太阳能电池及其退火方法和太阳能电池组件

技术领域

本发明涉及太阳能电池领域，特别是涉及一种太阳能电池及其退火方法和太阳能电池组件。

背景技术

太阳能电池组件是一种将光能转换为电能的装置，其核心材料是太阳能电池片，太阳能电池片的效率转换高低直接影响太阳能电池组件的功率。因此，提升太阳能电池片的转换效率是一种常用的提升太阳能组件功率的方法。

由于太阳能电池的制备过程中通常需要使用较高的温度对电池进行工艺处理，在高温下太阳能电池会出现较多缺陷，此外，电池制备过程中的工艺处理也会引入较多掺杂物而对电池造成缺陷。退火处理是太阳能电池修复缺陷的一种重要手段，通过对退火工艺的改善，可以明显提升电池的效率。目前对于太阳能电池的退火处理还存在如下问题：钝化效果不好、存在过烧问题等，因而对电池效率的提升有限。

发明内容

基于此，本发明一些实施例中提供一种太阳能电池的退火方法，能够提高钝化效果，且改善过烧问题，进而提高太阳能电池效率。

此外，本发明另外一些实施例还提供一种太阳能电池和太阳能电池组件。

一种太阳能电池的退火方法，包括如下步骤：

对烧结后的太阳能电池进行光退火处理；

对光退火处理后的太阳能电池进行第一热退火处理；

对所述第一热退火处理后的太阳能电池进行第二热退火处理；

其中，所述光退火处理的温度>所述第一热退火处理的温度>所述第二热退火处理的温度，所述第二热退火处理的温度≥150℃，且所述光退火处理的时间<所述第一热退火处理和所述第二热退火处理的总时间。

可选地，所述第一热退火处理的温度为250℃~450℃，所述第二热退火处理的温度为150℃~300℃。

可选地，所述第一热退火处理的温度为250℃~350℃。

可选地，所述第一热退火处理和所述第二热退火处理的总时间大于或等于60s。

可选地，所述第一热退火处理的时间为40s~600s，所述第二热退火处理的时间为20s~120s。

可选地，烧结后的太阳能电池具有EL缺陷，在所述第一热退火处理的步骤中，温度为250℃~450℃，时间为40s~600s，且温度每升高50℃，时间降低120s~180s，在所述第二热退火处理的步骤中，温度为150℃~300℃，时间为20s~120s，且温度每升高30℃~40℃，时间降低20s~30s。

可选地，烧结后的太阳能电池不具有EL缺陷，在所述第一热退火处理的步骤中，温度为250℃~450℃，时间为40s~600s，且温度每升高50℃，时间降低100s~150s，在所述第二热退火处理的步骤中，温度为150℃~300℃，时间为20s~120s，且温度每升高30℃~40℃，时间降低30s~50s。

可选地，所述光退火处理在链式退火炉中进行，所述链式退火炉包括顺序连接的烧结区域和光退火区域，所述第一热退火处理和所述第二热退火处理的步骤中，在所述链式退火炉的光退火区域后增加热退火区域，使光退火处理后的太阳能电池在所述热退火区域进行热退火处理。

