一种气体流量控制方法、装置、电子设备及存储介质

技术领域

本申请涉及流量控制的领域，尤其是涉及一种气体流量控制方法、装置、电子设备及存储介质。

背景技术

在制备气体领域，工作人员需要制备某个浓度的气体，需要将该气体对应的高浓度标准气体与氮气等惰性气体混合稀释，氮气等惰性气体为稀释气体。在进行混合时，需要两种气体所在的气路按照指定流量进行输出，因此需要气路中设置限流器对气体流量进行限制。

限流器输出流量大小与限流器输入端的气体压力有关，并且对于不同内径的限流器，限流器输入端在不同的压力区间下，压力与输出端流量之间的对应关系不同，因此如何在不同的压力下均较为准确地输出所需流量大小的气体成为一个问题。

发明内容

为了使得限流器在不同压力下均能较为准确地输出所需流量大小的气体，本申请提供一种气体流量控制方法、装置、电子设备及存储介质。

第一方面，本申请提供一种气体流量控制方法，采用如下的技术方案：

一种气体流量控制方法，包括：

获取第一限流器的第一内径值、第二限流器的第二内径值、第一目标流量值以及第二目标流量值，所述第一限流器为标准气体所在气路的限流器，所述第二限流器为稀释气体所在气路的限流器，所述第一目标流量值为第一限流器输出端所需的流量值，所述第二目标流量值为第二限流器输端所需的流量值；

基于所述第一内径值确定第一预设关系式组，基于所述第二内径值确定第二预设关系式组，所述第一预设关系式组包括所述第一限流器对应的至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式，所述第二预设关系式组包括所述第二限流器对应的至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式；

基于所述第一预设关系式组以及第一目标流量值确定第一压力值，基于所述第二预设关系式组以及第二目标流量值确定第二压力值，所述第一压力值为所述第一限流器输入端的压力值，所述第二压力值为所述第二限流器输入端的压力值；

基于所述第一压力值控制第一压力控制器动作，基于所述第二压力值控制第二压力控制器动作，所述第一压力控制器用于调节所述第一限流器输入端的压力值，所述第二压力控制器用于调节所述第二限流器输入端的压力值。

通过采用上述技术方案，对标准气体进行稀释需要用到两个气路，即标准气体所在气路以及稀释气体所在气路，分别经过限流器后进行混合得到所需浓度的标准气体，对于不同的稀释浓度，两个气路在限流器输出端处的所需流量不同，因此获取达到所需稀释浓度的流量值，即第一目标流量值以及第二目标流量值，而限流器输出端输出流量大小与输入端压力大小有关，并且不同内径的限流器输入端压力与输出端流量之间的对应关系不同，因此获取两个气路上限流器的内径，以便于后续确定出两个限流器输入端所需的压力，由于限流器在不同的压力范围下，压力与流量之间的对应关系并不一致，因此获取第一内径值和第二内径值后，根据第一内径值确定出第一限流器对应的第一预设关系式组，并且根据第二内径值确定第二关系式组，上述两个预设关系式组中分别包括至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式，根据上述两个预设关系式组以及两个目标流量值即可计算出第一限流器输入端的第一压力值和第二限流器输出端第二压力值，然后控制标准气体气路上的第一压力控制器按照第一压力值动作，从而在第一限流器输入端产生第一压力值大小的标准气体，进而在第一限流器输出端按照第一目标流量值输出标准气体，控制稀释气体气路上的第二压力控制器按照第二压力值动作，从而在第二限流器输入端产生第二压力值大小的稀释气体，进而在第二限流器输出端按照第二目标流量值输出稀释气体，进而在后续能够稀释混合成所需浓度的标准气体，由于按照限流器内径确定出对应的预设关系式组，所以能够计算出较为准确的第一压力值和第二压力值，进而能够实现在不同压力下均能较为准确地输出所需流量大小的气体。

在另一种可能实现的方式中，所述基于所述第一内径值确定第一预设关系式组，基于所述第二内径值确定第二预设关系式组，包括：

基于所述第一内径值和第二内径值在预设关系式库中进行匹配，得到所述第一限流器对应的第一预设关系式组以及所述第二限流器对应的第二预设关系式组，所述预设关系式库中包括多个内径值以及多个内径值分别对应的预设关系式组。

