一种线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法

技术领域

本申请涉及线切割技术领域，具体地，涉及一种线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法。

背景技术

在通过线切割设备对硬脆材料进行截断、开方、切片等加工时，切割液的清洁度对工件成品的质量有很大影响，为保证工件质量，切割液循环系统中需要设置有用于过滤切割液的过滤装置。目前行业中所用的过滤装置一般为过滤筒形式，过滤筒内设置有过滤网和过滤袋，过滤网和过滤袋可有效地对切割液中的线头、颗粒等杂质进行过滤。但线切割时，尤其是切片时，会产生大量细微粉尘，随着切割过程的持续，过滤网和过滤袋的孔逐渐被堵塞，导致过滤效果变差、切割液流量降低，引起切片过程中跳线、断线等问题，影响工件质量和加工效率。

目前行业内针对该问题一般采用的方式为手动更换过滤袋和清洗过滤筒，每次切割作业开始之前，操作人员需要拆开过滤筒，将旧过滤袋取出并更换新的过滤袋，而且线切割机累积运行一定时间后还需要将过滤网取出进行人工清洗。这种方式不仅严重影响工作效率，而且更换过滤袋导致生产成本很高。对过滤筒内过滤网和过滤袋进行更换或清洗，清洗效果因人而异，也存在忘记清洗就进行切割作业的情况出现。这就导致了切割耗材的增加、切割作业效率降低同时影响工件切割质量。

发明内容

本申请实施例中提供了一种线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法，以解决现有的过滤装置需人工对过滤筒内滤网进行更换或清洗、操作复杂且清洗效果影响成片质量的问题。

为了达到上述目的，本申请提供如下技术方案：

一种线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法，所述切割液循环系统包括过滤装置和清洗动力装置，所述清洗动力装置与所述过滤装置连通；所述清洗动力装置为超声波冲洗组件；所述自动清洗方法包括：

步骤一：判断线切割机是否处于非切割作业状态，若是，则执行下一步骤；

步骤二：控制所述超声波冲洗组件启动且对所述过滤装置进行清洗。

可选地，所述切割液循环系统还包括排污管路和切割液输出管路；所述排污管路和所述切割液输出管路分别与所述过滤装置连通；

所述步骤一和所述步骤二之间还包括：

控制所述排污管路和所述切割液输出管路断开。

可选地，所述步骤二具体包括：

向所述过滤装置注入冲洗液，控制所述超声波冲洗组件作业，以对所述过滤装置进行清洗。

可选地，所述超声波冲洗组件包括清洗液进液管路，所述清洗液进液管路与所述过滤筒连接，用于清洗液进入所述过滤筒内；

所述方法还包括：

步骤三：判断所述超声波冲洗组件的作业时长是否大于或等于预设时长，若是，则执行下一步骤；

步骤四：控制所述清洗液进液管路断开、所述排污管路导通，将冲洗完所述过滤装置的清洗液输送至所述切割液循环系统的供液装置中；以保证超声清洗时间，优化滤网清洗效果。

可选地，所述方法还包括：

步骤五：判断冲洗次数是否大于或等于第一预设次数，若否，则重复所述步骤一至所述步骤四。

可选地，在所述步骤一和所述步骤二之间还包括：

判断线切割机是否已经连续切割预设次数；

若是，则执行所述步骤二。

可选地，所述步骤一还包括：

若线切割机未处于非切割作业状态，则重复进行步骤一的判断。

可选地，所述预设次数为1-2次，每1-2次切割后进行滤网冲洗，进一步保证清洗效果。

可选地，所述切割液循环系统还包括：

喷淋装置，具有若干个喷淋管，用于对工件切割区进行切割液喷淋；

收集装置，用于设置在所述喷淋装置下方收集切割液；

供液装置，为切割液提供动力，所述供液装置与所述收集装置连通；

所述过滤装置分别与所述供液装置和所述喷淋装置连通。

可选地，所述过滤装置包括过滤筒和过滤网，所述过滤网位于所述过滤筒内；所述过滤网具有切割液入口；所述切割液入口用于连通所述过滤网内部与所述过滤装置的外部；

所述排污管路用于排出所述过滤网内部清洗液体和污物；

所述切割液输出管路用于排出过滤后的切割液；

所述超声波冲洗组件用于连接外部清洗单元，并与所述过滤网的位置对应设置，以对所述过滤网进行超声波冲洗。

可选地，所述过滤筒包括：

筒体；

筒盖，位于所述筒体的顶部，且与所述筒体可拆卸的连接。

可选地，所述超声波冲洗组件还包括：

超声波清洗组件，所述超声波清洗组件包括超声波换能器和超声变幅杆，所述超声波换能器的一端与所述筒盖可拆卸连接，另一端与所述超声变幅杆连接，所述超声变幅杆远离所述超声波换能器的一端贯穿所述筒盖、且延伸至所述过滤网的内部，以对所述过滤网进行超声波冲洗。

