检查装置、检查方法以及检查装置用程序

技术领域

本发明涉及一种用于检查导电路的检查装置、检查方法以及检查装置用程序。

背景技术

以往，已知有一种基板检查装置，其使测定电流流经设在电路基板的作为检查对象的配线等，对所述检查对象中产生的电压进行测定，由此，根据所述电流值与电压值来测定所述检查对象的电阻值(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2012-117991号公报

发明内容

此外，有时会对在基板安装有零件的状态的电路基板、在基板内置有零件的零件内置基板、或者形成有电路的半导体基板等进行检查。此种情况下，二极管或者产生与二极管同样的二极管特性的多个电流路径有时会并联连接。

例如在有两条通常的导体图案并联连接的情况下，当利用所述基板检查装置来测定所述并联电路的电阻值时，若两条中的一条发生了断线，则电阻值将变为两倍。因而，若并联连接的两条导体图案中的一条发生了断线，则可基于电阻值来探测断线。

但是，二极管的电流与电压的关系为非线性，即使在并联连接的两个二极管中的一个发生了断线的情况下，相对于为了电阻测定而流动的电流所产生的电压也几乎不会发生变化。

因此，在多个二极管并联连接的情况下，存在下述问题，即：若利用所述基板检查装置来对其进行检查，则即使一部分二极管发生断线，也难以探测到断线。

本发明的目的在于提供一种容易实现多个二极管并联连接的检查对象的检查的检查装置、检查方法以及检查装置用程序。

本发明的一例的检查装置用于进行具有二极管特性的多个电流路径并联连接的检查对象部的检查，所述二极管特性是指顺向电压超过导通电压时的相对于所述电压的变化的电流变化比所述顺向电压不足所述导通电压时大，所述检查装置包括：电流供给部，能够供给电流；电压测定部，能够测定电压；以及测定处理部，通过所述电流供给部来使预先设定的第一电流值的电流流经所述两端间，且通过所述电压测定部来测定所述两端间的电压以作为第一电压值，所述第一电流值是正常的所述检查对象部的两端间的电压实质上成为所述导通电压的电流值以下。

而且，本发明的一例的检查装置用于进行具有二极管特性的多个电流路径并联连接的检查对象部的检查，所述二极管特性是指顺向电压超过导通电压时的相对于所述电压的变化的电流变化比所述顺向电压不足所述导通电压时大，所述检查装置包括：电压供给部，能够输出电压；电流测定部，能够测定电流；以及测定处理部，通过所述电压供给部来使预先设定为实质上为所述导通电压以下的第一电压值的电压施加至所述检查对象部的两端间，且通过所述电流测定部来测定流经所述两端间的电流以作为第一电流值。

而且，本发明的一例的检查方法进行具有二极管特性的多个电流路径并联连接的检查对象部的检查，所述二极管特性是指顺向电压超过导通电压时的相对于所述电压的变化的电流变化比所述顺向电压不足所述导通电压时大，所述检查方法包含：测定处理工序，使预先设定的第一电流值的电流流经所述两端间，且测定所述两端间的电压以作为第一电压值，所述第一电流值是正常的所述检查对象部的两端间的电压实质上成为所述导通电压的电流值以下。

而且，本发明的一例的检查方法进行具有二极管特性的多个电流路径并联连接的检查对象部的检查，所述二极管特性是指顺向电压超过导通电压时的相对于所述电压的变化的电流变化比所述顺向电压不足所述导通电压时大，所述检查方法包含：测定处理工序，使预先设定为实质上为所述导通电压以下的第一电压值的电压施加至所述检查对象部的两端间，且测定流经所述两端间的电流以作为第一电流值。

而且，本发明的一例的检查装置用于进行具有二极管特性的多个电流路径并联连接的检查对象部的检查，所述二极管特性是指顺向电压超过导通电压时的相对于所述电压的变化的电流变化比所述顺向电压不足所述导通电压时大，所述检查装置包括：

测定处理部，将电流或电压中的其中一者一边使值不同，一边多次供给至所述检查对象部的两端间，在供给所述其中一者的各期间内，测定所述两端间的所述电流或电压中的另一者，基于所述测定所得的所述另一者的变化来获取所述检查对象部导通的所述电流；以及判定部，基于由所述测定处理部所获取的所述电流来判定所述检查对象部的良否。

而且，本发明的一例的检查方法用于进行具有二极管特性的多个电流路径并联连接的检查对象部的检查，所述二极管特性是指顺向电压超过导通电压时的相对于所述电压的变化的电流变化比所述顺向电压不足所述导通电压时大，所述检查方法包含：测定处理工序，将电流或电压中的其中一者一边使值不同，一边多次供给至所述检查对象部的两端间，在供给所述其中一者的各期间内，测定所述两端间的所述电流或电压中的另一者，基于所述测定所得的所述另一者的变化来获取所述检查对象部导通的所述电流；以及判定工序，基于由所述测定处理部所获取的所述电流来判定所述检查对象部的良否。

而且，本发明的一例的检查装置用程序用于使所述检查装置运行，所述检查装置用程序使计算机作为所述测定处理部发挥功能。

附图说明

图1是表示使用本发明的一实施方式的检查方法的检查装置的结构的一例的框图。

图2是表示检查对象部的另一例的概念图。

图3是表示使电流顺向流经检查对象部时的电流-电压特性的一例的图表。

图4是表示图1所示的导通电压探索部的运行的一例的流程图。

图5是表示图1所示的导通电压探索部的运行的一例的流程图。

图6是表示测定信息的一例的说明图。

图7是表示斜度与比的一例的说明图。

图8是表示借助图1所示的测定处理部以及判定部所进行的检查方法的一例的流程图。

图9是表示使电流顺向流经三个电流路径并联连接的检查对象部时的电流-电压特性的一例的图表。

图10是表示图1所示的检查装置的另一例的框图。

图11是表示第二实施方式的检查装置的结构的一例的框图。

图12是表示图11所示的基准斜度获取部的运行的一例的流程图。

图13是用于说明图11所示的基准斜度获取部、测定处理部以及判定部的运行的说明图。

图14是表示图11所示的测定处理部以及判定部的运行的一例的流程图。

图15是用于说明图11所示的基准斜度获取部、测定处理部以及判定部的运行的说明图。

图16是表示第三实施方式的测定处理部以及判定部的运行的一例的流程图。

图17是表示第三实施方式的测定处理部以及判定部的运行的一例的流程图。

图18是用于说明第三实施方式的测定处理部以及判定部的运行的说明图。

图19是表示第三实施方式的测定处理部以及判定部的运行的变形例的流程图。

图20是用于说明第三实施方式的测定处理部以及判定部的运行的说明图。

具体实施方式

以下，基于附图来说明本发明的实施方式。另外，各图中标注了相同符号的结构表示为相同的结构，省略其说明。

(第一实施方式)

图1所示的检查装置1包括电流供给部2、电压测定部3、电流测定部4、探针Pr1、Pr2以及控制部5。检查装置1既可为进行基板的检查的基板检查装置，也可为进行半导体晶片等的检查的半导体检查装置。图1中示出使检查装置1的探针Pr1、Pr2与作为检查对象的电路基板100接触的状态。

电路基板100例如包括配线基板101与被安装在配线基板101表面的零件102。配线基板101是所谓的印刷配线基板。在配线基板101的表面，形成有配线图案W1～W8。

配线基板101例如也可为印刷配线基板、膜形载体(film carrier)、柔性基板、陶瓷多层配线基板、半导体芯片以及半导体晶片等半导体基板、半导体封装用的封装基板、液晶显示器或等离子体显示器用的电极板以及制造这些基板的过程的中间基板、或者所谓的载体基板。而且，电路基板100既可为例如零件内置基板，也可为例如通过半导体工艺在半导体基板形成有电路元件的基板。检查装置1的检查对象既可为基板，也可为半导体晶片、半导体元件等。在配线基板101，设有作为检查对象的检查对象部A。

零件102包括二极管D1、D2与端子T1～T4。二极管D1的阳极连接于端子T1，阴极连接于端子T2。二极管D2的阳极连接于端子T3，阴极连接于端子T4。二极管D1、D2例如也可为内置于半导体集成电路(Integrated Circuit，IC)的保护二极管。

