一种晶圆光刻设备

技术领域

本发明属于晶圆光刻显影领域，更具体的说，尤其涉及到一种晶圆光刻设备。

背景技术

晶圆光刻设备是用于对晶圆表面光刻电路的设备，在晶圆光刻的流程后需要进行显影，显影是通过显影液将曝光后可溶解的光刻胶溶解掉，目前的显影设备是通过浸泡显影，旋转喷雾显影两种方法对晶圆进行显影，但是由于旋转喷雾显影是通过将显影液变为雾状的方式对已经曝光可溶解的胶进行溶解，由于液体具有饱和度的问题，在对大单片晶圆进行旋转喷雾时，溶解液会随机流动，部分显影液在晶圆表面经过路径过长导致溶液饱和，被溶解的光刻胶由于饱和无法溶解光刻胶会析出停留在晶圆表面导致显影出现污点，造成晶圆显影成功率降低。

发明内容

为了解决上述技术对大单片晶圆进行旋转喷雾时，溶解液会随机流动，部分显影液在晶圆表面经过路径过长导致溶液饱和，被溶解的光刻胶会析出停留在晶圆表面导致显影出现污点，本发明提供一种晶圆光刻设备。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种晶圆光刻设备，其结构包括底架、活动板、旋转台、喷雾机械手，所述底架与活动板前端焊接连接，所述旋转台与底架上侧相贴合，所述喷雾机械手与活动板正面活动卡合，所述旋转台包括护罩、转轴、固定台，所述护罩与底架上侧相贴合，所述转轴与护罩中部间隙配合，所述固定台下侧与转轴上端嵌固连接，所述护罩上端形状为尖锐的三角形，并且呈倾斜安装。

作为本发明的进一步改进，所述固定台包括气动装置、连接架、升降吸盘、吹气装置，所述气动装置下侧与转轴上端嵌固连接，所述连接架下侧与气动装置上侧相贴合，所述升降吸盘中部下端与连接架内侧焊接连接，所述吹气装置与连接架上侧轴连接，所述吹气装置数量为四个，并且以升降吸盘为中心呈环形分布。

作为本发明的进一步改进，所述气动装置包括外环、连接孔、内环、褶皱层、气腔，所述外环上侧与连接架下侧焊接连接，所述连接孔与外环内部嵌固连接，所述内环与外环内侧间隙配合，所述褶皱层连接在外环内侧与内环外侧之间，所述气腔与褶皱层内侧嵌固连接，所述褶皱层材质为硅胶材质，具有延伸性好，密封性好的特点。

作为本发明的进一步改进，所述内环包括环扣、固定柱、拉簧、限制卡套，所述环扣与褶皱层外侧相贴合，所述固定柱与外环中部嵌固连接，所述拉簧与环扣内侧相固定，所述限制卡套与环扣中部焊接连接，所述环扣数量为两个，并且以固定柱为对称轴呈左右对称分布，所述环扣呈半圆形。

作为本发明的进一步改进，所述吹气装置包括主体块、膨胀片、通气道、扩散口，所述主体块下端与连接架上侧轴连接，所述膨胀片连接在主体块下端内部，所述通气道与主体块内部嵌固连接，所述扩散口与通气道上端嵌固连接，所述膨胀片内部为褶皱状，并且能够展开十五度角。

作为本发明的进一步改进，所述扩散口包括固定球、连接口、分隔板、流通道，所述固定球下端与通气道上端嵌固连接，所述连接口与固定球下端过盈配合，所述分隔板与固定球左侧焊接连接，所述流通道与分隔板内侧间隙配合，所述固定球形状为球形，下端有一圆形缺口，所述流通道数量为三个，并且呈扇形分布。

有益效果

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

1、固定台旋转使得气动装置进行旋转产生气动力，向吹气装置输送气体，在内环扩展时，环扣向外侧位移，随后固定柱进行定位，随后拉动拉簧延伸并通过限制卡套进行定位，利用了旋转台自身的旋转力产生的离心力对气腔产生压力吹出气体，提高了晶圆表面显影液滴的均匀率，降低了晶体的析出量。

2、主体块上端偏向，随后带动扩散口偏向面对晶圆提高了对晶圆表面的吹动能力，随后通过通气道输送的气体通向固定球，固定球通过连接口进行连接，随后通过分隔板将流通道分隔成三层，并且呈扇形分布，提高了对晶圆表面的吹动面积，增加了显影液的分布面积，降低了显影液的晶体析出。

附图说明

图1为本发明一种晶圆光刻设备的结构示意图。

图2为本发明一种旋转台的侧视半剖结构示意图。

图3为本发明一种固定台的立体结构示意图。

图4为本发明一种气动装置的俯视剖面结构示意图。

图5为本发明一种内环的内部结构示意图。

图6为本发明一种吹气装置的正视半剖结构示意图。

图7为本发明一种扩散口的正视半剖结构示意图。

图中：底架-1、活动板-2、旋转台-3、喷雾机械手-4、护罩-31、转轴-32、固定台-33、气动装置-331、连接架-332、升降吸盘-333、吹气装置-334、外环-32a、连接孔-32b、内环-32c、褶皱层-32d、气腔-32e、环扣-c1、固定柱-c2、拉簧-c3、限制卡套-c4、主体块-34a、膨胀片-34b、通气道-34c、扩散口-34d、固定球-d1、连接口-d2、分隔板-d3、流通道-d4。