可选地，所述超声波换能器与所述筒盖间设有密封垫；

所述过滤筒还包括密封压盘，所述密封压盘位于所述超声波换能器上，且经螺纹紧固件与所述筒盖固定，以将所述超声波换能器和所述筒盖压紧。

可选地，所述超声波冲洗组件包括超声振棒和超声振子，所述超声振子位于所述超声振棒的内部，所述超声振棒的一端与所述过滤筒固定，另一端延伸至所述过滤网的内部。

可选地，所述超声振棒的一端可拆卸的固定连接于所述筒盖上，另一端延伸至所述过滤网的内部；

所述超声振子套装于所述超声振棒的内部，且延伸至所述过滤网的内部。

可选地，所述超声振棒与所述筒盖间设有密封垫；

所述超声振棒的周向外壁设有凸缘部，所述凸缘部的下表面和所述筒盖的上表面贴合，且所述凸缘部经螺纹紧固件与所述筒盖固定；所述凸缘部和所述超声振棒一体式设置。

可选地，所述排污管路的一端具有排污口，所述排污口位于所述过滤网的底壁，所述排污管路的另一端位于所述过滤装置的外部；

所述切割液输出管路的一端具有切割液出口，所述切割液出口位于所述过滤筒的底壁，所述切割液输出管路的另一端位于所述过滤装置的外部。

可选地，所述清洗液进液管路的一端与所述排污管路连通，且所述排污口复用为所述清洗液进液管路的进液口，使得冲洗后的污物不会留存在过滤网中，使得过滤网内部不会堵塞，保证切割液的流量处于预设范围内。

可选地，所述清洗液进液管路的一端与所述切割液输出管路连通，且所述切割液出口复用为所述清洗液进液管路的进液口，无需额外在过滤筒上设置开口，安装便捷。

可选地，所述清洗液进液管路的一端位于所述筒体的周向侧壁上，且所述清洗液进液管路的进液口位于所述过滤网的外侧，自外至内对过滤网进行清洗，优化冲洗效果。

可选地，还包括：

切割液出水阀，位于所述切割液输出管路靠近所述切割液出口的一端；

排污阀，位于所述排污管路上、所述清洗液进液管路的下方；

清洗控制阀，位于所述清洗液进液管路上，以控制管路通断。

可选地，所述排污管路的一端与所述过滤装置连通，另一端通过回流管路与所述供液装置连通。

可选地，所述供液装置具有供液泵和供液缸，所述供液泵的第一端与所述供液缸连通；

所述切割液循环系统还包括切割液输入管路，所述切割液输入管路的第一端与所述供液泵的第二端连通，所述切割液输入管路的第二端与所述过滤装置连通。

本申请实施例提供的一种线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法，所述切割液循环系统包括过滤装置和清洗动力装置，所述清洗动力装置与所述过滤装置连通；所述清洗动力装置为超声波冲洗组件；所述自动清洗方法包括：步骤一：判断线切割机是否处于非切割作业状态，若是，则执行下一步骤；步骤二：控制所述超声波冲洗组件启动且对所述过滤装置进行清洗。由此设置，使得上述过滤装置能够实现对过滤网的自动清洗，无需人工拆除过滤网进行清洗，自动清洗保证过滤网的清洗效果，解决人工忘记清洗过滤网就进行切割作业的情况，提高切割作业效率且保证成片质量。同时，超声波冲洗组件冲洗效果好，便于设置，同时还能够节省成本，无需每切割完一刀硅棒后更换过滤袋。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中切割液循环系统的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中切割液循环系统的液路原理图；

图3为本申请第一实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中过滤装置的结构示意图；

图4为本申请第二实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中过滤装置的结构示意图；

图5为本申请第三实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中过滤装置的结构示意图；

图6为本申请第四实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中过滤装置的结构示意图；

图7为本申请第五实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中过滤装置的结构示意图；

图8为本申请第六实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中过滤装置的结构示意图；

图9为本申请实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中过滤筒的剖视结构示意图；

图10为本申请提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中线切割机的结构示意图；

图11为本申请提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法的流程示意图。

附图中标记如下：

供液装置10、喷淋装置20、换热装置30、流量计40、过滤装置50、压力检测组件70、收集装置80、超声波冲洗组件120；

切割液出口51、排污口52、筒盖54、筒体55、过滤网56、切割液入口57、凸台515；

切割液输入管路90、切割液输出管路91、排污管路92；

超声波换能器121、超声变幅杆122、密封压盘123、超声振棒124、超声振子125、清洗液进液管路126；

凸缘部1241；

切割液出水阀300、排污阀400、清洗控制阀900；

电控柜1001、液路系统1002、绕线室组件1003、绕线室护罩组件1004、主轴组件1005、床身组件1006、四柱进给摆动机构1007、切割区总成1008、切割区护罩组件1009。

