载物盘配重块调整装置及其使用方法

技术领域

本发明涉及一种载物盘配重块调整装置及其使用方法。

背景技术

在基片的研磨抛光过程中，加载压力的分布影响着材料的局部去除率，从而影响半导体基片最终加工的面形精度。

对于高面型精度要求的基片加工，现有技术基本上采用离线检测被加工基片面形精度，再配合手动调整配重块位置的加工方法。这种方法虽然能够加工出高面形精度的基片，但在实际的加工过程中存在许多的问题，例如在调整过程中需要不断地去测量、调整，再测量、调整等，直到加工出合格的面型精度，极大的浪费了加工时间，费时费力，加工效率不高；调整的效果，主要还是依靠操作人员的经验。因此，需要开发一种新的载物盘配重块位置在线调整装置及其调整方法，实现基片的高面型精度的加工要求。

有鉴于此，有必要对现有的载物盘配重块调整装置予以改进，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种载物盘配重块调整装置，以解决现有基片研磨抛光过程中需要人工进行配重块的重量和位置调整的问题。

为实现上述目的，本发明提供一种载物盘配重块调整装置，所述载物盘配重块调整装置包括载物盘、固定在所述载物盘上的基座、设置在所述基座上的圆环状光栅尺、至少两个设置在所述基座上的配重块调整组件、至少两个涡电流传感器，所述配重块调整组件包括立柱、被所述立柱贯穿的配重块、用以驱动所述立柱移动位置的驱动组件。

作为本发明的进一步改进，所述基座上开设有至少两个呈圆环阵列排布的驱动槽，每一所述驱动槽内设有一个所述配重块调整组件。

作为本发明的进一步改进，所述驱动槽和所述配重块调整组件的数量均为三个。

作为本发明的进一步改进，所述驱动组件包括驱动电机、与所述驱动电机连接的减速器、与所述减速器连接且设置在所述基座上的驱动电机座、设置在所述驱动电机座上的齿轮，所述驱动槽内设有与所述齿轮配合的齿轮带，所述立柱固定在所述驱动电机座上，所述驱动电机转动以带动所述驱动电机座在所述驱动槽内移动。

作为本发明的进一步改进，所述驱动电机座上开设有轴孔，所述减速器穿过所述轴孔以与所述齿轮连接。

作为本发明的进一步改进，所述涡电流传感器设置在相邻两个所述驱动槽之间。

作为本发明的进一步改进，所述涡电流传感器的数量为三个，三个所述涡电流传感器固定在所述基座上。

作为本发明的进一步改进，所述光栅尺环绕所述配重块调整组件设置。

作为本发明的进一步改进，所述载物盘配重块调整装置包括控制器及与所述控制器电性连接的上位机，所述控制器与所述配重块调整组件和所述涡电流传感器电性连接。

本发明还提供上述载物盘配重块调整装置的使用方法，所述载物盘配重块调整装置的使用方法包括如下步骤：

S1：提供如上述的载物盘配重块调整装置，将基片放置在所述载物盘配重块调整装置上；

S2：所述涡电流传感器检测基片三个位置，并传送至控制器和上位机；

S3：所述上位机根据检测数据计算基片的平行度，并判断是否需要调整所述配重块调整组件上配重块的重量，若需要进入调整，则进入步骤S4，若不需要调整，则进入步骤S5；

S4：上位机计算各个配重块调整组件的配重块需要调整的重量，操作者对配重块的重量进行调整，然后再次进入步骤S2；

S5：所述涡电流传感器检测基片三个位置的厚度，并传送至控制器和上位机；

S6：所述上位机根据检测数据判断基片的厚度是否达到要求，若是不合要求，则进入步骤S7，若是符合要求，则完成调整；

S7：所述上位机计算所述配重块调整组件的预定的位置，所述控制器控制所述配重块调整组件调整到对应位置，然后再次进入步骤S5。

本发明的有益效果是：本发明的载物盘配重块调整装置和载物盘配重块调整装置的使用方法，可以实现对基片的厚度和平行度的测量和调整，减少人工干预，调整效率高、效果好，实现基片的高面型精度的加工要求。

