一种兼容性传送料架

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种兼容性传送料架。

背景技术

立式炉作为半导体生产线前工序的重要工艺设备，随着工艺技术的不断完善及产品的不断更新换代，对立式炉的自动化水平提出了越来越高的要求。料架作为半导体晶圆传送中重要的片盒储存传送装置，可以防止搬运过程中出现晶圆碎片或晶圆受污等情况，使转运便捷的同时可以较好的保护晶圆。目前国内立式炉内晶圆传送过程中人工影响因素多，主流半导体晶圆片盒大小有6寸、8寸等，立式炉设备需适应不同尺寸的晶圆工艺，但作为晶圆片盒储存的料架装置只适用于一种尺寸的半导体晶圆片盒，无法同时兼容6寸和8寸两种尺寸，需要单独设置适用于两种尺寸晶圆片盒的传送料架，生产成本高，且在传送不同尺寸晶圆片盒的同时要更换不同的传送料架，传送效率低。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种可同时兼容6寸和8寸晶圆片盒的传送，降低生产成本，提高传送效率的兼容性传送料架。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种兼容性传送料架，包括安装架、6寸片盒、8寸片盒和设于安装架上的旋转驱动装置，所述安装架两侧均设有安装平台，所述安装平台内侧设有适用于6寸片盒的第一定位部，外侧设有适用于8寸片盒的第二定位部，所述第一定位部的外侧设有第一压紧件，所述第二定位部内侧设有第二压紧件，所述第一压紧件和第二压紧件均与旋转驱动装置可拆卸连接，所述旋转驱动装置用于带动第一压紧件正向摆动，以使第一压紧件将6寸片盒压紧在第一定位部的侧壁上；或所述旋转驱动装置用于带动第二压紧件反向摆动，以使第二压紧件将8寸片盒压紧在第二定位部上。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述旋转驱动装置包括转轴及驱动转轴转动的驱动机构，所述第一压紧件和第二压紧件均与转轴可拆卸连接，所述转轴通过轴承与安装架连接。

所述驱动机构包括驱动电机和同步带组件，所述驱动电机与同步带组件的主动轮连接，所述同步带组件的从动轮与转轴连接。

所述第一压紧件上设有第一定位缓冲器。

所述第二压紧件上设有第二定位缓冲器。

所述安装平台内侧设有片盒检测传感器，两侧的所述片盒检测传感器用于检测6寸片盒或8寸片盒是否载入。

所述片盒检测传感器包括触发杆、光电开关和复位弹簧，所述光电开关设于触发杆下方，所述触发杆可升降的设置在安装平台上，所述复位弹簧设于触发杆与安装平台之间。

所述安装架顶部和底部均可移动地设有对射传感器，所述对射传感器用于检测片盒内晶圆是否溢出。

所述安装架上设有对射传感器安装块，所述对射传感器设于对射传感器安装块上，所述对射传感器安装块上设有腰型孔，所述安装架上设有连接孔，所述腰型孔通过连接件与连接孔连接。

所述安装架上设有用于与外部设备连接的连接座。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

本发明公开的兼容性传送料架，根据6寸片盒和8寸片盒尺寸大小不同，分别设置第一定位部和第二定位部，且第一定位部不会影响8寸片盒的安装，第一定位部的外侧设有第一压紧件，第二定位部内侧设有第二压紧件，从而第一压紧件和第二压紧件能够同轴布置，用一个旋转驱动装置驱动，只是摆动方向相反，又第一压紧件和第二压紧件均与旋转驱动装置可拆卸连接，需要使用其中一个时，拆卸掉另一个即可，不会互相造成干涉，可以同时兼容两种尺寸片盒的定位和固定，结构紧凑，成本低，更换片盒尺寸时无需更换传送料架，传送效率高。

附图说明

图1为本发明兼容性传送料架的传送过程的立体结构示意图。

图2为本发明兼容性传送料架的立体结构示意图。

图3为本发明兼容性传送料架装载8寸片盒的立体结构示意图。

图4为本发明兼容性传送料架装载6寸片盒的立体结构示意图。

图5为图4中A处放大图。

图6为本发明兼容性传送料架中第二压紧件对8寸片盒进行定位的立体结构示意图。

图7为图6中B处放大图。

图8为本发明兼容性传送料架中第一压紧件对6寸片盒进行定位的立体结构示意图。

图9为图8中C处放大图。

图10为本发明中片盒检测传感器的立体结构示意图。

图11为本发明中片盒检测传感器检测8寸片盒装载情况的的立体结构示意图。

图12为本发明中片盒检测传感器检测6寸片盒装载情况的的立体结构示意图。

图13为本发明中对射传感器的局部剖视图。

图中各标号表示：1、安装架；2、安装平台；21、片盒检测传感器；211、触发杆；212、光电开关；213、复位弹簧；3、第二定位部；4、第二定位部；5、第一压紧件；51、第一定位缓冲器；6、第二压紧件；61、第二定位缓冲器；7、旋转驱动装置；71、转轴；72、驱动机构；721、驱动电机；722、同步带组件；73、轴承；8、6寸片盒；9、8寸片盒；10、对射传感器；11、对射传感器安装块；111、腰型孔；12、连接座；13、晶圆搬运机械手；14、片盒搬运机械手。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“装配”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

