废气处理方法及其系统、电子设备和存储介质

技术领域

本发明涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种废气处理方法及其系统、电子设备和存储介质。

背景技术

集成电路在生产与制造时，需要利用各种特种的气体实现工艺需求，例如：CF气体，cl

发明内容

本发明提供一种废气处理方法及其系统、电子设备和存储介质，用以解决废气处理成本高问题，通过多个电磁阀控制气体或液体的流量，实现流量的精准控制，同时降低了废气处理设备的成本。

本发明提供一种废气处理方法，包括：

获取燃烧流量的第一流量值；

根据所述第一流量值以及各个电磁阀的第二流量值，确定各个所述电磁阀的启停信息；

根据各个所述电磁阀的启停信息控制流量。

在一个实施例中，所述根据所述第一流量值以及各个电磁阀的第二流量值，确定各个所述电磁阀的启停信息，包括：

根据所述第一流量值与各个所述电磁阀的第二流量值，确定所述电磁阀的组合信息；

根据所述组合信息，确定各个所述电磁阀的启停信息。

在一个实施例中，确定各个所述电磁阀的第二流量值，包括：

获取各个所述电磁阀的流量调整指令；

根据所述流量调整指令调整各个所述电磁阀对应的调速阀，得到各个所述电磁阀的第二流量值。

在一个实施例中，所述根据各个所述电磁阀的启停信息控制流量之后，还包括：

获取各个所述电磁阀的第三流量值；

确定所述第三流量值超出设定流量范围，输出报警信息。

在一个实施例中，所述方法，还包括：

获取废气处理的流量控制精度；

根据所述流量控制精度配置所述电磁阀的数量。

本发明还提供一种废气处理装置，包括：处理器和多个电磁阀，所述电磁阀与所述处理器连接：

所述处理器基于燃烧流量的第一流量值以及各个所述电磁阀的第二流量值，向各个所述电磁阀发送控制指令；

所述电磁阀接收所述处理器发送的控制指令，根据所述控制指令执行开启操作或关闭操作，以控制流量。

在一个实施例中，废气处理系统还包括多个调速阀，每个所述调速阀与对应的所述电磁阀连接；

所述调速阀用于确定所述电磁阀的第二流量值。

在一个实施例中，废气处理系统还包括流量计，所述流量计与所述电磁阀连接；

所述流量计用于测量累计通过各个所述电磁阀的废气总量。

本发明还提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如上述任一种所述废气处理方法。

本发明还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述废气处理方法。

本发明提供的废气处理方法及其系统、电子设备和存储介质，通过获取燃烧流量的第一流量值；根据所述第一流量值以及各个电磁阀的第二流量值，确定各个所述电磁阀的启停信息；根据各个所述电磁阀的启停信息控制流量。本发明通过多个电磁阀控制气体或液体的流量，实现流量的精准控制，同时降低了废气处理设备的成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明提供的废气处理方法的流程示意图；

图2是本发明提供的废气处理系统的结构示意图；

图3是本发明提供的电子设备的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明中的附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

下面结合图1-图3描述本发明的废气处理方法及其系统、电子设备和存储介质。

具体地，本发明提供了一种废气处理方法，参照图1，图1是本发明提供的废气处理方法的流程示意图。

本发明实施例提供的废气处理方法，包括：

步骤100，获取燃烧流量的第一流量值；

需要说明的是，采用质量流量控制器MFC对于废气的质量流量进行精密测量和控制时，由于废气中携带有杂质，容易损坏质量流量控制器MFC，从而导致废气处理效率低，处理成本高。基于此，本发明实施例通过多个电磁阀控制气体或液体的流量，实现流量的精准控制，同时降低了废气处理设备的成本。

本发明实施例不仅限于燃烧系统，可应用于其它流量控制方式。

在废气处理的过程中，先将废气通过进气管道输入废气处理系统，此时，可获取燃烧流量的第一流量值，如190slm，表示准状态(即1个大气压，25摄氏度)下每分钟190升，即190L/min。

