扫描电镜的聚焦参数的确定方法及装置

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种扫描电镜的聚焦参数的确定方法及装置。

背景技术

随着半导体技术的发展，扫描电镜(scanning electron microscope，SEM)在集成电路的检测过程中扮演的角色也越来越重要。

相关技术中，在SEM工作过程中，为了获得清晰图像，每次给晶圆或样品进行拍照时，都需要对SEM进行对焦，在对焦过程中需要多次调整各种聚焦参数，才能采集到较为合适的图像，也即准确对焦的图像。在上述过程中，通常采用人工方式对聚焦参数进行调整，通常需要花费大量时间，人力成本也不低。由此，如何提高SEM采集图像的效率，显得至关重要。

发明内容

本申请提供一种扫描电镜的聚焦参数的确定方法及装置。

根据本申请的第一方面，提供一种扫描电镜的聚焦参数的确定方法，该方法包括：基于扫描电镜的显示模式，确定所述扫描电镜的显示范围内的分区参数；基于所述分区参数，确定所述显示范围内的每个分区对应的聚焦参数；基于每个所述分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像；对当前所述扫描图像中的每个所述分区图像分别进行处理，以确定每个所述分区图像的评估参数；根据每个所述分区图像的评估参数，判断当前所述扫描图像是否满足预设条件；在当前所述扫描图像不满足预设条件的情况下，基于当前所述扫描图像中每个所述分区图像的评估参数，对每个所述分区分别对应的聚焦参数进行更新，并返回执行基于每个所述分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像的步骤，直至当前所述扫描图像满足预设条件；根据当前所述扫描图像对应的聚焦参数，确定所述扫描电镜的目标聚焦参数。

在一些实施方式中，所述基于扫描电镜的显示模式，确定所述扫描电镜的显示范围内的分区参数，包括：基于所述扫描电镜的显示模式，遍历预设的数据表，以确定分区数量和/或分区类型，其中，所述分区数量为大于或等于2的任意整数。

在一些实施方式中，所述基于所述分区参数，确定所述显示范围内的每个分区对应的聚焦参数，包括：基于参考聚焦参数及所述分区数量，确定每个所述分区对应的聚焦参数；或者，基于所述分区参数及预设的数据表，确定每个所述分区对应的聚焦参数。

在一些实施方式中，所述对当前所述扫描图像中的每个所述分区图像分别进行处理，以确定每个所述分区图像的评估参数，包括：基于每个所述分区图像中的像素点，确定每个所述分区图像对应的目标像素点；基于每个所述分区图像对应的目标像素点，确定每个所述分区图像的评估参数。

在一些实施方式中，所述基于每个所述分区图像中的像素点，确定每个所述分区图像对应的目标像素点，包括：基于每个所述分区图像中像素点的位置，确定每个所述分区图像对应的目标区域；将每个所述目标区域中的像素点分别确定为对应分区图像的目标像素点。

在一些实施方式中，所述基于每个所述分区图像中像素点的位置，确定每个所述分区图像对应的目标区域，包括：基于每个所述分区图像中像素点的位置，将每个所述分区图像划分为多个子区域；将多个所述子区域中的第一个子区域和/或最后一个子区域进行剔除，以得到每个所述分区图像对应的目标区域，其中，所述第一个子区域包含所述分区图像起始位置处的至少部分像素点，所述最后一个子区域包含所述分区图像末尾位置处的至少部分像素点。

在一些实施方式中，所述基于每个所述分区图像对应的目标像素点，确定每个所述分区图像的评估参数，包括：基于每个所述分区图像分别对应的目标像素点的像素值和/或频率幅值，确定每个所述分区图像的评估参数。

在一些实施方式中，所述根据每个所述分区图像的评估参数，判断当前所述扫描图像是否满足预设条件，包括：在当前所述扫描图像中的每个分区图像的评估参数均不满足阈值的情况下，确定当前所述扫描图像不满足预设条件；在当前所述扫描图像中的任一分区图像的评估参数满足阈值的情况下，确定当前所述扫描图像满足预设条件。

在一些实施方式中，所述在当前所述扫描图像不满足预设条件的情况下，基于当前所述扫描图像中每个所述分区图像的评估参数，对每个所述分区分别对应的聚焦参数进行更新，并返回执行基于每个所述分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像的步骤，直至当前所述扫描图像满足预设条件，包括：基于每个所述分区图像的评估参数，确定每个所述分区对应的更新方向和/或更新步长；基于每个所述分区对应的更新方向和/或更新步长，对每个所述分区分别对应的聚焦参数进行更新；返回执行基于每个所述分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像的步骤，直至当前所述扫描图像满足预设条件。

在一些实施方式中，在第K次图像采集之后，所述根据当前所述扫描图像对应的聚焦参数，确定所述扫描电镜的目标聚焦参数，包括：在K小于或等于2时，将当前所述扫描图像中评估参数满足阈值的分区图像对应的聚焦参数确定为目标聚焦参数；在K大于2且第K-2次采集得到的任一分区图像对应的评估参数小于第K-1次采集得到的所述任一分区图像对应的评估参数、且第K-1次采集得到的所述任一分区图像对应的评估参数大于第K次采集得到的所述任一分区图像对应的评估参数时，将所述第K-1次得到的所述任一分区图像对应的聚焦参数确定为目标聚焦参数。

根据本申请的第二方面，提供一种扫描电镜的聚焦参数的确定装置，其包括：第一确定模块，用于基于扫描电镜的显示模式，确定所述扫描电镜的显示范围内的分区参数；第二确定模块，用于基于所述分区参数，确定所述显示范围内的每个分区对应的聚焦参数；采集模块，用于基于每个所述分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像；处理模块，用于对当前所述扫描图像中的每个所述分区图像分别进行处理，以确定每个所述分区图像的评估参数；判断模块，用于根据每个所述分区图像的评估参数，判断当前所述扫描图像是否满足预设条件；执行模块，用于在当前所述扫描图像不满足预设条件的情况下，基于当前所述扫描图像中每个所述分区图像的评估参数，对每个所述分区分别对应的聚焦参数进行更新，并返回执行基于每个所述分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像的步骤，直至当前所述扫描图像满足预设条件；第三确定模块，用于根据当前所述扫描图像对应的聚焦参数，确定所述扫描电镜的目标聚焦参数。

