掌桥专利:专业的专利平台
掌桥专利
首页

一种三维存储器沟道孔薄膜厚度的测量方法

文献发布时间:2023-06-19 11:45:49


一种三维存储器沟道孔薄膜厚度的测量方法
相关技术
  • 一种三维存储器沟道孔薄膜厚度的测量方法
  • 用于形成三维存储器件的沟道孔的方法以及三维存储器件
技术分类

06120113044933