一种晶圆光刻显影用装夹器

技术领域

本发明属于晶圆光刻显影领域，更具体地说，尤其是涉及到一种晶圆光刻显影用装夹器。

背景技术

光刻技术广泛应用于微加工领域，在晶圆的制作过程中，需要将其涂胶显影，在光刻显影的过程中利用夹具将其包裹于外延位置固定，再将显影液均匀的喷涂于晶圆表面，从而达到显影效果。

基于上述本发明人发现，现有的主要存在以下几点不足，比如：当对晶圆进行显影喷涂时，由于利用与晶圆外轮廓相匹配的夹具包裹于外延位置将其固定，以至于喷涂到夹具与晶圆的固定端面时容易将显影液直接喷射于夹具表面，而其夹持覆盖处难以被喷涂完全，导致其内外表面喷涂不够均匀，影响整体的喷涂效果。

因此需要提出一种晶圆光刻显影用装夹器。

发明内容

为了解决上述技术的问题。

本发明一种晶圆光刻显影用装夹器的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：其结构包括外延板、固定装置、支撑腿，所述支撑腿焊接连接于外延板下端，所述固定装置活动卡合于外延板内侧；所述固定装置由夹持组件、开放槽、夹板、推出层组成，所述夹持组件活动卡合于开放槽内侧底端，所述夹板铆合连接于开放槽外侧，所述推出层嵌固连接于开放槽下端。

其中，所述夹持组件由卡合机构、侧板、支撑板组成，所述卡合机构贴合安装于支撑板上方，所述侧板与支撑板为一体化结构，所述支撑板安装于卡合机构下端，且中部为中空状。

其中，所述卡合机构由外环、吸附层、贴合板、固定柱组成，所述吸附层位于外环内侧，所述贴合板嵌固连接于固定柱内侧，所述固定柱铆合连接于外环内侧，所述贴合板设有八个呈环形安装于固定柱内侧，且具有一定的韧性。

其中，所述贴合板由折叠板、卡合垫、活动钮、弹簧组成，所述折叠板活动卡合于活动钮外侧，所述卡合垫铆合连接于折叠板右侧，所述弹簧位于活动钮左侧，所述折叠板为条状呈对称分布于活动钮外侧，且为硬性材质。

其中，所述卡合垫由衔接层、橡胶垫、空气层组成，所述衔接层与空气层为一体化结构，所述橡胶垫嵌固连接于衔接层右侧，所述衔接层为环形与橡胶垫相连接，同时具有一定的弹性，可弯曲且不易变形。

其中，所述吸附层由顶块、按压板、控制板、粘附板组成，所述顶块固定安装于控制板下端左右两侧，所述控制板嵌固连接于按压板内侧中部，所述粘附板贴合连接于按压板上端左右两侧，所述按压板呈环形，左右两端为橡胶材质，在挤压时可弯曲。

其中，所述粘附板由镶嵌层、弹性层、相接板组成，所述弹性层铆合连接于镶嵌层上端，所述镶嵌层与相接板为一体化结构，所述弹性层呈坡状向右侧倾斜，且表面包裹有橡胶垫。

其中，所述弹性层由橡胶条、吸附块、内层组成，所述橡胶条与内层为一体化结构，所述吸附块嵌固连接于橡胶条之间，所述吸附块下端包裹安装于内层内侧，具有一定的吸附力。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

1.利用与晶圆的外轮廓相匹配呈环绕分布于外环内侧的贴合板，当晶圆放入时会触碰到贴合板内的卡合垫表面将其向下挤压，在挤压的过程中橡胶垫会弯曲，而内侧的空气层收缩，同时会带动折叠板在活动钮的限定下转动，使得安装于活动钮上端的弹簧呈直角状，竖直固定在晶圆的边缘的位置，而未将其边缘包裹，有利于在固定的同时避免喷涂不到。

2.在晶圆固定安放时会挤压到按压板左右两端促使其向左右两侧展开延伸，而在延伸时顶块会控制上端的控制板向上顶出，从而促使粘附板接触到晶圆底端表面，而在晶圆安放时不断向下挤压，其镶嵌层上端的弹性层表面会弯曲，随后弹性层内的吸附块配合橡胶条吸附在晶圆的底端增加吸附力。

附图说明

图1为本发明一种晶圆光刻显影用装夹器的结构示意图。

图2为本发明一种晶圆光刻显影用装夹器固定装置的结构示意图。

图3为本发明一种晶圆光刻显影用装夹器夹持组件的结构示意图。

图4为本发明一种晶圆光刻显影用装夹器卡合机构的结构示意图。

图5为本发明一种晶圆光刻显影用装夹器贴合板的结构示意图。

图6为本发明一种晶圆光刻显影用装夹器卡合垫的结构示意图。

图7为本发明一种晶圆光刻显影用装夹器吸附层的结构示意图。

图8为本发明一种晶圆光刻显影用装夹器粘附板的结构示意图。

图9为本发明一种晶圆光刻显影用装夹器弹性层的结构示意图。

图中：外延板-1、固定装置-2、支撑腿-3、夹持组件-21、开放槽-22、夹板-23、推出层-24、卡合机构-211、侧板-212、支撑板-213、外环-111、吸附层-112、贴合板-113、固定柱-114、折叠板-131、卡合垫-132、活动钮-133、弹簧-134、衔接层-321、橡胶垫-322、空气层-323、顶块-121、按压板-122、控制板-123、粘附板-124、镶嵌层-241、弹性层-242、相接板-243、橡胶条-421、吸附块-422、内层-423。