具体实施方式

本发明实施例公开了一种线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法，以解决现有的过滤装置需人工对过滤筒内滤网进行更换或清洗、操作复杂且清洗效果影响成片质量的问题。

为了使本申请实施例中的技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图对本申请的示例性实施例进行进一步详细的说明，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是所有实施例的穷举。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

如图11所示，图11为本申请提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法的流程示意图。本申请提供一种切割液循环系统的自动清洗方法，该方法适用于本申请提供的切割液循环系统。切割液循环系统包括过滤装置和清洗动力装置，所述清洗动力装置与所述过滤装置连通。相应的，本实施例中未提及的切割液循环系统相关结构设置，可以参见本申请下述实施例中切割液循环系统的具体实现方式，下文不再赘述。该自动清洗方法包括：

步骤一：判断线切割机是否处于非切割作业状态，若是，则执行下一步骤：

步骤二：控制超声波冲洗组件启动且对过滤装置进行清洗。

其中，非切割作业状态为线切割机在切割作业外的其他状态，均为非切割作业状态，如包括在线切割机开机后但未进行切割作业的状态，以及线切割机的切割装置处于暂停作业、物料进行上下料的上下料状态，均包括在本申请非切割作业状态中。优选地，非切割作业状态为上下料状态，此时线切割机的切割装置处于暂停作业、而物料进给装置进行上下料作业，由此设置，在两次切割作业间隙过程中，对过滤网56进行清洗，保证切割作业效率和滤网清洗效果。同时，使得整个工序更为紧凑。

步骤一还包括：

若线切割机未处于非切割作业状态，则重复进行步骤一的判断。

即只有判断线切割机处于非切割作业状态时，才进行清洗操作，否则，对线切割机的作业状态进行再一次的判断。

在该实施例中，切割液循环系统还包括排污管路和切割液输出管路；排污管路和切割液输出管路分别与过滤装置连通；

步骤一和步骤二之间还包括：

控制排污管路和切割液输出管路91断开。

步骤二具体包括：

向过滤装置注入冲洗液，控制超声波冲洗组件作业，以对过滤装置进行清洗。

当线切割机处于非切割作业状态时，控制排污管路92和切割液输出管路91断开，即为控制排污阀400和切割液出水阀300断开；使得清洗水不会流入至切割液输出管路91中，进而减少清洗水的混入以及从喷淋装置20喷淋出去的可能性，保证切割液的洁净度；控制清洗液进液管路126导通(清洗控制阀900导通)，直至冲洗液充满切割液循环系统的过滤筒，再将清洗液进液管路126关闭，保证冲洗时过滤筒内充满水；控制超声波作业，工作频率范围为15KHz≤f≤80KHz，以预设频率对对过滤网56进行冲洗。

预设量可以为预设体积，可根据过滤筒的体积进行设置，以使超声波冲洗组件对过滤网达到较好的冲洗效果为优。优选地，可控制清洗液进液管路126导通，直至冲洗液充满切割液循环系统的过滤筒。

具体的，该方法还包括：

步骤三：判断超声波冲洗组件120的作业时长是否大于或等于预设时长，若是，则执行下一步骤；

步骤四：控制清洗液进液管路126断开、排污管路导通，将冲洗完过滤网56的清洗液输送至切割液循环系统的供液装置10中。

预设时长可设置为10min≤t≤50min，预设时长优选为30分钟。

该方法还包括：

步骤五：判断冲洗次数是否大于或等于第一预设次数，若否，则重复步骤一至步骤四。

第一预设次数为1≤N≤10，优选第一预设次数为5次或10次。

更进一步地，在S11和S12之间还包括：

判断线切割机的切割装置是否已经连续切割预设次数；

若是，则控制线切割机由切割作业状态转换为非切割作业状态，并执行步骤二。预设次数为1-2次。具体的，优选为1次，在线切割机的切割装置每次切割物料后，对过滤网56进行冲洗，由于切割装置当前停止切割，喷淋装置20无需进行切割液喷淋，进而无需对切割液进行过滤，鉴于此，在该期间进行过滤网56的冲洗工作，保证过滤网56的过滤效果，同时使得作业工序紧凑。在其他实施例中，也可以设置为2次或其他次数，均在本申请的保护范围内。