在一些实施方式中，所述第一确定模块具体用于：基于所述扫描电镜的显示模式，遍历预设的数据表，以确定分区数量和/或分区类型，其中，所述分区数量为大于或等于2的任意整数。

在一些实施方式中，所述第二确定模块具体用于：基于参考聚焦参数及所述分区数量，确定每个所述分区对应的聚焦参数；或者，基于所述分区参数及预设的数据表，确定每个所述分区对应的聚焦参数。

在一些实施方式中，所述处理模块包括：第一确定单元，用于基于每个所述分区图像中的像素点，确定每个所述分区图像对应的目标像素点；第二确定单元，用于基于每个所述分区图像对应的目标像素点，确定每个所述分区图像的评估参数。

在一些实施方式中，所述第一确定单元，包括：第一确定子单元，用于基于每个所述分区图像中像素点的位置，确定每个所述分区图像对应的目标区域；第二确定子单元，用于将每个所述目标区域中的像素点分别确定为对应分区图像的目标像素点。

在一些实施方式中，所述第一确定子单元具体用于：基于每个所述分区图像中像素点的位置，将每个所述分区图像划分为多个子区域；将多个所述子区域中的第一个子区域和/或最后一个子区域进行剔除，以得到每个所述分区图像对应的目标区域，其中，所述第一个子区域包含所述分区图像起始位置处的至少部分像素点，所述最后一个子区域包含所述分区图像末尾位置处的至少部分像素点。

在一些实施方式中，所述第一确定子单元具体用于：基于每个所述分区图像分别对应的目标像素点的像素值和/或频率幅值，确定每个所述分区图像的评估参数。

在一些实施方式中，所述判断模块具体用于：在当前所述扫描图像中的每个分区图像的评估参数均不满足阈值的情况下，确定当前所述扫描图像不满足预设条件；在当前所述扫描图像中的任一分区图像的评估参数满足阈值的情况下，确定当前所述扫描图像满足预设条件。

在一些实施方式中，所述执行模块具体用于：基于每个所述分区图像的评估参数，确定每个所述分区对应的更新方向和/或更新步长；基于每个所述分区对应的更新方向和/或更新步长，对每个所述分区分别对应的聚焦参数进行更新；返回执行基于每个所述分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像的步骤，直至当前所述扫描图像满足预设条件。

在一些实施方式中，在第K次图像采集之后，所述第三确定模块具体用于，包括：在K小于或等于2时，将当前所述扫描图像中评估参数满足阈值的分区图像对应的聚焦参数确定为目标聚焦参数；在K大于2且第K-2次采集得到的任一分区图像对应的评估参数小于第K-1次采集得到的所述任一分区图像对应的评估参数、且第K-1次采集得到的所述任一分区图像对应的评估参数大于第K次采集得到的所述任一分区图像对应的评估参数时，将所述第K-1次得到的所述任一分区图像对应的聚焦参数确定为目标聚焦参数。

根据本申请的第三方面，提供一种电子设备，电子设备包括：处理器以及存储有计算机程序指令的存储器；处理器执行计算机程序指令时实现上述的任一种扫描电镜的聚焦参数的确定方法。

根据本申请的第四方面，提供一种计算机可读存储介质，其特征在于，计算机可读存储介质上存储有计算机程序指令，计算机程序指令被处理器执行时实现上述的任一种扫描电镜的聚焦参数的确定方法。

综上所述，本申请提供的扫描电镜的聚焦参数的确定方法及装置，至少具有以下有益效果：可以先基于扫描电镜的显示模式，确定扫描电镜的显示范围内的分区参数，之后可以基于分区参数，确定显示范围内的每个分区对应的聚焦参数，并基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像，之后可以对当前扫描图像中的每个分区图像分别进行处理，以确定每个分区图像的评估参数，并根据每个分区图像的评估参数，判断当前扫描图像是否满足预设条件，在当前扫描图像不满足预设条件的情况下，基于当前扫描图像中每个分区图像的评估参数，对每个分区分别对应的聚焦参数进行更新，并返回执行基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像的步骤，直至当前扫描图像满足预设条件，之后再根据当前扫描图像对应的聚焦参数，确定扫描电镜的目标聚焦参数。由此，在确定扫描电镜的目标聚焦参数的过程中，可以将扫描电镜的显示范围划分为多个分区，之后基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像，也即在进行一次图像采集的拍摄过程中，得到的扫描图像可以包含有不同聚焦参数的多个分区图像，之后在进行调整聚焦参数的过程中，可以同时对各个分区分别对应的聚焦参数进行调整，从而通过较少次数的图像拍摄即可得到目标聚焦参数，大大缩短了目标聚焦参数确定的时间，从而可以实现快速聚焦，进而提高了扫描电镜的对焦速度以及效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域的技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请的实施例提供的一种扫描电镜的聚焦参数的确定方法的流程图；

图2为本申请的实施例提供的一种分区示意图；

图3为本申请的实施例提供的一种扫描电镜的聚焦参数的确定方法的流程图；

图4为本申请的实施例提供的一种扫描电镜的聚焦参数的确定装置的结构图；

图5为本申请的实施例提供的一种电子设备的结构图。

具体实施方式

为了使本申请的上述以及其他特征和优点更加清楚，下面结合附图进一步描述本申请。应当理解，本文给出的具体实施例是出于向本领域的技术人员解释的目的，仅是示例性的，而非限制性的。

在以下描述中，阐述了许多具体细节以提供对本申请的透彻理解。然而，对于本领域的技术人员来说，明显的是，不需要采用具体细节来实践本申请。在其他情况下，未详细描述众所周知的步骤或操作，以避免模糊本申请。

本申请实施例提供的扫描电镜的聚焦参数的确定方法，可由本申请实施例提供的扫描电镜的聚焦参数的确定装置执行，该装置可配置于电子设备中。

可以理解的是，本申请提供的扫描电镜的聚焦参数的确定方法，可以应用于半导体技术领域，也可以应用于计算机技术领域，还可以应用于涉及对扫描电镜图像进行处理的图像处理技术领域、数据处理技术领域等，本申请对其不做限定。

参考图1，本申请提供了一种扫描电镜的聚焦参数的确定方法，该方法包括：

步骤101，基于扫描电镜的显示模式，确定扫描电镜的显示范围内的分区参数。

其中，扫描电镜可以为任意类型或规格的扫描电子显微镜(scanning electronmicroscope，SEM)，本申请对其型号或类型等均不做限定。

另外，扫描电镜的显示模式可以理解为采集到的像素点的数量，比如像素点的数量可以为512*512，或者也可以为1024*1024，或者还可以为其他模式等等，本申请对此不做限定。