可选地，所述第一热退火处理和所述第二热退火处理的步骤中，将光退火处理后的太阳能电池转移至恒温箱中进行热退火处理。

可选地，所述第一热退火处理和所述第二热退火处理的步骤中，将多个光退火处理后的太阳能电池转移至管式扩散炉中进行热退火处理。

可选地，所述光退火处理的温度为450℃~550℃，时间为30s~60s；

所述光退火处理的过程中，光照时间为25s~45s，光照能量为10kw/m

可选地，烧结的温度为700℃~800℃，烧结的时间为30s~60s。

一种太阳能电池，经上述的太阳能电池的退火方法处理后得到。

一种太阳能电池组件，包括上述的太阳能电池。

传统的太阳能电池退火工艺包括在烧结后进行一次光退火处理，短时高温的光退火处理工艺钝化效果不足，对电池效率的提升有限，或者取消光退火工艺，使用正背面不同温度的退火方法，但退火温度仍较高，电池长时间处于高温退火氛围中，仍会产生部分缺陷，且容易产生过烧，效率提升不足。而在本发明一些实施例中，太阳能电池的退火工艺通过先对太阳能电池进行光退火处理，再进行第一热退火处理和第二热退火处理，且光退火处理的温度大于第一热退火处理的温度，时间小于热退火处理的总时间，使得通过光退火处理给予太阳能电池较高能量，在光照下使钝化膜中氢快速进入电池基体，对大量的体缺陷及复合中心进行修复，在短时间内可消除电池内部大量缺陷。再进行第一热退火处理和第二热退火处理，在第一热退火处理阶段减少H修复对晶格变化的影响，降低新缺陷的产生，减少钝化膜中H溢出的问题，此外，在第一热退火处理阶段还可以使扩散引入的间隙杂质进入晶格点，形成有效掺杂。在温度≥150℃且小于第一热退火处理温度的第二热退火处理阶段，氧化铝结构更容易形成带负电的正四面体结构，修复氧化铝结构损伤，形成更好的场钝化；扩散热氧等高温工序会因热应力不均对电池产生位错滑移或放大机械损伤及原子团聚集的问题，导致位错及EL缺陷，在此第一热退火处理和第二热退火处理下也可以有明显修复效果。因此，采用上述退火工艺在烧结后进行能够大幅降低电池复合缺陷及体缺陷，增强钝化效果，降低高温退火时间过长可能导致的过烧问题，进而显著提升电池效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本发明一些实施例中，太阳能电池的退火方法的一种工艺流程图；

图2为本发明一些实施例中，太阳能电池组件的一种结构示意图；

图3为实施例4的太阳能电池在热退火处理前的缺陷图；

图4为实施例4的太阳能电池在热退火处理后的缺陷图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将结合具体实施方式对本发明进行更全面的描述。具体实施方式中给出了本发明的较佳的实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体地实施例的目的，不是旨在于限制本发明。

除非另外说明或存在矛盾之处，本发明中使用的术语或短语具有以下含义：

本发明中，“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

本发明中，“一种或几种”指所列项目的任一种、任两种或任两种以上。其中，“几种”指任两种或任两种以上。

本发明中，涉及的百分比浓度，如无特别说明，均指终浓度。所述终浓度，指添加成分在添加该成分后的体系中的占比。

本发明中的词语“可选地”等是指，在某些情况下可提供某些有益效果的本发明实施方案。然而，在相同的情况下或其他情况下，其他实施方案也可能是可选的。此外，对一个或多个可选实施方案的表述并不暗示其他实施方案不可用，也并非旨在将其他实施方案排除在本发明的范围之外。

当本发明中公开一个数值范围时，上述范围视为连续，且包括该范围的最小值及最大值，以及这种最小值与最大值之间的每一个值。进一步地，当范围是指整数时，包括该范围的最小值与最大值之间的每一个整数。此外，当提供多个范围描述特征或特性时，可以合并该范围。换言之，除非另有指明，否则本发明中所公开之所有范围应理解为包括其中所归入的任何及所有的子范围。

本发明中，以开放式描述的技术特征中，包括所列举特征组成的封闭式技术方案，也包括包含所列举特征的开放式技术方案。

本发明实施例中的术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或组件。

在本发明中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本发明所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

本发明的第一方面提供一种太阳能电池的退火方法，请参阅图1，包括如下步骤：

步骤S110：对烧结后的太阳能电池进行光退火处理。

步骤S120：对光退火处理后的太阳能电池进行第一热退火处理。

步骤S130：对述第一热退火处理后的太阳能电池进行第二热退火处理。

其中，所述光退火处理的温度>所述第一热退火处理的温度>所述第二热退火处理的温度，所述第二热退火处理的温度≥150℃，且所述光退火处理的时间<所述第一热退火处理和所述第二热退火处理的总时间。

