一种管道防堵疏通装置及方法

技术领域

本发明涉及半导体尾气处理技术领域，具体为一种管道防堵疏通装置及方法。

背景技术

半导体，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常大的，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等。

在对半导体进行制程加工时，工业尾气中含有大量污染性气体以及固体颗粒物，排气管中的粉尘等颗粒物受重力影响下落依附在管道上，如果不进行定期清理，将会造成除尘管道的堵塞。

传统半导体加工设备直接将尾气排向大气中，目前国家重点要求企业进行环保生产，所以会在排气管中加装滤板对尾气中的颗粒物进行拦截，但是随着排气时间增加，颗粒物撞击滤板会造成其磨损，传统装置不方便对其进行更换，并且单一的滤板结构使得防堵疏通效果不尽理想；鉴于此，我们提出了一种管道防堵疏通装置及方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种管道防堵疏通装置及方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种管道防堵疏通装置，包括机台，所述机台左侧顶部弧形内壁固定连接半导体反应炉底端弧形外壁，所述半导体反应炉底部固定安装有出料口，所述半导体反应炉顶端左侧弧形侧壁固定安装有进料口，所述出料口和进料口弧形侧壁均固定安装有电磁阀，所述半导体反应炉顶部固定安装有炉盖，所述半导体反应炉顶端右侧弧形侧壁固定连接排气管一端侧壁，所述机台顶部设置有拦截机构和转动机构，所述拦截机构包括：

处理装置本体，所述排气管远离半导体反应炉的一端圆形内壁通过法兰盘固定连接处理装置本体左右两端圆形侧壁，所述处理装置本体弧形侧壁固定安装有固定盒，所述固定盒顶部开设有卡槽，所述卡槽内壁滑动贴合卡块侧壁；

斜面柱，所述固定盒顶端右侧开孔内部滑动安装有斜面柱，所述斜面柱右侧侧壁固定连接双耳圆块左侧中心侧壁，所述斜面柱外侧套接有贴紧弹簧，所述贴紧弹簧左侧一端固定连接固定盒右侧侧壁，所述贴紧弹簧右侧一端固定连接双耳圆块左侧侧壁，所述双耳圆块底端左侧侧壁固定连接细杆右侧一端，所述细杆左侧一端弧形外壁滑动贴合固定盒右侧侧壁内部；

连杆，所述卡块底部固定连接连杆顶部，所述连杆底部固定连接滤板顶部弧形侧壁，所述滤板外径与处理装置本体内径相适配，所述卡块顶部固定安装有拉环。

优选的，所述卡槽底部的处理装置本体弧形侧壁开设有与滤板厚度相同的槽，以使得滤板在顺利上下运动的同时，可以将处理装置本体弧形侧壁进行初步封堵。

优选的，所述卡槽前后侧方向上的前后两端不贯穿固定盒，且中部贯穿固定盒并与处理装置本体内部连通，所述卡块左右方向侧壁开设有与斜面柱外径相适配的通孔。

优选的，所述斜面柱、双耳圆块、贴紧弹簧以及细杆设置有两组，且以固定盒左右方向上的水平中线为对称轴对称设置在其前后两端，以使得滤板固定的更加牢固。

优选的，所述转动机构包括固定杆，所述处理装置本体底端弧形内壁固定连接固定杆底部，所述固定杆位于滤板的左侧，所述固定杆顶端圆形侧壁截面圆心与处理装置本体圆形侧壁截面圆心同轴心。

优选的，所述固定杆顶端弧形内壁转动连接转轴弧形外壁，所述处理装置本体后侧弧形内壁固定安装有斜板，所述转轴左端弧形外壁固定连接涡轮中心弧形内壁，所述斜板位于涡轮左侧，且所述斜板前侧侧壁与转轴竖直中线位于同一竖直平面内，以使得斜板可以将涡轮后侧一半进行遮挡。

优选的，所述转轴右侧弧形外壁固定安装有长条块，所述长条块右侧侧壁固定连接刷毛一端，所述刷毛远离长条块的一端滑动贴合滤板左侧侧壁，所述长条块和刷毛设置有四组，且以转轴圆形截面圆心为阵列中心等间距圆周阵列在其右端外侧，以使得清洁效果更好。

优选的，所述处理装置本体底端设置有收集组件，所述处理装置本体底端弧形侧壁固定安装有螺纹套，所述螺纹套位于固定盒的正下方，所述螺纹套内部螺纹连接收集罐顶端，所述收集罐顶部通过卡扣卡接锥形罩顶部，所述锥形罩底部圆形截面面积小于其顶部圆形截面面积，防止废气倒灌进入收集罐内部，将颗粒物重新带出。

优选的，所述机台顶部设置有辅助组件，所述机台顶部固定连接龙门架底部，所述龙门架顶部固定安装有风机，所述风机输出端固定连接细管一端，所述细管远离风机的一端贯穿排气管底端弧形侧壁，且出气口面向处理装置本体的方向，从而可以增强废气的流速，更好地带动涡轮进行转动。