零件102例如可为半导体集成电路、半导体元件、二极管元件、二极管阵列、发光二极管(Light Emitting Diode，LED)等各种零件。二极管具有下述特性，即，当使顺向施加的电压逐渐上升时，在某电压下流动的电流将急剧增加。将所述电流急剧增加的电压称作导通电压。

零件102只要具有与二极管同样的、在施加有超过导通电压的电压时流动的电流急剧增加的非线性的特性(以下称作二极管特性)即可，也可未必是二极管自身。图1中，示出了单个零件102包括两个二极管D1、D2的示例，但二极管D1、D2也可分别为各别的零件。例如二极管D1与二极管D2也可各自包含在独立的IC等中，并通过外部配线而并联连接。而且，二极管的数量也可为三个以上。

而且，二极管D1、D2并不限于有意识地形成为二极管元件的零件。二极管D1、D2也可为半导体元件的保护二极管、寄生二极管等，还可为通过配线的接合部分的氧化皮膜或不同种材料的接合而产生二极管特性的二极管，并不限于作为零件安装于配线基板101的示例。

在配线图案W1～W4的一端，形成有焊垫Pa1～Pa4。焊垫Pa1与端子T1连接，焊垫Pa2与端子T2连接，焊垫Pa3与端子T3连接，焊垫Pa4与端子T4连接。配线图案W1的另一端与配线图案W3的另一端通过配线图案W5而连结，配线图案W2的另一端与配线图案W4的另一端通过配线图案W6而连结。从配线图案W5延伸有配线图案W7，在配线图案W7的前端设有焊垫Pa5。从配线图案W6延伸有配线图案W8，在配线图案W8的前端设有焊垫Pa6。

由此，形成配线图案W1、二极管D1以及配线图案W2串联连接而成的电流路径A1，且形成配线图案W3、二极管D2以及配线图案W4串联连接而成的电流路径A2。电流路径A1、A2相当于具有二极管特性的电流路径的一例。电流路径A1、A2通过配线图案W5、W6而并联连接。

从焊垫Pa5到达焊垫Pa6的电路部分被设为检查对象部A。本实施方式中，将作为检查装置1的检查对象的检查对象部A设为设在焊垫Pa5与焊垫Pa6之间的电路。即，检查对象部A的一端被设为焊垫Pa5，另一端被设为焊垫Pa6。另外，在二极管D1、D2被内置于半导体集成电路的情况下，二极管D1、D2也可在半导体集成电路内并联连接。

探针Pr1、Pr2通过省略图示的移动机构而移动，与被预先设定为检查点的焊垫Pa5、Pa6接触。另外，检查装置1例如也可为包括被保持为多针状的数百～数千左右的探针的结构。并且，也可为下述结构：通过省略图示的切换电路从所述多针状的探针中选择探针Pr1、Pr2，将所述探针Pr1、Pr2与电流供给部2、电压测定部3以及电流测定部4相连接。而且，探针Pr1、Pr2也可为能够各自任意地进行位置移动的所谓的飞针。

图2示出了内置于半导体集成电路103的两个二极管在半导体集成电路103内并联连接的情况的一例。图2中，作为输入/输出端口的一例，将输入端口周边的电路表示为半导体集成电路103。半导体集成电路103包括输入缓冲器104、保护二极管D3～D6、信号输入端子T5、电源端子V+以及电源端子V-。

输入缓冲器104的输入端子连接于信号输入端子T5、保护二极管D3、D4的阳极以及保护二极管D5、D6的阴极。保护二极管D3、D4的阴极连接于电源端子V+，保护二极管D5、D6的阳极连接于电源端子V-。信号输入端子T5、电源端子V+、电源端子V-例如与设于IC插座或基板等的焊垫Pa7、Pa8、Pa9分别连接。

在将从焊垫Pa7到达焊垫Pa8的电路部设为检查对象部B的情况下，只要将探针Pr1抵接于焊垫Pa7，将探针Pr2抵接于焊垫Pa8来使检查装置1运行即可。在将从焊垫Pa9到达焊垫Pa7的电路部设为检查对象部C的情况下，只要如图2中的括号所示，将探针Pr1抵接于焊垫Pa9，将探针Pr2抵接于焊垫Pa7来使检查装置1运行即可。另外，探针Pr1、Pr2也可直接抵接于信号输入端子T5、电源端子V+、V-。探针Pr1、Pr2不需要物理移动，只要如后述那样，使用切换电路等来变更所述连接关系即可。

电流供给部2例如使用恒电流电路而构成。电流供给部2的正极连接于探针Pr1，电流供给部2的负极连接于探针Pr2。由此，电流供给部2对二极管D1、D2供给与来自控制部5的控制信号相应的顺向电流。

电压测定部3是所谓的电压计，例如使用模拟数字转换器与分压电路等而构成。电压测定部3对探针Pr1、Pr2间的电压即探针Pr1、Pr2所接触的检查对象部A的两端间的电压进行测定，并将表示所述测定电压的信号输出至控制部5。

电流测定部4是所谓的电流计，例如使用模拟数字转换器、分流电阻(shuntresistor)、霍尔(Hall)元件等而构成。电流测定部4对流经探针Pr1、Pr2间的电流即流经探针Pr1、Pr2所接触的检查对象部A的电流进行测定，并将表示所述测定电流的信号输出至控制部5。

控制部5是所谓的微计算机，例如包括执行规定的运算处理的中央处理器(Central Processing Unit，CPU)、包含暂时存储数据的随机存取存储器(Random AccessMemory，RAM)以及非易失性的快闪存储器或硬盘驱动器(Hard Disk Drive，HDD)等的存储部54、以及它们的周边电路等。在存储部54中，预先存储有本发明的一实施方式的检查装置用程序。并且，控制部5通过执行存储在存储部54中的检查装置用程序，从而作为测定处理部51、判定部52以及导通电压探索部53发挥功能。

测定处理部51通过电流供给部2来使预先设定的第一电流值Ia的电流流经探针Pr1、Pr2间，且通过电压测定部3来测定探针Pr1、Pr2间的电压以作为第一电压值Va。第一电流值Ia被预先设定为正常的检查对象部A的两端间的电压实质上成为导通电压的电流值即基准电流值IS以下。测定处理部51也可控制电流供给部2以使由电流测定部4所测定的电流值变得与第一电流值Ia相等，由此来从电流供给部2输出第一电流值Ia的电流。

另外，所谓实质上成为导通电压的电流值，是指容许测定误差或偏差程度的差异的意旨。第一电流值Ia也可为相对于正确地成为导通电压的电流值而为例如-10％～+10％左右的范围内的值。

判定部52基于由电压测定部3所测定出的第一电压值Va来判定检查对象部A的良否。

导通电压探索部53从与作为检查对象的电路基板100不同的、电路基板100的基准样品探索检查对象部A的导通电压Von。基准样品的导通电压Von被用于决定判定部52的判定基准以及第一电流值Ia。

导通电压探索部53一边通过电流供给部2来使电流值不同，一边多次使电流流经探针Pr1、Pr2间。并且，导通电压探索部53在各电流流动的各期间内，通过电压测定部3来测定探针Pr1、Pr2间的电压，并基于所述测定出的多个电压的变化来探索检查对象部A的导通电压Von。

接下来，参照图3～图5来说明以此方式构成的检查装置1的运行。图3所示的曲线G1示出了检查对象部A为正常时的曲线，曲线G2示出了电流路径A1、A2中的其中任一者发生了断线时的曲线。以下，设二极管D1与二极管D2的特性大致相等。另外，图3以及后述的检查对象部A的电流-电压特性不过是一例，并不限定于这些。

另外，在以下的流程图中，对于相同的运行标注相同的步骤编号并省略其说明。

首先，例如用户在省略图示的载置台上载置正常的电路基板来作为基准样品。然后，导通电压探索部53使探针Pr1与焊垫Pa5接触，使探针Pr2与焊垫Pa6接触(步骤S1)。

