掌桥专利:专业的专利平台
掌桥专利
首页

同时监控关键尺寸和刻蚀粗糙度的版图结构及监控方法

文献发布时间:2023-06-19 19:09:30


同时监控关键尺寸和刻蚀粗糙度的版图结构及监控方法
相关技术
  • 利用多点反射率监控制备大尺寸均匀薄膜的装置与方法
  • 同时监控关键尺寸和刻蚀粗糙度的版图结构及其使用方法
  • 芯片设计版图结构及大尺寸芯片光刻拼接精度的监控方法
技术分类

06120115816278