悬吊机构

技术领域

本发明涉及一种悬吊机构。

背景技术

已知有被天花板等支撑部悬吊的保管物品的保管搁架。例如，专利文献1已公开通过起吊框架将搁架模块从天花板悬吊的保管搁架。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：国际公布第2020/017137号

发明内容

[发明所要解决的问题]

上述起吊框架具有直接固定于天花板的固定部，通过从固定部向下方延伸的吊挂部悬吊搁架模块。这种起吊框架，在天花板倾斜、或者固定到天花板的施工不适当时，有时以相对于水平面倾斜的状态下被固定到天花板。这种情况下，有通过起吊框架而被悬吊的搁架模块没有被水平配置这样的问题。

本发明的一个方面是以实现一种悬吊机构为目的，该悬吊机构容易水平地设置悬吊对象。

[解决问题的手段]

为了解决上述课题，本发明的一个方面涉及的悬吊机构具备：悬吊于支撑部的第1悬吊构件；以悬吊于前述第1悬吊构件的方式被前述第1悬吊构件支撑的第2悬吊构件；以及将前述第1悬吊构件和前述第2悬吊构件连结的连结部，其中，前述连结部具有设置于前述第1悬吊构件侧的第1连结面、和设置于前述第2悬吊构件侧并且与前述第1连结面接触的第2连结面，其中，前述第1连结面和前述第2连结面的其中一方是凸状曲面，另一方是凹状曲面。

[发明的效果]

根据本发明的一个方面，能够实现容易水平设置悬吊对象的悬吊机构。

附图说明

图1是示出本发明的实施方式1和2所涉及的悬吊机构所使用的移载系统的构成的正面图。

图2是示出实施方式1所涉及的悬吊机构的构成的部分剖面图。

图3是示出从上述悬吊机构中的连结构件的上方观察的构成的立体图。

图4是示出从上述连结构件的下方观察的构成的立体图。

图5是示出上述连结构件的构成的平面图。

图6是沿图5中A－A线的箭头方向看的剖面图。

图7是示出本发明的实施方式2所涉及的悬吊机构的构成的纵剖面图。

<附图标记说明>

1、1A、1B  悬吊机构

3        保管搁架(收纳体)

5        容器(物品)

61       悬吊轴(第1悬吊构件、第1高度调整机构)

62       连结构件(第1连结面、凸状曲面、凸状球面、第1高度调整机构)

63       螺母(第1高度调整机构)

71a      凹面部(第1连结面，第2连结面，凹状球面)

73       悬吊轴(第2悬吊构件)

74、94    连结轴(第2高度调整机构)

75、76、95 螺母(第2高度调整机构)

81       悬吊轴(第1悬吊构件，第1高度调整机构)

82、83    螺母(第1高度调整机构)

91       连结构件(第2连结面、凸状曲面、凸状球面、第2高度调整机构)

93       悬吊轴(第2悬吊构件)

100      天花板(支撑部)

200、300  连结部

具体实施方式

〔移载系统的构成〕

参考图1说明关于本发明的实施方式所涉及的悬吊机构所使用的移载系统10。图1是示出移载系统10的构成的正面图。

如图1所示，移载系统10是设置为被天花板100(支撑部)悬吊。移载系统10具备：悬吊机构1、悬顶式搬运车2、保管搁架3(收纳体)、和轨道4。

悬吊机构1是在天花板100上悬吊保管搁架3和轨道4的机构。关于悬吊机构1，在后述的实施方式1、2中详细说明。

轨道4被配置于悬顶式搬运车2的移动路径，具有上表面部4a、一对侧部4b、和一对下表面部4c。上表面部4a是被安装于悬吊机构1的部分，被配置成与天花板100对向。侧部4b是从上表面部4a的两侧端缘垂下的方式设置的侧壁的一部分。下表面部4c是从侧部4b的下端缘向侧部4b的内壁面侧延伸的方式形成短的形状，形成设置在悬顶式搬运车2的后述车轮24转动的轨道面。

悬顶式搬运车2以悬吊于轨道4上的状态沿着轨道4移动，将容器5(物品)搬运到搬运目的地。容器5具有本体5a，在本体5a内，収容例如用于半导体制造的芯片、光掩模等物品。悬顶式搬运车2具有箱体21、移载机构22、驱动部23、车轮24、和支撑轴25。

