的前端优选设置有铲形托片匹配插入料盘侧边的卡口。

参考图9，示例性的，所述换盘运动架23包括换盘运动主架231、手臂支架233、第一换盘驱动器234、第二换盘驱动器235和用于连接所述换盘抓手24的换盘抓手连接块236，所述换盘运动主架231和所述手臂支架233水平设置，且所述手臂支架233垂直地活动连接所述换盘运动主架231，所述第一换盘驱动器234驱动所述手臂支架233沿所述换盘运动主架231移动，所述换盘抓手连接块236活动连接在所述手臂支架233上，所述第二换盘驱动器235驱动所述换盘抓手连接块236沿所述手臂支架233移动，所述换盘运动主架231与所述换盘料盘运输轨道垂直，所述手臂支架233与所述换盘料盘运输轨道平行，故所述换盘抓手连接块236的移动方向与所述换盘料盘运输轨道同向，所述手臂支架233的移动方向与所述换盘料盘运输轨道垂直，从而构成二轴的水平移动，通过所述换盘抓手24连接所述换盘抓手连接块236从而可水平移动。

参考图9，示例性的，所述第一换盘驱动器234为紧固连接在所述换盘运动主架231上的电机，电机的电机轴和所述手臂支架233的端部通过同步带连接，所述第一换盘驱动器234的电机轴通过同步带驱动所述手臂支架233往复移动，所述第一换盘驱动器234设置在所述换盘运动主架231的一端，所述换盘运动主架231的另一端设置有一个从动轮，所述同步带通过一个电机和一个从动轮即可张紧和拉动，节省成本，另外所述第一换盘驱动器234也可为气缸、液压缸或电动伸缩杆，所述第二换盘驱动器235为紧固在所述手臂支架233上的电机，电机的电机轴和所述换盘抓手连接块236通过同步带连接，所述第二换盘驱动器235的电机轴通过同步带驱动所述换盘抓手连接块236往复移动，同理所述手臂支架233上也设置有一个从动轮配合电机张紧和拉动同步带；所述手臂支架233通过滑块导轨活动连接所述换盘运动主架231，所述换盘抓手连接块236也通过滑块导轨活动连接所述手臂支架233或者所述换盘抓手24连接所述换盘抓手连接块236并通过滑块导轨活动连接所述手臂支架233，从而实现移动的精准和稳定。

参考图9，示例性的，所述换盘运动架23还包括换盘运动副架232，所述换盘运动副架232与所述换盘运动主架231平行，所述手臂支架233的两端分别垂直地活动连接所述换盘运动主架231和所述换盘运动副架232，由于所述手臂支架233被所述换盘运动主架231平行地支撑，故所述手臂支架233具有更好的支撑结构，移动也更平稳。

参考图9，示例性的，所述换盘运动副架232上设置有两个从动轮并通过同步带驱动连接所述手臂支架233的另一端，所述换盘运动副架232上的一个从动轮通过一换盘联动轴237与所述换盘运动主架231上的从动轮联动，从而只需通过所述第一换盘驱动器234驱动即可使所述手臂支架233两端同步驱动实现移动，所述手臂支架233也通过滑块导轨活动连接所述换盘运动副架232。

参考图10，示例性的，所述换盘抓手24包括换盘抓手背板241、固定吸嘴模组242、张合吸嘴模组243、张合驱动模组244和吸嘴驱动模组245，所述换盘抓手背板241与所述换盘抓手连接块236固连，所述换盘抓手24活动连接所述手臂支架233，所述固定吸嘴模组242与所述换盘抓手背板241固连，所述张合吸嘴模组243可水平移动地与所述换盘抓手背板241活动连接，所述张合驱动模组244带动所述张合吸嘴模组243水平移动，所述固定吸嘴模组242和所述张合吸嘴模组243均设置有通过所述吸嘴驱动模组245带动升降的吸嘴，所述张合驱动模组244和吸嘴驱动模组245可为液压缸或气缸实现直线往复移动的驱动，也可为电机通过传动机构实现移动，所述张合吸嘴模组243可通过连接在所述换盘抓手背板241上的滑槽、滑杆或其它活接结构实现相对于所述固定吸嘴模组242的水平张合移动，所述张合驱动模组244即可相应对所述张合吸嘴模组243进行带动，所述固定吸嘴模组242和所述张合吸嘴模组243的吸嘴可通过滑套或其它类似结构实现导向升降，所述吸嘴驱动模组245可分别相应设置两个或多个来同步带动所述固定吸嘴模组242和所述张合吸嘴模组243的吸嘴，也可通过联动机构同时带动两个或多个吸嘴，由此所述换盘抓手24可因应料盘的芯片放置位置规格而自动张合适配地进行多个抓取，即使通用料盘和专用料盘的芯片放置位置距离差不同，所述换盘抓手24也能对应调整，灵活进行多个芯片同时抓取的高效动作。

参考图10和11，示例性的，所述换盘抓手背板241通过水平的滑块滑轨机构活动连接所述张合吸嘴模组243，所述张合驱动模组244包括张合电机2441、张合带轮2442、张合驱动带2443和张合从动轮2444，所述张合电机2441固定连接所述换盘抓手背板241，所述张合电机2441的电机轴连接所述张合带轮2442、所述张合从动轮2444可转动地安装在所述换盘抓手背板241上，所述张合驱动带2443的两端分别连接所述张合带轮2442和所述张合从动轮2444，且所述张合驱动带2443水平地传动连接所述张合吸嘴模组243，故所述张合电机2441可轻松地带动所述张合吸嘴模组243相对所述固定吸嘴模组242张合调距，所述张合电机2441也可通过连接水平的丝杆，而所述张合吸嘴模组243通过螺母匹配连接丝杆实现传动。