接下来，导通电压探索部53将1代入变量k，将电流值I(k)作为初始值，例如设为0.1mA(步骤S2)。变量k是用于使电流值I与电压值V相关联的整理编号，电流值I(k)表示第k个电流值I，电压值V(k)表示第k个电压值V，相同编号的电流值I与电压值V相对应。另外，关于电流值I以及电压值V，有时会省略单位，但电流值I的单位为毫安(mA)，电压值V的单位为伏特(V)。

接下来，导通电压探索部53通过电流供给部2来使电流值I(k)的电流流经探针Pr1、Pr2间，在所述电流流动的期间内，通过电压测定部3来测定探针Pr1、Pr2间的电压以作为电压值V(k)(步骤S3)。

以下，将测定处理部51、判定部52或导通电压探索部53等通过电流供给部2来供给电流仅记载为测定处理部51、判定部52或导通电压探索部53等供给电流，将测定处理部51、判定部52或导通电压探索部53等通过电压测定部3来测定电压仅记载为测定处理部51、判定部52或导通电压探索部53等测定电压，将测定处理部51、判定部52或导通电压探索部53等通过电流测定部4来测定电流仅记载为测定处理部51、判定部52或导通电压探索部53等测定电流。

由此，导通电压探索部53在电流值I(k)的电流流经检查对象部A的焊垫Pa5、Pa6间的期间内，测定焊垫Pa5、Pa6间的电压以作为电压值V(k)。导通电压探索部53将以此方式测定的电压值V(k)与编号k以及电流值I(k)相关联地作为测定信息而存储至存储部54中。

图6示出了在步骤S3与后述的步骤S5中测定的测定信息。若电流路径A1、A2均未断线的正常的检查对象部A具有曲线G1所示的特性，则相对于0.1mA的电流而测定出0.033V。

接下来，导通电压探索部53将变量k加1。而且，导通电压探索部53将电流值I(k-1)即前次设定的电流值加0.1，以作为新的电流值I(k)(步骤S4)。由此，可一边使电流值逐次增加0.1mA，一边测定电压值。电流值的增加量越小，则导通电压的获取精度越增大，但处理时间会增大。因而，电流值的增加量并不限于0.1mA，只要根据精度与处理时间的平衡来适当设定即可。

接下来，导通电压探索部53与步骤S3同样地，使电流值I(k)的电流流经探针Pr1、Pr2间，在所述电流流动的期间内，测定探针Pr1、Pr2间的电压以作为电压值V(k)(步骤S5)。导通电压探索部53将以此方式测定的电压值V(k)与编号k以及电流值I(k)相关联地作为测定信息而存储至存储部54中。

当前，电流值I(k)为0.2mA，因此根据曲线G1，相对于0.2mA的电流而测定出0.065V。

接下来，导通电压探索部53基于下述的式(1)来算出斜度r(k-1)(步骤S6)。

斜度r(k-1)＝{I(k)-I(k-1)}/{V(k)-V(k-1)}…(1)

当前，由于k＝2，I(2)＝0.2，I(1)＝0.1，V(2)＝0.065，V(1)＝0.033，因此斜度r(1)＝{I(2)-I(1)}/{V(2)-V(1)}＝(0.2-0.1)/(0.065-0.033)＝3.13。

导通电压探索部53将以此方式获得的斜度r(k-1)作为斜度信息而存储至存储部54中。

接下来，导通电压探索部53将电流值I(k)与1.0mA进行比较(步骤S7)。若电流值I(k)不足1.0mA(步骤S7中为否(NO))，则再次重复步骤S4～S7。

另一方面，若电流值I(k)为1.0mA以上(步骤S7中为是(YES))，则导通电压探索部53将k-1设为斜度r的数即数据数n(步骤S8)，移转至步骤S11。与电流值I(k)进行比较的电流值只要设定比预料可获得导通电压的电流值大的值即可，并不限于1.0mA。

以上，通过步骤S1～S7的处理，一边使电流值不同，一边多次使电流流经检查对象部A的两端间，在各电流流动的各期间内，测定检查对象部A的两端间的电压。

图7是由图1所示的导通电压探索部53所算出的斜度r与后述的比R的说明图。当前，数据数n为9，因此在存储部54中存储与k＝1～9对应的斜度r(1)～r(9)。

以上，通过步骤S2～S7的处理，导通电压探索部53一边使电流值不同，一边多次使电流流经探针Pr1、Pr2间，在各电流流动的各期间内测定探针Pr1、Pr2间的电压。

接下来，在步骤S11中，导通电压探索部53将2代入变量k(步骤S11)。

接下来，导通电压探索部53基于下述的式(2)来算出比R(k)(步骤S12)，若k不足n(步骤S13中为否)，则将变量k加1(步骤S14)并重复步骤S12、S13，若k为n(步骤S13中为是)，则将处理移转至步骤S15。由此，算出与编号2～n对应的比R(2)～R(n)。

比R(k)＝r(k)/r(k-1)…(2)

步骤S15中，导通电压探索部53探索比R(2)～R(n)中的最大的R(m)来作为与导通电压Von对应的比R(步骤S15)。导通电压探索部53从所探索的最大的比R(m)获取编号m。编号m是与导通电压Von对应的电压值V(m)的编号，因此探索最大的比R(m)便是探索导通电压Von。

图7的示例中，最大的是R(8)＝4.2。因而，编号m＝8。

接下来，导通电压探索部53参照在步骤S5中存储于存储部54中的测定信息，将V(m)作为导通电压Von而存储至存储部54中(步骤S16)。图6所示的示例中，编号与m相等的8的电压值V(8)为0.30V，因此导通电压Von为0.30V。导通电压Von是在使顺向地施加至检查对象部A的电压逐渐上升时，流动的电流急剧增加的电压。

进而，导通电压探索部53基于下述的式(3)来算出第一电流值Ia，并存储至存储部54中(步骤S17)。第一电流值Ia是多个电流路径A1、A2中的任一个发生断线的检查对象部A导通的导通电流。

第一电流值Ia＝I(m)×(Q-1)/Q…(3)

其中，Q是具有二极管特性的电流路径的并联数。

当前，检查对象部A的并联数为2，图6所示的示例中，编号与m相等的8的电流值I(8)为0.8mA，因此根据式(3)，第一电流值Ia＝0.8/2＝0.4mA。

此处，I(m)与基准电流值IS大致相等。因此，优选的是，导通电压探索部53在步骤S17中，将I(m)作为基准电流值IS而存储至存储部54中。

另外，第一电流值Ia只要与多个电流路径A1、A2中的任一个发生断线的检查对象部A导通的导通电流实质上相等即可。所谓第一电流值Ia实质上与导通电流相等，是指在第一电流值Ia与导通电流之间，例如容许因通过步骤S1～S17而获取的I(m)的误差、电压测定部3或电流测定部4的测定误差、电流供给部2的输出误差等所产生的程度的差异的意旨。第一电流值Ia例如也可为相对于导通电流为例如-10％～+10％左右的范围内的值。

关于导通电压Von，若二极管D1与二极管D2的特性大致相等，则如图3所示，曲线G1所示的正常的检查对象部A的导通电压Von与曲线G2所示的不良的检查对象部A的导通电压Von便大致相等。第一电流值Ia是不良的检查对象部A的两端间的电压成为导通电压Von的电流值(曲线G2中的0.4mA)。另一方面，正常的检查对象部A的两端间的电压成为导通电压Von的电流值(曲线G1中的0.8mA)如图3所示，比不良的检查对象部A的两端间的电压成为导通电压Von的电流值大。因而，通过步骤S1～S17的处理而求出的第一电流值Ia为基准电流值IS以下。

另外，步骤S1～S17中示出了下述示例，即，使用正常的电路基板来作为基准样品，借助步骤S17，通过计算而求出电流路径A1、A2中的一个发生了断线的检查对象部A的第一电流值Ia。但是，也可在步骤S1中使用实际上电流路径A1、A2中的一个发生了断线的不良的电路基板，且在步骤S17中将I(m)直接作为第一电流值Ia。