箱体21收纳容器5的同时，移载机构22被配置在上部。箱体21的一侧面侧开放，使箱体21可让容器5进出。

移载机构22使容器5从箱体21向保管搁架3移动的同时，通过从保管搁架3移动箱体21，进行容器5的移载。移载机构22具有：将设置于本体5a上端面的凸缘部5b握持的机构；使移载机构22向图1中X2方向进行进入移动和向X1方向进行倒退移动的机构。

驱动部23是驱动车轮24的动力的来源，并由电动机等构成。驱动部23具有驱动轴23a。驱动轴23a被设置成向车轮24侧突出，与车轮24的轮轴直接连结。车轮24被配置于各自对应的转动下表面部4c的上端面上的位置。

支撑轴25是将箱体21悬吊于驱动部23的方式进行支撑的轴构件。支撑轴25被设置成将驱动部23的下端面和箱体21的上端面连接的方式。

保管搁架3是被设置于轨道4的所需处，并暂时保管从悬顶式搬运车2移载的容器。保管搁架3被设置作为侧轨缓冲区(side track buffer(STB))、底轨存储(under trackstorage(UTS))等。

保管搁架3具有顶板31、底板32、和连接构件33。顶板31是被安装于悬吊机构1的成为方形的板状构件。底板32是面对顶板31的方式被配置于顶板31的下方的成为方形的板状构件，并有载置容器5。连接构件33是被设置4根，将顶板31的下端面的四个角和底板32的上端面的四个角连接。

又，悬吊机构1可通过二轴位置调整机构(图中未示出)而由天花板100支撑。二轴位置调整机构在水平面内调整图1所示的X1方向和X2方向的位置、以及与X1方向和X2方向正交的方向的位置。二轴位置调整机构代替天花板100起到支撑部的作用。

〔实施方式1〕

以下，参考图2～图6对于本发明的一实施方式进行详细说明。

图2是示出实施方式1所涉及的悬吊机构1A的构成的部分剖面图。图3是示出从悬吊机构1中的连结构件71的上方观察到的构成的立体图。图4是示出从连结构件71的下方观察到的构成的立体图。图5是示出连结构件71的构成的平面图。图6是图5的A－A线箭头方向观视剖面图。

图2所示的悬吊机构1A是作为上述的悬吊机构1而用于移载系统10。如图2所示，悬吊机构1A具备上部机构6、和下部机构7。上部机构6是被天花板100支撑的机构。下部机构7是被上部机构6悬吊而与上部机构6连结的机构。

上部机构6具有悬吊轴61(第1悬吊构件)、连结构件62、和螺母63。图中虽未示出，但悬吊轴61的上端部以从天花板100的上表面侧突出的方式贯穿。在悬吊轴61的上端部和下端部的外周上，有外螺纹形成。螺母63与被悬吊轴61适配，通过旋转而沿悬吊轴61的轴方向移动。又，在悬吊轴61的上端部与图中未示出的螺母(上部螺母)适配。

通过用上部螺母和螺母63将天花板100夹紧，悬吊轴61被固定在天花板100。又，通过转动上部螺母和螺母63，悬吊轴61相对于上部螺母和螺母63在上下方向上移动。如此，悬吊轴61、上部螺母和螺母63构成高度调整机构(第1高度调整机构)。

连结构件62是具有凸状曲面(第1连结面)的构件，具体而言，是具有凸状球面的构件。连结构件62虽然是球体，但球体并不是必要，只要是与后述的连结构件71的凹面部71a接触的面为凸状球面即可，例如也可以是半球体。

连结构件62与悬吊轴61的下端部连接。具体而言，在连结构件62从上端向中心有形成具有内螺纹的孔62a，悬吊轴61的下端部通过连结构件62的孔62a与螺丝的嵌合而连接。通过使连结构件62相对于悬吊轴61旋转，可使螺丝的嵌合位置上下移动，而变更连结构件62与悬吊轴61连接的高度。这样，悬吊轴61和连结构件62的螺丝嵌合构成高度调整机构(第1高度调整机构)。