传统的太阳能电池退火工艺包括在烧结后进行一次光退火处理，短时高温的光退火处理工艺钝化效果不足，对电池效率的提升有限，或者取消光退火工艺，使用正背面不同温度的退火方法，但退火温度仍较高，电池长时间处于高温退火氛围中，仍会产生部分缺陷，且容易产生过烧，效率提升不足。而在本发明一些实施例中，太阳能电池的退火工艺通过先对太阳能电池进行光退火处理，再进行第一热退火处理和第二热退火处理，且光退火处理的温度大于第一热退火处理的温度，时间小于热退火处理的总时间，使得通过光退火处理给予太阳能电池较高能量，在光照下使钝化膜中氢快速进入电池基体，对大量的体缺陷及复合中心进行修复，在短时间内可消除电池内部大量缺陷。再进行第一热退火处理和第二热退火处理，在第一热退火处理阶段减少H修复对晶格变化的影响，降低新缺陷的产生，减少钝化膜中H溢出的问题，此外，在第一热退火处理阶段还可以使扩散引入的间隙杂质进入晶格点，形成有效掺杂。在温度≥150℃且小于第一热退火处理温度的第二热退火处理阶段，氧化铝结构更容易形成带负电的正四面体结构，修复氧化铝结构损伤，形成更好的场钝化；扩散热氧等高温工序会因热应力不均对电池产生位错滑移或放大机械损伤及原子团聚集的问题，导致位错及EL缺陷，在此第一热退火处理和第二热退火处理下也可以有明显修复效果。因此，采用上述退火工艺在烧结后进行能够大幅降低电池复合缺陷及体缺陷，增强钝化效果，降低高温退火时间过长可能导致的过烧问题，进而显著提升电池效率。

在一些实施例中，烧结的温度为700℃~800℃，烧结的时间为30s~60s。例如，烧结的温度可以但不限于为700℃、710℃、720℃、730℃、740℃、750℃、760℃、770℃、780℃、790℃、800℃或这些取值中任意两者所组成的范围。烧结的时间可以但不限于为30s、35s、40s、45s、50s、55s、60s或这些取值中任意两者所组成的范围。可以理解，以上仅给出了一种较为具体的烧结温度和时间，但并不限于此，还可以根据太阳能电池的不同或实际需要调整烧结的温度和时间。

在一些实施例中，对太阳能电池的种类并没有特别限定，可以为本领域常用的太阳能电池。例如，太阳能电池包括晶硅电池和薄膜电池。具体地，晶硅电池包括单晶硅电池和多晶硅电池，薄膜电池包括非晶硅电池和化合物电池等。

在一些实施例中，太阳能电池的烧结在链式退火炉中进行，链式退火炉包括顺序连接的烧结区域和光退火区域。采用上述设置有利于在烧结后进行光退火处理。

在一些实施例中，所述光退火处理的温度为450℃~550℃，时间为30s~60s。例如，光退火处理的温度可以但不限于为450℃、470℃、490℃、500℃、520℃、540℃、550℃或这些取值中任意两者所组成的范围，时间可以但不限于为30s、35s、40s、45s、50s、55s、60s或这些取值中任意两者所组成的范围。对烧结后的太阳能电池进行高温短时的光退火处理，通过高温给予较高能量，在光照下使钝化膜中氢快速进入太阳能电池基体而对大量的体缺陷及复合中心进行修复，在短时间内可消除太阳能电池内部的大量缺陷。

在一些实施例中，所述光退火处理的过程中，光照时间为25s~45s，光照能量为10kw/m

可以理解，以上仅给出了一种较为具体的光退火处理工艺，但并不限于此，还可以为本领域常用的光退火工艺，例如，在光退火处理的温度较高时，时间可以短一些。

在一些实施例中，所述第一热退火处理的温度为250℃~450℃。例如，第一热退火处理的温度可以但不限于为250℃、260℃、280℃、300℃、320℃、350℃、360℃、380℃、400℃、420℃、450℃或这些取值中任意两者所组成的范围。进一步地，所述第一热退火处理的温度为250℃~350℃。实验证明，第一热退火处理的温度在高于350℃时，仍能起到修复缺陷的作用，但修复效果增加缓慢，从降低生产成本的角度，可选地，第一热退火处理的温度小于或等于350℃。

在一些实施例中，所述第二热退火处理的温度为150℃~300℃。例如，第二热退火处理的温度可以但不限于为150℃、160℃、180℃、200℃、220℃、240℃、250℃、260℃、280℃、300℃或这些取值中任意两者所组成的范围。在第二热退火处理的温度低于150℃时，即便延长退火时间也无法起到较好的缺陷修复效果，因此，第二热退火处理的温度大于或等于150℃。

在其中一些实施例中，所述第一热退火处理的温度为250℃~450℃，第二热退火处理的温度为150℃~300℃。进一步地，所述第一热退火处理的温度为250℃~350℃，第二热退火处理的温度为150℃~300℃。