步骤200，根据所述第一流量值以及各个电磁阀的第二流量值，确定各个所述电磁阀的启停信息；

需要说明的是，电磁阀是一个阀门，该阀门安装在管道上，是用于控制管道内的流通或停止的开关。每个管道对应安装有一个电磁阀，通过该电磁阀可以调节其所在管道内介质(如废气)的方向、流量、速度等参数。可选地，可以采用其它控制阀门开关元器件控制流量，不局限于电磁阀。

电磁阀的第二流量值是指电磁阀所在管道的废气流量值，例如，假设电磁阀的第二流量值为100slm，表示通过该电磁阀所在管道的废气流量限制为100slm。

在废气处理的过程中，根据第一流量值以及各个电磁阀的第二流量值，确定各个电磁阀的启停信息。具体地，根据第一流量值与各个电磁阀的第二流量值，确定电磁阀的组合信息，然后根据组合信息，确定各个电磁阀的启停信息。例如，假设第一流量值为100slm，电磁阀1的流量值为20slm，电磁阀2的流量值为60slm，电磁阀3的流量值为10slm，电磁阀4的流量值为30slm，电磁阀5的流量值为50slm，将第一流量值与各第二流量值进行匹配，以确定电磁阀的组合信息，如：

第一组合：电磁阀1，电磁阀3以及电磁阀4；

第二组合：电磁阀2和电磁阀3；

第三组合：电磁阀1和电磁阀5。

如果选择第一组合，则开启电磁阀1，电磁阀3以及电磁阀4，关闭其他电磁阀；如果选择第二组合，则开启电磁阀2和电磁阀3，关闭其他电磁阀；如果选择第三组合，则开启电磁阀1和电磁阀5，关闭其他电磁阀。

需要说明的是，假设第一组合中的电磁阀4损坏，此时会自动切换至第二组合或者第三组合，以确保正常进行废气处理。

可选地，电磁阀的组合信息还可以基于废气流量的控制精度确定，如果废气流量的控制精度比较高，则可以选择开启多个电磁阀控制流量；如果废气流量的控制精度比较低，则减少开启电磁阀的数量。

步骤300，根据各个所述电磁阀的启停信息控制流量。

在确定各个电磁阀的启停信息后，根据各个电磁阀的启停信息控制流量，例如，假设当前需要开启电磁阀1，电磁阀3以及电磁阀4，则通过电磁阀1，电磁阀3以及电磁阀4控制流量。

本发明实施例提供的废气处理方法，通过获取燃烧流量的第一流量值；根据第一流量值以及各个电磁阀的第二流量值，确定各个电磁阀的启停信息；根据各个电磁阀的启停信息控制流量。本发明实施例通过多个电磁阀控制气体或液体的流量，实现流量的精准控制，同时降低了废气处理设备的成本。

基于上述实施例，确定各个所述电磁阀的第二流量值，包括：获取各个所述电磁阀的流量调整指令；根据所述流量调整指令调整各个所述电磁阀对应的调速阀，得到各个所述电磁阀的第二流量值。

需要说明的是，在进行废气处理前，需要预先标定每个电磁阀的第二流量值。

获取各个电磁阀的流量调整指令，然后根据流量调整指令调整各个电磁阀对应的调速阀，得到各个电磁阀的第二流量值。例如，利用软件设置各个电磁阀的需求流量值，然后自动控制各个电磁阀打开与关闭，从而实现流量的控制。其中，可以选择16位、32位以及64位等，位数越多控制越精准。假设配置了5个电磁阀，打开电磁阀1，通过调速阀标定电磁阀1对应的输出流量，例如Flow1设置为100slm；打开电磁阀2，通过调速阀标定电磁阀2对应的输出流量，例如Flow2设置为50slm；打开电磁阀3，通过调速阀标定电磁阀3对应的输出流量，例如Flow3设置为30slm；打开电磁阀4，通过调速阀标定电磁阀4对应的输出流量，例如Flow4设置为20slm；打开电磁阀5，通过调速阀标定电磁阀5对应的流量，例如Flow5设置为10slm。

