一种臭氧水分解装置

技术领域

本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种臭氧水分解装置。

背景技术

臭氧和臭氧水都具有非常强的氧化能力，在溶液中，臭氧的氧化电位仅比氟低。臭氧水可将溶液中的有机物氧化为H

由于臭氧水对人体有害，所以采用臭氧水清洗后需要对其进行分解。现有技术中臭氧水的分解系统包括反应室、导液管和补液装置，导液管用于将臭氧水排入反应室内，补液装置用于将反应液导入反应室内以使臭氧水与反应液发生反应，以对臭氧水进行分解。但是由于臭氧水的流速要快于反应液的流速，并且臭氧水的量要大于反应液的量，使得臭氧水与反应液无法充分接触混合，导致排出反应室的臭氧水无法完全分解。

发明内容

本发明的目的在于提供一种臭氧水分解装置，可使臭氧水和反应液充分反应，提高了臭氧水的分解效果。

为实现上述目的，第一方面，本发明提供了一种臭氧水分解装置，包括缓冲机构、反应室、导液管、排液管和补液装置；

所述导液管和所述排液管分别位于所述反应室的两侧与所述反应室连通，所述导液管用于将臭氧水导入所述反应室内，所述排液管用于将所述反应室内反应后的液体排出；

所述补液装置与所述反应室连接，用于将反应液导入至所述反应室内与臭氧水发生反应；

所述缓冲机构设于所述反应室和/或所述排液管内，用于降低液体的流速。

在一些实施例中，所述缓冲机构包括弹性件和至少两个活动设置的缓冲件；

至少两个所述缓冲件相对设置，且通过所述弹性件连接；

当液体流过所述缓冲件时，液体和所述弹性件可带动所述缓冲件来回移动。

在一些实施例中，所述缓冲机构还包括缓冲颗粒；

所述缓冲件内开设有容纳腔，所述缓冲件相对的两侧壁均开设有若干通孔，若干所述通孔均与所述容纳腔导通；

若干所述缓冲颗粒填充于所述容纳腔内，且所述缓冲颗粒的直径大于所述通孔的直径。

在一些实施例中，所述缓冲机构还包括限位件；

所述缓冲件开设有滑动孔，所述滑动孔沿所述缓冲件的轴向贯穿所述缓冲件；

所述限位件活动的穿设于所述滑动孔内，以使所述缓冲件可沿所述限位件的轴向移动。

在一些实施例中，所述滑动孔的内侧壁设有第一锁定部；

所述限位件的外侧壁对应每个所述第一锁定部设有第二锁定部；

当所述第二锁定部与所述第一锁定部配合连接时，所述限位件与所述滑动孔固定。

在一些实施例中，还包括设于相邻所述缓冲件之间的清洗机构；

所述清洗机构可转动的设于所述限位件上并与所述缓冲件的侧壁接触，用于清洗所述缓冲件的表面。

在一些实施例中，所述清洗机构包括清洁件和抵接件；

所述清洁件可转动的套设于所述限位件，且所述清洁件与所述缓冲件的一侧壁接触；

所述抵接件对应所述清洁件设于相对的另一个所述缓冲件；

当相邻的所述缓冲件相互靠近时，所述抵接件抵接所述清洁件，以使所述清洁件旋转。

在一些实施例中，所述清洁件具有旋转孔和清洁部；

所述限位件穿设于所述旋转孔；

若干所述清洁部间隔的环形设置，且所述清洁部沿所述旋转孔的径向延伸。

在一些实施例中，所述清洁件的侧壁还开设有引导口，所述引导口为弧形缺口；

当所述抵接件的一端抵接所述引导口时，可使所述清洁件旋转。

在一些实施例中，所述清洗机构还包括扭矩弹簧；

所述扭矩弹簧套设于所述清洁件，且所述扭矩弹簧的一端与所述限位件连接，所述扭矩弹簧的另一端抵接所述清洁部。

在一些实施例中，所述补液装置包括补液管；

所述补液管与所述反应室连接，所述补液管与所述导液管位于所述反应室的同一侧，或所述补液管和所述排液管位于所述反应室的同一侧。

本发明提供的臭氧水分解装置的有益效果在于：

1、通过设置缓冲机构，可使臭氧水和反应液充分反应，从而提高臭氧水的分解效果。

2、缓冲机构内设有缓冲颗粒，降低了反应液和臭氧水的流速，从而增加臭氧水和反应液的反应时间。