通过采用上述技术方案，预设关系式库中存储有多个内径值以及多个内径值分别对应的预设关系式组，因此根据获取到的第一内径值和第二内径值即可找到对应的预设关系式组，即第一预设关系式组和第二预设关系式组，更加方便准确。

在另一种可能实现的方式中，所述获取第一限流器的第一内径值、第二限流器的第二内径值、第一目标流量值以及第二目标流量值，之前还包括：

实时获取任一限流器输入端的测试压力值以及输出端的输出流量值；

基于所述测试压力值以及输出流量值绘制散点图；

对所述散点图进行回归分析，得到压力值与流量值对应的关系式。

通过采用上述技术方案，实时获取限流器输入端的测试压力值和输出端的输出流量值，再根据坐标系即可绘制出散点图，接着对散点图进行回归分析，从而能够得到较为准确的压力值与流量值的对应关系，进而得到压力值与流量值的关系式。

在另一种可能实现的方式中，所述关系式包括线性关系式和非线性关系式，所述对所述散点图进行回归分析，得到压力值与流量值对应的关系式，包括：

以每个散点为起点并确定至少一组目标散点，每组目标散点包括每个散点以及所述每个散点之后的预设数量散点；

对所述每组目标散点进行连线形成每组目标散点对应的折线图；

对所述每组目标散点对应的折线图进行回归分析得到每组目标散点对应的关系式。

通过采用上述技术方案，确定出至少一组目标散点后，对每组目标散点图进行连线得到每组目标散点图对应的折线图，然后对每个折线图进行回归分析，从而能够得到每组目标散点对应的关系式，由于至少一组目标散点以每个散点为起点得到的，因此关系式均能够准确表征每个散点附近的压力值与流量值之间的关系，从而使得后续得到的关系式组更加准确。

第二方面，本申请提供一种气体流量控制装置，采用如下的技术方案：

一种气体流量控制装置，包括：获取模块，用于获取第一限流器的第一内径值、第二限流器的第二内径值、第一目标流量值以及第二目标流量值，所述第一限流器为标准气体所在气路的限流器，所述第二限流器为稀释气体所在气路的限流器，所述第一目标流量值为第一限流器输出端所需的流量值，所述第二目标流量值为第二限流器输端所需的流量值；

关系式确定模块，用于基于所述第一内径值确定第一预设关系式组，基于所述第二内径值确定第二预设关系式组，所述第一预设关系式组包括所述第一限流器对应的至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式，所述第二预设关系式组包括所述第二限流器对应的至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式；

压力值确定模块，用于基于所述第一预设关系式组以及第一目标流量值确定第一压力值，基于所述第二预设关系式组以及第二目标流量值确定第二压力值，所述第一压力值为所述第一限流器输入端的压力值，所述第二压力值为所述第二限流器输入端的压力值；

控制模块，用于基于所述第一压力值控制第一压力控制器动作，基于所述第二压力值控制第二压力控制器动作，所述第一压力控制器用于调节所述第一限流器输入端的压力值，所述第二压力控制器用于调节所述第二限流器输入端的压力值。

通过采用上述技术方案，对标准气体进行稀释需要用到两个气路，即标准气体所在气路以及稀释气体所在气路，分别经过限流器后进行混合得到所需浓度的标准气体，对于不同的稀释浓度，两个气路在限流器输出端处的所需流量不同，因此获取模块获取达到所需稀释浓度的流量值，即第一目标流量值以及第二目标流量值，而限流器输出端输出流量大小与输入端压力大小有关，并且不同内径的限流器输入端压力与输出端流量之间的对应关系不同，因此获取模块获取两个气路上限流器的内径，以便于后续确定出两个限流器输入端所需的压力，由于限流器在不同的压力范围下，压力与流量之间的对应关系并不一致，因此获取第一内径值和第二内径值后，关系式确定模块根据第一内径值确定出第一限流器对应的第一预设关系式组，并且根据第二内径值确定第二关系式组，上述两个预设关系式组中分别包括至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式，压力值确定模块根据上述两个预设关系式组以及两个目标流量值即可计算出第一限流器输入端的第一压力值和第二限流器输出端第二压力值，然后控制模块控制标准气体气路上的第一压力控制器按照第一压力值动作，从而在第一限流器输入端产生第一压力值大小的标准气体，进而在第一限流器输出端按照第一目标流量值输出标准气体，控制模块控制稀释气体气路上的第二压力控制器按照第二压力值动作，从而在第二限流器输入端产生第二压力值大小的稀释气体，进而在第二限流器输出端按照第二目标流量值输出稀释气体，进而在后续能够稀释混合成所需浓度的标准气体，由于按照限流器内径确定出对应的预设关系式组，所以能够计算出较为准确的第一压力值和第二压力值，进而能够实现在不同压力下均能较为准确地输出所需流量大小的气体。