本发明实施例通过流量调整指令调整各个电磁阀对应的调速阀，得到各个电磁阀的第二流量值，如此，提高了确定各个电磁阀的第二流量值的效率和准确性。

基于上述实施例，所述根据各个所述电磁阀的启停信息控制流量之后，还包括：获取各个所述电磁阀的第三流量值；确定所述第三流量值超出设定流量范围，输出报警信息。

在采用电磁阀控制废气流量的过程中，检测通过各个电磁阀的第三流量值，如果第三流量值超出设定流量范围，则输出报警信息。例如，如果第三流量值超出设定值10％，或者低于设定值10％，则输出报警信息，并停止运行。

本发明实施例在第三流量值超出设定流量范围时，输出报警信息，如此，提高了废气处理的安全性。

基于上述实施例，所述方法，还包括：获取废气处理的流量控制精度；根据所述流量控制精度配置所述电磁阀的数量。

需要说明的是，电磁阀的数量与流量控制精度有关，获取废气处理的流量控制精度，然后根据流量控制精度配置电磁阀的数量。例如，基于废气处理需求确定废气处理的流量控制精度，如果需要提高流量控制精度，则降低总量程，同时可以选择增加控制位数(即增加电磁阀数量)；如果需要降低流量控制精度，则提高总量程，同时可以选择减少控制位数(即减少电磁阀数量)。

本发明实施例通过流量控制精度配置电电磁阀的数量，如此，可以提高流量的控制精度。

参考图2，图2是本发明提供的废气处理系统的结构示意图。

本发明实施例提供的废气处理系统，包括：处理器和多个电磁阀，所述电磁阀与所述处理器连接：

所述处理器基于燃烧流量的第一流量值以及各个所述电磁阀的第二流量值，向各个所述电磁阀发送控制指令；

所述电磁阀接收所述处理器发送的控制指令，根据所述控制指令执行开启操作或关闭操作，以控制流量。

需要说明的是，图2以处理压缩空气CDA为例对本发明实施例的废气处理系统进行举例说明。

本发明实施例提供的废气处理系统包括：处理器和多个电磁阀，其中，电磁阀与处理器之间通过无线方式连接，处理器用于调控电磁阀以及其他组件，如调压阀，调速阀、流量计以及燃烧器等。基于废气处理系统进行废气处理的原理为：利用高温将气体化学键打开，然后与氧结合，形成氧化物后与水融合，从而净化废气。

在废气处理的过程中，先将废气通过进气管道输入废气处理系统，此时，处理器可获取燃烧流量的第一流量值，如190slm，表示准状态(即1个大气压，25摄氏度)下每分钟190升，即190L/min。

废气通过调压阀到达各电磁阀，其中，调压阀是一种流量调节控制装置，通过处理器可以调控调压阀的大小，例如，处理器向调压阀发送调压信号(如：4～20mA)，以基于该调压信号驱动阀门改变阀芯和阀座之间的截面积大小以控制管道介质(如废气)的流量、温度、压力等参数。

处理器基于燃烧流量的第一流量值以及各个电磁阀的第二流量值，向各个电磁阀发送控制指令，该控制指令包括开启指令和关闭指令。例如，处理器根据第一流量值与各个电磁阀的第二流量值，确定电磁阀的组合信息，然后根据组合信息，确定各个电磁阀的启停信息。例如，假设第一流量值为100slm，电磁阀1的流量值为20slm，电磁阀2的流量值为60slm，电磁阀3的流量值为10slm，电磁阀4的流量值为30slm，电磁阀5的流量值为50slm，将第一流量值与各第二流量值进行匹配，以确定电磁阀的组合信息，如：

第一组合：电磁阀1，电磁阀3以及电磁阀4；

第二组合：电磁阀2和电磁阀3；

第三组合：电磁阀1和电磁阀5。

如果选择第一组合，则向电磁阀1，电磁阀3以及电磁阀4发送开启指令，向其他电磁阀发送关闭指令；如果选择第二组合，则向电磁阀2和电磁阀3发送开启指令，向其他电磁阀发送关闭指令；如果选择第三组合，则向电磁阀1和电磁阀5发送开启指令，向其他电磁阀发送关闭指令。