附图说明

图1是本发明的载物盘配重块调整装置的结构示意图；

图2是本发明的载物盘配重块调整装置的俯视结构示意图；

图3是本发明的载物盘配重块调整装置的使用方法的流程图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图1至图3所示，本发明的载物盘配重块调整装置100，包括载物盘1、固定在所述载物盘1上的基座2、设置在所述基座2上的圆环状光栅尺3、至少两个设置在所述基座2上的配重块调整组件4、至少两个涡电流传感器5、控制器6及与所述控制器6电性连接的上位机7。

所述载物盘1和所述基座2通过螺钉11固定连接，螺钉11自下向上固定连接所述载物盘1和所述基座2。

所述基座2上开设有至少两个呈圆环阵列排布的驱动槽21，每一所述驱动槽21内设有一个所述配重块调整组件4。本实施例中，所述驱动槽21的数量为三个，三个所述驱动槽21环绕形成环形。所述驱动槽21内设有齿轮带。

本实施例中，所述涡电流传感器5的数量为三个，三个所述涡电流传感器5固定在所述基座2上，所述涡电流传感器5设置在相邻两个所述驱动槽21之间。所述涡电流传感器5通过检测基片的不同位置的高度，从而可以判断基片的平行度，同时可以检测基片不同位置的厚度。

所述光栅尺3环绕所述配重块调整组件4设置。

本实施例中，所述配重块调整组件4的数量均为三个，每一所述配重块调整组件4设置在一个驱动槽21内，所述配重块调整组件4与所述齿轮带可配合移动。

所述配重块调整组件4包括立柱41、被所述立柱41贯穿的配重块42、用以驱动所述立柱41移动位置的驱动组件。

所述配重块42可以在所述立柱41上进行滑动，操作人员可以对配重块42进行更换，以改变配重块42的重量。

所述驱动组件包括驱动电机44、与所述驱动电机44连接的减速器45、与所述减速器45连接且设置在所述基座2上的驱动电机座46、设置在所述驱动电机座46上的齿轮。

所述立柱41固定在所述驱动电机座46上，所述驱动电机44转动以带动所述驱动电机座46在所述驱动槽21内移动。

所述驱动电机座46上开设有轴孔47，所述减速器45穿过所述轴孔47以与所述齿轮连接，所述驱动电机44工作，从而可以带动减速器45工作，减速器45带动齿轮转动，所述齿轮与所述齿轮带配合，从而可以带动所述驱动电机座46在所述驱动槽21内移动。

所述控制器6与所述配重块调整组件4和所述涡电流传感器5电性连接，另外，本实施例中，所述控制器6可以控制三个所述配重块调整组件4同步移动。

所述载物盘配重块调整装置100的使用方法包括如下步骤：

S1：提供上述的载物盘配重块调整装置100，将基片放置在所述载物盘配重块调整装置100上；

S2：所述涡电流传感器5检测基片三个位置，并传送至控制器6和上位机7；

S3：所述上位机7根据检测数据计算基片的平行度，并判断是否需要调整所述配重块调整组件4上配重块42的重量，若需要进入调整，则进入步骤S4，若不需要调整，则进入步骤S5；

S4：上位机7计算各个配重块调整组件4的配重块42需要调整的重量，操作者对配重块42的重量进行调整，然后再次进入步骤S2；

S5：所述涡电流传感器5检测基片三个位置的厚度，并传送至控制器6和上位机7；

S6：所述上位机7根据检测数据判断基片的厚度是否达到要求，若是不合要求，则进入步骤S7，若是符合要求，则完成调整；

S7：所述上位机7计算所述配重块调整组件4的预定的位置，所述控制器6控制所述配重块调整组件4调整到对应位置，然后再次进入步骤S5。

本发明的载物盘配重块调整装置100和载物盘配重块调整装置100的使用方法，可以实现对基片的厚度和平行度的测量和调整，减少人工干预，调整效率高、效果好，实现基片的高面型精度的加工要求。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。