具体清洗步骤为：

①：切割液出水阀300关闭，排污阀400关闭；

②：液路电磁阀打开，让水充满过滤筒；

③：液路电磁阀关闭；

④：通过超声波电源控制超声振动棒工作，超声波工作频率范围为15KHz≤f≤80KHz，工作时长10min≤t≤50min；

⑤：排污阀400打开，将过滤筒清洗后的水排放到供液缸中；

⑥：排污阀400关闭，清洗完成。

在一种具体的实施方式中，如图10所示，图10为本申请提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中线切割机的结构示意图。

本申请提供的线切割机，包括切割液循环系统、电控柜1001、液路系统1002、绕线室组件1003、绕线室护罩组件1004、切割装置和切割区总成1008；其中，切割区总成1008包括床身组件1006、主轴组件1005、四柱进给摆动机构1007、切割区护罩组件1009。

电控柜1001用于布置电气总成的柜体。液路系统1002给切割区总成1008提供切割液的切割供液组件、用于给切割液降温的切割液换热组件以及用于给切片机设备降温的冷却液换热组件。绕线室组件1003用于收线、放线、排线以及钢线的张力控制区域。

其中，切割装置用于对工件进行切割，切割装置可设置为环线切割装置或多线切割装置，可根据需要设置切割装置的具体结构，均在本申请的保护范围内。控制装置可为PLC控制器、显示屏等控制设备，控制装置优选设置在线切割机上，优选地，控制装置与作业总控室的总控设备无线通信连接，以在作业总控室实现对各线切割机的实时监控以及数据上传等作业。

以硅棒切片为例，切割区总成1008为晶棒切割加工的区域总成，床身组件1006用于作为切割组件和绕线室组件1003的承载部件；主轴组件1005带有内循环液体冷却功能的高速旋转主轴组件1005，左右各布置一套，在其上缠绕金刚线线形成切割区域，主轴后端均连接有驱动电机。四柱进给摆动机构1007带有摆动功能的垂直方向进给机构，采用四导轨导向。

一般的，切割机具有主机架，主机架的长度方向的一端设有切割区机架，在竖直方向上，主机架自上至下依次设置电控柜1001、绕线室组件1003和绕线室护罩组件1004。在主机架远离床身组件1006的一端设置部分液路系统1002。在竖直方向上，切割区机架自上至下依次分别设置切割区护罩组件1009、切割区总成1008、四柱进给摆动机构1007、主轴组件1005、供液组件和床身组件1006。上述排布方式优化线切割机安装空间，使各结构紧凑，空间利用合理。

请参阅图3-8，图3为本申请第一实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中过滤装置的结构示意图；图4为本申请第二实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中过滤装置的结构示意图；图5为本申请第三实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中过滤装置的结构示意图；图6为本申请第四实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中过滤装置的结构示意图；图7为本申请第五实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中过滤装置的结构示意图；图8为本申请第六实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中过滤装置的结构示意图。

本申请提供的自动清洗方法能够实现上述技术效果的一个重要改进是基于对过滤装置结构的改进。下面对该自动清洗方法中采用的过滤装置进行更详尽的介绍。

在一种具体的实施方式中，本申请中的过滤装置50，用于过滤线切割机的切割液，过滤装置50对切割液中的线头、颗粒等杂质进行过滤。过滤装置50包括过滤筒和过滤网56。其中，过滤网56位于过滤筒内，过滤筒优选为密闭腔体，过滤筒为不锈钢材质，过滤网56优选为50-300目，可根据杂质颗粒直径设置过滤网56目数。而为了实现对过滤网56的安装，过滤筒可设置盖体等实现，可根据需要自行设置过滤筒的具体形式，均在本申请的保护范围内；其中，为便于拆装，过滤筒包括筒体55和筒盖54，筒盖54位于筒体55的顶部，二者可拆卸的固定连接，如通过螺纹紧固件等实现固定。

如本领域技术人员所知晓的，为了实现在过滤装置50内对割液的过滤，过滤网56位于过滤筒内将过滤筒内分隔出两个空间，允许切割液从一个空间经过滤后流到另一空间；如图3所示，本实施例中的过滤网56可以为筒状，切割液从过滤网56内穿过过滤网56实现过滤；也可根据需要将过滤网56设置成其他结构形式。过滤网56具有切割液入口57和排污口52，切割液入口57用于连通过滤网56和外界，可以理解的是，外界为过滤装置50外，而在切割液入口57连通过滤网56和外界时，由于过滤网56位于过滤筒内，显而易见，在过滤筒上需要设置相应的避让口，以便于管路与切割液入口57连接；排污口52排出过滤网56内部清洗液体和污物，排污口52优选为与外界连通，将污物等排出过滤装置50外。同样地，过滤筒设置有用于避让与排污口52连接的排污管路92的避让口。过滤筒具有切割液出口51以及冲洗接口。