下部机构7具有连结构件71、支撑板72、悬吊轴73(第2悬吊构件)、连结轴74、以及螺母75、76。设置4组连结轴74和螺母75、76。

连结构件71是如图3至图6所示，从上方观察成为大致正方形，具有规定的厚度。在连结构件71中的下表面侧的中央塌陷而形成凹状曲面，具体而言成为凹状球面的凹面部71a(第2连结面)。凹面部71a的曲率半径比连结构件62的曲率半径大。

在凹面部71a的中心，形成有从连结构件71的凹面部71a贯穿至连结构件71的上端面为止的轴孔71b。轴孔71b是即使轴孔71b的中心相对于悬吊轴61有预定角度倾斜，形成轴孔71b的连结构件71的内壁面也不与悬吊轴61接触的大小，即形成具有直径。

又，从轴孔71b的一侧端连续到连结构件71的一个侧面，有与轴孔71b连通的切口71c直线状地形成。切口71c形成的宽度具有比悬吊轴61的直径稍微宽且比轴孔71b的直径窄。又，在连结构件71的四个角处每一处分别形成有一个螺丝孔71d。

连结轴74在上端部和下端部的外周上各自有外螺纹形成。上端部的外螺纹与螺丝孔71d嵌合。螺母75与连结轴74的上端部适配。连结轴74的上端部，通过转动螺母75，在螺丝孔71d内在上下方向移动。由此，连结轴74相对于螺母75在上下方向上移动。这样，连结轴74和螺母75构成高度调整机构(第2高度调整机构)。

支撑板72是大致成为正方形的板状构件。支撑板72的四个角处，各每个设置一个螺丝孔72a。螺丝孔72a形成于面对螺丝孔71d的位置处。连结轴74中的下端部的外螺纹与螺丝孔72a嵌合。螺母76与连结轴74的下端部适配。连结轴74的下端部，通过转动螺母76，螺在丝孔72a内在上下方向上移动。由此，连结轴74相对于螺母76在上下方向上移动。这样，连结轴74和螺母76构成高度调整机构(第2高度调整机构)。

悬吊轴73与支撑板72的下表面接合。悬吊轴73设置成向下方延伸的方式，与保管搁架3的顶板31和轨道4的上表面部4a连接。

在悬吊机构1A中，连结构件62和连结构件71构成连结部200。连结部200连结将悬吊轴61和悬吊轴73。

如上述构成的悬吊机构1A，连结构件62与连结构件71的凹面部71a在连结部200接触。由此，连结构件71的凹面部71a相对于连结构件62的球面滚移。因此，即使由于天花板100倾斜而不是水平，而导致悬吊轴61相对于水平面倾斜，或悬吊轴61被不适当地固定到天花板100，悬吊轴73也能够相对于倾斜的悬吊轴61垂直向下。从而，容易将作为由悬吊轴73所悬吊的悬吊对象的保管搁架3维持为水平姿势。而且，即使下部机构7与保管搁架3或轨道4的下方部分一起横向振动，也可使横向振动减幅。从而，能够减轻横向振动对上部机构6的影响。

又，连结构件62的球面是凸状球面，连结构件71的凹面部71a是凹状球面。由此，能够使连结构件62与凹面部71a顺畅地接触。因此，连结构件62与凹面部71a之间滚移变容易。从而，更容易将保管搁架3维持于水平姿势。而且，能够提高在下部机构7下方的部分所产生的横向振动的减幅效果。

又，连结构件71的凹面部71a的曲率半径大于连结构件62的曲率半径。由此，连结构件62的球面与连结构件71的凹面部71a的接触面积变小。从而，凹面部71a够相对于连结构件62更自由地移动。对此，在连结构件62的球面与连结构件71的凹面部71a的曲率半径相同的情况，由于球面相互嵌合，凹面部71a相对于连结构件62能够自由地移动。

又，由于连结构件71具有切口71c，因此通过使连结构件71在水平方向上移动而使切口71c沿上部机构6的悬吊轴61的方式，从而以可拆装的方式将包含悬吊轴73的下部机构7设置于上部机构6。由此，能够将悬吊机构1A，以分解为包含悬吊轴61的上部机构6和包含悬吊轴73的下部机构7的状态，带进设置现场。