一种管道防堵疏通装置及方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：

S1、当启动半导体反应炉，生产过程中产生的废气通过排气管向处理装置本体的方向输送；

S2、当启动风机，配合细管和排气管向处理装置本体的方向输送空气，使得废气流速进一步加强；

S3、当废气通过滤板时，内部的颗粒物会被其拦截，配合固定盒、卡槽、卡块、斜面柱、双耳圆块、贴紧弹簧、细杆、连杆以及拉环，可以方便地取放滤板，从而方便对滤板进行更换；

S4、当颗粒物被滤板拦截后，会受其自身重力影响，经过锥形罩落入收集罐内，锥形罩可以通过卡扣进行取放，且起到防止废气倒灌进入收集罐内部，将颗粒物重新带出的效果；

S5、当废气经过转动机构时，配合固定杆、斜板和涡轮，使得转轴进行转动；

S6、当转轴转动时，从而配合长条块带动多组刷毛在滤板侧壁进行刮动，达到更好的清理颗粒物的效果。

与现有技术相比，本发明提供了一种管道防堵疏通装置及方法，具备以下有益效果：

1、该管道防堵疏通装置及方法，为了更好地在防堵疏通的同时方便对滤板进行更换，通过设置有拦截机构，当废气通过滤板时，内部的颗粒物会被其拦截，从而配合收集组件起到了防堵疏通的效果，进一步地，配合固定盒、卡槽、卡块、斜面柱、双耳圆块、贴紧弹簧、细杆、连杆以及拉环，可以方便地取放滤板，从而方便对滤板进行更换。

2、该管道防堵疏通装置及方法，为了使得防堵疏通效果更好，通过设置有转动机构，当废气经过转动机构时，配合固定杆、斜板和涡轮，使得转轴进行转动，当转轴转动时，从而配合长条块带动多组刷毛在滤板侧壁进行刮动，达到更好地清理颗粒物的效果，使得滤孔保持通畅，从而使得防堵疏通效果更好。

3、该管道防堵疏通装置及方法，为了更好地收集颗粒物，通过设置有收集组件，当颗粒物被滤板拦截后，会受其自身重力影响，经过锥形罩落入收集罐内，从而达到收集颗粒物的效果，进一步地，锥形罩可以通过卡扣进行取放，且起到防止废气倒灌进入收集罐内部，将颗粒物重新带出的效果。

4、该管道防堵疏通装置及方法，为了使得转动机构的效果更好，通过设置有辅助组件，配合半导体反应炉，生产过程中产生的废气通过排气管向处理装置本体的方向输送，配合风、细管和排气管向处理装置本体的方向输送空气，使得废气流速进一步加强，从而更好地带动涡轮转动。

附图说明

图1为本发明整体一种结构左视俯视示意图；

图2为本发明整体一种结构右视俯视示意图；

图3为本发明拦截机构爆炸图右视俯视示意图；

图4为本发明图3中A区域放大结构示意图；

图5为本发明处理装置本体左视剖视示意图；

图6为本发明图5中B区域放大结构示意图；

图7为本发明图3中C区域放大结构示意图；

图8为本发明排气管右视剖视示意图。

图中：1、机台；2、半导体反应炉；3、出料口；4、进料口；5、电磁阀；6、炉盖；7、排气管；8、拦截机构；81、处理装置本体；82、法兰盘；83、固定盒；84、卡槽；85、卡块；86、斜面柱；87、双耳圆块；88、贴紧弹簧；89、细杆；810、连杆；811、滤板；812、拉环；9、转动机构；91、固定杆；92、转轴；93、斜板；94、涡轮；95、长条块；96、刷毛；10、收集组件；101、螺纹套；102、收集罐；103、卡扣；104、锥形罩；11、辅助组件；111、龙门架；112、风机；113、细管。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-8，本发明提供一种技术方案：一种管道防堵疏通装置，包括机台1，机台1左侧顶部弧形内壁固定连接半导体反应炉2底端弧形外壁，半导体反应炉2底部固定安装有出料口3，半导体反应炉2顶端左侧弧形侧壁固定安装有进料口4，出料口3和进料口4弧形侧壁均固定安装有电磁阀5，配合电磁阀5可以实现自动上下料，半导体反应炉2顶部固定安装有炉盖6，半导体反应炉2顶端右侧弧形侧壁固定连接排气管7一端侧壁，机台1顶部设置有拦截机构8和转动机构9。