另外，扫描电镜的显示范围可以理解为扫描电镜的视场、视野等，从而本申请实施例中，可以先基于扫描电镜的显示模式，确定出该扫描电镜的显示范围内的分区参数。

另外，分区参数可以包括分区数量，或者也可以包括分区类型，或者还可以包括分区数量及分区类型等等，本申请对此不做限定。

可以理解的是，通常扫描电镜当前的显示模式对应的像素点的数量越多，确定出的分区数量可以越大；相应的，像素点的数量越少，确定出的分区数量可以越小。比如，在扫描电镜当前的显示模式为：1024*1024时，对应的分区数量可以为8、10等，在扫描电镜当前的显示模式为：512*512时，对应的分区数量可以为3、4等等，本申请对此不做限定。

举例来说，若基于扫描电镜的显示模式，确定出扫描电镜的显示范围内的分区参数如图2所示。其中，图2(a)可以得到A1分区及A2分区，图2(b)可以得到B1分区、B2分区以及B3分区，图2(c)可以得到C1分区、C2分区、C3分区以及C4分区，图2(d)可以得到D1分区及D2分区，图2(e)可以得到E1分区、E2分区以及E3分区等等，本申请对此不做限定。

或者，若扫描电镜当前的显示模式为：512*512时，在对其进行分区时，分区数量应大于或等于2。比如，分区数量可以为2，或者也可以为大于2的任意整数。从而可使得每个分区对应的像素点数量均小于512*512，从而在后续处理过程中，可以使得512*512的像素点可以被充分利用，提高了数据利用率。

步骤102，基于分区参数，确定扫描电镜的显示范围内的每个分区对应的聚焦参数。

其中，聚焦参数可以有多种，比如可以为SEM的物镜电流、SEM的电透镜电位、SEM的加速电压、SEM的工作距离等参数，本申请对此不做限定。

可以理解的是，分区参数不同，显示范围内的每个分区对应的聚焦参数可能相同，或者也可能不同。

举例来说，在分区数量较多的情况下，该扫描电镜的显示范围内的各个分区对应的聚焦参数间的差异可以相对较小；相应的，在分区数量较少的情况下，该扫描电镜的显示范围内的各个分区对应的聚焦参数间的差异可以相对较大。

比如，在分区数量为3个的情况下，若分区1的电压为0.2V、分区2的电压可以为0.6V、分区3的电压可以为1.0V；在分区数量为6个情况下，若分区4的电压为0.2V、分区5的电压可以为0.4V、分区6的电压可以为0.6V、分区7的电压为0.8V、分区8的电压可以为1.0V、分区9的电压可以为1.2V。

需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本申请实施例中确定扫描电镜的显示范围内的每个分区对应的聚焦参数的方式。

步骤103，基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像。

举例来说，在扫描电镜的显示模式为512*512的情况下，若分区数量为2，每个分区对应的像素点数量可以为256*512，若两个分区的聚焦参数分别为0.5V、1V，在图像采集的拍摄过程中，对于分区1对应的256*512个像素点，可以使用0.5V的电压进行采集，在采集到分区2对应的256*512个像素点时，可以使用1V的电压进行采集，在采集完成后，可以得到一张包含有分区图像1及分区图像2的扫描图像。也即在一次图像采集的拍摄过程中，可以使用对应的聚焦参数在两个分区分别对应的256*512个像素点进行采集，对两组聚焦参数进行测试，从而使得512*512中的每个像素点均得到了充分利用，不仅提高了数据利用率，而且也减少了图像采集的拍摄次数，节省了时间。

需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本申请实施例中扫描电镜的显示模式、分区数量、分区对应的像素点数量及聚焦参数等的限定。

可以理解的是，可以基于确定出的分区参数，将扫描电镜的显示范围划分为多个分区，在确定出每个分区对应的聚焦参数后，可以在每个分区对应的区域使用相应的聚焦参数进行采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像，从而可使得在一次图像采集的过程中，得到的扫描图像可以包含有对应不同聚焦参数的分区图像，也即在一次图像采集的过程中，可以对多组不同的聚焦参数进行测试。从而，本申请实施例中，通过一次图像采集，得到的扫描图像可以包含有对应不同聚焦参数的分区图像，从而减少了图像采集的拍摄次数，节省了时间。

步骤104，对当前扫描图像中的每个分区图像分别进行处理，以确定每个分区图像的评估参数。

其中，评估参数可以用于表征分区图像的清晰度，比如可以为分区图像的锐度、分区图像的频率值等等，评估参数的数量可以为一个，或者也可以为多个等，本申请对此不做限定。

可以理解的是，在采集得到当前包含多个分区图像的扫描图像后，可以对该扫描图像中的每个分区图像分别进行处理。比如可以基于每个分区图像中像素点的像素值，确定每个分区图像的评估参数。或者，也可以基于每个分图像中像素点的频率幅值，确定每个分区图像的评估参数等等，本申请对此不做限定。

可选的，分区图像中可以包含有多个像素点，由于干扰噪声等的存在，可能导致部分像素点准确性受到影响，从而，本申请实施例中，也可以对分区图像中的部分像素点进行剔除后，再基于每个分区图像中其余像素点，确定每个分区图像的评估参数等等，本申请对此不做限定。

步骤105，根据每个分区图像的评估参数，判断当前扫描图像是否满足预设条件。

其中，在确定出每个分区图像的评估参数后，可以基于每个评估参数的数值大小，确定当前扫描图像是否满足预设条件。

可选的，可以在当前扫描图像中的每个分区图像的评估参数均不满足阈值的情况下，确定当前扫描图像不满足预设条件，在当前扫描图像中的任一分区图像的评估参数满足阈值的情况下，确定当前扫描图像满足预设条件。

其中，阈值可以为提前设定的数值，或者也可以根据需要进行调整等，本申请对此不做限定。

举例来说，在设定的阈值为a的情况下，当前扫描图像中的每个分区图像的评估参数均小于a，那么可以确定当前扫描图像不满足预设条件。若当前扫描图像中的分区图像1、分区图像3的评估参数小于阈值、分区图像2的评估参数大于阈值，那么可以确定当前扫描图像满足预设条件。或者，若当前扫描图像中的分区图像4、分区图像5的评估参数、分区图像6的评估参数均大于阈值，那么可以确定当前扫描图像满足预设条件等等，本申请对此不做限定。

