半成品的缺陷检测设备

技术领域

本发明涉及一种检测设备，尤其涉及一种半成品的缺陷检测设备。

背景技术

现有的缺陷检测设备大都仅着重于如何在检测待测物(device under test，DUT)的当下，实现精准的检测效果。然而现有缺陷检测设备并未考虑到所述待测物在检测完成之后，是否可能被外部环境所污染，因而导致所述待测物的检测结果与现行状态不一致。

于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

发明内容

本发明实施例在于提供一种半成品的缺陷检测设备，其能有效地改善现有缺陷检测设备所可能产生的缺陷。

本发明实施例公开一种半成品的缺陷检测设备，其用来检测多个相机模块，并且每个相机模块包含有一基板、安装于基板的一传感器及连接基板与传感器的多条金属线，半成品的缺陷检测设备包括一机架、一平面移载机构、一光学检测机构以及一遮尘件。机架内部形成有一检测腔室；一平面移载机构安装于机架，并且平面移载机构的一移动范围定义有一待测区及一防尘区；其中，平面移载机构用来定位多个相机模块，并使多个相机模块在待测区及防尘区移动；一光学检测机构安装于机架并位于检测腔室内，并且光学检测机构位于待测区的上方；其中，光学检测机构用来对多个相机模块依序地拍摄，以取得一检测图像；一遮尘件安装于机架，并且遮尘件覆盖防尘区，用以使通过光学检测机构检测的至少一个相机模块的被拍摄区域能够符合检测图像。

优选地，待测区包含有位于光学检测机构正下方的一检测区域，并且检测区域邻近遮尘件；其中，平面移载机构能用以将在检测区域通过光学检测机构检测的至少一个相机模块，直接移动进入防尘区。

优选地，半成品的缺陷检测设备进一步包含有安装于机架的一风机过滤机组，并且风机过滤机组用来朝向平面移载机构吹风，而遮尘件能用来遮挡风机过滤机组所吹出来的风。

优选地，机架进一步包含有一高度对焦机构，并且光学检测机构安装于高度对焦机构；高度对焦机构能沿一高度方向移动光学检测机构，以使光学检测机构依序地对焦于多个相机模块、并进行拍摄。

优选地，高度对焦机构包含有一高度传感器及一微调机构。高度传感器与光学检测机构的相对位置保持固定，用以取得光学检测机构及位于其正下方的相机模块之间的一距离；一微调机构能依据距离而沿高度方向移动光学检测机构，以使光学检测机构对焦于位于其正下方的相机模块的传感器。

优选地，微调机构沿高度方向移动光学检测机构的每单位移动距离介于1微米(μm)～30微米。

优选地，平面移载机构包含有一承载台及一平面移动组件。承载台用以供多个相机模块设置，以使每个相机模块的传感器多条金属线面向远离承载台的一侧；一平面移动组件连接于承载台，并且平面移动组件能驱使承载台沿着相互垂直的一第一方向与一第二方向移动。

优选地，承载台形成有多个穿孔，平面移载机构包含有连接于多个穿孔的一吸附组件，并且吸附组件用来通过多个穿孔来使多个相机模块吸附定位于承载台。

优选地，半成品的缺陷检测设备是用来检测尚未安装有任何透镜的任一个相机模块，并且半成品的缺陷检测设备不用来清除其所检测的任一个相机模块上的缺陷。

优选地，半成品的缺陷检测设备包含有安装于机架的一电控模块，并且电控模块电性耦接于平面移载机构以及光学检测机构。

综上所述，本发明实施例所公开的半成品的缺陷检测设备，其设置有所述遮尘件，用以使通过所述光学检测机构检测的至少一个所述相机模块的被拍摄区域可以符合所述检测图像，进而有效地提升所述相机模块的检测精准度。

为能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本发明，而非对本发明的保护范围作任何的限制。

附图说明

图1为本发明实施例的半成品的缺陷检测设备的立体示意图。

图2为图1中的半成品的缺陷检测设备所要检测的相机模块的平面示意图。

图3为图2的部位III的放大示意图。

图4为图1中的半成品的缺陷检测设备的局部平面示意图。

图5为图4的局部示意图(如：省略光学检测机构)。

图6为图1中的半成品的缺陷检测设备的光学检测机构与高度对焦机构的立体示意图。

图7为图5的构造置放有多个相机模块的示意图。

图8为图7的平面移载机构的运作示意图。

图9为图1中的半成品的缺陷检测设备所要检测的相机模块，其在检测之后进一步安装镜头模块的平面示意图。

具体实施方式

以下是通过特定的具体实施例来说明本发明所公开有关“半成品的缺陷检测设备”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本发明的优点与效果。本发明可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本发明的构思下进行各种修改与变更。另外，本发明的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本发明的相关技术内容，但所公开的内容并非用以限制本发明的保护范围。

应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。

请参阅图1至图9所示，其为本发明的一实施例。如图1至图3所示，本实施例公开一种半成品的缺陷检测设备100，其用来检测多个相机模块200，并且每个所述相机模块200是尚未安装有透镜的一半成品；也就是说，所述半成品的缺陷检测设备100于本实施例中是用来检测尚未安装有任何透镜的任一个所述相机模块200，所以不同于检测成品或检测非相机模块的任何检测设备。