以上，通过步骤S6～S17的处理，导通电压探索部53可基于多个电压值V(1)～V(10)的变化，来获取基准样品的检查对象部A的导通电压Von。

接下来，导通电压探索部53使第一电流值Ia的电流流经探针Pr1、Pr2间，且测定探针Pr1、Pr2间的电压以作为电压值Vg(步骤S18)。由此，导通电压探索部53在第一电流值Ia的电流流经检查对象部A的焊垫Pa5、Pa6间的期间内，测定焊垫Pa5、Pa6间的电压以作为电压值Vg。

当前，第一电流值Ia为0.4mA，因此根据图3的曲线G1的示例，获得0.14V作为电压值Vg。

接下来，导通电压探索部53基于电压值Vg来算出用于判定检查对象部A的良否的判定电压Vref，并将其存储至存储部54中(步骤S19)。具体而言，例如在设想电压值Vg的偏差或测定误差最大为10％的情况下，通过将电压值Vg乘以1.1来算出判定电压Vref。当前，电压值Vg为0.14V，因此可获得0.15V作为判定电压Vref。

由此，即使在相对于电压值Vg而产生了因制造偏差或测定误差引起的误差的情况下，也可获得能够正确地进行判定的判定电压Vref。

以上，通过步骤S1～S19的处理，将第一电流值Ia与判定电压Vref存储至存储部54中，即预先设定。

另外，检查装置1也可未必包括导通电压探索部53。例如用户也可借助实验，通过与步骤S1～S19同样的方法来获取第一电流值Ia与判定电压Vref，并将其存储至存储部54中而预先设定。或者用户也可制作图3所示的曲线G1、G2，将从曲线G1、G2中读取的第一电流值Ia与判定电压Vref存储至存储部54中而预先设定。

接下来，基于图8来说明图1所示的测定处理部51以及判定部52的运行。首先，例如用户将欲进行检查的电路基板100载置于省略图示的载置台上。然后，测定处理部51使探针Pr1与焊垫Pa5接触，使探针Pr2与焊垫Pa6接触(步骤S21)。

接下来，测定处理部51从存储部54读出第一电流值Ia。并且，测定处理部51使第一电流值Ia的电流流经探针Pr1、Pr2间，且测定探针Pr1、Pr2间的电压以作为第一电压值Va(步骤S22)。由此，测定处理部51在第一电流值Ia的电流流经检查对象部A的焊垫Pa5、Pa6间的期间内，测定焊垫Pa5、Pa6间的电压以作为第一电压值Va。

当前，第一电流值Ia为0.4mA，因此根据图3所示的示例，若检查对象部A为正常，则如曲线G1所示测定出0.14V来作为第一电压值Va，若检查对象部A为不良，则如曲线G2所示测定出0.30V来作为第一电压值Va。

接下来，判定部52从存储部54中读出判定电压Vref。并且，判定部52对第一电压值Va与判定电压Vref进行比较(步骤S23)。并且，若第一电压值Va为判定电压Vref以下(步骤S23中为是)，则判定部52判定检查对象部A为正常(步骤S24)。判定部52将所述判定结果显示于例如省略图示的显示装置或者发送至外部以进行告知，或者存储至存储部54中(步骤S26)，结束处理。

图3所示的示例中，若检查对象部A为正常，则根据曲线G1，第一电压值Va为0.14V，为判定电压Vref(＝0.15V)以下(步骤S23中为是)，因此正确地判定检查对象部A为正常。

另一方面，若第一电压值Va超过判定电压Vref(步骤S23中为否)，则判定部52判定检查对象部A为不良(步骤S25)。判定部52将所述判定结果显示于例如省略图示的显示装置或者发送至外部以进行告知，或者存储至存储部54中(步骤S26)，结束处理。

图3所示的示例中，若检查对象部A为不良，则根据曲线G2，第一电压值Va为0.30V，超过判定电压Vref(＝0.15V)(步骤S23中为否)，因此正确地判定检查对象部A为不良。

此处，第一电流值Ia被设定为如下所述的电流值，即，通过步骤S1～S17的处理，使第一电流值Ia的电流流经多个电流路径中的一个发生了断线的检查对象部A即不良的检查对象部A时，检查对象部A的两端间的电压实质上成为导通电压Von。

其结果，如图3所示，使第一电流值Ia的电流流经检查对象部A时的检查对象部A的两端间的电压在正常的检查对象部A(曲线G1)中为0.14V，在不良的检查对象部A(曲线G2)中为0.30V，因此其电压差Vd1为0.16V。

另一方面，若假设第一电流值Ia被设定为使第一电流值Ia的电流流经正常的检查对象部A时检查对象部A的两端间的电压实质上成为导通电压Von的电流值，则例如在图3的情况下，第一电流值Ia为0.8mA，检查对象部A的两端间的电压在正常的检查对象部A(曲线G1)中为0.30V，在不良的检查对象部A(曲线G2)中为0.32V，因此其电压差Vd2为0.02V。

即，图3所示的示例中，通过将第一电流值Ia设定为使第一电流值Ia的电流流经不良的检查对象部A时检查对象部A的两端间的电压实质上成为导通电压Von的电流值，从而比起设定为使第一电流值Ia的电流流经正常的检查对象部A时检查对象部A的两端间的电压实质上成为导通电压Von的电流值的情况，正常时与不良时的第一电压值Va之差大了Vd1/Vd2＝0.16/0.02＝8倍。

正常时与不良时的第一电压值Va之差越大，则越容易判定是否正常。因而，通过将第一电流值Ia设定为使第一电流值Ia的电流流经不良的检查对象部A时检查对象部A的两端间的电压实质上成为导通电压Von的电流值，从而比起设定为使第一电流值Ia的电流流经正常的检查对象部A时检查对象部A的两端间的电压实质上成为导通电压Von的电流值的情况，可容易地判定是否正常。

另外，第一电流值Ia也可未必为使第一电流值Ia的电流流经不良的检查对象部A时检查对象部A的两端间的电压实质上成为导通电压Von的电流值。例如，将第一电流值Ia设为比基准电流值IS(图3的0.8mA)小的电流值。进而，将第一电流值Ia设为使第一电流值Ia的电流流经不良的检查对象部A时检查对象部A的两端间的电压实质上成为导通电压Von的电流值(图3的0.4mA)以上的电流值。若如此，则根据图3可知的是，比起第一电流值Ia超过0.8mA的情况，正常时的曲线G1与不良时的曲线G2的电压差变大，因而判定变得容易。

而且，根据图3可知的是，在将第一电流值Ia设为比0.4mA小且为0.1mA以上的电流值的情况下，比起第一电流值Ia超过0.8mA的情况，正常时与不良时的第一电压值Va之差也变大，因而判定也变得容易。

另外，检查装置1可未必包括判定部52，也可不执行步骤S23～S25。第一电压值Va反映了表示检查对象部A是否为正常的信息，因此通过利用测定处理部51来获得第一电压值Va，从而检查对象部A的检查变得容易。

而且，检查对象部A示出了两个电流路径A1、A2并联连接的示例，但并联连接的电流路径的数量也可为三个以上。例如，在除了电流路径A1、A2以外还并联连接有省略图示的电流路径A3的情况下，若电流路径A3的特性与电流路径A1、A2大致相同，则其电流-电压特性如图9所示。

图9所示的曲线G3表示正常时的特性，曲线G4表示三个电流路径中的一个发生了断线时的特性，曲线G5表示三个电流路径中的两个发生了断线时的特性。曲线G5与在两个电流路径A1、A2并联连接的图3中，一个电流路径发生了断线时的曲线G2相同。

这样，在三个电流路径并联连接的情况下，导通电压探索部53也可通过与步骤S1～S19相同的处理来获取导通电压Von、判定电压Vref以及第一电流值Ia。

此时，导通电压Von＝0.30V，第一电流值Ia＝0.80mA，电压值Vg＝0.195V，判定电压Vref＝0.215V。并且，基于以此方式获得的判定电压Vref(＝0.215V)以及第一电流值Ia(＝0.8mA)，通过与步骤S21～S25同样的处理，可对第一电压值Va进行测定，从而对检查对象部进行检查。

此时，通过将第一电流值Ia设为使所述第一电流值Ia的电流流经多个电流路径中仅有一个发生了断线的检查对象部A时检查对象部A的两端间的电压实质上成为导通电压Von的电流值，从而不良的曲线G4中的判定电压Vref与第一电压值Va的电压差Vd3为0.30-0.215＝0.085V。