步骤106，在当前扫描图像不满足预设条件的情况下，基于当前扫描图像中每个分区图像的评估参数，对每个分区分别对应的聚焦参数进行更新，并返回执行基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像的步骤，直至当前扫描图像满足预设条件。

可以理解的是，在当前扫描图像不满足预设条件的情况下，可以基于当前扫描图像中每个分区图像的评估参数，对每个分区分别对应的聚焦参数进行更新。

另外，在对每个分区分别对应的聚焦参数进行更新时，每次可以仅对同一聚焦参数进行更新，比如对各个分区的电流值进行更新，或者对各个分区的电压值进行更新等。或者，也可以同时对多种聚焦参数进行更新，比如可以同时对各个分区的电流值以及电压值进行更新，或者对各个分区的SEM的电透镜电位、SEM的加速电压、SEM的工作距离进行更新等。本申请对此不做限定。

比如，在某一分区图像的评估参数较小的情况下，在调整该某一分区对应的聚焦参数时，可使得更新后的聚焦参数与原聚焦参数相比差异较大一些；在某一分区图像的评估参数较大的情况下，在调整该某一分区对应的聚焦参数时，可使得更新后的聚焦参数与原聚焦参数相比差异较小一些等等。

之后可以使用每个分区分别对应的更新后的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个新的聚焦参数对应的分区图像的扫描图像，之后可以再次基于每个分区图像的评估参数，判断当前采集的扫描图像是否满足预设条件，若仍不满足预设条件，那么再次对每个分区的聚焦参数继续进行更新，之后重复上述操作，直至当前的扫描图像满足预设条件。

可选的，在对每个分区分别对应的聚焦参数进行更新时，通常各个分区更新后的聚焦参数可以不同，但也可能存在部分分区更新后的聚焦参数可能相同。举例来说，若分区1、分区2、分区3、分区4、分区5、分区6当前的聚焦参数分别为1.1V、1.15V、1.2V、1.5V、2V、3V，而分区1的锐度1和分区2的锐度2均远大于分区3、分区4、分区5、分区6各自的锐度，那么在对各个分区的聚焦参数进行调整时，部分分区更新后的聚焦参数可能相同，比如各个分区对应的聚焦参数可以分别为：1.11V、1.12V、1.13V、1.14V、1.15V、1.14V，或者也可以分别为1.1V、1.11V、1.12V、1.12V、1.13V、1.14V等等，本申请对此不做限定。

或者，若分区1、分区2、分区3、分区4当前的聚焦参数分别为1V、2V、3V、4V，分区2与分区3的锐度较大，在每次对聚焦参数进行更新时均以相同的步长进行调整，那么分区1、分区2、分区3、分区4更新后的聚焦参数可以为：2.2V、2.4V、2.6V、2.8V，或者也可以为其他数值等等，本申请对此不做限定。

从而，本申请实施例中，由于将扫描电镜的显示范围划分为多个分区，在进行一次图像采集的拍摄过程中，得到的扫描图像可以包含有不同聚焦参数的多个分区图像，之后在进行调整聚焦参数的过程中，可以同时对各个分区分别对应的聚焦参数进行调整，从而通过较少次数的图像拍摄即可得到目标聚焦参数，大大缩短了目标聚焦参数确定的时间，也即缩短了自动聚焦所需要的时间，从而可以实现快速聚焦，进而提高了扫描电镜的对焦速度以及工作效率。

步骤107，根据当前扫描图像对应的聚焦参数，确定扫描电镜的目标聚焦参数。

可以理解的是，在当前扫描图像满足预设条件的情况下，可以基于该当前扫描图像中各个分区图像的评估参数，从每个分区对应的聚焦参数中确定出扫描电镜的目标聚焦参数。

举例来说，在当前扫描电镜的各个分区图像中，仅有一个分区图像的评估参数满足阈值的情况下，可以将该分区图像对应的分区的聚焦参数，确定为扫描电镜的目标聚焦参数。或者，在当前扫描电镜的各个分区图像中，有多个分区图像的评估参数满足阈值的情况下，可以将最大评估参数对应的分区图像的聚焦参数，确定为扫描电镜的目标聚焦参数。或者也可以将评估参数满足阈值的任意分区图像对应的聚焦参数，确定为扫描电镜的目标聚焦参数。

需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本申请实施例中确定扫描电镜的目标聚焦参数的方式等的限定。

可以理解的是，本申请实施例中，在当前扫描图像满足预设条件时，可以根据当前扫描图像对应的聚焦参数，确定扫描电镜的目标聚焦参数，之后再使用该扫描电镜采集图像时，可以将该扫描电镜的聚焦参数调整为目标聚焦参数，从而可使得每次采集得到的扫描图像均为对焦准确时的图像，从而节省了自动聚焦时间，提高了效率。

本申请实施例，可以先基于扫描电镜的显示模式，确定扫描电镜的显示范围内的分区参数，之后可以基于分区参数，确定显示范围内的每个分区对应的聚焦参数，并基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像，之后可以对当前扫描图像中的每个分区图像分别进行处理，以确定每个分区图像的评估参数，并根据每个分区图像的评估参数，判断当前扫描图像是否满足预设条件，在当前扫描图像不满足预设条件的情况下，基于当前扫描图像中每个分区图像的评估参数，对每个分区分别对应的聚焦参数进行更新，并返回执行基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像的步骤，直至当前扫描图像满足预设条件，之后再根据当前扫描图像对应的聚焦参数，确定扫描电镜的目标聚焦参数。由此，在确定扫描电镜的目标聚焦参数的过程中，可以将扫描电镜的显示范围划分为多个分区，之后基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像，也即在进行一次采集过程中，得到的扫描图像可以包含有不同聚焦参数的多个分区图像，之后在进行调整聚焦参数的过程中，可以同时对各个分区分别对应的聚焦参数进行调整，从而通过较少次数的图像拍摄即可得到目标聚焦参数，大大缩短了目标聚焦参数确定的时间，从而可以实现快速聚焦，进而提高了扫描电镜的对焦速度以及效率。