在另一种可能的实现方式中，所述关系式确定模块在基于所述第一内径值确定第一预设关系式组，基于所述第二内径值确定第二预设关系式组时，具体用于：

基于所述第一内径值和第二内径值在预设关系式库中进行匹配，得到所述第一限流器对应的第一预设关系式组以及所述第二限流器对应的第二预设关系式组，所述预设关系式库中包括多个内径值以及多个内径值分别对应的预设关系式组。

在另一种可能的实现方式中，所述装置还包括：

实时获取模块，用于实时获取任一限流器输入端的测试压力值以及输出端的输出流量值；

绘制模块，用于基于所述测试压力值以及输出流量值绘制散点图；

回归分析模块，用于对所述散点图进行回归分析，得到压力值与流量值对应的关系式。

在另一种可能的实现方式中，所述关系式包括线性关系式和非线性关系式，所述回归分析模块在对所述散点图进行回归分析，得到压力值与流量值对应的关系式时，具体用于：

以每个散点为起点并确定至少一组目标散点，每组目标散点包括每个散点以及所述每个散点之后的预设数量散点；

对所述每组目标散点进行连线形成每组目标散点对应的折线图；

对所述每组目标散点对应的折线图进行回归分析得到每组目标散点对应的关系式。

第三方面，本申请提供一种电子设备，采用如下的技术方案：

一种电子设备，该电子设备包括：

至少一个处理器；

存储器；

至少一个应用程序，其中至少一个应用程序被存储在存储器中并被配置为由至少一个处理器执行，至少一个配置用于：执行根据第一方面任一种可能的实现方式所示的一种气体流量控制方法。

第四方面，本申请提供一种计算机可读存储介质，采用如下的技术方案：

一种计算机可读存储介质，当所述计算机程序在计算机中执行时，令所述计算机执行第一方面任一项所述的一种气体流量控制方法。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1. 对标准气体进行稀释需要用到两个气路，即标准气体所在气路以及稀释气体所在气路，分别经过限流器后进行混合得到所需浓度的标准气体，对于不同的稀释浓度，两个气路在限流器输出端处的所需流量不同，因此获取达到所需稀释浓度的流量值，即第一目标流量值以及第二目标流量值，而限流器输出端输出流量大小与输入端压力大小有关，并且不同内径的限流器输入端压力与输出端流量之间的对应关系不同，因此获取两个气路上限流器的内径，以便于后续确定出两个限流器输入端所需的压力，由于限流器在不同的压力范围下，压力与流量之间的对应关系并不一致，因此获取第一内径值和第二内径值后，根据第一内径值确定出第一限流器对应的第一预设关系式组，并且根据第二内径值确定第二关系式组，上述两个预设关系式组中分别包括至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式，根据上述两个预设关系式组以及两个目标流量值即可计算出第一限流器输入端的第一压力值和第二限流器输出端第二压力值，然后控制标准气体气路上的第一压力控制器按照第一压力值动作，从而在第一限流器输入端产生第一压力值大小的标准气体，进而在第一限流器输出端按照第一目标流量值输出标准气体，控制稀释气体气路上的第二压力控制器按照第二压力值动作，从而在第二限流器输入端产生第二压力值大小的稀释气体，进而在第二限流器输出端按照第二目标流量值输出稀释气体，进而在后续能够稀释混合成所需浓度的标准气体，由于按照限流器内径确定出对应的预设关系式组，所以能够计算出较为准确的第一压力值和第二压力值，进而能够实现在不同压力下均能较为准确地输出所需流量大小的气体；

