一种自动读码设备

技术领域

本发明创造属于导体硅片视觉识别领域，尤其是涉及一种自动读码设备。

背景技术

在半导体硅片视觉识别领域中,人为读取打标号，容易产生视觉疲劳，导致读码错误，工作效率低。通过自动化设备，可以缩短读码时间，提高自动化程度。由此可见,准确、快速地读取打标号对半导体领域工业应用上具有非常重要的实用价值。

发明内容

有鉴于此，本发明创造提出一种自动读码设备以解决现有半导体硅片读码未人工读取，容易导致读码错误，工作效率低的问题。

为达到上述目的，本发明创造的技术方案是这样实现的：

一种自动读码设备，底板、检测组件、抓取组件、第一滑动组件、第二滑动组件，第一滑动组件、第二滑动组件均安装在底板上，检测组件包括读码器，抓取组件包括真空吸盘，读码器安装在第一滑动组件上，真空吸盘安装在第二滑动组件上，读码器与真空吸盘对应设置。

进一步的，第一滑动组件包括线性模组、第一安装架、安装横杆，线性模组安装在底板上，安装架安装在线性模组的滑块上，安装横杆固定在安装架上端，读码器安装在安装横杆远离安装架的一端。

进一步的，安装架包括第一滑动板、固定板，第一滑动板与线性模组的滑块固定连接，第一滑动板的一端与固定板的底部规定连接，固定板的顶部与安装横杆远离读码器的一端固定连接。

进一步的，第二滑动组件包括第二安装架、第二导轨、第二主动齿轮、第二从动齿轮、第二同步带、第二电机、立板、连接杆，第二安装架包括背板、支腿，支腿有多个，多个支腿底部与底板固定连接，顶部与背板规定连接，第二主动齿轮、第二从动齿轮均通过安装件安装在背板底部，第二主动齿轮、第二从动齿轮分列背板两端，第二同步带连接于第二主动齿轮与第二从动齿轮之间，第二导轨固定在背板上部，第二导轨与第二同步带平行设置，滑动板底部固定有与第二导轨对应的滑块，滑动板通过滑块与滑轨滑动连接，滑动板一端与立板固定连接，另一端与连接杆固定连接，背板上开有条形通孔，条形通孔与第二滑轨平行设置，连接杆远离滑动板的一端穿过条形通孔与第二同步带固定连接，立板顶部与真空吸盘相连。

进一步的，第二滑动组件还包括升降单元，升降单元包括齿条、齿轮、滑杆、滑槽、第三电机、第三安装架，齿轮通过转轴安装在立板上，转轴贯穿于立板，与第三电机的输出轴固定连接，第三电机固定在立板远离齿轮的一侧，齿条竖直安装在第三安装架上，齿条与齿轮啮合连接，滑杆与齿条平行设置，滑杆安装在第三安装架上，滑槽固定在立板上，滑杆与滑槽滑动连接，真空吸盘安装在第三安装架上。

进一步的，第三安装架包括挂板、限位板，挂板与齿条、滑杆固定连接，挂板顶部与限位板的一端规定连接，限位板的另一端通过安装件与真空吸盘固定连接。

进一步的，还包括片篮底座、升降组件，升降组件安装在底板上，片篮底座安装在升降组件上，片篮底座设置于真空吸盘下方。

进一步的，升降组件包括驱动单元、丝杆、顶板、第一导轨、导轨安装板、滑块安装板，丝杆、滑块安装板底部均与底板固定连接，丝杆、滑块安装板顶端均与顶板固定连接，丝杆通过轴承分别与底板、顶板转动连接，丝杆下部与驱动单元相连，第一导轨竖直固定在导轨安装板上，滑块安装板上固定有与第一导轨对应的滑块，滑块安装板通过滑块与第一导轨滑动连接，滑块安装板远离第一导轨的一侧与片篮底座固定连接。

进一步的，驱动单元包括第一电机、第一主动轮、第一从动轮、第一同步带，第一主动轮通过安装轴安装在底板上，第一主动轮顶部与第一电机的输出轴相连，第一从动轮固定在丝杆上，第一同步带连接于第一主动轮与第一从动轮之间。

