同步带工作监测结构及其控制方法、同步带传动系统

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，具体而言，涉及同步带工作监测结构及其控制方法、同步带传动系统。

背景技术

化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。沉积加工时，把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入CVD反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜。CVD技术的淀积温度低，薄膜成份易控，膜厚与淀积时间成正比，均匀性，重复性好，台阶覆盖性优良。

在实际应用时，CVD设备内具有诸多传动结构，其中以同步带传送为例，同步带传送承担了晶圆的上料、下料以及托举晶圆的托盘的转动等工作，如果出现同步带松动或者脱落，设备不会发出报警信号，而且传片仍然在进行，导致UV灯开启，造成工艺失败。

因此，提供一种能够监测同步带是否工作的同步带工作监测结构及其控制方法、同步带传动系统成为本领域技术人员所要解决的重要技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种同步带工作监测结构及其控制方法、同步带传动系统，以缓解现有技术中同步带松动或者脱落无报警的技术问题。

第一方面，本发明实施例提供了一种同步带工作监测结构，包括固定支架、应变传感器和控制器；

所述固定支架的一端具有用于固定在机座上的第一安装部，另一端具有用于安装同步带张紧轮的第二安装部；

所述固定支架的外表面贴设有所述应变传感器，所述应变传感器与所述控制器电连接。

结合第一方面，本发明实施例提供了第一方面的一种可能的实施方式，其中，上述固定支架包括依次连接的第一安装段、中间段和第二安装段；

所述第一安装部位于所述第一安装段上，所述第二安装部位于所述第二安装段上；

所述应变传感器位于所述中间段上。

结合第一方面，本发明实施例提供了第一方面的一种可能的实施方式，其中，上述应变传感器的数量为多个。

结合第一方面，本发明实施例提供了第一方面的一种可能的实施方式，其中，上述第一安装段上开设有用于配合螺栓的连接光孔，所述连接光孔形成所述第一安装部。

结合第一方面，本发明实施例提供了第一方面的一种可能的实施方式，其中，上述第二安装段上开设有安装光孔，且所述第二安装段上开设有伸缩缝，所述伸缩缝与所述安装光孔连通；

所述第二安装段上位于所述伸缩缝的两侧开设有用于插入螺栓的锁紧孔。

结合第一方面，本发明实施例提供了第一方面的一种可能的实施方式，其中，上述固定支架上设置有用于保护所述应变传感器的套筒。

第二方面，本发明实施例提供了一种同步带工作监测控制方法，包括以下步骤：

在张紧轮上未安装同步带时，记录应变传感器测出的第一应变值；

在张紧轮上安装同步带后，记录应变传感器测出的第二应变值；

根据所述第一应变值和所述第二应变值设置触发阈值；

正常工作过程中，判断应变传感器测出的应变值是否小于所述触发阈值，如果是，报警停机。

结合第二方面，本发明实施例提供了第二方面的一种可能的实施方式，其中，在进行所述第二应变值的测量过程中，在张紧轮上安装同步带后，启动同步带带动张紧轮转动，然后记录所述第二应变值。

结合第二方面，本发明实施例提供了第二方面的一种可能的实施方式，其中，上述触发阈值大于所述第一应变值，且小于所述第二应变值。

第三方面，本发明实施例提供了一种同步带传动系统，包括所述同步带工作监测结构。

有益效果：

本发明提供了一种同步带工作监测结构，包括固定支架、应变传感器和控制器；固定支架的一端具有用于固定在机座上的第一安装部，另一端具有用于安装同步带张紧轮的第二安装部；固定支架的外表面贴设有应变传感器，应变传感器与控制器电连接。

具体的，用于安装张紧轮的固定支架可以固定设置在机座上，在设备工作过程中，贴设在固定支架上的应变传感器能够实时监测固定支架的应变值，根据测得的应变值与预设阈值进行对比，如果实时测得的应变值小于预设阈值，则表明同步带出现松动或者脱落，因此可以进行报警并且停机，避免设备继续工作造成物料损耗。

本发明提供了一种同步带工作监测控制方法，包括以下步骤：在张紧轮上未安装同步带时，记录应变传感器测出的第一应变值；在张紧轮上安装同步带后，记录应变传感器测出的第二应变值；根据第一应变值和第二应变值设置触发阈值；正常工作过程中，判断应变传感器测出的应变值是否小于触发阈值，如果是，报警停机。同步带工作监测控制方法与现有技术相比具有上述的优势，此处不再赘述。