2. 确定出至少一组目标散点后，对每组目标散点图进行连线得到每组目标散点图对应的折线图，然后对每个折线图进行回归分析，从而能够得到每组目标散点对应的关系式，由于至少一组目标散点以每个散点为起点得到的，因此关系式均能够准确表征每个散点附近的压力值与流量值之间的关系，从而使得后续得到的关系式组更加准确。

附图说明

图1是本申请实施例的一种气体流量控制方法的流程示意图。

图2是本申请实施例的一种气体流量控制装置的流程示意图。

图3是本申请实施例的一种电子设备的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本申请作进一步详细说明。

本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本申请的权利要求范围内都受到专利法的保护。

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

另外，本文中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，如无特殊说明，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

下面结合说明书附图对本申请实施例作进一步详细描述。

本申请实施例提供了一种气体流量控制方法，由电子设备执行，该电子设备可以为服务器也可以为终端设备，其中，该服务器可以是独立的物理服务器，也可以是多个物理服务器构成的服务器集群或者分布式系统，还可以是提供云计算服务的云服务器。终端设备可以是智能手机、平板电脑、笔记本电脑、台式计算机等，但并不局限于此，该终端设备以及服务器可以通过有线或无线通信方式进行直接或间接地连接，本申请实施例在此不做限制，如图1所示，该方法包括步骤S101、步骤S102、步骤S103以及步骤S104，其中，

S101，获取第一限流器的第一内径值、第二限流器的第二内径值、第一目标流量值以及第二目标流量值。

其中，第一限流器为标准气体所在气路的限流器，第二限流器为稀释气体所在气路的限流器，第一目标流量值为第一限流器输出端所需的流量值，第二目标流量值为第二限流器输端所需的流量值。

对于本申请实施例，标准气体为纯度较高的需要被稀释的气体，稀释气体为氮气等惰性气体，稀释气体与标准气体进行混合，从而得到所需浓度的标准气体。在标准气体或稀释气体所在的气路中，各自的气源输入到对应的气路中，经减压表进行初步减压，从而降低由于气源压力过大对后续气路中其他设备造型损坏的可能性。

经过减压表进行初步减压后，再经过压力控制器进行二次减压，经过二次减压的标准气体或稀释气体输入到限流器中进行限流从而输出所需流量的气体。由于限流器的内径与限流器的输出流量之间具有一定的关系，因此需要得知限流器的内径以及所需的目标流量值。

具体的，用户可通过鼠标、键盘以及触控屏等输入装置设定第一内径值、第二内径值、第一目标流量值以及第二目标流量值，电子设备检测到用户通过输入设备设定第一内径值、第二内径值、第一目标流量值以及第二目标流量值从而能够获取到上述数据。

S102，基于第一内径值确定第一预设关系式组，基于第二内径值确定第二预设关系式组。

其中，第一预设关系式组包括第一限流器对应的至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式，第二预设关系式组包括第二限流器对应的至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式。

对于本申请实施例，限流器的内径不同，限流器输入端的气体压力与输出端流量之间的对应关系不同。并且对于同一种内径的限流器在不同的压力区间中，输入端压力与输出流量之间可能为线性关系也可能为非线性关系。例如某一内径的限流器，在输入端压力处于17到40磅/平方英寸（psia）之间时，压力与流量呈非线性相关，能够用二次函数表征压力与流量之间的关系，但在大于40psia时呈线性相关，例如用一次函数表征压力与流量之间的关系。再或者另一内径的限流器，在输入端压力处于17到20psia之间、19到30psia之间、25到40psia之间、35到60psia之间、50到80psia之间、70到100psia之间以及90到120psia之间压力与流量均成非线性相关，均可以同二次函数进行表征，但在每个压力区间中压力与流量之间的二次函数关系式均不同，因此对于该限流器对应的预设关系式组中包括多个二次函数。