请参阅图2-5，在本发明的一种实施例中，拦截机构8包括处理装置本体81，排气管7远离半导体反应炉2的一端圆形内壁通过法兰盘82固定连接处理装置本体81左右两端圆形侧壁，处理装置本体81弧形侧壁固定安装有固定盒83，固定盒83顶部开设有卡槽84，卡槽84内壁滑动贴合卡块85侧壁，固定盒83顶端右侧开孔内部滑动安装有斜面柱86，斜面柱86右侧侧壁固定连接双耳圆块87左侧中心侧壁，斜面柱86外侧套接有贴紧弹簧88，贴紧弹簧88左侧一端固定连接固定盒83右侧侧壁，贴紧弹簧88右侧一端固定连接双耳圆块87左侧侧壁，双耳圆块87底端左侧侧壁固定连接细杆89右侧一端，细杆89左侧一端弧形外壁滑动贴合固定盒83右侧侧壁内部，细杆89起到限制斜面柱86运动方向的目的，使其斜面一侧侧壁始终朝向固定盒83顶部，卡块85底部固定连接连杆810顶部，连杆810底部固定连接滤板811顶部弧形侧壁，滤板811外径与处理装置本体81内径相适配，卡块85顶部固定安装有拉环812，卡槽84底部的处理装置本体81弧形侧壁开设有与滤板811厚度相同的槽，以使得滤板811在顺利上下运动的同时，可以将处理装置本体81弧形侧壁进行初步封堵，卡槽84前后侧方向上的前后两端不贯穿固定盒83，且中部贯穿固定盒83并与处理装置本体81内部连通，卡块85左右方向侧壁开设有与斜面柱86外径相适配的通孔，斜面柱86、双耳圆块87、贴紧弹簧88以及细杆89设置有两组，且以固定盒83左右方向上的水平中线为对称轴对称设置在其前后两端，以使得滤板811固定的更加牢固，值得注意的是，当卡块85顶部与固定盒83顶部平齐时，滤板811刚好与处理装置本体81同轴心。

请参阅图5和图6，在本发明的一种实施例中，转动机构9包括固定杆91，处理装置本体81底端弧形内壁固定连接固定杆91底部，固定杆91位于滤板811的左侧，固定杆91顶端圆形侧壁截面圆心与处理装置本体81圆形侧壁截面圆心同轴心，固定杆91顶端弧形内壁转动连接转轴92弧形外壁，处理装置本体81后侧弧形内壁固定安装有斜板93，转轴92左端弧形外壁固定连接涡轮94中心弧形内壁，斜板93位于涡轮94左侧，且斜板93前侧侧壁与转轴92竖直中线位于同一竖直平面内，以使得斜板93可以将涡轮94后侧一半进行遮挡，转轴92右侧弧形外壁固定安装有长条块95，长条块95右侧侧壁固定连接刷毛96一端，刷毛96远离长条块95的一端滑动贴合滤板811左侧侧壁，长条块95和刷毛96设置有四组，且以转轴92圆形截面圆心为阵列中心等间距圆周阵列在其右端外侧，以使得清洁效果更好。

请参阅图3和图7，在本发明的一种实施例中，处理装置本体81底端设置有收集组件10，处理装置本体81底端弧形侧壁固定安装有螺纹套101，螺纹套101位于固定盒83的正下方，螺纹套101内部螺纹连接收集罐102顶端，收集罐102顶部通过卡扣103卡接锥形罩104顶部，锥形罩104底部圆形截面面积小于其顶部圆形截面面积，防止废气倒灌进入收集罐102内部，将颗粒物重新带出。

请参阅图2和图8，在本发明的一种实施例中，机台1顶部设置有辅助组件11，机台1顶部固定连接龙门架111底部，龙门架111顶部固定安装有风机112，风机112输出端固定连接细管113一端，细管113远离风机112的一端贯穿排气管7底端弧形侧壁，且出气口面向处理装置本体81的方向，从而可以增强废气的流速，更好地带动涡轮94进行转动。

一种管道防堵疏通装置及方法，该方法包括以下步骤：

S1、当启动半导体反应炉2，生产过程中产生的废气通过排气管7向处理装置本体81的方向输送；

S2、当启动风机112，配合细管113和排气管7向处理装置本体81的方向输送空气，使得废气流速进一步加强，从而更好地带动涡轮94转动；

S3、当废气通过滤板811时，内部的颗粒物会被其拦截，从而落入收集罐102内，当要安装滤板811时，将卡块85放入固定盒83内的卡槽84内部时，卡块85前后两端底部会接触斜面柱86的斜面一侧侧壁，从而对其施加一个向外侧的力，配合贴紧弹簧88的拉伸形变，使得斜面柱86向外侧远动，从而配合双耳圆块87带动细杆89向外侧移动，从而配合连杆810以及拉环812，可以方便地取放滤板811，从而方便对滤板811进行更换；

S4、当颗粒物被滤板811拦截后，会受其自身重力影响，经过锥形罩104落入收集罐102内，锥形罩104可以通过卡扣103进行取放，且起到防止废气倒灌进入收集罐102内部，将颗粒物重新带出的效果；

S5、当废气经过转动机构9时，由于斜板93将涡轮94后侧一侧遮挡住了，而根据(在迎面来流中，在物体两侧如果形成流速差，则流速较快的一侧静压较低，于是产生了马格努斯升力，则气流会带动该物体进行旋转)，所以使得转轴92在固定杆91顶端内部进行转动；

S6、当转轴92转动时，从而配合长条块95带动多组刷毛96在滤板811侧壁进行刮动，达到更好地清理颗粒物的效果。

上文一般性地对本发明做了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之做一些修改或改进，这对于技术领域的一般技术人员是显而易见的。因此，在不脱离本发明思想精神的修改或改进，均在本发明的保护范围之内。