具体实施方式

以下结合附图对本发明做进一步描述：

实施例1：

如附图1至附图6所示：

本发明提供一种晶圆光刻显影用装夹器，其结构包括外延板1、固定装置2、支撑腿3，所述支撑腿3焊接连接于外延板1下端，所述固定装置2活动卡合于外延板1内侧；所述固定装置2由夹持组件21、开放槽22、夹板23、推出层24组成，所述夹持组件21活动卡合于开放槽22内侧底端，所述夹板23铆合连接于开放槽22外侧，所述推出层24嵌固连接于开放槽22下端。

其中，所述夹持组件21由卡合机构211、侧板212、支撑板213组成，所述卡合机构211贴合安装于支撑板213上方，所述侧板212与支撑板213为一体化结构，所述支撑板213安装于卡合机构211下端，且中部为中空状，用于在喷涂完成后将晶圆从夹持处取出，避免卡合于卡合机构211内侧难以取出。

其中，所述卡合机构211由外环111、吸附层112、贴合板113、固定柱114组成，所述吸附层112位于外环111内侧，所述贴合板113嵌固连接于固定柱114内侧，所述固定柱114铆合连接于外环111内侧，所述贴合板113设有八个呈环形安装于固定柱114内侧，且具有一定的韧性，用于在晶圆放置时挤压其贴合板113表面促使其卡合于中部位置。

其中，所述贴合板113由折叠板131、卡合垫132、活动钮133、弹簧134组成，所述折叠板131活动卡合于活动钮133外侧，所述卡合垫132铆合连接于折叠板131右侧，所述弹簧134位于活动钮133左侧，所述折叠板131为条状呈对称分布于活动钮133外侧，且为硬性材质，当晶圆放置时会接触到卡合垫132并向下挤压控制折叠板131在活动钮133上进行移动旋转，从而将晶圆固定于中部。

其中，所述卡合垫132由衔接层321、橡胶垫322、空气层323组成，所述衔接层321与空气层323为一体化结构，所述橡胶垫322嵌固连接于衔接层321右侧，所述衔接层321为环形与橡胶垫322相连接，同时具有一定的弹性，可弯曲且不易变形，进而有利于在接触橡胶垫322表面时将其向内挤压，控制衔接层321内侧弯曲，从而将晶圆卡于橡胶垫322中部位置。

本实施例的具体使用方式与作用：

本发明当对晶圆进行显影喷涂时，其外延板1固定于固定装置2外侧，在喷涂时将晶圆顺着固定装置2内的开放槽22向下放置，促使其水平放入夹持组件21内的支撑板213上端卡合机构211内侧，而在卡合机构211内侧设有贴合板113利用固定柱114进行支撑，与晶圆的外轮廓相匹配呈环绕分布于外环111内侧，当晶圆放入时会触碰到贴合板113内的卡合垫132表面将其向下挤压，在挤压的过程中橡胶垫322会弯曲，而内侧的空气层323收缩，同时会带动折叠板131在活动钮133的限定下转动，使得安装于活动钮133上端的弹簧134呈直角状，竖直固定在晶圆的边缘的位置，而未将其边缘包裹，有利于在固定的同时避免喷涂不到，最后喷涂完成后从推出层24的底部向上顶促使其脱离夹持组件21处方便取出。

实施例2：

如附图7至附图9所示：所述卡合机构211由外环111、吸附层112、贴合板113、固定柱114组成，所述吸附层112位于外环111内侧，所述贴合板113嵌固连接于固定柱114内侧，所述固定柱114铆合连接于外环111内侧，所述贴合板113设有八个呈环形安装于固定柱114内侧，且具有一定的韧性，用于在晶圆放置时挤压其贴合板113表面促使其卡合于中部位置。

其中，所述吸附层112由顶块121、按压板122、控制板123、粘附板124组成，所述顶块121固定安装于控制板123下端左右两侧，所述控制板123嵌固连接于按压板122内侧中部，所述粘附板124贴合连接于按压板122上端左右两侧，所述按压板122呈环形，左右两端为橡胶材质，在挤压时可弯曲，当固定时会挤压按压板122左右两端促使其向两侧展开，便于中部的粘附板124顶出贴合于晶圆表面。

其中，所述粘附板124由镶嵌层241、弹性层242、相接板243组成，所述弹性层242铆合连接于镶嵌层241上端，所述镶嵌层241与相接板243为一体化结构，所述弹性层242呈坡状向右侧倾斜，且表面包裹有橡胶垫，用于使用时挤压促使其固定贴合于晶圆的底端，增加牢固效果。

其中，所述弹性层242由橡胶条421、吸附块422、内层423组成，所述橡胶条421与内层423为一体化结构，所述吸附块422嵌固连接于橡胶条421之间，所述吸附块422下端包裹安装于内层423内侧，具有一定的吸附力，用于在对晶圆固定时利用吸附块422吸附在底端，增加夹持的稳定性，避免在喷涂时脱落。

本实施例的具体使用方式与作用：

本发明利用贴合板113固定于晶圆的外侧表面时，其中部设有的吸附层112，在固定安放时会挤压到按压板122左右两端促使其向左右两侧展开延伸，而在延伸时顶块121会控制上端的控制板123向上顶出，从而促使粘附板124接触到晶圆底端表面，而在晶圆安放时不断向下挤压，其镶嵌层241上端的弹性层242表面会弯曲，随后弹性层242内的吸附块422配合橡胶条421吸附在晶圆的底端增加吸附力，避免贴合板113的夹持力不够，在喷涂的过程中脱落掉出。

利用本发明所述技术方案，或本领域的技术人员在本发明技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本发明的保护范围。