因此需根据限流器的内径确定对应的预设关系式组，以计算达到所需的目标流量值所需的压力值。电子设备根据第一内径值确定出标准气体对应的第一预设关系式组，从而计算标准气体对应的第一限流器输入端所需的压力值，进而在第一限流器输出端得到目标流量大小的标准气体。电子设备根据第二内径值确定出稀释气体对应的第二预设关系式组，从而计算稀释气体对应的第二限流器输入端所需的压力值，进而在第二限流器输出端得到目标流量大小的稀释气体。

S103，基于第一预设关系式组以及第一目标流量值确定第一压力值，基于第二预设关系式组以及第二目标流量值确定第二压力值。

其中，第一压力值为第一限流器输入端的压力值，第二压力值为第二限流器输入端的压力值。

对于本申请实施例，预设关系式组中包括不同流量区间所对应的计算公式，因此电子设备根据目标流量值即可确定出目标流量值所在的流量区间，进而确定出所需要使用的计算公式。电子设备获取到第一目标流量值后，将第一目标流量值带入第一预设关系式组中，根据第一目标流量值所在区间对应的计算公式从而计算出输出第一目标流量值大小的标准气体所需的压力值。电子设备获取到第二目标流量值后，将第二目标流量值带入第二预设关系式组中，根据第二目标流量值所在区间对应的计算公式从而计算出输出第二目标流量值大小的稀释气体所需的压力值。

进一步的，以步骤S102为例，相邻两个压力值区间之间可能会有重叠，以“17到20psia”以及“19到30psia”为例，两个区间之间19到20psia为重叠部分，说明根据目标流量值确定出的压力在19到20psia之间时，使用“17到20psia”以及“19到30psia”两个区间对应的关系式计算出的压力值均较为准确，也就是说目标流量值区间之间会有重叠。由于压力值区间之间存在重叠，因此对应的流量值区间同样存在重叠。电子设备获取到目标流量值后，计算每个流量值区间的中值，然后确定出与目标流量值相等或最接近的中值，中值与目标流量值相等或接近说明使用对应的关系式计算压力值更准确，因此将相等或最接近的中值对应的流量值区间确定为目标流量值区间，使用该目标流量值区间对应的关系式计算目标流量值对应的压力值即可。

S104，基于第一压力值控制第一压力控制器动作，基于第二压力值控制第二压力控制器动作。

其中，第一压力控制器用于调节第一限流器输入端的压力值，第二压力控制器用于调节第二限流器输入端的压力值。

对于本申请实施例，电子设备与第一压力值控制器通过有线或无线进行连接，电子设备与第二压力值控制器通过有线或无线进行连接。电子设备计算出第一压力值和第二压力值后生成各自对应的信号，并向第一压力控制器和第二压力控制器分别发送各自对应的信号，第一压力控制器和第二压力控制器接收到信号后动作到对应的状态，从而使得标准气体和稀释气体在对应的压力控制器输出端，即限流器的输入端达到指定压力值。

本申请实施例的一种可能的实现方式，步骤S102中基于第一内径值确定第一预设关系式组，基于第二内径值确定第二预设关系式组，具体包括步骤S1021（图中未示出），其中，

S1021，基于第一内径值和第二内径值在预设关系式库中进行匹配，得到第一限流器对应的第一预设关系式组以及第二限流器对应的第二预设关系式组。

其中，预设关系式库中包括多个内径值以及多个内径值分别对应的预设关系式组。

对于本申请实施例，工作人员可提前将每个内径值限流器以及限流器对应的关系式组存储入预设关系式库中，预设关系式库可存储在电子设备内部的存储介质中，也可存储在云服务器中。当电子设备获取到第一内径值和第二内径值后，在预设关系式库中查找第一内径值和第二内径值，从而找到匹配的预设关系式组。

本申请实施例的一种可能的实现方式，获取第一限流器的第一内径值、第二限流器的第二内径值、第一目标流量值以及第二目标流量值，之前还包括步骤S105（图中未示出）、步骤S106（图中未示出）、步骤S107（图中未示出），其中，