需要说明的是，假设第一组合中的电磁阀4损坏，此时会自动切换至第二组合或者第三组合，以确保正常进行废气处理。

电磁阀接收处理器发送的控制指令，根据控制指令执行开启操作或关闭操作，以控制流量。例如，假设当前需要开启电磁阀1，电磁阀3以及电磁阀4，则通过电磁阀1，电磁阀3以及电磁阀4控制流量。

本发明实施例提供的废气处理系统，该系统包括：处理器和多个电磁阀，电磁阀与处理器连接：处理器基于燃烧流量的第一流量值以及各个电磁阀的第二流量值，向各个电磁阀发送控制指令；电磁阀接收处理器发送的控制指令，根据控制指令执行开启操作或关闭操作，以控制流量。本发明实施例通过多个电磁阀控制气体或液体的流量，实现流量的精准控制，同时降低了废气处理设备的成本。

基于上述实施例，废气处理系统还包括多个调速阀，每个所述调速阀与对应的所述电磁阀连接；所述调速阀用于确定所述电磁阀的第二流量值。

如图2所示，每个电磁阀所在的管道上连接有一个调速阀，该调速阀用于确定电磁阀的第二流量值。例如，在进行废气处理前，需要预先标定每个电磁阀的第二流量值。处理器向各个调速阀发送流量调整指令，各调速阀接收到流量调整指令后，根据流量调整指令调整各个电磁阀对应的调速阀，从而得到各个电磁阀的第二流量值。例如，利用软件设置各个电磁阀的需求流量值，然后自动控制各个电磁阀打开与关闭，从而实现流量的控制。其中，可以选择16位、32位以及64位等，位数越多控制越精准。假设配置了5个电磁阀，打开电磁阀1，通过调速阀标定电磁阀1对应的输出流量，例如Flow1设置为100slm；打开电磁阀2，通过调速阀标定电磁阀2对应的输出流量，例如Flow2设置为50slm；打开电磁阀3，通过调速阀标定电磁阀3对应的输出流量，例如Flow3设置为30slm；打开电磁阀4，通过调速阀标定电磁阀4对应的输出流量，例如Flow4设置为20slm；打开电磁阀5，通过调速阀标定电磁阀5对应的流量，例如Flow5设置为10slm。

本发明实施例通过流量调整指令调整各个电磁阀对应的调速阀，得到各个电磁阀的第二流量值，如此，提高了确定各个电磁阀的第二流量值的效率和准确性。

基于上述实施例，废气处理系统还包括流量计，所述流量计与所述电磁阀连接；所述流量计用于测量累计通过各个所述电磁阀的废气总量。

如图2所示，各电磁阀所在管道的汇合处设有流量计，该流量计与各个电磁阀连接，用于测量累计通过各个电磁阀的废气总量，并显示测量的废气总量。

本发明实施例基于流量计可以及时了解处理的废气总量，降低设备使用成本，提高设备稳定性，同时保证处理效率。

图3示例了一种电子设备的实体结构示意图，如图3所示，该电子设备可以包括：处理器(processor)310、通信接口(CommunicationsInterface)320、存储器(memory)330和通信总线340，其中，处理器310，通信接口320，存储器330通过通信总线340完成相互间的通信。处理器310可以调用存储器330中的逻辑指令，以执行废气处理方法，该方法包括：

获取燃烧流量的第一流量值；

根据所述第一流量值以及各个电磁阀的第二流量值，确定各个所述电磁阀的启停信息；

根据各个所述电磁阀的启停信息控制流量。

此外，上述的存储器330中的逻辑指令可以通过软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-OnlyMemory)、随机存取存储器(RAM，RandomAccessMemory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

另一方面，本发明还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以执行上述各方法提供的废气处理方法，该方法包括：

获取燃烧流量的第一流量值；

根据所述第一流量值以及各个电磁阀的第二流量值，确定各个所述电磁阀的启停信息；

根据各个所述电磁阀的启停信息控制流量。

以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下，即可以理解并实施。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件。基于这样的理解，上述技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品可以存储在计算机可读存储介质中，如ROM/RAM、磁碟、光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行各个实施例或者实施例的某些部分所述的方法。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。