一种上电安全保护系统和半导体工艺设备

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别是涉及一种上电安全保护系统和一种半导体工艺设备。

背景技术

随着科技的发展，电子设备功能和质量的提升，对芯片的需求和种类大大增加。因此芯片制作过程中产生很多新工艺，新工艺的产生需要相应的集成设备来完成，如对晶圆片的清洗是很重要的一道工序，不同工艺步骤后的清洗也不相同。涉及到使用药液的不同，温度的不同，环境的不同来产生化学反应达到清洗的最终效果。清洗过程中，使用的药液多为无色无味，易燃易爆，强酸强碱等腐蚀性液体，会对人体产生不可估量的损害，对公司存在安全影响，因此清洗系统的安全性，稳定性尤其重要。

但现有的如清洗系统等半导体工艺设备的上电安全保护方式单一，安全等级低。同时对于供电电源是直接用于安全系统器件的供电。当供电电源异常时，对半导体工艺设备中所有器件有着不良的影响，影响正常使用和生命周期。

发明内容

鉴于上述问题，提出了本发明实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种上电安全保护系统和一种半导体工艺设备。

为了解决上述问题，本发明实施例公开了一种上电安全保护系统，所述上电安全保护系统用于接入供电电源进行配电输出；所述上电安全保护系统包括：

供电模块，用于接入所述供电电源；

第一回路模块，与所述供电模块连接，用于检测所述供电电源的状态参数，依据所述状态参数控制所述供电模块的通断；并对所述供电电源进行稳压；

第二回路模块，其控制端与所述第一回路模块连接、并通过所述第一回路模块与所述供电模块连接，用于接收所述状态参数，依据所述状态参数控制所述第一回路模块，并将所述供电电源的电能输出至预设交流电设备或预设直流电设备。

可选地，所述第一回路模块包括：

与所述供电模块连接的状态监测子模块，用于检测所述状态参数，并将所述状态参数传递至所述第二回路模块；

与所述供电模块连接的过载保护子模块，用于当所述状态参数满足预设过载条件时，断开所述供电模块的供电；

与所述第二回路模块连接的不间断电源子模块，用于为所述第二回路模块和所述状态监测子模块提供低压电流；

位于所述不间断电源子模块和所述供电模块之间的第一漏电保护子模块，用于在所述供电模块和所述不间断电源子模块中的至少一个漏电时断开；

第二漏电保护子模块，所述第二漏电保护子模块的一端与所述不间断电源子模块连接，所述第二漏电保护子模块的另一端与所述第二回路模块、所述状态监测子模块连接，用于在所述第二回路模块和所述状态监测子模块中的至少一个漏电时断开，或所述第二回路模块与所述状态监测子模块的负载总和大于预设负载阈值时断开。

可选地，所述第一回路模块还包括：

位于所述供电模块和所述状态监测子模块之间的低压保护子模块，用于在所述供电电源大于预设电压值时自身闭合，以使所述供电模块接通。

可选地，所述第一回路模块还包括：

位于所述供电模块上游的稳压子模块，用于在所述供电电源电压波动时，对所述供电电源进行稳压。

可选地，所述状态参数包电流参数、电压参数；所述状态监测子模块包括：

设置在所述供电模块上的电流感应器，用于检测所述供电模块的电流参数；

监控单元，监控单元输入端与所述电流感应器、所述供电模块连接，监控单元输出端与所述第二回路模块连接，用于接收所述供电模块的电流参数，检测所述供电模块的电压参数，依据所述供电模块的电流参数和所述供电模块的电压参数，计算所述供电模块的功率参数，并将所述供电模块的电流参数、所述供电模块的电压参数和所述供电模块的功率参数发送至所述第二回路模块。

可选地，所述过载保护子模块包括：

位于所述供电模块和所述状态监测子模块之间的电流保护器，用于在所述厂务进电的电流参数大于预设电流值时断开。

可选地，所述不间断电源子模块包括：

不间断电源，所述不间断电源的输出端与所述状态监测子模块连接，用于向所述状态监测子模块输出交流电；

位于所述不间断电源和所述第二回路模块之间的第一电压转换电源，用于将所述不间断电源输出的交流电转换为直流电，并向所述第二回路模块输出所述直流电。

可选地，所述第二漏电保护子模块包括：

位于所述不间断电源和所述状态监测子模块之间的第一断路器，用于所述状态监测子模块漏电时断开；

位于所述不间断电源和所述第二回路模块之间的第二断路器，用于所述第二回路模块漏电时断开；

第三断路器，所述第三断路器的一端与所述不间断电源子模块连接，所述第三断路器的另一端与所述第一断路器、所述第二断路器连接，用于在所述第二回路模块和所述状态监测子模块中的至少一个漏电时断开，或在所述第二回路模块与所述状态监测子模块的负载总和大于预设负载阈值时断开。