S105，实时获取任一限流器输入端的测试压力值以及输出端的输出流量值。

S106，基于测试压力值以及输出流量值绘制散点图。

S107，对散点图进行回归分析，得到压力值与流量值对应的关系式。

对于本申请实施例，工作人员在任一限流器的输入端设置压力传感器，压力传感器采集该限流器输入端的压力值，即测试压力值，电子设备与压力传感器有线或无线连接从而获取测试压力值。工作人员在该限流器输出端设置流量传感器，流量传感器采集该限流器输出端的流量值，即输出流量值，电子设备与流量传感器有线或无线连接从而获取输出流量值。

工作人员逐渐调节限流器输入端的压力大小，从而得到不同压力下对应的流量大小。然后电子设备根据压力（x）和流量(y)生成坐标系，接着根据测试压力值和对应的输出流量值确定坐标系上的点。从而形成散点图。散点图中包含压力与流量之间的关系，得到散点图后，电子设备对散点图进行回归分析，从而确定出压力与流量呈线性关系或非线性关系，进而得到压力值和流量值对应的关系式。

本申请实施例的一种可能的实现方式，关系式包括线性关系式和非线性关系式，步骤S107中对散点图进行回归分析，得到压力值与流量值对应的关系式，具体包括步骤S1071（图中未示出）、步骤S1072（图中未示出）以及步骤S1073（图中未示出），其中，

所述关系式包括线性关系式和非线性关系式，所述对所述散点图进行回归分析，得到压力值与流量值对应的关系式，包括：

S1071，以每个散点为起点并确定至少一组目标散点。

其中，每组目标散点包括每个散点以及所述每个散点之后的预设数量散点。

S1072，对所述每组目标散点进行连线形成每组目标散点对应的折线图。

S1073，对所述每组目标散点对应的折线图进行回归分析得到每组目标散点对应的关系式。

对于本申请实施例，电子设备对每组目标散点依次进行连线，从而得到每组目标散点对应的折线图。工作人员在采集不同压力值下对应的流量值时，可以按照相同的间隔选择压力值点，也可以按照不通过的间隔选择压力值点。例如，在17到20psia之间每隔1psia确定一个压力值点，在20到30psia之间每隔2psia确定一个压力值点，在30到40psia之间每隔5psia确定一个压力值点，在40psia以上每隔10psia确定一个压力值点，以此类推。电子设备根据预设数量的散点确定关系式，假设预设数量为4，例如共有8个散点，分别为17psia、18psia、19psia、20psia、22psia、24psia、26psia以及28psia对应的散点。电子设备以每个散点为起点并选取该散点之后的三个点作为一组目标散点，直至某个散点为起点后续的散点数量不足三个散点。以上述八个散点为例，共确定出以下几组目标散点，分别为：17到20psia、18到22psia、19到24psia、20到26psia以及22到28psia。每组目标散点的起点和终点之间的范围作为每组目标散点对应的压力值区间。电子设备根据每组目标散点进行连线得到每组目标散点对应的折线图，进而根据每组目标散点对应的压力值以及对应的流量值确定出关系式。电子设备对每组目标散点对应的折线图进行线性拟合或非线性拟合，从而得到最佳的关系式。具体的，电子设备可将每组目标散点对应的散点图输入至用于拟合的软件和插件中进行拟合，也可使用预设的模型进行拟合。

上述实施例从方法流程的角度介绍一种气体流量控制方法，下述实施例从虚拟模块或者虚拟单元的角度介绍了一种气体流量控制装置，具体详见下述实施例。

本申请实施例提供一种气体流量控制装置20，如图2所示，该气体流量控制装置20具体可以包括：

获取模块201，用于获取第一限流器的第一内径值、第二限流器的第二内径值、第一目标流量值以及第二目标流量值，第一限流器为标准气体所在气路的限流器，第二限流器为稀释气体所在气路的限流器，第一目标流量值为第一限流器输出端所需的流量值，第二目标流量值为第二限流器输端所需的流量值；

关系式确定模块202，用于基于第一内径值确定第一预设关系式组，基于第二内径值确定第二预设关系式组，第一预设关系式组包括第一限流器对应的至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式，第二预设关系式组包括第二限流器对应的至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式；