进一步的，还包括箱体外壳、孔板，箱体外壳安装在底座上，检测组件、抓取组件、第一滑动组件、第二滑动组件均设置于箱体外壳内，孔板设置于箱体外壳顶部，孔板设置于真空吸盘远离读码器的一侧，孔板分别与第一滑动组件、第二滑动组件间隔设置。

相对于现有技术，本发明创造具有以下有益效果：

(1)本发明创造提出的一种自动读码设备对硅片打标号进行准确读取，有效地避免了人为读错、增加颗粒度的风险，提高读码效率，减少人为劳动强度，降低人工成本。

(2)第一滑动组件能够带动读码器水平方向上进行移动，从而读取硅片左、中、右三个位置的打标号。

(3)第二滑动组件既能带动真空吸盘横向移动，又能进行升降，从而能够灵活的抓取硅片。

附图说明

构成本发明创造的一部分的附图用来提供对本发明创造的进一步理解，本发明创造的示意性实施例及其说明用于解释本发明创造，并不构成对本发明创造的不当限定。在附图中：

图1为本发明创造实施例所述的一种自动读码设备示意图；

图2为本发明创造实施例所述的一种自动读码设备局部示意图；

图3为本发明创造实施例所述的一第二滑动组件示意图；

图4为本发明创造实施例所述的第二滑动组件示意图；

图5为本发明创造实施例所述的一种自动读码设备安装示意图。

附图标记说明：

1、安装支架；2、片篮；3、离子棒；4、空气过滤器；5、箱体外壳；6、连接板；7、安装块；8、孔板；9、读码器；10、安装横杆；11、真空吸盘；111、挂板；112、限位板；12、固定板；13、片篮底座；14、第一主动轮；15、底板；16、第一电机；17、丝杆；18、导轨安装板；19、顶板；20、滚动轴承；21、滑块安装板；22、第一导轨；24、线性模组；25、模组安装板；26、支柱；27、滑台底板；28、第一从动轮；29、第一同步带；30、支腿；31、背板；32、第二导轨；33、第二电机；34、齿轮；35、齿条；36、立板；37、滑轨；38、第三电机；39、第二从动齿轮；40、压块；41、第二同步带；42、第二主动齿轮；43、滑槽；44、滑动板；45、条形通孔。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明创造中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本发明创造的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明创造的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明创造的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明创造中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明创造。

如图1、图2所示，一种自动读码设备，底板15、检测组件、抓取组件、第一滑动组件、第二滑动组件，第一滑动组件、第二滑动组件均安装在底板15上，检测组件包括读码器9，抓取组件包括真空吸盘11，读码器9安装在第一滑动组件上，真空吸盘11安装在第二滑动组件上，读码器9与真空吸盘11对应设置。

如图1、图2所示，第一滑动组件包括线性模组24、第一安装架、安装横杆10，线性模组24安装在底板15上，安装架安装在线性模组24的滑块上，安装横杆10固定在安装架上端，读码器9安装在安装横杆10远离安装架的一端。

如图2所示，安装架包括第一滑动板44、固定板12，第一滑动板44与线性模组24的滑块固定连接，第一滑动板44的一端与固定板12的底部规定连接，固定板12的顶部与安装横杆10远离读码器9的一端固定连接。第一滑动组件能够带动读码器9水平方向上进行移动，从而读取硅片左、中、右三个位置的打标号。

如图3、图4所示，第二滑动组件包括第二安装架、第二导轨32、第二主动齿轮42、第二从动齿轮39、第二同步带41、第二电机33、立板36、连接杆，第二安装架包括背板31、支腿30，支腿30有多个，多个支腿30底部与底板15固定连接，顶部与背板31规定连接，第二主动齿轮42、第二从动齿轮39均通过安装件安装在背板31底部，第二主动齿轮42、第二从动齿轮39分列背板31两端，第二同步带41连接于第二主动齿轮42与第二从动齿轮39之间，第二导轨32固定在背板31上部，第二导轨32与第二同步带41平行设置，滑动板44底部固定有与第二导轨32对应的滑块，滑动板44通过滑块与滑轨37滑动连接，滑动板44一端与立板36固定连接，另一端与连接杆固定连接，背板31上开有条形通孔45，条形通孔45与第二滑轨37平行设置，连接杆远离滑动板44的一端穿过条形通孔45与第二同步带41固定连接，立板36顶部与真空吸盘11相连。