参考图10和11，示例性的，所述张合吸嘴模组243平行地有至少两个，所述张合带轮2442、所述张合驱动带2443和所述张合从动轮2444分别对应地也至少有两个，所述张合电机2441的电机轴串接至少两个所述张合带轮2442，所述张合驱动带2443和所述张合从动轮2444上下分布，且所述张合带轮2442之间根据所连接的所述张合吸嘴模组243相对所述固定吸嘴模组242的距离差对应具有直径差距，由于所述张合带轮2442的直径差别会产生所述张合驱动带2443的移动速度差，因此通过相应的距离、速度计算来设计所述张合带轮2442的直径差距，即可使得至少两个的所述张合吸嘴模组243在一侧相对所述固定吸嘴模组242等速等距地进行张合调距。

参考图10和12，示例性的，所述吸嘴驱动模组245有至少两个并分别连接所述固定吸嘴模组242和张合吸嘴模组243，所述吸嘴驱动模组245包括吸嘴驱动电机2451、吸嘴驱动带2452和两个吸嘴驱动带轮2453，两个所述吸嘴驱动带轮2453一上一下地安装在所述换盘抓手背板241上，所述吸嘴驱动带2452的两端分别连接两个所述吸嘴驱动带轮2453，所述吸嘴驱动电机2451固连在所述换盘抓手背板241的后侧上，所述吸嘴驱动电机2451的电机轴连接其中一个所述吸嘴驱动带轮2453，至少两个的所述吸嘴驱动模组245的所述吸嘴驱动带2452分别连接带动所述固定吸嘴模组242和张合吸嘴模组243，由此带动所述固定吸嘴模组242或张合吸嘴模组243升降，升降非常快速。

参考图10，示例性的，所述换盘抓手背板241上还设置有至少两个分别连接所述固定吸嘴模组242和张合吸嘴模组243的吸嘴下坠保护件246，所述吸嘴下坠保护件246的一端与所述换盘抓手背板241连接，所述吸嘴下坠保护件246的另一端连接所述固定吸嘴模组242或张合吸嘴模组243，所述吸嘴下坠保护件246使所述固定吸嘴模组242或张合吸嘴模组243升降时在相应得到缓冲，避免对芯片造成硬性碰撞或撞击、损坏，所述吸嘴下坠保护件246优选为拉簧，所述拉簧的上端连接在所述换盘抓手背板241上端，所述拉簧的下端连接所述固定吸嘴模组242或张合吸嘴模组243，当设备掉电而失去供电时，所述吸嘴下坠保护件246能够竖直地弹性拉住来防止所述固定吸嘴模组242或张合吸嘴模组243因重力作用而过快下降，从而避免吸嘴瞬间下降造成碰撞或损坏，所述吸嘴下坠保护件246也可为刹车装置。

参考图10和13，示例性的，所述张合吸嘴模组243包括第二吸嘴模组下安装座2431、第二吸嘴模组上安装座2432、第二吸嘴模组主架2433和张合横向导杆2434，所述第二吸嘴模组下安装座2431通过滑块滑轨机构可水平移动地连接在所述换盘抓手背板241，所述第二吸嘴模组上安装座2432通过滑块滑轨机构可升降移动地连接在所述换盘抓手背板241上，所述第二吸嘴模组主架2433通过滑块滑轨机构可升降移动地连接在所述第二吸嘴模组下安装座2431上，所述张合横向导杆2434水平地安装在所述第二吸嘴模组上安装座2432上，所述第二吸嘴模组主架2433滑动连接所述张合横向导杆2434，优选地所述第二吸嘴模组主架2433的上端通过两个转销夹接所述张合横向导杆2434，当所述张合吸嘴模组243水平地张合移动时，所述第二吸嘴模组主架2433的上下部分均能平稳地水平移动并同时能升降移动，所述第二吸嘴模组主架2433的上端连接所述吸嘴下坠保护件246，所述第二吸嘴模组上安装座2432和所述吸嘴驱动带2452连接，所述第二吸嘴模组下安装座2431和所述张合驱动带2443连接，且气嘴安装在第二吸嘴模组主架2433下端。

参考图10，示例性的，所述固定吸嘴模组242包括第一吸嘴模组下安装座、第一吸嘴模组上安装座和第一吸嘴模组主架，与所述张合吸嘴模组243的结构相同，所述第一吸嘴模组下安装座通过滑块滑轨机构可升降地连接在所述第一吸嘴模组主架上，所述第一吸嘴模组主架的上端连接所述吸嘴下坠保护件246，且气嘴安装在第一吸嘴模组主架下端，而所述第一吸嘴模组上安装座和第一吸嘴模组主架固定连接，所述第一吸嘴模组下安装座和所述换盘抓手背板241固定连接。

综上，本发明实施例提供一种芯片换盘设备，其能实现将通用料盘上的芯片换盘到专用料盘中的动作，也能实现将专用料盘上的芯片换盘到通用料盘中的动作；料盘可适应地在工位中定位，并且通过敲打能将芯片在料盘上的位置导正；换盘抓手可张合，适应多种规格的芯片或料盘，柔性高；能多个抓手同时进行换盘工序，有效提高芯片换盘效率；换盘运动架确保换盘抓手的移动定位精度高，移动稳定性好；换盘料盘运输轨道可互换料盘或更换方向运输方向进行运用，灵活性好，而且轨道两端的入料位和出料位有堆叠结构设计，可一次性送入大量料盘，节约工作人员的送料时间和取料时间。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。