另一方面，多个电流路径中除了一个以外的剩余的电流路径发生了断线的检查对象部A的第一电流值Ia是通过在步骤S17中设为第一电流值Ia＝I(m)/Q而求出。通过I(m)/Q而获得的第一电流值Ia为使所述第一电流值Ia的电流流经多个电流路径中除了一个以外的剩余的电流路径发生了断线的检查对象部A时检查对象部A的两端间的电压实质上成为导通电压Von的电流值。此时，如图9中的括号所示，第一电流值Ia为0.40mA，电压值Vg为0.09V，判定电压Vref＝0.10V，不良的曲线G4中的判定电压Vref与第一电压值Va的电压差Vd4为0.14-0.10＝0.04V。

即，电压差Vd3比电压差Vd4大。因而，比起基于多个电流路径中除了一个以外的剩余的电流路径发生了断线的检查对象部A来获得第一电流值Ia，基于多个电流路径中仅有一个发生了断线的检查对象部A来获得第一电流值Ia时，正常时与不良时的第一电压值Va之差变大，从而容易判定是否为正常。

因而，更优选的是，将第一电流值Ia设为使所述第一电流值Ia的电流流经多个电流路径中仅有一个发生了断线的检查对象部A时检查对象部A的两端间的电压实质上成为导通电压Von的电流值。

另一方面，如图9所示，电压差Vd4比将第一电流值Ia设为基准电流值IS以上时的、正常的曲线G3与不良的曲线G4的电压差Vd5大。因而，在设为使所述第一电流值Ia的电流流经多个电流路径中除了一个以外的剩余的电流路径发生了断线的检查对象部A时检查对象部A的两端间的电压实质上成为导通电压Von的电流值的情况下，也可获得容易判定是否为正常的效果。

进而，将使电流流经多个电流路径中除了一个以外的剩余的电流路径发生了断线的检查对象部A时检查对象部A的两端间的电压实质上成为导通电压Von的电流值设为不良电流值IE。并且，如图9所示，将第一电流值Ia设为比基准电流值IS(＝1.2mA)小且为不良电流值IE(＝0.4mA)以上的电流范围时的正常的曲线G3与不良的曲线G4的电压差大于电压差Vd5，因而容易判定是否为正常。

因而，可将比基准电流值IS小且为不良电流值IE以上的电流范围较佳地用作第一电流值Ia。

而且，示出了通过对检查对象部A流经第一电流值Ia的电流，来测定检查对象部A中产生的第一电压值Va的示例，但也可为如下。即，如图10所示，检查装置1c例如可包括恒电压电源电路等电压供给部2c来代替电流供给部2。并且，测定处理部51c也可通过电压供给部2c来对检查对象部A施加实质上为导通电压Von以下的第一电压值Va，且通过电流测定部4来测定检查对象部A中产生的第一电流值Ia。并且，判定部52c也可基于由电流测定部4所测定的第一电流值Ia来判定检查对象部A的良否。

以此方式而获得的第一电流值Ia也反映了表示检查对象部A是否正常的信息，因此通过利用测定处理部51来获得第一电压值Va，从而检查对象部A的检查变得容易。

(第二实施方式)

接下来，基于图11来说明本发明的第二实施方式的检查装置1a。图11所示的检查装置1a中，控制部5a的结构与图1所示的检查装置1不同。控制部5a还包括基准斜度获取部55。测定处理部51a、判定部52a以及导通电压探索部53a的运行与测定处理部51、判定部52以及导通电压探索部53不同。

而且，检查装置1a也可与检查装置1同样不包括导通电压探索部53a。其他结构与第一实施方式的检查装置1同样，因此省略其说明，以下对本实施方式的特征点进行说明。

导通电压探索部53a在图5所示的步骤S17中设为第一电流值Ia＝I(m)，由此，将第一电流值Ia存储至存储部54中。而且，导通电压探索部53a不需要执行步骤S18、S19。其他方面与导通电压探索部53同样。

根据导通电压探索部53a，与导通电压探索部53同样，探索检查对象部A的导通电压Von，并将探索出的导通电压Von与第一电流值Ia存储至存储部54中，由此来预先设定。

基准斜度获取部55在作为正常的基准样品的检查对象部A中，获取其两端间的电压为导通电压Von以下的区域中的电流-电压特性的斜度来作为基准斜度rs。

测定处理部51a使第一电流值Ia的电流流经焊垫Pa5、Pa6间，且测定焊垫Pa5、Pa6间的电压以作为第一电压值Va，使比第一电流值Ia小的第二电流值Ib的电流流经焊垫Pa5、Pa6间，且测定焊垫Pa5、Pa6间的电压以作为第二电压值Vb。

判定部52a基于第一电流值Ia与第二电流值Ib之差、以及第一电压值Va与第二电压值Vb之差的比，即，基于检查对象部A的电流-电压特性的斜度rt，来判定检查对象部A的良否。具体而言，判定部52a通过将斜度rt与基准斜度rs进行比较，从而判定检查对象部A的良否。

接下来，基于图12、图13来说明以上述方式构成的基准斜度获取部55、测定处理部51a以及判定部52a的运行。

首先，例如用户将正常的电路基板100作为基准样品而载置于省略图示的载置台。然后，基准斜度获取部55使探针Pr1与焊垫Pa5接触，使探针Pr2与焊垫Pa6接触(步骤S31)。

接下来，基准斜度获取部55从存储部54中读出正常的检查对象部A的导通电压Von，将第一电压值Va设定为与导通电压Von相等的值(步骤S32)。

接下来，基准斜度获取部55从存储部54中读出正常的检查对象部A的第一电流值Ia，将比第一电流值Ia小的值设定作为第二电流值Ib(步骤S33)。例如图13所示的示例中，第一电压值Va＝导通电压Von＝0.30V，第一电流值Ia＝0.8mA。在正常的检查对象部A的曲线G1中，将坐标(Va，Ia)＝(0.30，0.8)的点表示为点P1。

基准斜度获取部55例如可通过从第一电流值Ia即0.8减去预先设定的数例如0.5，而将第二电流值Ib设定为0.3。或者，基准斜度获取部55也可通过将第一电流值Ia乘以比0大且比1小的系数，例如将第一电流值Ia乘以1/2或者乘以1/3等，从而求出第二电流值Ib。

接下来，基准斜度获取部55使第二电流值Ib的电流流经探针Pr1、Pr2间，在所述电流流动的期间内测定探针Pr1、Pr2间的电压以作为第二电压值Vb(步骤S34)。在第二电流值Ib例如为0.3mA的情况下，在图13所示的正常的检查对象部A的曲线G1中，获得0.10V作为第二电压值Vb。在正常的检查对象部A的曲线G1中，将坐标(Vb，Ib)＝(0.10，0.3)的点表示为点P2。

接下来，基准斜度获取部55基于下述的式(4)来算出基准斜度rs(步骤S35)。

基准斜度rs＝(Ia-Ib)/(Va-Vb)…(4)

若为图13中的曲线G1的情况，则基准斜度rs＝(0.8-0.3)/(0.30-0.10)＝2.5。

基准斜度rs相当于连结正常的检查对象部A的曲线G1中的点P1与点P2的直线的斜度。基准斜度获取部55将通过步骤S31～S35而获得的第二电流值Ib与基准斜度rs存储至存储部54中，由此来预先设定，并结束处理。

另外，检查装置1a也可未必包括基准斜度获取部55。例如用户也可借助实验，通过与步骤S31～S35同样的方法来获取基准斜度rs，并将其存储至存储部54中而预先设定。或者用户也可制作图13所示的曲线G1，读取直线L1的斜度来作为基准斜度rs，将所述读取的基准斜度rs与第二电流值Ib存储至存储部54中而预先设定。

参照图14，首先，例如用户将欲进行检查的电路基板100载置于省略图示的载置台。然后，测定处理部51a使探针Pr1与焊垫Pa5接触，使探针Pr2与焊垫Pa6接触(步骤S41)。