排污管路92具有排污口52，排污口52和过滤装置50连接，排污管路92用于排出过滤网56内部清洗液体和污物，排污口52优选为与外界连通，将污物等排出过滤装置50外，同样地，当排污口52设置在过滤网56上时，过滤筒设置有用于避让排污管路92的避让口；在另一实施例中，排污口52也可以设置在过滤筒上，可根据需要进行设置。

如图9所示，图9为本申请实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中过滤筒的剖视结构示意图。可以理解的是，为了实现过滤网56在过滤筒内的安装，压紧件具有弹性变形性能，当筒盖54安装完成后挤压“压紧件”弹性形变，从而压紧过滤网56。此处“压紧件”也可以没有，但是必须保证过滤网56与筒体55配合牢固，不会随便移动。优选地，在筒体55的内壁上设置一组相对的凸台515，用于承载过滤网56。过滤网56为分体式结构，过滤网56的主要部分搭接在凸台515上，过滤网56的次要部分可通过螺纹连接等实现与主要部分的固定，同时为了防止过滤网56在筒体55中的径向移动，可根据需要设置过滤网56的直径。作为优选，为了提高密封性，过滤网56与筒体55配合处应该设计密封垫，增加密封效果，防止过滤前后的切割液混流。筒体筒体筒体筒体

为了提高过滤效果，在过滤网56内部可增加过滤袋，进行双层过滤。

其中，切割液输出管路91用于排出过滤后的切割液，切割液输出管路91设置有切割液出口51，切割液出口51可以与过滤筒或过滤网56连接，当切割液出口51与过滤网56连接时，同样需要在过滤筒上设置用以避让切割液输出管路91的避让口。切割液出口51与线切割机的喷淋管连接，以在过滤装置50对切割液过滤后，通过切割液出口51将过滤后的切割液传输至喷淋管处，对切割区域工件进行喷淋；可以理解的是，在对过滤网56清洗过程中，切割液出口51或其所在切割液输出管路91处于关闭状态，防止冲洗过程中的杂质等进入至喷淋装置20。

其中，超声波冲洗组件120用于连接外部清洗单元，外部清洗单元如水源或其他清洗液动力设备，外部清洗单元为清洗液提供压力使其进入至过滤筒中，并通过超声波对其进行扰动。可以理解的是，为了提高冲洗效果，超声波冲洗组件120与过滤网56对应设置，优选设置在过滤网56的外侧，自外至内清洗过滤网56。超声波冲洗组件120可设置为一个或多个，可根据需要设置其个数，均在本申请的保护范围内。

采用本申请实施例中提供的一种过滤装置50，相较于现有技术，具有以下技术效果：

本申请中，过滤网56位于过滤筒内，过滤网56具有切割液入口57，过滤装置50具有排污管路92、切割液输出管路91及超声波冲洗组件120。超声波冲洗组件120与外部清洗单元连接，并与过滤网56的位置对应，对过滤网56进行超声波冲洗。由此设置，使得上述过滤装置50能够实现对过滤网56的自动清洗，无需人工拆除过滤网56进行清洗，自动清洗保证过滤网56的清洗效果，解决人工忘记清洗过滤网56就进行切割作业的情况，提高切割作业效率且保证成片质量。

在第一实施例中，超声波冲洗组件120包括清洗液进液管路126和超声波清洗组件。其中，超声波清洗组件包括超声波换能器121和超声变幅杆122。超声波换能器121的一端可拆卸的固定连接于筒盖54上，另一端与超声变幅杆122连接，超声变幅杆122远离超声波换能器121的一端贯穿筒盖54，且沿过滤网56的轴向，线过滤网56的内部延伸。可以理解的是，为了提高冲洗扰流效果，超声波清洗组件可设置在筒盖54的中心处。

而为了提高超声波清洗组件与筒盖54之间的密封效果，超声波换能器121与筒盖54之间设置密封垫，优选在筒盖54的上表面设置密封槽，密封垫位于密封槽内，超声波换能器121位于筒盖54的上表面，通过超声波换能器121和筒盖54的固定，夹紧密封垫实现密封。在其他实施例中，可根据需要选择合适的密封方式，此处仅为一种优选的实施方式。更进一步地，过滤筒还包括密封压盘123，密封压盘123位于超声波换能器121上，可以理解的是，密封压盘123优选为中间设有避让孔，与超声波换能器121套装，同时二者间存在叠合部，以使得密封压盘123与筒盖54固定后，能够将超声波换能器121和筒盖54压紧。具体的，密封压盘123和筒盖54之间通过螺纹紧固件实现，如螺钉等。