又，连结构件62和螺母63与悬吊轴61的嵌合构成调整连结构件62相对于天花板100的高度的高度调整机构(第1高度调整机构)。另一方面，螺母75、76与连结轴74的嵌合，构成调整悬吊轴73相对于连结构件62的高度的高度调整机构(第2高度调整机构)。

由此，在将悬吊机构1A分解为上部机构6和下部机构7的状态下，能够进行各自的高度调整工作。因此，在悬吊轴73安装重物的情况下，在各自的高度调整完成的状态下，通过将下部机构7连接到上部机构6，摆脱了在配置重物的状态下进行高度调整的需要。从而，能够减轻高度调整工作的负担。

又，在上部机构6设置有形成凸状曲面(凸状球面)的连结构件62，在下部机构7设置有形成凹状曲面(凹状球面)的连结构件71。由此，上部机构6的高度调整可以仅在连结构件62和螺母63的2处，而简化高度调整的工作。

又，在悬吊轴73安装有收纳容器5的保管搁架3。由此，能够容易地将保管搁架3维持于水平姿势。从而，能够稳定地收纳容器5。而且，即使在保管搁架3产生横向振动，也能够使该横向振动减幅。通过横向振动的减幅也可稳定地收纳容器5。

又，在悬吊轴73安装有供悬顶式搬运车2移动的轨道4。由此，能够容易地将在轨道4上移动的悬顶式搬运车2维持于水平姿势。从而，能够稳定地使悬顶式搬运车2移动。而且，即使悬顶式搬运车2横向振动，也能够使该横向振动减幅。通过横向振动的减幅也能够使悬顶式搬运车2稳定地移动。

〔实施方式2〕

以下参考图7，对于本发明的另一实施方式进行说明。又，为了便于说明，对于与实施方式1说明的构件具有相同功能的构件，标注相同的标记，不重复说明。图7是示出实施方式2所涉及的悬吊机构1B的构成的部分剖面图。

图7所示的悬吊机构1B作为上述悬吊机构1而用于移载系统10。如图7所示，悬吊机构1B具备上部机构8和下部机构9。上部机构8是被天花板100支撑的机构。下部机构9是与上部机构8连结的方式而被上部机构8悬吊的机构。

上部机构8具有连结构件71、悬吊轴81(第1悬吊构件)、和螺母82、83。设置4组悬吊轴81和螺母82、83。连结构件71与实施方式1的悬吊机构1A中的连结构件71不同，使凹面部71a向上侧的方式被配置。在悬吊机构1B中，凹面部71a形成第1连结面。

虽未图示，但悬吊轴81的上部以从天花板100的上表面侧突出的方式贯穿。在悬吊轴81的上端部和下端部的外周各自形成有外螺纹。螺母82与悬吊轴81的上端部适配，通过旋转而在悬吊轴81的轴方向上移动。又，悬吊轴81的上端部，与配置于天花板100的上表面侧的未图示的螺母(上部螺母)适配。

通过以上部螺母和螺母82将天花板100夹紧，悬吊轴81被固定于天花板100。又，通过转动上部螺母和螺母82，悬吊轴81相对于上部螺母和螺母82在上下方向上移动。这样，悬吊轴81、上部螺母和螺母82构成高度调整机构(第1高度调整机构)。

悬吊轴81的下端部被插入螺丝孔71d中成为与连结构件71的螺丝孔71d嵌合。螺母83与悬吊轴81的下端部适配。通过转动螺母83，使悬吊轴81的下端部在螺丝孔71d内向上下方向移动。由此，悬吊轴81相对于螺母83向上下方向移动。这样，悬吊轴81和螺母83构成高度调整机构(第1高度调整机构)。

下部机构9具有连结构件91、支撑板92、悬吊轴93(第2悬吊构件)、连结轴94、以及螺母95。

连结构件91是具有凸状曲面(第2连结面)的构件，具体而言是具有凸状球面的构件。连结构件91虽然是球体，但球体不是必要，只要与连结构件71的凹面部71a接触的面是凸状球面即可，例如可以是半球体。凹面部71a的曲率半径大于连结构件91的曲率半径。