可选地，所述第二回路模块包括：

处理器，用于接收所述状态参数，检测预设急停开关的急停状态和预设设备门开关的设备门状态；依据所述状态参数、所述急停状态和所述设备门状态生成输出控制信号；所述输出控制信号包括交流控制信号和直流控制信号；

与所述处理器连接的间断交流电控制电路；用于依据所述交流控制信号输出所述供电电源至所述预设交流电设备；

与所述处理器连接的不间断直流电控制电路；用于依据所述直流控制信号输出所述供电电源至所述预设直流电设备。

可选地，所述间断交流电控制电路包括：

与所述处理器连接的间断交流电控制触点，所述间断交流电控制触点位于所述供电模块上，用于在接收到所述交流控制信号时闭合，以使所述供电电源至所述预设交流电设备。

可选地，所述不间断直流电控制电路包括：

与所述处理器连接的不间断直流电控制触点，所述不间断直流电控制触点位于所述供电模块上，用于在接收到所述直流控制信号时闭合，以使所述供电电源至所述预设直流电设备；

位于所述供电模块与所述预设直流电设备之间的第二电压转换电源，用于将所述供电电源转换为直流电，并输出至所述预设直流电设备。

本发明实施例还公开了一种半导体工艺设备，包括：晶圆承载结构、工艺结构，以及如上所述的上电安全保护系统，所述工艺结构与所述晶圆承载结构连接，对所述圆承载结构上承载的晶圆片进行工艺处理；所述上电安全保护系统用于为所述工艺结构和所述晶圆承载结构供电。

本发明实施例包括以下优点：

本发明实施例通过供电模块接入供电电源；与所述供电模块连接的第一回路模块检测所述供电电源的状态参数，依据所述状态参数控制所述供电模块的通断；并对所述供电电源进行稳压；第二回路模块，其控制端与所述第一回路模块连接、并通过所述第一回路模块与所述供电模块连接，第二回路模块接收所述状态参数，依据所述状态参数控制所述第一回路模块，并将所述供电电源的电能输出至预设交流电设备或预设直流电设备。通过对于供电电源的状态参数进行判断和提供相应保护回路，在供电电源异常时，可以对其进行控制，提高设备整体安全等级和稳定性；在供电电源电压波动等异常情况时，可以对供电模块进行控制，降低对半导体设备上的器件使用寿命造成的影响，提高器件的使用周期。

附图说明

图1是本发明的一种上电安全保护系统实施例的结构框图；

图2是本发明的一种上电安全保护系统实施例的电路示意图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

参照图1，示出了本发明的一种上电安全保护系统实施例的结构框图，所述上电安全保护系统用于接入供电电源进行配电输出；所述上电安全保护系统包括：

供电模块100，用于接入所述供电电源；

第一回路模块200，与所述供电模块100连接，用于检测所述供电电源的状态参数，依据所述状态参数控制所述供电模块100的通断；并对所述供电电源进行稳压；

第二回路模块300，其控制端与所述第一回路模块200连接、并通过所述第一回路模块200与所述供电模块100连接，用于接收所述状态参数，控制所述供电模块100，并将所述供电电源的电能输出至预设交流电设备或预设直流电设备。

在本发明实施例中，上电保护安全系统具体可以包括三大模块，供电模块100，第一回路模块200和第二回路模块300。其中，供电模块100为供电电源的接入模块。在实际应用中，供电电源为三相交流电，对应的供电模块100也具有对应的三相接入端，将供电电源进行接入，并在第一回路模块200和第二回路模块300的控制下将供电电源进行配电输出。