在第二实施例中，超声波冲洗组件120可设置为超声振棒124和超声振子125。其中，超声振子125位于超声振棒124的内部，且沿超声振棒124的轴向延伸。超声振棒124的一端与过滤筒固定，另一端延伸至过滤网56的内部，可以理解的是，此时超声振子125也延伸至过滤网56的内部，以能够对过滤网56内部的清洗液进行超声振动扰流。

具体的，超声振棒124的一端可拆卸的固定连接于筒盖54上，筒盖54上设置安装孔，超声振棒124贯穿筒盖54的安装孔，且另一端延伸至过滤网56的内部。超声振子125套装于超声振棒124的内部，且延伸至过滤网56的内部；由此设置，以优化对过滤网56内的冲洗液的扰流效果，提高冲洗效果。可以理解的是，超声振棒124和筒盖54之间也设有密封垫；筒盖54上设置有密封槽，密封垫位于密封槽内，通过超声振棒124与筒盖54之间的固定，将密封垫压紧在二者之间。过滤筒还设有密封压盘123，密封压盘123的安装方式可参考上一实施例进行设置。

或者在另一实施例中，超声振棒124的周向外壁设有凸缘部1241，凸缘部1241的下表面和筒盖54的上表面贴合，且凸缘部1241经螺纹紧固件与筒盖54固定；凸缘部1241和超声振棒124一体式设置。筒盖54上设置安装孔，超声振棒124贯穿筒盖54的安装孔，凸缘部1241的口径大于安装孔的孔径，使凸缘部1241能够搭接在筒盖54的上表面上，在凸缘部1241上设置螺钉，以实现与筒盖54的固定，使得超声振棒124压紧筒盖54，实现固定。

在其他实施例中，可以根据需要设置超声波冲洗组件的具体结构形式，同时对于超声波换能器121、超声变幅杆122、超声振棒124和超声振子125的具体结构，可根据现有技术进行设置。

具体的，清洗液进液管路126与过滤筒连接，用于清洗液进入过滤筒内。清洗液进液管路126具有进液口，清洗液进液管路126可与过滤网56和/或过滤筒连接。优选地，进液口设置在筒体55上，由此使得清洗液进液管路126的清洗液自外至内冲洗过滤网56，使得冲洗后的污物共同汇集在过滤网56的内部，随着过滤网56底部的排污口52排出。

在一种实施例中，排污管路92的一端具有排污口52，排污口52位于过滤网56的底壁，排污管路92的另一端位于过滤装置50的外部；切割液输出管路91的一端具有切割液出口51，切割液出口51位于过滤筒的底壁，切割液输出管路91的另一端位于过滤装置50的外部。具体的，排污口52位于过滤网56的底部，以便于清洗液排出，且排污口52处设有用于与管路连接的第一密封环，以增加管路的密封性，防止出现冲洗液泄露的问题；密封连接的方式可根据需要进行设置，此处仅为一种优选实施方案。在该实施例中，过滤网56冲洗后的污物能够顺着过滤网56的底壁排出过滤网56外，更好地保证过滤网56底部的顺畅性，防止在底部出现堵塞。切割液出口51位于筒体55的底部，且切割液出口51处设有用于与管路连接的第二密封环。切割液出口51经管路与喷淋装置20连接，以使切割液输出至喷淋装置20处，对切割区域中的工件进行喷淋；通过第二密封环增加管路密封性；同样地，密封连接的方式可根据需要进行设置，此处仅为一种优选实施方案。

可以理解的是，如图3所示，以图示方向定义上(顶部)、下(底部)方向，此处及上下文均参照该方向阐述，则由图可知，筒盖54位于过滤装置的顶部，排污口52位于过滤装置的底部。

在此基础上，清洗液进液管路126的一端与排污管路92连通，且排污口52复用为清洗液进液管路126的进液口。清洗液进液管路126的清洗液从排污口52进入至过滤网56内，在内部对过滤网56进行清洗，在冲洗完成后，过滤网56内部的污物能够通过排污口52排走，使得冲洗后的污物不会留存在过滤网56中，尤其是较大颗粒物，使得过滤网56内部不会堵塞，保证切割液的流量处于预设范围内，同时进一步提高过滤网56内部的过滤效果；同时，无需额外在过滤网56上设置开口，清洗液进液管路126与排污管路92的连通便于设置，安装便捷，同时能够保证整体的密封性。

如图3所示，其具体作业过程为：在切片完成后进行过滤筒的清洗操作，清洗液进液管路126通过排污口进液，在进液过程中即可优先对位于过滤网56底部的污垢的破碎以及搅拌，进液完成后，通过超声波冲洗组件进行超声清洗，清洗后的污垢能够通过排污管路排出，由此以优化对过滤网的冲洗。