连结构件91与连结轴94的上端部连接。具体而言，连结构件91形成有孔91a，该孔91a具有从下端向中心的内螺纹，另一方面，在连结轴94的上端部的外周有外螺纹形成，幷且以螺丝的嵌合使连结轴94的上端部与连结构件91的孔91a连接。通过使连结构件91相对于连结轴94旋转，能够上下移动螺丝的嵌合位置，而变更连结构件91与连结轴94连接的高度。这样，连结构件91和连结轴94的螺丝的嵌合构成高度调整机构(第2高度调整机构)。

支撑板92是成为大致正方形的板状构件。悬吊轴93与支撑板92的下表面接合。悬吊轴93以向下方延伸的方式设置，与保管搁架3的顶板31和轨道4的上表面部4a连接。在支撑板92的中央，设置有贯穿支撑板92的两面的孔92a。又，在悬吊轴93的上端部中的中央，设置有与孔92a连通的螺丝孔93a。

在连结轴94的下部的外周处形成有外螺纹。连结轴94的下部穿过支撑板92的孔92a，进一步插入而与悬吊轴93的螺丝孔93a嵌合。又，螺母95与连结轴94的下部适配。连结轴94的下部，通过转动螺母95，在螺丝孔93a内向上下方向移动。由此，连结轴94相对于螺母95向上下方向移动。这样，连结轴94和螺母95构成高度调整机构(第2高度调整机构)。

连结轴94穿过连结构件71的轴孔71b。轴孔71b形成即使连结轴94的中心相对于连结构件71的轴孔71b以预定角度倾斜，也为连结轴94不与形成轴孔71b的连结构件71的内壁面接触的大小，即形成具有直径。

在悬吊机构1B中，连结构件71和连结构件91构成连结部300。连结部300将悬吊轴81和悬吊轴93连结。

如上述构成的悬吊机构1B，连结构件91与连结构件71的凹面部71a在连结部300接触。由此，连结构件91的球面相对于连结构件71的凹面部71a滚移。即使因天花板100倾斜而不是水平，或因悬吊轴81被不适当地固定到天花板100，而导致悬吊轴81相对于水平面倾斜，悬吊轴93也能够相对于倾斜的悬吊轴81垂直向下。从而，能够容易地将作为由悬吊轴93悬吊的悬吊对象的保管搁架3维持于水平姿势。而且，即使下部机构9与保管搁架3或轨道4的下方部分一起横向振动，也能够使横向振动减幅。从而，能够降低横向振动对上部机构8的影响。

又，连结构件91的球面是凸状球面，连结构件71的凹面部71a是凹状球面。由此，能够使连结构件91和凹面部71a顺畅地接触。因此，连结构件91和凹面部71a之间的滚移变得容易。从而，更容易将保管搁架3维持于水平姿势。而且，能够提高在下部机构9的下方部分产生的横向振动的减幅效果。

又，连结构件71的凹面部71a的曲率半径大于连结构件91的曲率半径。由此，连结构件91的球面和连结构件71的凹面部71a的接触面积变小。从而，连结构件91能够相对于凹面部71a更自由地移动。相对于此，在连结构件91的球面和连结构件71的凹面部71a的曲率半径相同的情况，因各自的球面嵌合，成为连结构件91不能相对于凹面部71a自由地移动。

又，由于连结构件71具有切口71c，因此通过使下部机构9的连结轴94沿着切口71c的方式使连结构件91在水平方向上移动，就能够将包含连结轴94的下部机构9以可拆装的方式设置于上部机构8。由此，能够将悬吊机构1B分解为包含悬吊轴81的上部机构8和包含连结轴94的下部机构9的状态，带进至设置的现场。

又，螺母82、83对悬吊轴81的嵌合构成调整连结构件71相对于天花板100的高度的高度调整机构(第1高度调整机构)。另一方面，连结构件91和螺母95对连结轴94的嵌合构成调整悬吊轴93相对于连结构件91的高度的高度调整机构(第2高度调整机构)。

由此，能够在将悬吊机构1B分解为上部机构8和下部机构9的状态下，进行各自的高度调整工作。因此，在悬吊轴93安装重物的情况，在将各自的高度调整完成的状态下，通过将下部机构9连接到上部机构8，摆脱了在配置重物的状态下进行高度调整。从而，能够减轻高度调整工作的负担。