接下来，测定处理部51a从存储部54中读出第一电流值Ia。并且，测定处理部51a使第一电流值Ia的电流流经探针Pr1、Pr2间，在所述电流流动的期间内，测定探针Pr1、Pr2间的电压以作为第一电压值Va(步骤S42)。例如在图13的情况下，若检查对象部A为正常，则在曲线G1中的点P1处，测定出第一电压值Va＝0.30V。另一方面，若电流路径A1、A2的任一个发生了断线而检查对象部A为不良，则在曲线G2中的点P3处，测定出第一电压值Va＝0.32V。

接下来，测定处理部51a从存储部54中读出第二电流值Ib。并且，测定处理部51a使第二电流值Ib的电流流经探针Pr1、Pr2间，在所述电流流动的期间内，测定探针Pr1、Pr2间的电压以作为第二电压值Vb(步骤S43)。例如在图13的情况下，若检查对象部A为正常，则在曲线G1中的点P2处，测定出第二电压值Vb＝0.10V。另一方面，若电流路径A1、A2的任一个发生了断线而检查对象部A为不良，则在曲线G2中的点P4处，测定出第二电压值Vb＝0.22V。

接下来，判定部52a基于下述的式(5)来算出斜度rt(步骤S44)。

斜度rt＝(Ia-Ib)/(Va-Vb)…(5)

若检查对象部A为正常，则斜度rt表示连结曲线G1中的点P1与点P2的直线L1的斜度。另一方面，若检查对象部A为不良，则斜度rt表示连结曲线G2中的点P3与点P4的直线L2的斜度。根据图13的直线L1、L2可明确的是，在检查对象部A为不良的情况下，斜度rt比正常的情况大。

根据图13所示的示例，在检查对象部A为正常的情况下，斜度rt＝(0.8-0.3)/(0.30-0.10)＝2.5。另一方面，在检查对象部A为不良的情况下，斜度rt＝(0.8-0.3)/(0.32-0.22)＝5。

接下来，判定部52a基于基准斜度rs来算出用于判定检查对象部A的良否的判定值rth(步骤S45)。具体而言，例如在设想基准斜度rs的偏差或测定误差最大为10％的情况下，通过将基准斜度rs乘以1.1而算出判定值rth。例如，若基准斜度rs＝2.5，则判定值rth＝2.5×1.1＝2.75。

由此，即使在相对于基准斜度rs而产生了因制造偏差或测定误差引起的误差的情况下，也可获得能够正确地进行判定的判定值rth。

接下来，判定部52a对斜度rt与判定值rth进行比较(步骤S46)。并且，若斜度rt为判定值rth以下(步骤S46中为否)，则判定部52a判定检查对象部A为正常(步骤S47)。判定部52a将所述判定结果显示于例如省略图示的显示装置或者发送至外部以进行告知，或者存储至存储部54中而结束处理。

另一方面，若斜度rt超过判定值rth(步骤S46中为是)，则判定部52a判定检查对象部A为不良(步骤S48)。判定部52a将所述判定结果显示于例如省略图示的显示装置或者发送至外部以进行告知，或者存储至存储部54中而结束处理(步骤S26)。

图13所示的示例中，若检查对象部A为正常，则如上所述，斜度rt为2.5，为判定值rth＝2.75以下(步骤S46中为否)，因此正确地判定检查对象部A为正常。另一方面，若检查对象部A为不良，则如上所述，斜度rt为5，超过判定值rth＝2.75(步骤S46中为是)，因此正确地判定检查对象部A为不良。

式(5)中，(Ia-Ib)为第一电流值Ia与第二电流值Ib之差，(Va-Vb)为第一电压值Va与第二电压值Vb之差，因此斜度rt是第一电流值Ia与第二电流值Ib之差、以及第一电压值Va与第二电压值Vb之差的比。因而，判定部52a基于第一电流值Ia与第二电流值Ib之差、以及第一电压值Va与第二电压值Vb之差的比即斜度rt，来判定检查对象部A的良否。

以上，根据步骤S41～S48，第一电流值Ia被设定为在正常的检查对象部A中实质上获得导通电压Von的电流值，第二电流值Ib被设定为比第一电流值Ia小的电流值。其结果，与正常的检查对象部A中的导通电压Von对应的点P1成为直线L1中的高电压、高电流侧的端部，点P2成为直线L1中的低电压、低电流侧的端部。

并且，基于此种第一电流值Ia以及第二电流值Ib来获取第一电压值Va以及第二电压值Vb，因此在检查对象部A为不良的情况下，如图13的曲线G2所示，与第一电流值Ia对应的点P3位于曲线G2的较导通电压为高电压侧，即曲线G2陡峭地上升而斜度大的区域。

其结果，比起检查对象部A为正常时的直线L1，检查对象部A为不良时的直线L2的斜度rt大。因而，根据步骤S41～S48，容易基于直线L1、L2的斜度rt来对检查对象部A进行检查。

另外，检查对象部A示出了并联连接的两个电流路径A1、A2并联连接的示例，但并联连接的电流路径的数量也可为三个以上。例如，在除了电流路径A1、A2以外还并联连接有省略图示的电流路径A3的情况下，若电流路径A3的特性与电流路径A1、A2大致相同，则其电流-电压特性如图15所示。

图15所示的曲线G3、G4、G5与图9所示的曲线G3、G4、G5相同。

这样，即使在三个电流路径并联连接的情况下，导通电压探索部53a通过在步骤S7中将电流值的上限由1.0变更为1.4左右，也可获取正常时的曲线G3中的导通电压Von(＝0.30V)以及第一电流值Ia(＝1.2mA)。

并且，基于以此方式获得的第一电流值Ia(＝1.2mA)，基准斜度获取部55可通过与图12所示的步骤S31～S35同样的处理来算出基准斜度rs。图15所示的曲线G3中，示出了在步骤S33中将第一电流值Ia的1/3设为第二电流值Ib(＝0.4mA)的示例。在曲线G3的情况下，第一电流值Ia(＝1.2mA)、第一电压值Va(＝0.30V)的点为点P5，第二电流值Ib(＝0.4mA)、第二电压值Vb(＝0.09V)的点为点P6。连结点P5与点P6的直线L3的斜度即基准斜度rs＝(1.2-0.4)/(0.30-0.09)＝3.8。

而且，测定处理部51a以及判定部52a通过与图14所示的步骤S41～S48同样的处理，可正确判定曲线G4、G5的不良。例如，在曲线G4的情况下，第一电流值Ia(＝1.2mA)、第一电压值Va(＝0.31V)的点为点P7，第二电流值Ib(＝0.4mA)、第二电压值Vb(＝0.14V)的点为点P8。连结点P7与点P8的直线L4的斜度rt＝(1.2-0.4)/(0.31-0.14)＝4.7。

因而，直线L4的斜度rt(＝4.7)大于判定值rth(＝3.8×1.1＝4.2)(步骤S46中为是)，因此判定部52a可将曲线G4的检查对象部A正确地判定为不良。

例如，在曲线G5的情况下，第一电流值Ia(＝1.2mA)、第一电压值Va(＝0.33V)的点为点P9，第二电流值Ib(＝0.4mA)、第二电压值Vb(＝0.30V)的点为点P10。连结点P9与点P10的直线L5的斜度rt＝(1.2-0.4)/(0.33-0.30)＝26.7。

因而，直线L5的斜度rt(＝26.7)大于判定值rth(＝4.2)(步骤S46中为是)，因此判定部52a可将曲线G5的检查对象部A正确地判定为不良。

(第三实施方式)

接下来，对本发明的第三实施方式的检查装置1b进行说明。检查装置1b的结构与第一实施方式同样，如图1所示。图1中，对于与检查装置1不同的结构，对符号加注了括号。第三实施方式的检查装置1b中，控制部5b的结构与第一实施方式的检查装置1不同。控制部5b中，测定处理部51b以及判定部52b的运行与测定处理部51以及判定部52不同。而且，控制部5b包括与控制部5a同样的导通电压探索部53a来代替导通电压探索部53。

其他结构与第一实施方式的检查装置1同样，因此省略其说明，以下对本实施方式的特征点进行说明。

测定处理部51b一边使电流值不同，一边多次使电流流经探针Pr1、Pr2间，在各电流流动的各期间内测定探针Pr1、Pr2间的电压，基于所述测定的多个电压的变化来获取检查对象部A导通时的导通电流Ion。