在另一实施例中，清洗液进液管路126的一端与切割液输出管路91连通，同样地，切割液输出管路91和清洗液进液管路126也可以设置在同一管路上，将切割液出口51复用为清洗液进液管路126的进液口；无需额外在过滤筒上设置开口，清洗液进液管路126与切割液输出管路91的连通便于设置，安装便捷。

如图5所示，其具体作业过程为：清洗液进液管路126与切割液出口51连通，清洗液优先进入过滤筒内，然后再自外至内进入至过滤网中，在该进液过程中，能够预先对过滤网实现简单的自外至内的清洗，间接优化冲洗效果；当清洗液充满过滤筒后，通过超声波冲洗组件实现对过滤网的清洗。

或者，清洗液进液管路126的一端位于筒体55的周向侧壁上，且清洗液进液管路126的进液口位于过滤网56的外侧。优选为清洗液进液管路126设置在筒体55的中上部，通过清洗液进液管路126实现清洗液进入至过滤筒内，自外至内对过滤网56进行清洗。同时清洗液进液管路126设置在筒体55的周向侧壁，随着清洗液的下落，能够在重力作用下进一步对下方的过滤网56进行清洗，优化冲洗效果。

如图4所示，其具体的作业过程为：清洗液进液管路126设置在过滤筒的周向外壁上，且能够对过滤网自外至内进行冲洗，在清洗液进液过程中，能够预先对过滤网内壁附着的污垢进行冲洗，间接提高冲洗效果；当清洗液充满过滤筒后，超声波冲洗组件启动实现对过滤装置的超声冲洗。

在一种实施例中，过滤装置50还包括压力检测组件70，其固定于筒体55上，优选为可拆卸的连接，以便于拆装；压力检测组件70对过滤筒内的切割液的压力进行检测，使过滤装置50有足够的动力将切割液输送至喷淋装置20处。

在该实施例中，为了实现管路通断，过滤装置50还包括切割液出水阀300、排污阀400和清洗控制阀900。其中，切割液出水阀300位于切割液输出管路91靠近切割液出口51的一端；排污阀400位于排污管路92上、清洗液进液管路126的下方；清洗控制阀900位于清洗液进液管路126上。切割液出水阀300位于切割液输出管路91靠近切割液出口51的一端；排污阀400位于排污管路92的另一端与清洗液进液管路126之间。在一种实施例中，排污阀400位于清洗液进液管路126的下游，以在排污阀400关闭排污管路92时，不会影响清洗液进液管路126的通断；同时，在排污阀400开启后，能够将前端管路中的污物完全排出。其中，切割液出水阀300可设置为夹管阀，排污阀400可设置为夹管阀，对具体的阀的种类和型号不做限定，均在本申请的保护范围内。

如图1-2所示，图1为本申请实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中切割液循环系统的结构示意图；图2为本申请实施例提供的线切割机的切割液循环系统的自动清洗方法中切割液循环系统的液路原理图。

基于上述过滤装置50，本申请提供的切割液循环系统，包括喷淋装置20、收集装置80、供液装置10和过滤装置50。喷淋装置20位于工件切割区，供液装置10位于工件切割区的下方，供液装置10上设有收集装置，收集装置与切割室连接，对喷淋后的切割液进行收集，并输送至供液装置10中，实现切割液的收集。

其中，喷淋装置20包括若干个喷淋管，用于对工件切割区进行切割液喷淋。优选地，还包括收集装置，收集装置优选位于喷淋装置20的下方，对喷淋工件后的切割液进行收集，收集装置优选为设置在供液装置10的上方，收集装置收集后的切割液流入供液装置10中，通过供液装置10输送至过滤装置50进行过滤，实现切割液的循环使用。收集装置优选设置为收集槽或收集漏斗，通常设置在切割机切割室下方，收集槽或收集漏斗设有与供液装置10连通的收集通道，实现切割液的输送。或者，供液装置10包括用于盛放切割液的供液缸，供液缸具有切割液回流口，回流口与收集装置连接，将收集装置回来的切割液回流至供液缸中，回流口处设有橡胶条密封，同时收集装置还设有回液过滤组件，内部设有过滤网，对回流后的切割液进行过滤。

供液装置10为切割液提供动力，实现经供液装置10、过滤装置50、换热装置30、流量计40至喷淋装置20的流通。供液装置10可设置为砂浆泵，在其他实施例中，可根据需要设置相应的动力设备。

上述切割液循环系统实现切割液在作业过程中的自循环，同时无需人工清洗过滤网56，由此整个循环系统无需进行泄压或其他需要保证拆卸过滤网56安全的操作，简化操作流程，节省作业时间，同时保证过滤网56清洗效果，降低切割耗材量、提高切割作业效率并提高工件加工质量。