其中，每个所述相机模块200包含有一基板201、安装于所述基板201的一传感器202及连接所述基板201与所述传感器202的多条金属线203。上述金属线203是以打线方式成形，因而使得金属线203具有较弱的结构强度，所以本实施例中的相机模块200并不适合以机械方式自动清洁，据以避免破坏上述金属线203。换个角度来说，所述半成品的缺陷检测设备100于本实施例中不用来清除其所检测的任一个所述相机模块200上的缺陷(如：脏污微粒)。

进一步地说，所述相机模块200在被本实施例半成品的缺陷检测设备100进行检测之前，已先经过机械自动微粒清洗步骤(如：通过离心力甩掉相机模块200上的微粒)，而本实施例半成品的缺陷检测设备100则是用来进一步检测所述清洗后的相机模块200上的残余微粒(如：落在所述金属线203附近的微粒)，但本发明不受限于此。

如图1和图4所示，所述半成品的缺陷检测设备100包含有一机架1、一平面移载机构2、一光学检测机构3、一遮尘件4、一风机过滤机组5(fan filter unit，FFU)与一电控模块6。于本实施例中，所述平面移载机构2、光学检测机构3及遮尘件4安装于所述机架1内，而所述风机过滤机组5与电控模块6安装于所述机架1外，但本发明不受限于此。

举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述风机过滤机组5以及电控模块6也可以是安装于所述机架1内；或者，所述平面移载机构2的局部位于所述机架1外，用以连接自动送件机构。此外，本实施例半成品的缺陷检测设备100也可以依据实际需求而调整其内部构件；例如：所述半成品的缺陷检测设备100在独立运用时(如：贩卖)，可以不包含有风机过滤机组5与电控模块6。

再者，所述机架1的内部形成有一检测腔室11，并且所述检测腔室11的侧边周围于本实施例中仅形成有一出入口12，用以供所述相机模块200置入与取出。也就是说，所述机架1在检测腔室11的侧边周围是以一罩体13覆盖而仅留有上述出入口12，据以避免位于所述检测腔室11内的相机模块200受到所述半成品的缺陷检测设备100之外的一外部环境污染。

此外，所述半成品的缺陷检测设备100也可以依据设计需求而加装至少一个构件于所述机架1上。举例来说，所述半成品的缺陷检测设备100可以在对应所述出入口12的所述机架1部位配置一安全光栅7，据以提升所述半成品的缺陷检测设备100的操作安全性；或者，所述半成品的缺陷检测设备100可以进一步在所述检测腔室11内安装一显示器(未标示)，用以呈现光学检测机构3的检测(或拍摄)结果。

如图1至图5所示，所述平面移载机构2于本实施例中位于所述机架1的检测腔室11内，并且所述平面移载机构2可以在垂直一高度方向H的一平面(如：水平面)上移动，而所述平面移载机构2的一移动范围定义有(或包含有)一待测区21及一防尘区22。其中，所述平面移载机构2是用来定位多个所述相机模块200，并使多个所述相机模块200在所述待测区21及所述防尘区22移动。

更详细地说，所述平面移载机构2包含有一承载台23、连接于所述承载台23的一吸附组件24及连接于所述承载台23的一平面移动组件25。其中，所述承载台23用以供多个所述相机模块200设置，以使每个所述相机模块200的所述传感器202与多条所述金属线203面向远离所述承载台23的一侧(如：面向图1中的上方)。

再者，所述承载台23于本实施例中形成有多个穿孔231，并且所述吸附组件24连接于多个所述穿孔231。其中，所述吸附组件24于本实施例中例如是一真空产生器及连通于上述真空产生器的多个吸盘，并且上述多个吸盘安装于承载台23的多个穿孔231，用以吸附所述相机模块200。据此，所述吸附组件24能用来通过多个所述穿孔231来使多个所述相机模块200吸附定位于所述承载台23，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述平面移载机构2可以省略吸附组件24、并通过吸附外的其他固定方式，来使所述相机模块200定位于承载台23。

所述平面移动组件25于本实施例中例如是链带、线性滑轨或其他构件，据以使所述平面移动组件25能驱使所述承载台23沿着相互垂直的一第一方向D1与一第二方向D2移动。也就是说，所述平面移载机构2的移动范围所在的所述平面于本实施例中相当于所述第一方向D1与第二方向D2所能共同构成(或定义)的平面。

如图1至图6所示，所述光学检测机构3于本实施例中包含有沿着所述高度方向H由上而下依序配置的一相机31、一镜头32及一光源33。其中，所述光学检测机构3位于所述机架1的检测腔室11内，并且所述光学检测机构3位于所述待测区21的上方。进一步地说，所述待测区21包含有位于所述光学检测机构3正下方的一检测区域211；或是说，所述光学检测机构3所能检测(或拍摄)的所述待测区21部位于本实施例中定义为一检测区域211。据此，所述光学检测机构3能用来对多个所述相机模块200依序地拍摄，以取得一检测图像。