在一些实施例中，所述第一热退火处理和所述第二热退火处理的总时间大于或等于60s。例如，第一热退火处理和第二热退火处理的总时间可以但不限于为60s、120s、180s、240s、300s、360s、420s、480s、540s、600s、660s、720s或这些取值中任意两者所组成的范围。在上述时间范围下，有利于提高缺陷修复效果，进而提高太阳能电池的效率。

在其中一些实施例中，所述第一热退火处理的时间为40s~600s。例如，第一热退火处理的时间可以但不限于为40s、60s、120s、180s、240s、300s、360s、420s、480s、540s、600s或这些取值中任意两者所组成的范围。进一步地，第一热退火处理的时间为240s~600s。

在其中一些实施例中，所述第二热退火处理的时间为20s~120s。例如，第二热退火处理的时间可以但不限于为20s、30s、40s、60s、90s、120s或这些取值中任意两者所组成的范围。

在其中一些实施例中，所述第一热退火处理的时间为40s~600s，所述第二热退火处理的时间为20s~120s。进一步地，第一热退火处理的时间为240s~600s，第二热退火处理的时间为20s~120s。

在其中一些实施例中，所述第一热退火处理的温度为250℃~450℃，时间为60s~600s；所述第二热退火处理的温度为150℃~300℃，时间为20s~120s。进一步地，所述第一热退火处理的温度为250℃~350℃，时间为240s~600s；所述第二热退火处理的温度为150℃~300℃，时间为20s~120s。

光退火处理后的太阳能电池经在第一热退火处理阶段减少H修复对晶格变化的影响，降低新缺陷的产生，减少钝化膜中H溢出的问题，此外，在第一热退火处理阶段还可以使扩散引入的间隙杂质进入晶格点，形成有效掺杂。在第二热退火处理阶段，氧化铝结构更容易形成带负电的正四面体结构，修复氧化铝结构损伤，形成更好的场钝化；扩散热氧等高温工序会因热应力不均对电池产生位错滑移或放大机械损伤及原子团聚集的问题，导致位错及EL缺陷，在此第一热退火处理和第二热退火处理下也可以有明显修复效果。

在一些实施例中，太阳能电池具有EL缺陷。EL缺陷（电致发光缺陷）是过加在两电极的电压产生电场，被电场激发的电子碰击发光中心，而导致电子能级的跃进、变化及复合导致发光的一种物理现象。通过上述第一热退火处理和第二热退火处理方法对有EL缺陷及效率偏低的太阳能电池的增益效果更明显，由于EL缺陷及低效电池自身缺陷较多，短时高温的光退火处理不能达到很好地修复电池缺陷的目的，此种电池对于低温梯度热退火处理的需求更大，经过低温梯度热退火处理后，部分EL缺陷修复率可达90%以上，且效率提升明显。

在其中一些实施例中，烧结后的太阳能电池具有EL缺陷，在所述第一热退火处理的步骤中，温度为250℃~450℃，时间为40s~600s，且温度每升高50℃，时间降低120s~180s，在所述第二热退火处理的步骤中，温度为150℃~300℃，时间为20s~120s，且温度每升高30℃~40℃，时间降低20s~30s。由于EL缺陷电池的缺陷较多，修复需要较长的时间。

在另外一些实施例中，烧结后的太阳能电池不具有EL缺陷，在所述第一热退火处理的步骤中，温度为250℃~450℃，时间为40s~600s，且温度每升高50℃，时间降低100s~150s，在所述第二热退火处理的步骤中，温度为150℃~300℃，时间为20s~120s，且温度每升高30℃~40℃，时间降低30s~50s。进一步地，烧结后的太阳能电池不具有EL缺陷，在所述第一热退火处理的步骤中，温度为250℃~350℃，时间为240s~600s，且温度每升高50℃，时间降低100s~150s，在所述第二热退火处理的步骤中，温度为150℃~300℃，时间为20s~120s，且温度每升高30℃~40℃，时间降低30s~50s。

在一些实施例中，所述光退火处理在链式退火炉中进行，所述链式退火炉包括顺序连接的烧结区域和光退火区域，所述第一热退火处理和所述第二热退火处理的步骤中，在所述链式退火炉的光退火区域后增加热退火区域，使光退火处理后的太阳能电池在所述热退火区域进行热退火处理。

