一种应用于不同产品的供料方法

技术领域

本发明涉及供料方法技术领域，尤其涉及一种应用于不同产品的供料方法。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。

由于晶元体积过小，现有的上料机构没有能够配合使用的，因此现有的晶元在进行加工时，均是通过人工进行进行拿取上料的，并且现有自动化设备中，各种不同的自动供料装置均是有局限性的，没有一种供料装置是能够配合所有产品零件进行供料的，因此为了解决以上问题设计出一种应用于不同产品的供料方法。

发明内容

本发明的目的是，提供一种应用于不同产品的供料方法，以克服目前现有技术存在的上述不足。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种应用于不同产品的供料方法，其包括供料模组、顶料模组、扫料模组以及出料模组；

供料模组，用来放置零件，并作为储料单元存放零件；

顶料模组，通过动力源进行驱动，配合供料模组进行使用，顶料模组被驱动将供料模组内的产品顶出；

扫料模组，通过动力源进行驱动，将顶料模组上多余的产品扫除，扫除的零件会重新掉落到供料模组内；

出料模组，通过动力源进行驱动，将顶料模组上的产品顺着料槽顶出；

其供料方法包括一下步骤：

S1，通过动力源进行驱动，驱动顶料模组进行移动，将供料模组内的产品顶出；

S2，再通过动力源驱动扫料模组，扫料模组将顶料模组上多余的零件扫除，并掉落回供料模组中，剩下的为扫除的则置于顶料模组的料槽中；

S3,再通过动力源驱动出料模组，出料模组将顶料模组料槽中的零件顶出，零件顺着料槽移动，从供料模组的出料槽出料。

优选的，所述出料槽能够用来限制零件的出料位置，只有符合出料槽的零件才能够被出料模组顺利推出。

优选的，所述顶料模组上开设的料槽用来配合零件进行放置。

优选的，所述顶料模组设置在供料模组内。

本发明的有益效果是：本方法适用于不同产品，只需要采用本发明的方法不管什么样的产品均可以提供供料服务，有效的解决了本行业的根本问题，大大提高了工作效率。

附图说明

图1为本发明一种应用于不同产品的供料方法的晶圆供料机构示意图；

图2为本发明一种应用于不同产品的供料方法的晶圆局部放大图；

图3为本发明一种应用于不同产品的供料方法的批头供料装置侧视图；

图中：1、供料模组；2、顶料模组；21、料槽；11、出料槽；3、出料模组。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

本实施案例是一种应用于不同产品的供料方法，其包括供料模组、顶料模组、扫料模组以及出料模组3；

供料模组，用来放置零件，并作为储料单元存放零件；

顶料模组，通过动力源进行驱动，配合供料模组进行使用，顶料模组被驱动将供料模组内的产品顶出；

扫料模组，通过动力源进行驱动，将顶料模组上多余的产品扫除，扫除的零件会重新掉落到供料模组内；

出料模组，通过动力源进行驱动，将顶料模组上的产品顺着料槽顶出；

其供料方法包括一下步骤：

S1，通过动力源进行驱动，驱动顶料模组进行移动，将供料模组内的产品顶出；

S2，再通过动力源驱动扫料模组，扫料模组将顶料模组上多余的零件扫除，并掉落回供料模组中，剩下的为扫除的则置于顶料模组的料槽中；

S3,再通过动力源驱动出料模组，出料模组将顶料模组料槽中的零件顶出，零件顺着料槽移动，从供料模组的出料槽出料。

所述动力源包括气缸、液压机、电机等。

所述出料槽能够用来限制零件的出料位置，只有符合出料槽的零件才能够被出料模组顺利推出。所述出料槽根据产品零件的进行开设，不同的产品零件开设不同的出料槽，用于配合不同产品零件的推出。

所述顶料模组上开设的料槽用来配合零件进行放置。所述顶料模组的设置根据产品零件的大小进行设置，且料槽开设根据产品零件的不同进行调节。

所述顶料模组设置在供料模组内。顶料模组用以配合将供料模组内的产品零件顶出。

实施案例1，参考图1、图2，在供料模组1中放置晶圆，通过气缸、液压机或其它驱动机构驱动顶料模组2向上顶升，驱动机构顶升的同时，供料模组内的晶圆落到驱动机构上，再通过气缸、液压机或其它驱动机构驱动扫料模组进行工作，扫料模组上的毛刷对顶料模组上面进行清扫，将顶料模组料槽21外的晶圆扫回供料模组中，同时将料槽内的晶圆左右位置摆正，通过气缸、液压机或其它驱动机构驱动出料模组，出料模组的顶出模组顺着料槽的方向进行移动，并将料槽中的晶圆顶出料槽，再配合出料槽11，进行筛选出料，每次驱动推送出一件晶圆；且顶料模组为没有磁性的材料制成，用以配合晶圆推送，防止有磁性影响晶圆的功能，且在供料模组的顶部还设置有离子风枪，采用离子风枪对着晶圆进行吹，使得晶圆与晶圆之间的静电消除。出料模组根据顶出产品零件的大小进行设置，且用于驱动出料模组、顶料模组、扫料模组的动力源均是能够进行配合调节功率的，根据晶圆相符合的力度进行调节，保证出料模组进行推送的时候是能够正常推送的。

实施案例2，参考图3，在供料模组1中放置批头，通过气缸、液压机或其它驱动机构驱动顶料模组2向上顶升，驱动机构顶升的同时，供料模组内的批头落到驱动机构上，批头一部分会掉落在顶料模组的料槽内，一部分会置于顶料模组上，再通过气缸、液压机或其它驱动机构驱动扫料模组进行工作，扫料模组上的毛刷对顶料模组上面进行清扫，将顶料模组料槽21外的批头扫回供料模组中，同时将料槽内的批头左右位置摆正，通过气缸、液压机或其它驱动机构驱动出料模组，出料模组的顶出模组顺着料槽的方向进行移动，并将料槽中的产品顶出料槽，再配合出料槽，进行筛选出料，每次驱动推送出一件产品。

本发明能够根据需要上料的产品进行设置，不管是什么样的产品均是通过以上方法进行操作，只需要改变供料模组的大小，将顶料模组上的料槽调整至能够防止产品，改变出料模组出料杆的大小以及出料槽的形状大小，就可以针对不同的产品进行供料，再配合一些特殊要求的产品进行材质的调整，比如实施案例1中的晶圆，晶圆这种产品是有功能的，若采用铁、不锈钢之类的材质则会产生磁性影响晶圆的功能，只需要更换对应的材质即可保证其功效。

本发明的有益之处，本方法适用于不同产品，只需要采用本发明的方法不管什么样的产品均可以提供供料服务，有效的解决了本行业的根本问题，大大提高了工作效率。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。