如图3所示，该扫描电镜的聚焦参数的确定方法，可以包括以下步骤：

步骤301，基于扫描电镜的显示模式，遍历预设的数据表，以确定分区参数。

其中，分区参数可以包括分区数量，或者也可以包括分区类型，或者还可以包括分区参数以及分区类型等等，本申请对此不做限定。

可以理解的是，分区数量可以为大于或等于2的任意整数，比如可以为2、3、4等等，本申请对此不做限定。

其中，预设的数据表中可以包含扫描电镜的显示模式与分区参数间的对应关系，也即可以包含各显示模式与分区数量、各显示模式与分区类型、以及各显示模式与分区数量及分区类型间的对应关系。从而本申请实施例中，可以基于扫描电镜的显示模式，在该预设的数据表中进行遍历，以确定出与该显示模式对应的分区数量和/或分区类型。

举例来说，预设的数据表中存储的数据可以为：1024*1024的显示模式对应的分区数量为10、分区类型为水平分区；512*512的显示模式对应的分区数量为6；256*256的显示模式对应的分区类型为竖直分区。若当前扫描电镜的显示模式为：512*512，那么基于该显示模式在预设的数据表中进行查找，可以确定出对应的分区数量为6。

需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本申请实施例中预设的数据表、扫描电镜的显示模式、以及分区数量和/或分区类型的确定方式。

步骤302，基于分区参数及预设的数据表，确定每个分区对应的聚焦参数。

其中，预设的数据表中可以存储有不同分区参数分别对应的聚焦参数。比如，预设的数据表中存储的数据可以为：分区数量为3时聚焦参数分别为0.4V、0.8V、1.2V；分区数量为9时，聚焦参数的调整间隔为0.1A、0.3A、0.5A、0.7A、0.9A、1.1A、1.3A、1.5A、1.7A；分区类型为水平分区时，聚焦参数分别为0.15A、0.3A、0.45A……等。若当前的分区参数为分区数量为3，那么在该预设的数据表中进行遍历查找，可以确定出对应的聚焦参数可以分别为0.4V、0.8V、1.2V。

需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本申请实施例中分区参、预设的数据表以及每个分区对应的聚焦参数等的限定。

可选的，也可以基于参考聚焦参数及分区数量，确定每个分区对应的聚焦参数。

其中，参考聚焦参数可以理解为扫描电镜的默认或通用聚焦参数，或者也可以为扫描电镜上次使用时的聚焦参数，或者也可以为通过对历次扫描图像进行统计分析后得到的聚焦参数等等，本申请对此不做限定。

可以理解的是，分区数量不同，扫描电镜的显示范围内的每个分区对应的聚焦参数可能相同，或者也可能不同。

举例来说，在参考聚焦参数为SEM的物镜电流为X的情况下，若当前确定出的分区数量为3个，那么三个分区对应的物镜电流可以分别为X、X+0.4、X+0.8；若当前确定出的分区数量为8个，那么上述8个分区对应的物镜电流可以分别为X、X+0.15、X+0.3、X+0.45、X+0.6、X+0.75、X+0.9、X+1.05。

需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本申请实施例中参考聚焦参数、分区数量、以及每个分区对应的聚焦参数等的限定。

步骤303，基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像。

步骤304，基于每个分区图像中的像素点，确定每个分区图像对应的目标像素点。

其中，分区图像中可以包含有多个像素点，由于干扰噪声等的存在，可能导致部分像素点准确性受到影响，从而，本申请实施例中，可以先确定出每个分区图像对应的目标像素点。其中，目标像素点的准确性较高，不会影响后续处理过程中的准确性。

可选的，可以基于每个分区图像中像素点的位置，确定每个分区图像对应的目标区域，之后可以将每个目标区域中的像素点分别确定为对应分区图像的目标像素点。

举例来说，在扫描电镜的显示模式为：512*512的情况下，若分区数量为3，每个分区的行数可以为：171、171、171，可以将每个分区中第10行至160行确定为对应的目标区域，之后可以将每个分区对应的目标区域中的像素点确定为该分区图像的目标像素点等等，本申请对此不做限定。

可选的，可以基于每个分区图像中像素点的位置，将每个分区图像划分为多个子区域，之后可以将多个子区域中的第一个子区域和/或最后一个子区域进行剔除，以得到每个分区图像对应的目标区域。

其中，第一个子区域可以包含该分区图像起始位置处的至少部分像素点，也即在对该分区图像进行采集时起始位置处的部分像素点、或者说位于该分区图像起始边界处的部分像素点等，最后一个子区域可以包含该分区图像末尾位置处的至少部分像素点，也即在结束对该分区图像采集时的末尾位置处的部分像素点、或者说位于该分区图像末尾边界处的部分像素点等。

可以理解的是，通常在对分区图像进行采集时起始位置处的部分像素点、以及在结束对分区图像采集时的末尾位置处的部分像素点，可能由于噪声等的干扰，准确性可能不够高，为了提高数据处理的准确性，可以对这些像素点进行剔除。

从而，在本申请实施例中，可以先基于分区图像中各个像素点的先后位置，将各个分区图像再划分为多个子区域，之后可以将第一子区域进行剔除，将各个分区图像中其余的各个子区域确定为对应分区图像的目标区域。或者，也可以将最后一个子区域进行剔除，将各个分区图像中其余的各个子区域确定为对应分区图像的目标区域。或者，还可以将第一个子区域及最后一个子区域均进行剔除，将各个分区图像中其余各个子区域确定为对应分区图像的目标区域等，本申请对此不做限定。

其中，将分区图像划分为多个子区域时，可以有多种方式，比如可以按照行数进行划分，或者也可以按照列数进行划分等等，比如可以将一行划分为一个子区域，或者也可以将多行划分为一个子区域；或者也可以将一列划分为一个子区域，或者也可以将多列划分为一个子区域；或者还可以将一行多列划分为一个子区域、将一列多行划分为一个子区域、将多行多列划分为一个子区域等等，本申请对此不做限定。

举例来说，可以将分区图像按照行划分为多个子区域，在分区图像包含170行、512列的情况下，可以每隔10行划分为一个子区域，共划分得到17个子区域，第一个子区域包含该分区图像起始位置处的部分像素点最后一个子区域包含该分区图像末尾位置处的部分像素点，从而为了降低噪声等的干扰、提高准确性，可以将第一个子区域以及最后一个子区域进行剔除，剩余15个子区域即为目标区域，也即可以将这15个子区域对应的第11至160行包含的像素点确定为目标像素点等等，本申请对此不做限定。