需额外说明的是，由于本实施例半成品的缺陷检测设备100是用来进一步检测所述清洗后的相机模块200上的残余微粒(或缺陷)，所以上述残余微粒的尺寸较小(如：2微米～3微米)，进而使得能够拍摄到上述残余微粒的景深范围(如：40微米以下)也相对较小。据此，所述机架1于本实施例中较佳是包含有一高度对焦机构14，并且所述光学检测机构3安装于所述高度对焦机构14。再者，所述高度对焦机构14能沿高度方向H移动所述光学检测机构3，以使所述光学检测机构3依序地对焦于多个所述相机模块200、并进行拍摄。

进一步地说，所述高度对焦机构14于本实施例中包含有一高度传感器141及一微调机构142。所述高度传感器141与光学检测机构3的相对位置保持固定，用以取得所述光学检测机构3及位于其正下方的所述相机模块200(或位于检测区域211的该相机模块200)之间的一距离。所述微调机构142能依据上述高度传感器141所取得的距离而沿所述高度方向H移动所述光学检测机构3，以使所述光学检测机构3对焦于位于其正下方的所述相机模块200的所述传感器202(或传感器202旁的表面)。需说明的是，所述微调机构142沿所述高度方向H移动所述光学检测机构3的每单位移动距离于本实施例中是介于1微米(μm)～30微米，但本发明不受限于此。

所述遮尘件4位于所述机架1的检测腔室11内，并且所述遮尘件4覆盖所述平面移载机构2的防尘区22。其中，所述遮尘件4所在的位置较佳是邻近于上述待测区21中的检测区域211，并且已经被所述光学检测机构3检测(或拍摄)的相机模块200能通过所述平面移载机构2沿所述第一方向D1移动至所述防尘区22(或所述遮尘件4的覆盖区域)；也就是说，所述平面移载机构2能用以将在所述检测区域211通过所述光学检测机构3检测的至少一个所述相机模块200，直接移动进入所述防尘区22(如：图7和图8)。

进一步地说，所述遮尘件4于本实施例中大致呈U形、并包含有一顶遮蔽板41及分别自所述顶遮蔽板41相反两端大致垂直弯折的多个侧遮蔽板42。所述防尘区22位于所述顶遮蔽板41的正下方；也就是说，所述平面移载机构2能够沿着所述第一方向D1而进入上述顶遮蔽板41与多个侧遮蔽板42所共同围绕的空间之内。

换个角度来说，所述半成品的缺陷检测设备100在进行上述相机模块200的检测时，所述外部环境的落尘是有可能会掉落在相机模块200上，所以本实施例半成品的缺陷检测设备100通过设置有所述遮尘件4，用以使通过所述光学检测机构3检测的至少一个所述相机模块200的被拍摄区域能够符合(或等同于)所述检测图像，进而有效地提升所述相机模块200的检测精准度。

再者，所述风机过滤机组5安装在所述机架1的(罩体13)顶部，并且所述风机过滤机组5能够抽取并过滤所述外部环境的空气，进而将过滤后无微粒的风吹入所述检测腔室11。也就是说，所述风机过滤机组5用来朝向所述平面移载机构2吹风，而所述遮尘件4则是能用来遮挡所述风机过滤机组5所吹出来的风，据以使位于所述遮尘件4内侧的相机模块200的被拍摄区域能够符合所述检测图像。

换个角度来说，所述检测腔室11能够通过风机过滤机组5所吹入的风而呈现正压环境，据以避免外部环境的落尘飘入所述检测腔室11并落在所述相机模块200上。

另外，所述电控模块6于本实施例中安装于机架1的外表面，并且所述电控模块6电性耦接于半成品的缺陷检测设备100中需要控制的构件(如：所述机架1的高度对焦机构14、所述平面移载机构2、所述光学检测机构3、所述风机过滤机组5及所述安全光栅7)。

此外，通过所述半成品的缺陷检测设备100检测后的相机模块200于本实施例中，是接着以人工清洁的方式依据所述检测图像去除上述相机模块200的缺陷(或微粒)，据以避免因机械自动清洁而毁损相机模块200上的金属线203。再者，所述相机模块200在完成人工清洁之后，再于相机模块200进一步安装一镜头模块(如：图9)。

[本发明实施例的技术效果]

综上所述，本发明实施例所公开的半成品的缺陷检测设备，其设置有所述遮尘件，用以使通过所述光学检测机构检测的至少一个所述相机模块的被拍摄区域可以符合所述检测图像，进而有效地提升所述相机模块的检测精准度。

再者，所述检测腔室于本实施例中能够通过风机过滤机组所吹入的风而呈现正压环境，据以避免外部环境的落尘飘入所述检测腔室并落在所述相机模块上。而所述遮尘件则是能用来遮挡所述风机过滤机组所吹出来的风，据以使位于所述遮尘件内侧的相机模块的被拍摄区域能够符合所述检测图像。

以上所公开的内容仅为本发明的优选可行实施例，并非因此局限本发明的专利范围，所以凡是运用本发明说明书及附图内容所做的等效技术变化，均包含于本发明的专利范围内。