判定部52b基于导通电流Ion来判定检查对象部A的良否。

接下来，对以此方式构成的检查装置1b的运行进行说明。首先，通过导通电压探索部53a，如上所述，探索检查对象部A的导通电压Von，将与所探索出的导通电压Von对应的第一电流值Ia存储至存储部54中，由此来预先设定。另外，第三实施方式中，导通电压探索部53a也可不执行步骤S16。

参照图16～图18，例如用户将欲进行检查的电路基板100载置于省略图示的载置台。然后，测定处理部51b使探针Pr1与焊垫Pa5接触，使探针Pr2与焊垫Pa6接触(步骤S51)。以下，通过测定处理部51b来执行与图4、图5同样的步骤S2～S8、S11～S15。

测定处理部51b通过步骤S2～S7的处理，一边使电流值不同，一边多次使电流流经探针Pr1、Pr2间，在各电流流动的各期间内测定探针Pr1、Pr2间的电压。

接下来，测定处理部51b根据在步骤S15中获得的最大的比R(m)，获取与导通电压Von对应的编号m。并且，测定处理部51b参照在步骤S5中存储于存储部54的测定信息，将编号m的电流值I(m)设为导通电流Ion(步骤S61)。图18所示的示例中，在对正常的检查对象部A进行测定的情况下，获得0.8mA作为导通电流Ion，在对不良的检查对象部A进行测定的情况下，获得0.4mA作为导通电流Ion。

以上，通过步骤S6～S61的处理，测定处理部51b可基于n个电压值V(1)～V(n)的变化来获取检查对象部A的导通电流Ion。

接下来，判定部52b通过导通电压探索部53a，读出在图5所示的步骤S17中存储于存储部54的正常的检查对象部A的导通电流即I(m)来作为第一电流值Ia，并基于所述第一电流值Ia来算出用于判定检查对象部A的良否的判定值Iref(步骤S62)。具体而言，例如在设想第一电流值Ia的偏差或测定误差最大为10％的情况下，通过将第一电流值Ia乘以0.9来算出判定值Iref。图18所示的曲线G1的示例中，第一电流值Ia＝0.8，因此判定值Iref＝0.8×0.9＝0.72。

由此，即使在相对于导通电流Ion而产生了因制造偏差或测定误差引起的误差的情况下，也可获得能够正确地进行判定的判定值Iref。

接下来，判定部52b对导通电流Ion与判定值Iref进行比较(步骤S63)。并且，若导通电流Ion超过判定值Iref(步骤S63中为是)，则判定部52b判定检查对象部A为正常(步骤S64)。判定部52b将所述判定结果显示于例如省略图示的显示装置或者发送至外部以进行告知，或者存储至存储部54中而结束处理(步骤S26)。

另一方面，若导通电流Ion为判定值Iref以下(步骤S63中为否)，则判定部52b判定检查对象部A为不良(步骤S65)。判定部52b将所述判定结果显示于例如省略图示的显示装置或者发送至外部以进行告知，或者存储至存储部54中而结束处理。

图18所示的示例中，若检查对象部A为正常，则如曲线G1所示，导通电流Ion为0.8，超过判定值Iref＝0.72(步骤S63中为是)，因此正确地判定检查对象部A为正常。另一方面，若检查对象部A为不良，则如曲线G2所示，导通电流Ion为0.4，为判定值Iref＝0.72以下(步骤S63中为否)，因此正确地判定检查对象部A为不良。

以上，根据步骤S51～S65的处理，可正确地判定检查对象部A的良否，因而，容易对检查对象部A进行检查。

另外，示出了下述示例，即，一边在图16所示的步骤S4中使电流值不同，一边多次在步骤S5中使电流流经探针Pr1、Pr2间，在各电流流动的各期间内测定探针Pr1、Pr2间的电压，但例如也可如图19所示，执行步骤S2a～S5a、S7a来代替步骤S2～S5、S7，由此，测定处理部51b一边使电压值不同，一边多次对探针Pr1、Pr2间施加电压，在施加有各电压的各期间内，对流经探针Pr1、Pr2间的电流进行测定。此时，通过步骤S6～S61的处理，测定处理部51b也可基于n个电流值I(1)～I(n)的变化来获取检查对象部A的导通电流Ion。

另外，检查对象部A示出了两个电流路径A1、A2并联连接的示例，但并联连接的电流路径的数量也可为三个以上。例如，在除了电流路径A1、A2以外还并联连接有省略图示的电流路径A3的情况下，若电流路径A3的特性与电流路径A1、A2大致相同，则其电流-电压特性如图20所示。

图20所示的曲线G3、G4、G5与图9所示的曲线G3、G4、G5相同。

这样，即使在三个电流路径并联连接的情况下，导通电压探索部53a通过在步骤S7中将电流值的上限由1.0变更为1.4左右，从而也可获取正常时的曲线G3中的第一电流值Ia(＝1.2mA)。

并且，测定处理部51b可通过图16、图17、图19所示的步骤S51～S61的处理获取导通电流Ion。判定部52b基于导通电流Ion与第一电流值Ia，并通过图17所示的步骤S61～S65的处理，可判定检查对象部A的良否。在第一电流值Ia＝1.2mA的情况下，判定值Iref＝1.2×0.9＝1.08(步骤S62)。

在曲线G3的情况下，导通电流Ion(＝1.2)超过了判定值Iref(＝1.08)(步骤S63中为是)，因此可将曲线G3的检查对象部A正确地判定为正常(步骤S64)。在曲线G4的情况下，导通电流Ion(＝0.8)为判定值Iref(＝1.08)以下(步骤S63中为否)，因此可将曲线G4的检查对象部A正确地判定为不良(步骤S65)。在曲线G5的情况下，导通电流Ion(＝0.4)为判定值Iref(＝1.08)以下(步骤S63中为否)，因此可将曲线G5的检查对象部A正确地判定为不良(步骤S65)。

即，本发明的一例的检查装置用于进行具有二极管特性的多个电流路径并联连接的检查对象部的检查，所述二极管特性是指顺向电压超过导通电压时的相对于所述电压的变化的电流变化比所述顺向电压不足所述导通电压时大，所述检查装置包括：电流供给部，能够供给电流；电压测定部，能够测定电压；以及测定处理部，通过所述电流供给部来使预先设定的第一电流值的电流流经所述两端间，且通过所述电压测定部来测定所述两端间的电压以作为第一电压值，所述第一电流值是正常的所述检查对象部的两端间的电压实质上成为所述导通电压的电流值以下。

而且，本发明的一例的检查方法进行具有二极管特性的多个电流路径并联连接的检查对象部的检查，所述二极管特性是指顺向电压超过导通电压时的相对于所述电压的变化的电流变化比所述顺向电压不足所述导通电压时大，所述检查方法包含：测定处理工序，使预先设定的第一电流值的电流流经所述两端间，且测定所述两端间的电压以作为第一电压值，所述第一电流值是正常的所述检查对象部的两端间的电压实质上成为所述导通电压的电流值以下。

具有二极管特性的检查对象部在其特性上，在两端间的电压超过导通电压的区域中，所述电压相对于流动的电流的变化微小。根据这些结构，将正常的检查对象部的两端间的电压实质上成为导通电压的电流值以下的第一电流值流经检查对象部时的、所述检查对象部的两端间的电压测定作为第一电压值。这样，在正常的检查对象部的两端间的电压不超过导通电压的区域中，将相对于流经检查对象部的第一电流值的电流而在所述两端间产生的电压测定作为第一电压值，因此多个电流路径的任一个发生了断线时的第一电压值会出现大的变化。因而，第一电压值反映了表示检查对象部是否正常的信息，因此通过获得第一电压值，从而检查对象部的检查变得容易。