可选的，也可以将分区图像中特定区域的像素点，确定为该分区图像中目标像素点。比如，在需要对沟槽进行处理时，可以将分区图像中沟槽内的像素点确定为该分区图像的目标像素点等等，本申请对此不做限定。

步骤305，基于每个分区图像对应的目标像素点，确定每个分区图像的评估参数。

其中，在基于每个分区图像对应的目标像素点，确定每个分区图像的评估参数时，可以有多种方式。

可选的，可以基于每个分区图像分别对应的目标像素点的像素值，确定每个分区图像的评估参数。

其中，在评估参数为锐度的情况下，可以基于每个分区图像分别对应的目标像素点的位置坐标以及像素值，确定出该分区图像对应的锐度。

比如，可以通过如下公式计算锐度：

其中，f

另外，通常可以将n设置为1，也可以根据需要对n的数值进行调整，比如可以设置n>1，从而可在一定程度上对噪声产生滤波的作用。

可选的，也可以基于每个分区图像分别对应的目标像素点的频率幅值，确定每个分区图像的评估参数。

其中，在评估参数为频率值的情况下，可以基于每个分区图像分别对应的目标像素点的频率幅值，比如高频分量的幅值，确定出该分区图像对应的频率值。

比如，可以通过傅里叶算法确定出分区图像的频率值，其可以通过如下关系：

其中，f

可选的，也可以基于每个分区图像分别对应的目标像素点的像素值和频率值，确定每个分区图像的评估参数等等，本申请对此不做限定。

需要说明的是，可以采用任何可取的方式确定分区图像评估参数，如锐度、频率值、方差等等，本申请对此不做限定。

步骤306，根据每个分区图像的评估参数，判断当前扫描图像是否满足预设条件。

步骤307，在当前扫描图像不满足预设条件的情况下，基于当前扫描图像中每个分区图像的评估参数，对每个分区分别对应的聚焦参数进行更新，并返回执行基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像的步骤，直至当前扫描图像满足预设条件。

其中，在基于当前扫描图像中每个分区图像的评估参数，对每个分区分别对应的聚焦参数进行更新时，可以有多种更新方式。

可选的，可以基于每个分区图像的评估参数，确定每个分区对应的更新方向，之后再基于每个分区对应的更新方向，对每个分区分别对应的聚焦参数进行更新，之后再将每个分区更新后的聚焦参数作为当前的聚焦参数，返回执行基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像的步骤，直至当前扫描图像满足预设条件。

举例来说，在评估参数为锐度的情况下，若分区图像1的锐度较大、分区图像2的锐度较小，而分区图像1上一次的电流值更新是由0.6A增加至1A，分区图像2上一次的电流值更新是由0.6A减小至0.3A，那么可以确定分区图像1以及分区图像2的更新方向均为：增大当前的电流值。比如，分区图像1更新后的电流值可以为1.5A，分区图像2更新后的电流值可以为1.2A；或者，分区图像1更新后的电流值可以为1.5A，分区图像2更新后的电流值可以为2A等等，本申请对此不做限定。

可选的，也可以基于每个分区图像的评估参数，确定每个分区对应的更新步长，之后再基于每个分区对应的更新步长，对每个分区分别对应的聚焦参数进行更新，之后再将每个分区更新后的聚焦参数作为当前的聚焦参数，返回执行基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像的步骤，直至当前扫描图像满足预设条件。

举例来说，在评估参数为锐度的情况下，若分区图像3的锐度较大、分区图像4的锐度较小，而分区图像3上一次的电流值更新是由0.5A增加至1A，分区图像4上一次的电流值更新是由0.5A增加至0.6A，那么可以确定较大数值的更新步长优于较小步长的更新数值，可以继续增大更新步长，或者也可以保持当前的更新补偿。比如分区图像3以及分区图像4的更新步长可以均为：0.5A，那么此时分区图像3更新后的电流值可以为1.5A，分区图像4更新后的电流值可以为1.1A。或者，分区图像3以及分区图像4的更新步长也可以不同，比如可以分别为：0.6A、0.7A，那么此时分区图像3更新后的电流值可以为1.6A，分区图像4更新后的电流值可以为1.3A。等等，本申请对此不做限定。

可选的，还可以基于每个分区图像的评估参数，确定每个分区对应的更新方向和更新步长，之后再基于每个分区对应的更新方向和更新步长，对每个分区分别对应的聚焦参数进行更新，之后再将每个分区更新后的聚焦参数作为当前的聚焦参数，返回执行基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像的步骤，直至当前扫描图像满足预设条件。

举例来说，在评估参数为锐度的情况下，若分区图像5的锐度较大、分区图像6的锐度较小，而分区图像5上一次的电流值更新是由0.7A增加至1A，分区图像6上一次的电流值更新是由0.5A减小至0.3A，那么可以确定更新方向应为：增大电流值，更新补偿应不小于0.3A。那么此时分区图像5更新后的电流值可以为1.7A，分区图像6更新后的电流值可以为1.2A。或者，分区图像5更新后的电流值可以为1.3A，分区图像6更新后的电流值可以为2A。等等，本申请对此不做限定。

从而，本申请实施例中，可以通过方式对每个分区的聚焦参数进行更新，之后可以使用更新后的聚焦参数重新进行图像采集，并确定出各个分区图像的评估参数，以判断当前扫描图像是否满足预设条件，若不满足预设条件，那么可以对上述过程进行多次重复迭代，直至当前扫描图像满足预设条件。

步骤308，根据当前第K次分区采集得到的扫描图像对应的聚焦参数，确定扫描电镜的目标聚焦参数。

可以理解的是，当前扫描图像为满足预设条件的图像，其可以为第一次采集得到的扫描图像，或者也可以为多次采集后得到的扫描图像等等，本申请对此不做限定。

可选的，可以在K小于或等于2时，将当前扫描图像中评估参数满足阈值的分区图像对应的聚焦参数确定为目标聚焦参数。在K大于2且第K-2次采集得到的任一分区图像对应的评估参数小于第K-1次采集得到的任一分区图像对应的评估参数、且第K-1次采集得到的任一分区图像对应的评估参数大于第K次采集得到的任一分区图像对应的评估参数时，将第K-1次得到的扫描图像对应的聚焦参数确定为目标聚焦参数。