在切割完成进行下一次切割作业前，只需操作人员发出清洗指令，设备自动完成过滤筒的清洗，无需过多干预，简化了操作人员的工作内容，使得滤网由每次切割前清洗一次变为每两周清洗一次，保证了切割作业效率和滤网清洗效果。

具体的，清洗动力装置与过滤装置连通，以对过滤装置进行自动清洗。清洗动力装置为超声波冲洗组件，超声波冲洗组件与过滤网56的位置对应，优选设置在过滤网56的外侧，自外至内清洗过滤网56。超声波冲洗组件可设置为一个或多个，可根据需要设置其个数，均在本申请的保护范围内。在其他实施例中，清洗动力装置也可以为脉冲清洗组件或水气反冲洗组件，可根据需要进行设置。

可以理解的是，在其他实施例中，清洗动力装置也可以为超声波冲洗组件或脉冲冲洗组件，均在本申请的保护范围内。

其中，换热装置30为换热器，对切割液进行冷却。流量计40用于对切割液流量进行监测，换热装置30的一端与过滤装置50连接，另一端与流量计40的输入端连接，流量计40的输出端与喷淋装置20连接。

在一种实施例中，切割液循环系统还包括切割液输入管路90、切割液输出管路91和排污管路92。切割液输入管路90一端与供液装置10连通，另一端与过滤装置50的切割液入口57连通；切割液输出管路91一端与换热装置30连通，另一端与过滤装置50的切割液出口51连通；排污管路92一端与过滤装置50的排污口52连通，另一端与供液装置10连通。

其中，为了对管路进行导通或截断，在排污管路92靠近排污口52的一端设置排污口52夹管阀，在切割液输出管路91靠近切割液出口51的一端设置切割液出水阀300。

具体清洗步骤为：在切割作业，比如切片加工前，切割液存储于供液装置10中；

切片作业中，切割液经切割液入口57由供液装置10进入过滤筒内，此时过滤筒的状态为反冲气管路断开，切割液出口51打开，排污管路92断开，清洗液进液管路126断开；经过滤网56过滤后由切割液出口51流出，进入换热器，换热器采用工厂冷却水对切割液进行冷却，冷却后的切割液经过流量计40通过喷淋管均匀喷淋在工件切割区域，并经切割室底部回流至供液装置10中，形成加工过程中的切割液循环；

切割一刀后回流切割液时，切割液出口51(切割液出口夹管阀511)关闭，排污口52(排污口夹管阀510关闭)打开，换热装置内的切割液回到过滤筒，再和过滤筒内留存的切割液一起，从过滤筒的排污口52或者切割液出口51通过回流管回到供液缸，也就是说排污管路92和切割液输出管路91都可以和回流管连通，由供液装置10的排水口排放至地沟中。切片作业完成后，切割液输出管路91断开，排污管路92导通，将过滤筒中留存的切割液回流至供液装置10中，由供液缸的排水口排放至地沟中，在切片完成后需要进行过滤筒的清洗操作，本申请提供的过滤装置50无需将过滤筒中过滤网56取出清洗，只需按一定清洗工艺步骤打开清洗液进液管路126，保证清洗时过滤筒内充满清洗液，打开超声波发生器，原理是将电能转换成超声能量，并按其自身规律传递给水垢、水、管道内壁，使之获取很大的能量。超声波在传递过程中产生的震荡波使水垢、水、管道内壁产生共振，由于水垢、水、管道内壁的震荡频率不同，管道中的水分子发生激烈碰撞，生强大的冲击力，冲击换热面上的垢层，使之松脆、剥离、脱落、粉碎，并随设备的排污一起排出，从而实现了超声波振动棒对管道内壁的彻底清洗以完成过滤筒的清洗工作，清洗完成后排污管路92打开，清洗后污水回流至供液装置10中经地沟排出。可以理解的是，上述管路的通断，可由管路上各自设置的控制阀实现，在此不再赘述。

具体的，排污管路92的一端与过滤装置50连通，另一端通过回流管路与供液装置10连通。回流管路为供液装置10的进液管路上的支管路，用于在每次切割作业完成后，将过滤装置50、换热器和其他连接管路中留存的切割液回流至供液装置10中，由供液装置10的排水口排放至地沟中；进液管路用于在切割作业中将收集装置收集的液体导入供液装置中，以使切割液循环利用。

在一种实施例中，供液装置10具有供液泵和供液缸，供液泵的第一端与供液缸连通；切割液循环系统还包括切割液输入管路，切割液输入管路的第一端与供液泵的第二端连通，切割液输入管路的第二端与过滤装置连通。

尽管已描述了本申请的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本申请范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。