而且，优选的是还包括判定部，所述判定部基于所述第一电压值来判定所述检查对象部的良否。

根据所述结构，可基于第一电压值来判定检查对象部的良否。

而且，本发明的一例的检查装置用于进行具有二极管特性的多个电流路径并联连接的检查对象部的检查，所述二极管特性是指顺向电压超过导通电压时的相对于所述电压的变化的电流变化比所述顺向电压不足所述导通电压时大，所述检查装置包括：电压供给部，能够输出电压；电流测定部，能够测定电流；以及测定处理部，通过所述电压供给部来使预先设定为实质上为所述导通电压以下的第一电压值的电压施加至所述检查对象部的两端间，且通过所述电流测定部来测定流经所述两端间的电流以作为第一电流值。

而且，本发明的一例的检查方法进行具有二极管特性的多个电流路径并联连接的检查对象部的检查，所述二极管特性是指顺向电压超过导通电压时的相对于所述电压的变化的电流变化比所述顺向电压不足所述导通电压时大，所述检查方法包含：测定处理工序，使预先设定为实质上为所述导通电压以下的第一电压值的电压施加至所述检查对象部的两端间，且测定流经所述两端间的电流以作为第一电流值。

根据这些结构，代替第一电流而将第一电压施加至检查对象部的两端间，代替第一电压而测定流经检查对象部的两端间的电流来作为第一电流。此时，所测定的第一电流也反映了表示检查对象部是否正常的信息，因此通过获得第一电流，从而检查对象部的检查变得容易。

而且，优选的是还包括判定部，所述判定部基于所述第一电流值来判定所述检查对象部的良否。

根据所述结构，可基于第一电流值来判定检查对象部的良否。

而且，优选的是，正常的所述检查对象部中，所述多个电流路径全部导通。

若并联连接的多个电流路径全部导通，则检查对象部为正常。

而且，优选的是，所述第一电流值是使所述第一电流值的电流流经所述多个电流路径中除了一个以外的剩余的电流路径发生了断线的所述检查对象部时，所述检查对象部的两端间的电压实质上成为所述导通电压的电流值以上。

根据所述结构，第一电流值被预先设定为如下所述的电流范围，即，正常的检查对象部的两端间的电压实质上成为导通电压的电流值以下、且使所述第一电流值的电流流经多个电流路径中除了一个以外的剩余的电流路径发生了断线的检查对象部时检查对象部的两端间的电压实质上成为导通电压的电流值以上。此种电流范围较佳作为第一电流值。

而且，优选的是，所述第一电流值是使所述第一电流值的电流流经所述多个电流路径中仅有一个发生了断线的所述检查对象部时，所述检查对象部的两端间的电压实质上成为所述导通电压的电流值以上。

根据所述结构，第一电流值被预先设定为如下所述的电流范围，即，正常的检查对象部的两端间的电压实质上成为导通电压的电流值以下、且使所述第一电流值的电流流经多个电流路径中仅有一个发生了断线的所述检查对象部时检查对象部的两端间的电压实质上成为导通电压的电流值以上。此种电流范围较佳作为第一电流值。

而且，优选的是，所述第一电流值是使所述第一电流值的电流流经所述多个电流路径中仅有一个发生了断线的所述检查对象部时，所述检查对象部的两端间的电压实质上成为所述导通电压的电流值。

根据所述结构，第一电流值被预先设定为使所述第一电流值的电流流经多个电流路径中仅有一个发生了断线的检查对象部时检查对象部的两端间的电压实质上成为导通电压的电流值。此时，比起第一电流值是使所述第一电流值的电流流经正常的检查对象部时检查对象部的两端间的电压实质上成为导通电压的电流值的情况，在正常时与不良时获得的第一电压值的差异大。因而，更容易基于第一电压值来判定检查对象部的良否。

而且，优选的是，所述第一电流值是正常的所述检查对象部的两端间的电压实质上成为所述导通电压的电流值，所述测定处理部一边通过所述电流供给部来使所述第一电流值的电流流经所述两端间一边通过所述电压测定部来测定所述两端间的电压以作为第一电压值，且一边通过所述电流供给部来使比所述第一电流值小的第二电流值的电流流经所述两端间一边通过所述电压测定部来测定所述两端间的电压以作为第二电压值，所述检查装置还包括判定部，所述判定部基于所述第一电流值与所述第二电流值之差、以及所述第一电压值与所述第二电压值之差的比，来判定所述检查对象部的良否。

根据所述结构，第一电流值与第二电流值之差以及第一电压值与第二电压值之差的比，表示将检查对象部的电流-电压特性图表中的第一电流值与第一电压值相交的点、和第二电流值与第二电压值相交的点予以连结的直线的斜度。并且，多个电流路径中的任一个发生了断线的检查对象部的所述斜度比正常的检查对象部的所述斜度大。因而，判定部可基于所述斜度来判定检查对象部的良否。

而且，优选的是还包括导通电压探索部，所述导通电压探索部一边使电流值不同，一边多次通过所述电流供给部来使电流流经所述两端间，在所述各电流流动的各期间内，通过所述电压测定部来测定所述两端间的电压，基于所述测定出的多个电压的变化来探索所述检查对象部的导通电压。

根据所述结构，可探索特性不明的检查对象部的导通电压。

而且，本发明的一例的检查装置用于进行具有二极管特性的多个电流路径并联连接的检查对象部的检查，所述二极管特性是指顺向电压超过导通电压时的相对于所述电压的变化的电流变化比所述顺向电压不足所述导通电压时大，所述检查装置包括：测定处理部，将电流或电压中的其中一者一边使值不同，一边多次供给至所述检查对象部的两端间，在供给所述其中一者的各期间内，测定所述两端间的所述电流或电压中的另一者，基于所述测定出的所述另一者的变化来获取所述检查对象部导通的所述电流；以及判定部，基于由所述测定处理部所获取的所述电流来判定所述检查对象部的良否。

而且，本发明的一例的检查方法用于进行具有二极管特性的多个电流路径并联连接的检查对象部的检查，所述二极管特性是指顺向电压超过导通电压时的相对于所述电压的变化的电流变化比所述顺向电压不足所述导通电压时大，所述检查方法包含：测定处理工序，将电流或电压中的其中一者一边使值不同，一边多次供给至所述检查对象部的两端间，在供给所述其中一者的各期间内，测定所述两端间的所述电流或电压中的另一者，基于所述测定出的所述另一者的变化来获取所述检查对象部导通的所述电流；以及判定工序，基于由所述测定处理部所获取的所述电流来判定所述检查对象部的良否。

与多个电流路径中的任一个发生了断线的检查对象部相比，检查对象部导通的电流在正常的检查对象部中多。因此，根据这些结构，可获取检查对象部导通的电流，并基于所述电流来判定检查对象部的良否。

而且，本发明的一例的检查装置用程序用于使所述检查装置运行，所述检查装置用程序使计算机作为所述测定处理部发挥功能。

根据所述程序，通过使计算机作为所述测定处理部发挥功能，从而可使所述检查装置运行。

此种结构的检查装置、检查方法以及检查装置用程序容易进行多个二极管并联连接的检查对象的检查。

本申请是以2018年12月6日提出申请的日本专利申请特愿2018-228749为基础，其内容包含在本申请中。另外，在具体实施方式一项中作出的具体的实施方式或实施例不过是为了明确本发明的技术内容，本发明不应仅限定于此种具体例而狭义地解释。

符号的说明

1、1a、1b：检查装置

2：电流供给部

3：电压测定部

4：电流测定部

5、5a、5b：控制部

51、51a、51b：测定处理部

52、52a、52b：判定部

53、53a：导通电压探索部

54：存储部

55：基准斜度获取部

100：电路基板

101：配线基板

102：零件

A、B、C：检查对象部

A1、A2、A3：电流路径

D1、D2：二极管

G1、G2、G3、G4、G5：曲线

I：电流值

Ia：第一电流值

Ib：第二电流值

Ion：导通电流

Iref：判定值

IS：基准电流值

L1、L2、L3、L4、L5：直线

P1～P10：点

Pa1～Pa6：焊垫

Pr1、Pr2：探针

R：比

T1～T4：端子

V：电压值

Va：第一电压值

Vb：第二电压值

Vd1、Vd2：电压差

Vg：电压值

Von：导通电压

Vref：判定电压

W1～W8：配线图案

rs：基准斜度

rt：斜度

rth：判定值