第一回路模块200，与供电模块100连接，可以检测供电模块100上供电电源的当前状态，如电流、电压等状态参数。针对这些状态参数进行识别，并依据供电电源的状态参数对供电模块100进行控制，控制供电模块100的通断。并且还会将供电电源的状态参数发送给第二回路模块300。此外，当供电电源电压波动时，可以对供电电源进行稳压，使得供电电源可以稳定地输出，降低电压波动对设备器件的影响。

第二回路模块300，第二回路模块300的控制端与第一回路模块200连接，第二回路模块300的控制端还通过第一回路模块200与供电模块100连接。第二回路模块300为独立的逻辑控制模块，可以接收第一回路模块200检测到的供电电源的状态参数，并基于供电电源的状态参数对其内部的控制电路进行状态调整，对第一回路模块200进行控制，基于第一回路模块200的变化对供电模块100的通断进行控制，使得控制供电模块100的将输出供电电源的电能输出至预设交流电设备或预设直流电设备。其中，预设交流电设备或预设直流电设备均为需电设备。

本发明实施例通过供电模块100接入供电电源；与所述供电模块100连接的第一回路模块200检测所述供电电源的状态参数，依据所述状态参数控制所述供电模块100的通断；并对所述供电电源进行电压滤波；与所述第一回路模块200、所述供电模块100连接的第二回路模块300接收所述状态参数，控制所述供电模块100的配电输出。通过对于供电电源的状态参数进行判断和提供相应保护回路，在供电电源异常时，可以对其进行控制，提高设备整体安全等级和稳定性；在供电电源电压波动等异常情况时，可以对供电模块100进行控制，降低对半导体设备上的器件的使用寿命造成影响，提高器件的使用周期。

具体地，参照图2，示出了本发明的一种上电安全保护系统实施例的电路示意图。上电安全保护系统具体包括：

供电模块100，接入供电电源，在第一回路模块200和第二回路模块300的控制下，将供电电源进行配电输出。

第一回路模块200，与供电模块100针对供电电源给到需电设备的电压等状态参数进行监控，并作出相应的安全保护。第一回路模块200可以在当供电电源的电压过高或者电压过低时，过高的电压会直接击穿设备上所使用的器件，造成器件的损坏；过低的电压无法驱动设备上所用器件的正常使用，造成设备无法正常工作。同时，保持供电电压的稳定性也很重要，电压波动也会对器件的使用寿命造成影响，缩短器件的使用周期。为此，第一回路模块200与供电模块100连接，检测所述供电电源的状态参数，依据所述状态参数控制所述供电模块100的通断；并对所述供电电源进行稳压。

第二回路模块300的控制端第一回路模块200连接，并通过第一回路模块200与供电模块100连接，针对第一回路模块200和供电模块100进行安全稳定互锁，通过接收第一回路模块200检测到的状态参数，对第一回路模块200涉及到的电压、电流等进行判断，进而对第一回路模块200和供电模块100进行控制，即控制第一回路模块200的运行状态，控制供电模块100向预设直流电设备或预设交流电设备的供电输出，以提升了控制的稳定性，降低设备的因供电电源电压波动而故障风险等级，提升设备的安全性。

进一步地，第一回路包括：

与所述供电模块100连接的状态监测子模块210，用于检测所述状态参数，并将所述状态参数传递至所述第二回路模块300。

状态监测子模块210输入端与供电模块100输出端连接，状态监测子模块210检测供电模块100接入的供电电源的状态参数，并将状态参数传递至第二回路300。

具体地，可以参照图2所示，状态监测子模块210包括：设置在所述供电模块100上的电流感应器CT1&CT2&CT3，用于检测所述供电模块100的电流参数；通过电流感应器CT1&CT2&CT3分别监测供电电源的三相电L1、L2、L3，的电流参数并发送至把数据传输给监控单元VP。

监控单元VP的输入端与电流感应器CT1&CT2&CT3连接，也与供电模块100连接，可以对供电电源的电压参数，电流参数，功率参数进行实时监控。还对于会对总电压参数，电流参数，功率参数进行实时监控和存储数据，对电压的监控是直接把连接电压的导线连入供电模块100，电流的监控可以通过电流感应装置通过通讯的方式(J25，RS232，RS485等通信协议)输入，功率可通过实时电压电流值计算出来，当设备出现问题时，可把数据导出，进行分析。并且还会将得到的电压参数，电流参数，功率参数传输给第二回路模块300。