举例来说，在K为1时，也即当前扫描图像为第1次进行分区采集后得到的扫描图像，其满足预设条件，那么可以基于该扫描图像中各分区图像的评估参数，确定目标聚焦参数。

比如，在扫描图像中仅有一个分区图像的评估参数大于阈值，那么可以将该分区图像的聚焦参数确定为扫描电镜的目标聚焦参数。或者，在扫描电镜中存在多个分区图像的评估参数大于阈值的情况下，可以将最大评估参数的分区图像的聚焦参数确定为扫描电镜的目标聚焦参数；或者也可以将评估参数满足阈值的任意分区图像的聚焦参数，确定为扫描电镜的目标聚焦参数等等。本申请对此不做限定。

在K为2时，也即当前扫描图像为第2次进行分区采集后得到的扫描图像，其满足预设条件，那么可以基于该扫描图像中各分区图像的评估参数，确定目标聚焦参数，其具体说明此处不再赘述。

在K大于2为5的情况下，若第3次采集得到的任一分区图像3对应的评估参数小于第4次采集得到的任一分区图像3对应的评估参数、且第4次采集得到的任一分区图像对应的评估参数大于第5次采集得到的任一分区图像4对应的评估参数时，那么可以将第4次得到的扫描图像中该任一分区图像4的聚焦参数，确定为扫描电镜的目标聚焦参数。

需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本申请实施例中确定扫描电镜的目标聚焦参数的方式等的限定。

可选的，本申请实施例中，可以通过单波束基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像；或者也可以通过多波束进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像等等，本申请对此不做限定。

从而，本申请实施例中，可以采用多种方式确定出扫描电镜的目标聚焦参数，之后可以使用该目标聚焦参数进行扫描图像的采集，也即可以在对焦成功的情况下进行扫描图像的采集。由于将扫描电镜的显示范围划分为多个分区，在进行一次采集以得到扫描图像的过程中，得到的扫描图像可以包含有不同聚焦参数分别对应的分区图像，之后在进行调整聚焦参数的过程中，可以同时对各个分区分别对应的聚焦参数进行调整，从而通过较少次数的图像拍摄即可得到目标聚焦参数，减少了拍照次数，节省了确定目标聚焦参数的时间，从而可以快速聚焦，进而提高了扫描电镜的对焦速度以及工作效率。

可以理解的是，本申请提供的扫描电镜的聚焦参数的确定方法，可以仅进行较少数量的采集就可以获得目标聚焦参数，使得扫描电镜对焦成功，大大缩短了自动聚焦所需要的时间，提高了工作效率。

可选的，对一些特殊样品而言，比如半导体产线，在缩短自动聚焦的同时，也减少了高能电子束长时间照射样品表面产生的损害，保证了样品的质量。同时，由于自动聚焦缩短了高能电子束对样品的照射时间，若适当增大样品照射电流，可以获得更好的信噪比、更好的图像清晰度。另外，采用相同的照射电流，由于本申请所需时间较短，从而大大降低了对样品照射产生的损伤，比如在使用半导体关键尺寸量测设备(CDSEM)对一些光刻胶层线宽进行量测时，由于电子束对光刻胶的照射损伤较为敏感，在照射损伤较大时可能影响芯片的良率，从而通过本申请提供的扫描电镜的聚焦参数的确定方法，缩短了时间，从而尽量减少了照射损伤，提高了芯片良率。

本申请实施例，可以基于扫描电镜的显示模式，遍历预设的数据表，以确定分区参数，之后可以分区参数及预设的数据表，确定每个分区对应的聚焦参数，并基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像，之后再基于每个分区图像中的像素点，确定每个分区图像对应的目标像素点，并基于每个分区图像对应的目标像素点，确定每个分区图像的评估参数，之后再根据每个分区图像的评估参数，判断当前扫描图像是否满足预设条件，在当前扫描图像不满足预设条件的情况下，基于当前扫描图像中每个分区图像的评估参数，对每个分区分别对应的聚焦参数进行更新，并返回执行基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像的步骤，直至当前扫描图像满足预设条件，之后再根据当前第K次分区采集得到的扫描图像对应的聚焦参数，确定扫描电镜的目标聚焦参数。由此，在确定扫描电镜的目标聚焦参数的过程中，可以将扫描电镜的显示范围划分为多个分区，之后基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像，也即在进行一次采集过程中，得到的扫描图像可以包含有不同聚焦参数的多个分区图像，之后在进行调整聚焦参数的过程中，可以同时对各个分区分别对应的聚焦参数进行调整，从而通过较少次数的图像拍摄即可得到目标聚焦参数，大大缩短了目标聚焦参数确定的时间，从而可以快速聚焦，进而提高了扫描电镜的对焦速度以及效率。

根据本申请提供一种扫描电镜的聚焦参数的确定装置，如图4所示，该装置包括第一确定模块410、第二确定模块420、采集模块430、处理模块440、判断模块450、执行模块460和第三确定模块470。

其中，第一确定模块410用于基于扫描电镜的显示模式，确定所述扫描电镜的显示范围内的分区参数；第二确定模块420用于基于所述分区参数，确定所述显示范围内的每个分区对应的聚焦参数；采集模块430用于基于每个所述分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像；处理模块440用于对当前所述扫描图像中的每个所述分区图像分别进行处理，以确定每个所述分区图像的评估参数；判断模块450用于根据每个所述分区图像的评估参数，判断当前所述扫描图像是否满足预设条件；执行模块460用于在当前所述扫描图像不满足预设条件的情况下，基于当前所述扫描图像中每个所述分区图像的评估参数，对每个所述分区分别对应的聚焦参数进行更新，并返回执行基于每个所述分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像的步骤，直至当前所述扫描图像满足预设条件；第三确定模块470用于根据当前所述扫描图像对应的聚焦参数，确定所述扫描电镜的目标聚焦参数。

在一些实施方式中，所述第一确定模块410具体用于：基于所述扫描电镜的显示模式，遍历预设的数据表，以确定分区数量和/或分区类型，其中，所述分区数量为大于或等于2的任意整数。

在一些实施方式中，所述第二确定模块420具体用于：基于参考聚焦参数及所述分区数量，确定每个所述分区对应的聚焦参数；或者，基于所述分区参数及预设的数据表，确定每个所述分区对应的聚焦参数。