又，在上部机构8设置有形成凹状曲面(凹状球面)的连结构件71，在下部机构9设置有形成凸状曲面(凸状球面)的连结构件91。

又，收纳容器5的保管搁架3被安装于悬吊轴93。由此，保能够容易地将保管搁架3维持于水平姿势。从而，能够稳定地收纳容器5。而且，即使在保管搁架3产生横向振动，也能够使该横向振动减幅。通过横向振动的减幅也可稳定地收纳容器5。

又，在悬吊轴93安装有供悬顶式搬运车2移动的轨道4。由此，能够容易地将在轨道4上移动的悬顶式搬运车2维持于水平姿势。从而，能够稳定地使悬顶式搬运车2移动。而且，即使悬顶式搬运车2横向振动，也能够使该横向振动减幅。通过横向振动的减幅也能够使悬顶式搬运车2稳定地移动。

(小结)

本发明的一个方面涉及的悬吊机构具备：悬吊于支撑部的第1悬吊构件；以悬吊于前述第1悬吊构件的方式被前述第1悬吊构件支撑的第2悬吊构件；以及将前述第1悬吊构件和前述第2悬吊构件连结的连结部，其中，前述连结部具有设置于前述第1悬吊构件侧的第1连结面、以及设置于前述第2悬吊构件侧并且与前述第1连结面接触的第2连结面，其中，前述第1连结面和前述第2连结面的其中一方是凸状曲面，另一方是凹状曲面。

根据上述构成，在连结部处，凸状曲面和凹状曲面进行接触。由此，即使第1悬吊构件相对于水平面倾斜，凸状曲面也会相对于凹状曲面滚移，或者凹状曲面相对于凸状曲面滚移。因此，第2悬吊构件能够相对于倾斜的第1悬吊构件垂直朝向下方。因此，变得容易将由第2悬吊构件悬吊的对象保持为水平姿势。

在前述悬吊机构中，前述第1连结面和前述第2连结面的其中一方是凸状球面，另一方是凹状球面。

根据上述构成，第1连结面和第2连结面能够更顺畅地接触。因此，凸状球面和凹状球面之间的滚移变得容易。因此，更容易将悬吊对象保持在水平姿势。

在前述悬吊机构中，前述凹状球面的曲率半径比前述凸状球面的曲率半径大。

根据上述构成，凸状球面和凹状球面的接触面积变小。由此，凸状球面和凹状球面不会如两球面的曲率半径相同时那样发生嵌合，而是凸状球面相对于凹状球面能够更自由地移动。

在前述悬吊机构中，前述第2悬吊构件以能在前述连结部处拆装的方式连结于前述第1悬吊构件。

根据上述构成，能够将悬吊机构，以分解成第1悬吊构件和第2悬吊构件的状态下带进要设置的现场。

在前述悬吊机构中还具有调整前述第1连结面相对于前述支撑部的高度的第1高度调整机构、和调整前述第2悬吊构件相对于前述第1连结面的高度的第2高度调整机构。

根据上述构成，能在将悬吊机构分解成第1悬吊构件和第2悬吊构件的状态下，进行调整各自高度的工作。由此，在要向第2悬吊构件配置重物的情况下，通过在各自高度调整完后的状态下将第2悬吊构件连接到第1悬吊构件，就可避免在配置有重物的状态下进行高度调整。因此，可减轻高度调整工作的负担。

在前述悬吊机构中，前述第1连结面可以是凸状曲面，前述第2连结面可以是凹状曲面。或是，在前述悬吊机构中，前述第1连结面可以是凹状曲面，前述第2连结面可以是凸状曲面。

在前述悬吊机构中，用于收纳物品的收纳体被安装于前述第2悬吊构件。

根据上述构成，可容易地维持收纳体于水平姿势。由此，能稳定地将物品收纳。

在前述悬吊机构中，前述支撑部是天花板，前述第2悬吊构件上安装有供悬顶式搬运车移动的轨道。

根据上述构成，能够容易地将在轨道上移动的悬顶式搬运车维持在水平姿势。由此，能够使悬顶式搬运车稳定移动。

[附注事项]

本发明不限于上述各实施方式，在权利要求的范围内可以进行各种变更。又，适当组合在不同实施方式中各自公开的技术手段而获得的实施方式也包含于本发明的技术范囲。