本发明提供了一种同步带传动系统，包括同步带工作监测结构。同步带传动系统与现有技术相比具有上述的优势，此处不再赘述。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的同步带工作监测结构设置在机座上的示意图。

图标：

100-固定支架；110-第一安装段；111-连接光孔；120-中间段；130-第二安装段；131-安装光孔；132-伸缩缝；133-锁紧孔；

200-应变传感器；

300-机座；

400-张紧轮。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面通过具体的实施例并结合附图对本发明做进一步的详细描述。

参见图1所示，本发明实施例提供了一种同步带工作监测结构，包括固定支架100、应变传感器200和控制器；固定支架100的一端具有用于固定在机座300上的第一安装部，另一端具有用于安装同步带张紧轮400的第二安装部；固定支架100的外表面贴设有应变传感器200，应变传感器200与控制器电连接。

具体的，用于安装张紧轮400的固定支架100可以固定设置在机座300上，在设备工作过程中，贴设在固定支架100上的应变传感器200能够实时监测固定支架100的应变值，根据测得的应变值与预设阈值进行对比，如果实时测得的应变值小于预设阈值，则表明同步带出现松动或者脱落，因此可以进行报警并且停机，避免设备继续工作造成物料损耗。

其中，在实时测得的应变值小于预设阈值时，控制器会控制半导体设备的报警系统进行报警，并且停止设备。

其中，固定支架100可以通过第一安装部安装在半导体设备的机座300上，张紧轮400可以通过第二安装部安装在固定支架100上。

需要指出的是，固定支架100可以采用悬臂梁。

还需要指出的是，控制器采用现有技术中的控制器，本领域技术人员可以根据实际需求自行选择，在此不再进行赘述。

参见图1所示，本实施例的可选方案中，固定支架100包括依次连接的第一安装段110、中间段120和第二安装段130；第一安装部位于第一安装段110上，第二安装部位于第二安装段130上；应变传感器200位于中间段120上。

具体的，固定支架100包括第一安装段110、中间段120和第二安装段130，第一安装段110、中间段120和第二安装段130三部分依次连接，其中第一安装段110上具有第一安装部，以使固定支架100与半导体设备的机座300连接，第二安装段130上具有第二安装部，以使张紧轮400能够安装在固定支架100上。

其中，第一安装段110上开设有用于配合螺栓的连接光孔111，连接光孔111形成第一安装部。

其中，第二安装段130上开设有安装光孔131，且第二安装段130上开设有伸缩缝132，伸缩缝132与安装光孔131连通；第二安装段130上位于伸缩缝132的两侧开设有用于插入螺栓的锁紧孔133。

其中，应变传感器200贴附在中间段120上，在张紧轮400工作时，受同步带的张力作用，固定支架100会产生相应的形变，在固定支架100的中间段120上贴附应变传感器200能够测得此形变，当固定致支架在载荷作用下发生弯曲变形时，应变传感器200的电阻值将随着固定支架100的变化而变化，通过电阻应变可以测量出对应位置的应变值。

本实施例的可选方案中，应变传感器200的数量为多个。

具体的，应变传感器200的数量可以为多个，通过多个应变传感器200的设置，提高测量的准确性。

本实施例的可选方案中，固定支架100上设置有用于保护应变传感器200的套筒。

具体的，在固定支架100上设置有套筒，通过套筒能够罩住应变传感器200，避免应变传感器200被外界物体接触到，从而避免应变传感器200受到外界影响。

本实施例提供了一种同步带工作监测控制方法，包括以下步骤：在张紧轮400上未安装同步带时，记录应变传感器200测出的第一应变值；在张紧轮400上安装同步带后，记录应变传感器200测出的第二应变值；根据第一应变值和第二应变值设置触发阈值；正常工作过程中，判断应变传感器200测出的应变值是否小于触发阈值，如果是，报警停机。

具体的，在张紧轮400上未安装同步带时，记录应变传感器200测出的第一应变值，然后在张紧轮400上安装同步带后，且在启动同步带带动张紧轮400转动后，记录应变传感器200测出的第二应变值，根据第一应变值和第二应变值设置触发阈值，触发阈值大于第一应变值，且触发阈值小于第二应变值，在正常工作过程中，如果应变传感器200实时测出应变值小于触发阈值，则会触发报警，并且关停设备。

本实施例提供了一种同步带传动系统，包括同步带工作监测结构。

其中，同步带传动系统能够运行同步带工作监测控制方法。

具体的，本实施例提供的同步带传动系统与现有技术相比具有上述同步带工作监测结构的优势，在此不再进行赘述。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的范围。