在另外一些实施例中，所述第一热退火处理和所述第二热退火处理的步骤中，将光退火处理后的太阳能电池转移至恒温箱中进行热退火处理。

在又一些实施例中，所述第一热退火处理和所述第二热退火处理的步骤中，将多个光退火处理后的太阳能电池转移至管式扩散炉中进行热退火处理。

第一热退火处理和第二热退火处理的步骤中，对设备要求较低，链式退火炉、恒温箱、管式扩散炉设备均可实现，有利于降低生产成本。在实际生产过程中，可以根据实际情况和产线需求选择不同的热退火处理设备。例如，可以在原有的链式退火炉后加一段热退火区域进行热退火处理，这样可以节约场地，但如果实际情况不允许在后面加一段退火区域的话，例如空间受限，也可以通过转移至恒温箱或管式扩散炉中进行热退火处理。

本发明的第二方面提供一种太阳能电池，经上述的太阳能电池的退火方法处理后得到。

上述太阳能电池退火处理后，能够大幅降低电池复合缺陷及体缺陷，增强钝化效果，降低高温退火时间过长可能导致的过烧问题，进而显著提升电池效率。

本发明的第三方面提供一种太阳能电池组件，包括上述的太阳能电池。

请参阅图2，太阳能电池组件100包括依次层叠设置的光伏玻璃110、第一封装胶膜120、太阳能电池130、第二封装胶膜140和背板150。太阳能电池130通过第一封装胶膜120和第二封装胶膜140与光伏玻璃110和背板150连接。可以理解，太阳能电池组件中的光伏玻璃、第一封胶膜、第二封装胶膜和背板均为本领域的常规结构，不再赘述。

为了使本发明的目的以及优点更加清楚，以下结合具体实施例对本发明的太阳能电池的退火方法及其效果做进一步详细的说明，应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不得用以限定本发明。以下实施例如无特殊说明，则不包括除不可避免的杂质外的其他组分。实施例中采用药物和仪器如非特别说明，均为本领域常规选择。实施例中未注明具体条件的实验方法，按照常规条件，例如文献、书本中所述的条件或者生产厂家推荐的方法实现。