3、缓冲机构具有清洁功能，保证液体流动应该的可靠性。

附图说明

图1为本发明提供的实施例臭氧水分解装置的示意图；

图2为本发明提供的第一实施例缓冲机构的结构示意图；

图3为本发明提供的第二实施例缓冲机构的结构示意图；

图4为本发明提供的实施例缓冲机构的爆炸图；

图5为本发明提供的又一实施例臭氧水分解装置的示意图。

附图标记：

缓冲机构1、弹性件11、缓冲件12、通孔121、滑动孔122、限位件13、第二锁定部131、反应室2、导液管3、排液管4、补液装置5、补液管51、清洗机构6、清洁件61、旋转孔611、清洁部612、引导口613、抵接件62。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。

图1为本发明提供的实施例臭氧水分解装置的示意图。

参考图1所示，本发明实施例提供了一种臭氧水分解装置，包括缓冲机构1、反应室2、导液管3、排液管4和补液装置5。其中，所述导液管3和所述排液管4分别位于所述反应室2的两侧与所述反应室2连通，所述导液管3用于将臭氧水导入所述反应室2内，所述排液管4用于将所述反应室2内反应后的液体排出。所述补液装置5与所述反应室2连接，用于将反应液导入至所述反应室2内与臭氧水发生反应。所述缓冲机构1设于所述反应室2和/或所述排液管4内，用于降低液体的流速。

在本实施例中，可将所述缓冲机构1活动的设于所述反应室2内，或者所述排液管4内，从而使臭氧水和反应液充分混合，从而提高对臭氧水的分解效果。其中，反应液可以是碱液，比如氢氧化钠溶液。

在有些实施例中，可在所述反应室2内和所述排液管4内均设置所述缓冲机构1，以进一步提高对臭氧水的分解效果。

图2为本发明提供的第一实施例缓冲机构的结构示意图。

参考图1和图2所示，具体地，所述缓冲机构1包括弹性件11和至少两个活动设置的缓冲件12，若干所述缓冲件12间隔设置，且通过所述弹性件11连接。当液体流过所述缓冲件12时，流动的液体会带动上游的所述缓冲件12朝下游的所述缓冲件12移动，以使相邻的所述缓冲件12相互靠拢，当所述弹性件11受力后又可使相互靠拢的所述缓冲件12分开，从而使相邻的所述缓冲件12来回移动，起到对流动的液体进行阻流和搅拌的作用，从而使臭氧水和反应液充分混合反应。

在本实施例中，所述缓冲件12具有三个，三个所述缓冲件12依次间隔的通过所述弹性件11连接。

进一步地，所述缓冲机构1还包括缓冲颗粒(图中未示出)，所述缓冲件12内开设有容纳腔(图中未示出)，所述缓冲件12相对的两侧壁均开设有若干通孔121，若干所述通孔121均与所述容纳腔导通，若干所述缓冲颗粒填充于所述容纳腔内，且所述缓冲颗粒的直径大于所述通孔121的直径。

在本实施例中，液体会通过所述通孔121进入所述容纳腔内，由于所述缓冲件12内填充有若干的所述缓冲颗粒，液体通过所述缓冲颗粒时，所述缓冲颗粒进一步起到对液体进行搅拌的作用，并且降低了液体的流速，以使臭氧水和反应液充分反应。

并且，由于所述缓冲件12可以移动，避免所缓冲颗粒将所述通孔121堵住，从而保证了液体的正常流动。

需要说明的是，所述缓冲颗粒可以是聚偏二氟乙烯(PVDF)、过氟烷基化物(PFA)、聚四氟乙烯(PTFE)的填料或碎料等。

图3为本发明提供的第二实施例缓冲机构的结构示意图。

参考图1和图3所示，在一些实施例中，所述缓冲机构1还包括限位件13，所述限位件13为长杆结构，所述缓冲件12在中心轴处开设有滑动孔122，且所述滑动孔122沿所述缓冲件12的轴向贯穿所述缓冲件12。所述限位件13活动的穿设于所述滑动孔122内，以使所述缓冲件12的移动方向限定在沿所述限位件13的轴向，避免所述缓冲件12在运动过程中发生偏斜，导致所述缓冲件12卡在所述反应室2或所述排液管4内，同时，又能够降低由于所述缓冲件12偏斜导致设备磨损的情况。