与所述供电模块100连接的过载保护子模块220，用于当所述状态参数满足预设过载条件时，断开所述供电模块100的供电。

过载保护子模块220与供电模块100连接，具体地，过载保护子模块220设置在供电模块100和状态监测子模块210；在状态参数满足预设过载条件时，如电压或电流过大时，断开供电模块100的供电，保护电压或电流过高的供电电源对应的电能不会进入到设备中，保护器件。具体地，可以参照图2，过载保护子模块220包括：位于供电模块100和状态监测子模块210之间的电流保护器FU1&FU2&FU3，用于在供电电源的电流参数大于预设电流值时断开。

电流保护器FU1&FU2&FU3因自身的材料参数，对应有过载熔断的特性。因此，预设电流值可以根据电流保护器FU1&FU2&FU3的特性确定。当供电电源的电流参数大于预设电流值时断开。在本发明的一示例中，电流保护器FU1&FU2&FU3可以为具体为保险丝。

不间断电源子模块230，不间断电源子模块230与第二回路模块300连接，通过自身为第二回路模块300和状态监测子模块210提供低压电流，使得第二回路模块300和状态监测子模块210可以持续地对供电模块100进行控制和检测。

具体地，参照图2，不间断电源子模块230包括不间断电源UPS和第一电压转换电源PS1两部分。不间断电源UPS的输出端与第二回路模块300和状态监测子模块210连接，向状态监测子模块210输出交流电；第一电压转换电源PS1位于第二回路模块300和不间断电源UPS之间，把不间断电源UPS输出的交流电转化成直流低电压电向第二回路模块300输出。

第一漏电保护子模块240，位于不间断电源子模块230和供电模块100之间，用于在供电模块100和不间断电源模块中的至少一个漏电时断开。

参照图2，第一漏电保护子模块240可以包括带漏电保护的断路器CB2，此带漏电保护的断路器CB2为不间断供电子模块的不间断供电回路的总断路器，当发生漏电或者此回路负载超过最大运行所承受的电流时，断路器CB2自动跳闸断开。

第二漏电保护子模块250，第二漏电保护子模块250的一端与不间断电源模块连接，第二漏电保护子模块250的另一端与第二回路模块300、状态监测子模块210连接，用于在第二回路模块300和状态监测子模块210中的至少一个漏电时断开。即在第二回路模块300和状态监测子模块210中的其中一个存在漏电，第二漏电保护子模块250马上断开，避免第二回路模块300和状态监测子模块210漏电导致的器件损坏。还在在第二回路模块300和状态监测子模块210中的至少一个过载时断开。即在第二回路模块300和状态监测子模块210中的其中一个存在过载，第二漏电保护子模块250马上断开，避免第二回路模块300和状态监测子模块210过载导致的器件损坏。

具体地，参照图2，第二漏电保护子模块250包括三个不同的断路器：第一断路器CB4、第二断路器CB5和第三断路器CB3。

第一断路器CB4位于不间断电源UPS和状态监测子模块210之间在状态监测子模块210漏电或负载超过时断开；具体即为当监控单元VP自身漏电或负载超过最大运行所承受的电流时第一断路器CB4自动跳闸断开。

第二断路器CB5位于不间断电源UPS和第二回路模块300之间；在第二回路模块300漏电或负载超过时断开。即当第二回路模块300漏电或负载超过最大运行所承受的电流时，第二断路器CB5自动跳闸断开。

第三断路器CB3，第三断路器CB3的一端与不间断电源子模块230连接，第三断路器CB3的另一端与第一断路器CB4、第二断路器CB5连接，用于在第二回路模块300和状态监测子模块210中的至少一个漏电时断开。即第三断路器CB3为不间断电源子模块230的总断路器，对第一断路器CB4和第二断路器CB5支路都起到保护作用，当第一断路器CB4的支路或者第二断路器CB5支路任何一个发生漏电或者两者都发生漏电，或者这两个回路总负载超过最大运行所承受的电流时，第三断路器CB3自动跳闸断开。

稳压子模块270，位于供电模块100上游，在供电电源电压波动时，对供电电源进行稳压。具体地可以参照图2，稳压子模块370包括过滤器NF，当供电电源的电压出现波动时，可进行过滤稳压，输出平稳电压。