实施例1

本实施例提供一种太阳能电池的退火方法，包括如下步骤：

（1）对烧结后的太阳能电池进行光退火处理，温度为530℃，时间为20s，其中，烧结后的太阳能电池不具有EL缺陷。

（2）对光退火处理后的太阳能电池进行第一热退火处理，温度为380℃，时间为120s。

（3）对所述第一热退火处理后的太阳能电池进行第二热退火处理，温度为290℃，时间为30s，得到退火处理后的太阳能电池。

实施例2

本实施例提供一种太阳能电池的退火方法，包括如下步骤：

（1）对烧结后的太阳能电池进行光退火处理，温度为530℃，时间为20s，其中，烧结后的太阳能电池不具有EL缺陷。

（2）对光退火处理后的太阳能电池进行第一热退火处理，温度为340℃，时间为240s。

（3）对所述第一热退火处理后的太阳能电池进行第二热退火处理，温度为250℃，时间为60s，得到退火处理后的太阳能电池。

实施例3

本实施例提供一种太阳能电池的退火方法，包括如下步骤：

（1）对烧结后的太阳能电池进行光退火处理，温度为530℃，时间为20s，其中，烧结后的太阳能电池不具有EL缺陷。

（2）对光退火处理后的太阳能电池进行第一热退火处理，温度为300℃，时间为360s。

（3）对所述第一热退火处理后的太阳能电池进行第二热退火处理，温度为220℃，时间为110s，得到退火处理后的太阳能电池。

实施例4

本实施例提供一种太阳能电池的退火方法，包括如下步骤：

（1）对烧结后的太阳能电池进行光退火处理，温度为530℃，时间为20s，其中，烧结后的太阳能电池具有EL缺陷。

（2）对光退火处理后的太阳能电池进行第一热退火处理，温度为440℃，时间为60s。

（3）对所述第一热退火处理后的太阳能电池进行第二热退火处理，温度为300℃，时间为100s，得到退火处理后的太阳能电池。

实施例5

本实施例提供一种太阳能电池的退火方法，包括如下步骤：

（1）对烧结后的太阳能电池进行光退火处理，温度为530℃，时间为20s，其中，烧结后的太阳能电池具有EL缺陷。

（2）对光退火处理后的太阳能电池进行第一热退火处理，温度为380℃，时间为180s。

（3）对所述第一热退火处理后的太阳能电池进行第二热退火处理，温度为270℃，时间为80s，得到退火处理后的太阳能电池。

实施例6

本实施例提供一种太阳能电池的退火方法，包括如下步骤：

（1）对烧结后的太阳能电池进行光退火处理，温度为530℃，时间为20s，其中，烧结后的太阳能电池具有EL缺陷。

（2）对光退火处理后的太阳能电池进行第一热退火处理，温度为350℃，时间为360s。

（3）对所述第一热退火处理后的太阳能电池进行第二热退火处理，温度为250℃，时间为60s，得到退火处理后的太阳能电池。

实施例7

本实施例提供一种太阳能电池的退火方法，包括如下步骤：

（1）对烧结后的太阳能电池进行光退火处理，温度为530℃，时间为20s，其中，烧结后的太阳能电池具有EL缺陷。

（2）对光退火处理后的太阳能电池进行第一热退火处理，温度为290℃，时间为600s。

（3）对所述第一热退火处理后的太阳能电池进行第二热退火处理，温度为230℃，时间为40s，得到退火处理后的太阳能电池。

对比例1

对比例1提供一种太阳能电池的退火方法，与实施例1的太阳能电池的退火方法相似，区别在于，在步骤（3）中，第二热退火处理的温度为130℃，时间为200s。

对比例2

对比例2提供一种太阳能电池的退火方法，与实施例1的太阳能电池的退火方法相似，区别在于，步骤（2）和步骤（3）不同，对比例2的步骤（2）和步骤（3）分别如下：

（2）对光退火处理后的太阳能电池进行第一热退火处理，温度为290℃，时间为30s。

（3）对所述第一热退火处理后的太阳能电池进行第二热退火处理，温度为380℃，时间为120s，得到退火处理后的太阳能电池。

对比例3

对比例3提供一种太阳能电池的退火方法，与实施例1的太阳能电池的退火方法相似，区别在于，仅含有一次热退火处理，对比例3的热退火处理的步骤如下：

对光退火处理后的太阳能电池进行热退火处理，温度为380℃，时间为120s，得到退火处理后的太阳能电池。

对比例4

对比例4提供一种太阳能电池的退火方法，与实施例1的太阳能电池的退火方法相似，区别在于，步骤（2）和步骤（3）不同，对比例4的步骤（2）和步骤（3）分别如下：

（2）对光退火处理后的太阳能电池进行第一热退火处理，温度为500℃，时间为12s。

（3）对所述第一热退火处理后的太阳能电池进行第二热退火处理，温度为350℃，时间为6s，得到退火处理后的太阳能电池。

以上实施例和对比例的太阳能电池在热退火处理前后的实验数据如下表1~表3所示，表1~表3中，热退火处理后的数据E

表1实施例1~3的太阳能电池热退火处理前后的实验数据

表2实施例4~7的太阳能电池热退火处理前后的实验数据

表3对比例1~4的太阳能电池热退火处理前后的实验数据

从上述表格中可以看出，经过两次热退火处理，太阳能电池的光电转换效率明显提升。

请参阅图3和图4，图3为实施例4的太阳能电池在热退火处理前的缺陷图。图4为实施例4的太阳能电池在热退火处理后的缺陷图。图3和图4是使用全自动EL测试仪，利用红外相机拍摄太阳能电池的图像，从而获取并判定太阳能电池的缺陷。从图3和图4中可以看出，经过两次热退火处理，太阳能电池的缺陷明显减小。实施例5~7的太阳能电池在热退火处理前后的缺陷图与实施例4相似，不再重复提供。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，便于具体和详细地理解本发明的技术方案，但并不能因此而理解为对发明专利保护范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。应当理解，本领域技术人员在本发明提供的技术方案的基础上，通过合乎逻辑的分析、推理或有限的试验得到的技术方案，均在本发明所附权利要求的保护范围内。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求的内容为准，说明书及附图可以用于解释权利要求的内容。