如图3、图4所示，第二滑动组件还包括升降单元，升降单元包括齿条35、齿轮34、滑杆、滑槽43、第三电机38、第三安装架，齿轮34通过转轴安装在立板36上，转轴贯穿于立板36，与第三电机38的输出轴固定连接，第三电机38固定在立板36远离齿轮34的一侧，齿条35竖直安装在第三安装架上，齿条35与齿轮34啮合连接，滑杆与齿条35平行设置，滑杆安装在第三安装架上，滑槽43固定在立板36上，滑杆与滑槽43滑动连接，真空吸盘11安装在第三安装架上。第二滑动组件既能带动真空吸盘11横向移动，又能进行升降，从而能够灵活的抓取硅片。

如图1、图2所示，第三安装架包括挂板111、限位板112，挂板111与齿条35、滑杆固定连接，挂板111顶部与限位板112的一端规定连接，限位板112的另一端通过安装件与真空吸盘11固定连接。

如图1、图2所示，还包括片篮2底座、升降组件，升降组件安装在底板15上，片篮2底座安装在升降组件上，片篮2底座设置于真空吸盘11下方，片篮2底座上固定有定位块，定位块能兼容4、5、6、8寸片篮2，并对片篮2起定位作用。

如图1、图2所示，升降组件包括驱动单元、丝杆17、顶板19、第一导轨22、导轨安装板18、滑块安装板21，丝杆17、滑块安装板21底部均与底板15固定连接，丝杆17、滑块安装板21顶端均与顶板19固定连接，丝杆17通过轴承分别与底板15、顶板19转动连接，丝杆17下部与驱动单元相连，第一导轨22竖直固定在导轨安装板18上，滑块安装板21上固定有与第一导轨22对应的滑块，滑块安装板21通过滑块与第一导轨22滑动连接，滑块安装板21远离第一导轨22的一侧与片篮2底座固定连接。

如图2所示，驱动单元包括第一电机16、第一主动轮14、第一从动轮28、第一同步带29，第一主动轮14通过安装轴安装在底板15上，第一主动轮14顶部与第一电机16的输出轴相连，第一从动轮28固定在丝杆17上，第一同步带29连接于第一主动轮14与第一从动轮28之间。

如图1所示，还包括箱体外壳5、孔板8，箱体外壳5安装在底座上，检测组件、抓取组件、第一滑动组件、第二滑动组件均设置于箱体外壳5内，孔板8设置于箱体外壳5顶部，孔板8设置于真空吸盘11远离读码器9的一侧，孔板8分别与第一滑动组件、第二滑动组件间隔设置。空气过滤器4安装在安装架上，向下吹洁净空气将灰尘压至孔板8下方形成稳流，离子棒3消除静电防止金属离子吸附在硅片表面，用于满足一级洁净室等级要求。

自动读码步骤如下：

1.将所述一种自动读码设备放置在安装支架1上，人工将片篮2放入片篮2底座上。

2.按下启动按钮，真空吸盘11和读码器9同时动作，在第二滑动组件带动真空吸盘11取片至读码器9下方，读码器9在第一滑动组件带动下开始移动读取硅片打标号。

3.读取完成，真空吸盘11放回硅片，片篮2在升降组件的带动下开始下降一个片槽位置，真空吸盘11取第二片开始读取，读取完毕放回，依次进行如上操作。

4.读完整篮后，片篮2上升至初始位置，人工取下片篮2。

本发明基于Wafer ID Reader自动读码设备对硅片打标号进行准确读取，有效地避免了人为读错、增加颗粒度的风险，提高读码效率，减少人为劳动强度，降低人工成本。

以上所述仅为本发明创造的较佳实施例而已，并不用以限制本发明创造，凡在本发明创造的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明创造的保护范围之内。