压力值确定模块203，用于基于第一预设关系式组以及第一目标流量值确定第一压力值，基于第二预设关系式组以及第二目标流量值确定第二压力值，第一压力值为第一限流器输入端的压力值，第二压力值为第二限流器输入端的压力值；

控制模块204，用于基于第一压力值控制第一压力控制器动作，基于第二压力值控制第二压力控制器动作，第一压力控制器用于调节第一限流器输入端的压力值，第二压力控制器用于调节第二限流器输入端的压力值。

本申请实施例提供了一种气体流量控制装置，其中，对标准气体进行稀释需要用到两个气路，即标准气体所在气路以及稀释气体所在气路，分别经过限流器后进行混合得到所需浓度的标准气体，对于不同的稀释浓度，两个气路在限流器输出端处的所需流量不同，因此获取模块201获取达到所需稀释浓度的流量值，即第一目标流量值以及第二目标流量值，而限流器输出端输出流量大小与输入端压力大小有关，并且不同内径的限流器输入端压力与输出端流量之间的对应关系不同，因此获取模块201获取两个气路上限流器的内径，以便于后续确定出两个限流器输入端所需的压力，由于限流器在不同的压力范围下，压力与流量之间的对应关系并不一致，因此获取第一内径值和第二内径值后，关系式确定模块202根据第一内径值确定出第一限流器对应的第一预设关系式组，并且根据第二内径值确定第二关系式组，上述两个预设关系式组中分别包括至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式，压力值确定模块203根据上述两个预设关系式组以及两个目标流量值即可计算出第一限流器输入端的第一压力值和第二限流器输出端第二压力值，然后控制模块204控制标准气体气路上的第一压力控制器按照第一压力值动作，从而在第一限流器输入端产生第一压力值大小的标准气体，进而在第一限流器输出端按照第一目标流量值输出标准气体，控制模块204控制稀释气体气路上的第二压力控制器按照第二压力值动作，从而在第二限流器输入端产生第二压力值大小的稀释气体，进而在第二限流器输出端按照第二目标流量值输出稀释气体，进而在后续能够稀释混合成所需浓度的标准气体，由于按照限流器内径确定出对应的预设关系式组，所以能够计算出较为准确的第一压力值和第二压力值，进而能够实现在不同压力下均能较为准确地输出所需流量大小的气体。

本申请实施例的一种可能的实现方式，关系式确定模块202在基于第一内径值确定第一预设关系式组，基于第二内径值确定第二预设关系式组时，具体用于：

基于第一内径值和第二内径值在预设关系式库中进行匹配，得到第一限流器对应的第一预设关系式组以及第二限流器对应的第二预设关系式组，预设关系式库中包括多个内径值以及多个内径值分别对应的预设关系式组。

本申请实施例的一种可能的实现方式，装置20还包括：

实时获取模块，用于实时获取任一限流器输入端的测试压力值以及输出端的输出流量值；

绘制模块，用于基于测试压力值以及输出流量值绘制散点图；

回归分析模块，用于对散点图进行回归分析，得到压力值与流量值对应的关系式。

本申请实施例的一种可能的实现方式，关系式包括线性关系式和非线性关系式，回归分析模块在对散点图进行回归分析，得到压力值与流量值对应的关系式时，具体用于：

以每个散点为起点并确定至少一组目标散点，每组目标散点包括每个散点以及所述每个散点之后的预设数量散点；

对所述每组目标散点进行连线形成每组目标散点对应的折线图；

对所述每组目标散点对应的折线图进行回归分析得到每组目标散点对应的关系式。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的一种气体流量控制装置20的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。

本申请实施例中提供了一种电子设备，如图3所示，图3所示的电子设备30包括：处理器301和存储器303。其中，处理器301和存储器303相连，如通过总线302相连。可选地，电子设备30还可以包括收发器304。需要说明的是，实际应用中收发器304不限于一个，该电子设备30的结构并不构成对本申请实施例的限定。