图1至图13示出了本发明的一种实施例，本实施例的兼容性传送料架，包括安装架1、6寸片盒8、8寸片盒9和设于安装架1上的旋转驱动装置7，安装架1两侧均设有安装平台2，安装平台2内侧设有适用于6寸片盒8的第一定位部3，外侧设有适用于8寸片盒9的第二定位部4，第一定位部3的外侧设有第一压紧件5，第二定位部4内侧设有第二压紧件6，第一压紧件5和第二压紧件6均与旋转驱动装置7可拆卸连接，旋转驱动装置7用于带动第一压紧件5正向摆动，以使第一压紧件5将6寸片盒8压紧在第一定位部3的侧壁上；或旋转驱动装置7用于带动第二压紧件6反向摆动，以使第二压紧件6将8寸片盒9压紧在第二定位部4上。

该兼容性传送料架，安装平台2内侧设有适用于6寸片盒8的第一定位部3，外侧设有适用于8寸片盒9的第二定位部4，可以兼容6寸片盒9和8寸片盒10两种尺寸片盒的安装定位给，当需要传送6寸晶圆时，就安装6寸片盒8，使第一压紧件5与旋转驱动装置7连接，然后旋转驱动装置7驱动第一压紧件5正向摆动，将6寸片盒8压紧在第一定位部3上，对6寸片盒8进行压紧定位，需要传送8寸的晶圆时，就安装8寸片盒9，使第二压紧件6与旋转驱动装置7连接，然后旋转驱动装置7驱动第二压紧件6反向摆动，将8寸片盒9压紧在第二定位部4上，对8寸片盒9进行压紧定位，片盒安装到位后，晶圆搬运机械手13将晶圆送至片盒中，传送至指定位置后，解除对片盒的固定，此时再通过片盒搬运机械手14将片盒搬走即可。

该兼容性传送料架根据6寸片盒8和8寸片盒9尺寸大小不同，分别设置第一定位部3和第二定位部4，第一定位部3不会影响8寸片盒9的安装，第一定位部3的外侧设有第一压紧件5，第二定位部4内侧设有第二压紧件6，从而第一压紧件5和第二压紧件6能够同轴布置，用一个旋转驱动装置7驱动，只是摆动方向相反，又第一压紧件5和第二压紧件6均与旋转驱动装置7可拆卸连接，需要使用其中一个时，拆卸掉另一个即可，不会互相造成干涉，可以同时兼容两种尺寸片盒的定位和固定，结构紧凑，成本低，更换片盒尺寸时无需更换传送料架，传送效率高。

本实施例中，旋转驱动装置7包括转轴71及驱动转轴71转动的驱动机构72，第一压紧件5和第二压紧件6均与转轴71可拆卸连接，转轴71通过轴承73与安装架1连接。驱动机构72驱动转轴71转动，从而带动第一压紧件5或第二压紧件6摆动，结构简单。

本实施例中，驱动机构72包括驱动电机721和同步带组件722，驱动电机721与同步带组件722的主动轮连接，同步带组件722的从动轮与转轴71连接。通过同步带组件722的传送，便于调整驱动电机721在安装架1上的安装位置。

本实施例中，第一压紧件5上设有第一定位缓冲器51。传送6寸片盒8时，第一压紧件5通过第一定位缓冲器51压紧在6寸片盒8上，具有一定的弹性缓冲作用，减少驱动电机721带来的震动，减少两侧第一压紧件5位置误差对定位的影响，提高6寸片盒8定位效果。

本实施例中，第二压紧件6上设有第二定位缓冲器61。传送6寸片盒8时，第二压紧件6通过第二定位缓冲器61压紧在8寸片盒9上，具有一定的弹性缓冲作用，减少驱动电机721带来的震动，减少两侧第二压紧件6位置误差对定位的影响，提高6寸片盒8定位效果。

本实施例中，安装平台2内侧设有片盒检测传感器21，两侧的片盒检测传感器21用于检测6寸片盒8或8寸片盒9是否载入。片盒检测传感器21可以检测到片盒准确载入后，晶圆搬运机械手13再将晶圆送入片盒内，提高晶圆传送的稳定性。

本实施例中，片盒检测传感器21包括触发杆211、光电开关212和复位弹簧213，光电开关212设于触发杆211下方，触发杆211可升降的设置在安装平台2上，复位弹簧213设于触发杆211与安装平台2之间。当片盒安装到位后，会挤压触发杆211，使触发杆211与下方的光电开关212接触，光电开关212即接受到片盒已准确载入的信号，片盒搬走后触发杆211在复位弹簧213的作用下复位。需要说明的是，片盒检测传感器21设于安装平台2的内侧，两种尺寸的片盒安装到位后均会对触发杆211进行挤压，故而具有兼容性。

本实施例中，安装架1顶部和底部均可移动地设有对射传感器10，对射传感器10用于检测片盒内晶圆是否溢出。片盒检测传感器21检测到片盒成功载入，晶圆搬运机械手13将晶圆送入片盒后，对射传感器10检测片盒内晶圆是否溢出，若无溢出信号，则标明片盒和晶圆已准确载入，可以进行传送，顶部和底部的对射传感器10均可移动地设置，以适应不同尺寸片盒的检测。

本实施例中，安装架1上设有对射传感器安装块11，对射传感器10设于对射传感器安装块11上，对射传感器安装块11上设有腰型孔111，安装架1上设有连接孔，腰型孔111通过连接件与连接孔连接。根据不同尺寸的片盒，来调整对射传感器10的安装位置，具体地，通过连接件(图中未示出)使腰型孔111的不同位置和连接孔(图中未示出)连接来实现。

本实施例中，安装架1上设有用于与外部设备连接的连接座12。便于与外部进行拆装。

虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。