具体实施方式

以下结合附图对本发明做进一步描述：

实施例1：

如附图1至附图5所示：

本发明提供一种晶圆光刻设备，其结构包括底架1、活动板2、旋转台3、喷雾机械手4，所述底架1与活动板2前端焊接连接，所述旋转台3与底架1上侧相贴合，所述喷雾机械手4与活动板2正面活动卡合，所述旋转台3包括护罩31、转轴32、固定台33，所述护罩31与底架1上侧相贴合，所述转轴32与护罩31中部间隙配合，所述固定台33下侧与转轴32上端嵌固连接，所述护罩31上端形状为尖锐的三角形，并且呈倾斜安装，使得喷出的显影液能够被有效的遮挡，降低了显影液向外侧飘出的量。

其中，所述固定台33包括气动装置331、连接架332、升降吸盘333、吹气装置334，所述气动装置331下侧与转轴32上端嵌固连接，所述连接架332下侧与气动装置331上侧相贴合，所述升降吸盘333中部下端与连接架332内侧焊接连接，所述吹气装置334与连接架332上侧轴连接，所述吹气装置334数量为四个，并且以升降吸盘333为中心呈环形分布，使得升降吸盘333固定的晶圆四周能够均匀的受到风力的作用，提高了显影液的均匀性。

其中，所述气动装置331包括外环32a、连接孔32b、内环32c、褶皱层32d、气腔32e，所述外环32a上侧与连接架332下侧焊接连接，所述连接孔32b与外环32a内部嵌固连接，所述内环32c与外环32a内侧间隙配合，所述褶皱层32d连接在外环32a内侧与内环32c外侧之间，所述气腔32e与褶皱层32d内侧嵌固连接，所述褶皱层32d材质为硅胶材质，具有延伸性好，密封性好的特点，使得褶皱层32d能够扩大气腔32e的体积，提高了自身的对晶圆的吹气量。

其中，所述内环32c包括环扣c1、固定柱c2、拉簧c3、限制卡套c4，所述环扣c1与褶皱层32d外侧相贴合，所述固定柱c2与外环32a中部嵌固连接，所述拉簧c3与环扣c1内侧相固定，所述限制卡套c4与环扣c1中部焊接连接，所述环扣c1数量为两个，并且以固定柱c2为对称轴呈左右对称分布，所述环扣c1呈半圆形，使得内环32c能够平稳的进行扩张，并且与外环32a内侧相贴合，提高了空间的利用率，增加了对晶圆表面的吹气量。

本实施例的具体使用方式与作用：

本发明中，通过底架1上端的活动板2控制喷雾机械手4对显影液进行吸取后，再通过活动板2进行滑动移动至旋转台3上侧的晶圆表面，最后通过喷雾机械手4喷出显影液雾滴对晶圆表面进行显影，喷雾多出的显影液会在护罩31的包围下被收集，随后通过转轴32带动固定台33旋转，旋转使得气动装置331进行旋转产生气动力，随后对连接架332内侧固定的升降吸盘333通过吹气装置334进行吹气，使得路径过长的显影液滴被风力吹散，在转动的过程中气动装置331的外环32a会带动内环32c进行旋转，由于离心力会使得内环32c扩展将褶皱层32d压缩使得气腔32e内部的气体能够被挤压通过连接孔32b向吹气装置334输送气体，在内环32c扩展时，环扣c1向外侧位移，随后固定柱c2进行定位，随后拉动拉簧c3延伸并通过限制卡套c4进行定位，利用了旋转台3自身的旋转力产生的离心力对气腔32e产生压力吹出气体，提高了晶圆表面显影液滴的均匀率，降低了晶体的析出量。

实施例2：

如附图6至附图7所示：

其中，所述吹气装置334包括主体块34a、膨胀片34b、通气道34c、扩散口34d，所述主体块34a下端与连接架332上侧轴连接，所述膨胀片34b连接在主体块34a下端内部，所述通气道34c与主体块34a内部嵌固连接，所述扩散口34d与通气道34c上端嵌固连接，所述膨胀片34b内部为褶皱状，并且能够展开十五度角，使得扩散口34d能够偏向面向晶圆，提高了对晶圆表面的清理能力。

其中，所述扩散口34d包括固定球d1、连接口d2、分隔板d3、流通道d4，所述固定球d1下端与通气道34c上端嵌固连接，所述连接口d2与固定球d1下端过盈配合，所述分隔板d3与固定球d1左侧焊接连接，所述流通道d4与分隔板d3内侧间隙配合，所述固定球d1形状为球形，下端有一圆形缺口，所述流通道d4数量为三个，并且呈扇形分布，使得喷出的气流能够分散开，提高了对晶圆表面风力的覆盖面积。

本实施例的具体使用方式与作用：

本发明中，气腔32e吹出的气体对主体块34a内部的膨胀片34b加压吹动使得主体块34a上端进行偏向，随后带动扩散口34d偏向面对晶圆提高了对晶圆表面的吹动能力，随后通过通气道34c输送的气体通向固定球d1，固定球d1通过连接口d2进行连接，随后通过分隔板d3将流通道d4分隔成三层，并且呈扇形分布，提高了对晶圆表面的吹动面积，增加了显影液的分布面积，降低了显影液的晶体析出。

利用本发明所述技术方案，或本领域的技术人员在本发明技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本发明的保护范围。