处理器301可以是CPU（Central Processing Unit，中央处理器），通用处理器，DSP（Digital Signal Processor，数据信号处理器），ASIC（Application SpecificIntegrated Circuit，专用集成电路），FPGA（Field Programmable Gate Array，现场可编程门阵列）或者其他可编程逻辑器件、晶体管逻辑器件、硬件部件或者其任意组合。其可以实现或执行结合本申请公开内容所描述的各种示例性的逻辑方框，模块和电路。处理器301也可以是实现计算功能的组合，例如包含一个或多个微处理器组合，DSP和微处理器的组合等。

总线302可包括一通路，在上述组件之间传送信息。总线302可以是PCI（Peripheral Component Interconnect，外设部件互连标准）总线或EISA（ExtendedIndustry Standard Architecture，扩展工业标准结构）总线等。总线302可以分为地址总线、数据总线、控制总线等。为便于表示，图3中仅用一条粗线表示，但并不表示仅有一根总线或一型的总线。

存储器303可以是ROM（Read Only Memory，只读存储器）或可存储静态信息和指令的其他类型的静态存储设备，RAM（Random Access Memory，随机存取存储器）或者可存储信息和指令的其他类型的动态存储设备，也可以是EEPROM（Electrically ErasableProgrammable Read Only Memory，电可擦可编程只读存储器）、CD-ROM（Compact DiscRead Only Memory，只读光盘）或其他光盘存储、光碟存储（包括压缩光碟、激光碟、光碟、数字通用光碟、蓝光光碟等）、磁盘存储介质或者其他磁存储设备、或者能够用于携带或存储具有指令或数据结构形式的期望的程序代码并能够由计算机存取的任何其他介质，但不限于此。

存储器303用于存储执行本申请方案的应用程序代码，并由处理器301来控制执行。处理器301用于执行存储器303中存储的应用程序代码，以实现前述方法实施例所示的内容。

其中，电子设备包括但不限于：移动电话、笔记本电脑、数字广播接收器、PDA（个人数字助理）、PAD（平板电脑）、PMP（便携式多媒体播放器）、车载终端（例如车载导航终端）等等的移动终端以及诸如数字TV、台式计算机等等的固定终端。还可以为服务器等。图3示出的电子设备仅仅是一个示例，不应对本申请实施例的功能和使用范围带来任何限制。

本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，当其在计算机上运行时，使得计算机可以执行前述方法实施例中相应内容。与相关技术相比，本申请实施例中对标准气体进行稀释需要用到两个气路，即标准气体所在气路以及稀释气体所在气路，分别经过限流器后进行混合得到所需浓度的标准气体，对于不同的稀释浓度，两个气路在限流器输出端处的所需流量不同，因此获取达到所需稀释浓度的流量值，即第一目标流量值以及第二目标流量值，而限流器输出端输出流量大小与输入端压力大小有关，并且不同内径的限流器输入端压力与输出端流量之间的对应关系不同，因此获取两个气路上限流器的内径，以便于后续确定出两个限流器输入端所需的压力，由于限流器在不同的压力范围下，压力与流量之间的对应关系并不一致，因此获取第一内径值和第二内径值后，根据第一内径值确定出第一限流器对应的第一预设关系式组，并且根据第二内径值确定第二关系式组，上述两个预设关系式组中分别包括至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式，根据上述两个预设关系式组以及两个目标流量值即可计算出第一限流器输入端的第一压力值和第二限流器输出端第二压力值，然后控制标准气体气路上的第一压力控制器按照第一压力值动作，从而在第一限流器输入端产生第一压力值大小的标准气体，进而在第一限流器输出端按照第一目标流量值输出标准气体，控制稀释气体气路上的第二压力控制器按照第二压力值动作，从而在第二限流器输入端产生第二压力值大小的稀释气体，进而在第二限流器输出端按照第二目标流量值输出稀释气体，进而在后续能够稀释混合成所需浓度的标准气体，由于按照限流器内径确定出对应的预设关系式组，所以能够计算出较为准确的第一压力值和第二压力值，进而能够实现在不同压力下均能较为准确地输出所需流量大小的气体。

应该理解的是，虽然附图的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，其可以以其他的顺序执行。而且，附图的流程图中的至少一部分步骤可以包括多个子步骤或者多个阶段，这些子步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，其执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其他步骤或者其他步骤的子步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。

以上所述仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。