在一些实施例中，所述滑动孔122的内侧壁设有第一锁定部(图中未示出)，所述限位件13的外侧壁对应每个所述第一锁定部设有第二锁定部131。当所述第二锁定部131与所述第一锁定部配合连接时，所述限位件13与所述滑动孔122固定。

在本实施例中，通过设置所述第一锁定部和所述第二锁定部131，可使所述限位件13与所述缓冲件12固定，避免所述臭氧水分解装置在运输过程中由于晃动使若干个所述缓冲件12发生相对运动，方便装置的运输和存储。

具体地，所述第一锁定部为设置在所述滑动孔122内的内螺纹结构，所述第二锁定部131为设置在所述限位件13上部分外侧壁的外螺纹结构，通过推动所述限位件13使所述第二锁定部131靠近所述第一锁定部，然后旋转所述限位件13，以使所述第一锁定部和所述第二锁定部131拧紧固定。相反的，通过反向旋转所述限位件13，使锁定的所述第一锁定部和所述第二锁定部131分离，以完成解锁。

在有些实施例中，所述第二锁定部131可以是套设在所述限位件13上的外螺纹结构。

图4为本发明提供的实施例缓冲机构的爆炸图。

参考图1和图4所示，在一些实施例中，所述臭氧水分解装置还包括设于相邻所述缓冲件12之间的清洗机构6，所述清洗机构6可转动的设于所述限位件13上并与所述缓冲件12的侧壁接触上，用于清洗所述缓冲件12的表面，避免所述缓冲件12的表面通孔121被堵住。

其中，所述清洗机构6包括清洁件61和抵接件62，所述清洁件61可转动的套设于所述限位件13，且所述清洁件61与一个所述缓冲件12的侧壁接触。所述抵接件62对应所述清洁件61设于相对的另一个所述缓冲件12。

当相邻的所述缓冲件12相互靠近时，所述抵接件62的一端抵接所述清洁件61，以使所述清洁件61旋转，从而完成对所述缓冲件12表面清洁的作用。

具体地，所述清洁件61具有旋转孔611和清洁部612，若干所述清洁部612围绕所述旋转孔611间隔的环形设置，且所述清洁部612沿所述旋转孔611的径向延伸，以形成类似于齿轮形结构，所述限位件13穿设于所述旋转孔611。当所述清洁件61开设转动时，所述清洁部612起到刮除所述缓冲件12表面污垢的作用，避免所述缓冲件12长时间不出来导致所述通孔121被堵住的情况发生。

另外，在本实施例中，所述清洁件61的侧壁还开设有引导口613，具体为，所述引导口613位于所述旋转孔611的侧壁，所述引导口613为弧形缺口结构。当所述抵接件62的一端抵接所述引导口613时，可使所述清洁件61发生旋转。

进一步地，所述清洗机构6还包括扭矩弹簧(图中未示出)，所述扭矩弹簧套设于所述清洁件61，且所述扭矩弹簧的一端与所述限位件13连接，所述扭矩弹簧的另一端抵接所述清洁部612。

在本实施例中，通过设置所述扭转弹簧，当所述抵接件62随着一个所述缓冲件12回移时，所述清洁件61可回转复位，进一步起到清洁作用。

图5为本发明提供的又一实施例臭氧水分解装置的示意图。

参考图1和图5所示，在一些实施例中，所述补液装置5包括补液管51，所述补液管51与所述反应室2连接，且所述补液管51与所述导液管3位于所述反应室2的同一侧，或所述补液管51和所述排液管4位于所述反应室2的同一侧。

需要说明的是，通过将所述补液管51与所述导液管3设置在位于所述反应室2的同一侧，使臭氧水和反应液同时进入所述反应室2内进行反应后，再通过所述排液管4排出，以使臭氧水和反应液充分反应。

或者，将所述补液管51和所述排液管4设置在位于所述反应室2的同一侧，使所述补液管51和所述导液管3的排放方向相对，当释放臭氧水和反应液时，两者相撞，以提高臭氧水和反应液的混合效率，从而提高了反应效率。

在有些实施例中，还可将所述补液管51与所述排液管4连通。

虽然在上文中详细说明了本发明的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本发明的范围和精神之内。而且，在此说明的本发明可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。