在一些实施方式中，所述处理模块440包括：第一确定单元，用于基于每个所述分区图像中的像素点，确定每个所述分区图像对应的目标像素点；第二确定单元，用于基于每个所述分区图像对应的目标像素点，确定每个所述分区图像的评估参数。

在一些实施方式中，所述第一确定单元，包括：第一确定子单元，用于基于每个所述分区图像中像素点的位置，确定每个所述分区图像对应的目标区域；第二确定子单元，用于将每个所述目标区域中的像素点分别确定为对应分区图像的目标像素点。

在一些实施方式中，所述第二确定子单元具体用于：基于每个所述分区图像中像素点的位置，将每个所述分区图像划分为多个子区域；将多个所述子区域中的第一个子区域和/或最后一个子区域进行剔除，以得到每个所述分区图像对应的目标区域，其中，所述第一个子区域包含所述分区图像起始位置处的至少部分像素点，所述最后一个子区域包含所述分区图像末尾位置处的至少部分像素点。

在一些实施方式中，所述第二确定子单元具体用于：基于每个所述分区图像分别对应的目标像素点的像素值和/或频率幅值，确定每个所述分区图像的评估参数。

在一些实施方式中，所述判断模块450具体用于：在当前所述扫描图像中的每个分区图像的评估参数均不满足阈值的情况下，确定当前所述扫描图像不满足预设条件；在当前所述扫描图像中的任一分区图像的评估参数满足阈值的情况下，确定当前所述扫描图像满足预设条件。

在一些实施方式中，所述执行模块460具体用于：基于每个所述分区图像的评估参数，确定每个所述分区对应的更新方向和/或更新步长；基于每个所述分区对应的更新方向和/或更新步长，对每个所述分区分别对应的聚焦参数进行更新；返回执行基于每个所述分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像的步骤，直至当前所述扫描图像满足预设条件。

在一些实施方式中，在第K次图像采集之后，所述第三确定模块470具体用于，包括：在K小于或等于2时，将当前所述扫描图像中评估参数满足阈值的分区图像对应的聚焦参数确定为目标聚焦参数；在K大于2且第K-2次采集得到的任一分区图像对应的评估参数小于第K-1次采集得到的所述任一分区图像对应的评估参数、且第K-1次采集得到的所述任一分区图像对应的评估参数大于第K次采集得到的所述任一分区图像对应的评估参数时，将所述第K-1次得到的所述任一分区图像对应的聚焦参数确定为目标聚焦参数。

本申请提供的扫描电镜的聚焦参数的确定装置，可以先基于扫描电镜的显示模式，确定扫描电镜的显示范围内的分区参数，之后可以基于分区参数，确定显示范围内的每个分区对应的聚焦参数，并基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像，之后可以对当前扫描图像中的每个分区图像分别进行处理，以确定每个分区图像的评估参数，并根据每个分区图像的评估参数，判断当前扫描图像是否满足预设条件，在当前扫描图像不满足预设条件的情况下，基于当前扫描图像中每个分区图像的评估参数，对每个分区分别对应的聚焦参数进行更新，并返回执行基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像的步骤，直至当前扫描图像满足预设条件，之后再根据当前扫描图像对应的聚焦参数，确定扫描电镜的目标聚焦参数。由此，在确定扫描电镜的目标聚焦参数的过程中，可以将扫描电镜的显示范围划分为多个分区，之后基于每个分区对应的聚焦参数进行图像采集，以得到包含多个分区图像的扫描图像，也即在进行一次采集过程中，得到的扫描图像可以包含有不同聚焦参数的多个分区图像，之后在进行调整聚焦参数的过程中，可以同时对各个分区分别对应的聚焦参数进行调整，从而通过较少次数的图像拍摄即可得到目标聚焦参数，大大缩短了目标聚焦参数确定的时间，从而可以实现快速聚焦，进而提高了扫描电镜的对焦速度以及效率。

应理解，本文中前述关于本申请的方法所描述的具体特征、操作和细节也可类似地应用于本申请的装置和系统，或者，反之亦然。另外，上文描述的本申请的方法的每个步骤可由本申请的装置或系统的相应部件或单元执行。

应理解，本申请的装置的各个模块/单元可全部或部分地通过软件、硬件、固件或其组合来实现。各模块/单元各自可以硬件或固件形式内嵌于电子设备的处理器中或独立于处理器，也可以软件形式存储于电子设备的存储器中以供处理器调用来执行各模块/单元的操作。各模块/单元各自可以实现为独立的部件或模块，或者两个或更多个模块/单元可实现为单个部件或模块。

如图5所示，本申请提供了一种电子设备500，电子设备包括处理器501以及存储有计算机程序指令的存储器502。其中，处理器501执行计算机程序指令时实现上述的扫描电镜的聚焦参数的确定方法的各步骤。该电子设备500可以广义地为服务器、终端，或任何其他具有必要的计算和/或处理能力的电子设备。

在一个实施例中，该电子设备500可包括通过系统总线连接的处理器、存储器、网络接口、通信接口等。该电子设备500的处理器可用于提供必要的计算、处理和/或控制能力。该电子设备500的存储器可包括非易失性存储介质和内存储器。该非易失性存储介质可存储有操作系统、计算机程序等。该内存储器可为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该电子设备500的网络接口和通信接口可用于与外部的设备通过网络连接和通信。该计算机程序被处理器执行时执行本申请的方法的步骤。

本申请提供了一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质上存储有计算机程序指令，计算机程序指令被处理器执行时实现上述的扫描电镜的聚焦参数的确定方法。

本领域的技术人员可以理解，本申请的方法步骤可以通过计算机程序来指示相关的硬件如电子设备500或处理器完成，计算机程序可存储于非暂时性计算机可读存储介质中，该计算机程序被执行时导致本申请的步骤被执行。根据情况，本文中对存储器、存储或其它介质的任何引用可包括非易失性或易失性存储器。非易失性存储器的示例包括只读存储器(ROM)、可编程ROM(PROM)、电可编程ROM(EPROM)、电可擦除可编程ROM(EEPROM)、闪存、磁带、软盘、磁光数据存储装置、光学数据存储装置、硬盘、固态盘等。易失性存储器的示例包括随机存取存储器(RAM)、外部高速缓冲存储器等。

以上描述的各技术特征可以任意地组合。尽管未对这些技术特征的所有可能组合进行描述，但这些技术特征的任何组合都应当被认为由本说明书涵盖，只要这样的组合不存在矛盾。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。