低压保护子模块260，位于供电模块100和状态监测子模块210之间在供电电源大于预设电压值时自身闭合，以使供电模块100接通。参照图2，低压保护子模块260包括交流继电器R1和常开触点R1-1，只有当交流电压到达一定值，交流继电器R1的交流线圈才能正常得电，得电后常开触点R1-1闭合；当交流电压低于需求的交流电压时，线圈不得电，触点R1-1保持常开。因此，当按下开机按钮PWR On时，才会对安全回路里的各个保护装置进行判断，当电压过低时，保护装置R1-1不会闭合，因此无法正常上电。

进一步地，参照图2，第二回路模块300，包括处理器、间断交流电控制电路、不间断直流电控制电路。

其中，处理器为SPLC(可编程控制器)处理器；处理器SPLC用于接收状态参数，检测预设急停开关的急停状态和预设设备门开关的设备门状态；依据状态参数、急停状态和设备门状态生成控制信号，其中输出控制信号包括交流控制信号和直流控制信号。可以参照图2，处理器SPLC逻辑判断为：当状态参数、急停状态和设备门状态这三项的状态，同时都处在正常状态，即状态参数处于正常范围，急停状态和设备门状态都处于正常运行状态时，处理器SPLC输出直流电压给到继电器S/R1的线圈，线圈得电，继电器S/R1的触点S/R1-1闭合，故接触器U-MC的线圈所在电路形成闭合回路，所以接触器U-MC的线圈得电，其四相触点闭合；同理，当状态参数、急停状态和设备门状态三项的状态，同时都处在正常状态时，处理器SPLC有输出直流电压给到继电器S/R2的线圈，线圈得电，其继电器S/R2的触点S/R2-1闭合，故接触器N-MC的线圈所在电路形成闭合回路，所以接触器N-MC的线圈得电，其四相触点闭合。触点R1-1正常状态为main power电压在正常需求范围内(过大，过小都判定为不正常情况)，R1线圈得电，触点R1-1闭合。

间断交流电控制电路，与处理器SPLC连接依据交流控制信号输出供电电源至预设交流电设备。

具体地，参照图2，间断交流电控制电路可以包括间断交流电控制触点S/R2&S/R2-1。间断交流电控制触点S/R2&S/21-1为带强制导向的继电器和其触点，用于控制设备间断交流电回路供电，即对接触器N-MC的线圈控制。N-MC为间断交流电回路上的接触器，当所有安全输入条件满足的情况下，此继电器的线圈得电，其常开触点S/R2-1闭合，接触器U-MC线圈得电，其触点闭合，间断交流电控制电路所用的指示灯N-HL亮起，间断交流电回路正常供电。

此外，在间断交流电回路上还设置有带漏电保护的断路器N-CB，为间断交流电回路的开关。当发生漏电或者此回路负载超过最大运行所承受的电流时，断路器N-CB自动跳闸断开。

不间断直流电控制电路，与处理器SPLC连接依据所述直流控制信号输出所述供电电源至预设直流电设备。参照图2，不间断直流电控制电路包括：不间断直流电控制触点S/R1&S/R1-1和第二电压转换电源PS2。

不间断直流电控制触点S/R1&S/R1-1带强制导向的继电器和其触点，不间断直流电控制触点S/R1&S/R1-1与处理器SPLC连接，用于接收处理器SPLC的控制信号控制不间断直流电回路供电，即接触器U-MC的线圈控制。U-MC为不间断直流电回路上的接触器，当所有安全输入条件满足的情况下，此继电器的线圈得电，接触器U-MC的常开触点S/R1-1闭合，接触器U-MC线圈得电，其触点闭合，不间断直流电回路所用的指示灯U-HL亮起，不间断直流电回路正常供电。

此外，在不间断直流电回路上还可以设置不间断直流电回路的断路器U-CB，其为带漏电保护的断路器，相当于不间断供电回路的开关。当发生漏电或者此回路负载超过最大运行所承受的电流时，断路器U-CB自动跳闸断开。

第二电压转换电源PS2，位于所供电模块100与预设直流电设备之间将供电电源转换为直流电，并输出至预设直流电设备。

为了本领域技术人员可以清楚本发明的上电过程，参照图2对基于本发明实施例进行上电时，上电成功和上电失败的情况进行说明：

上电成功：

当开关CB1闭合后，上电保护系统会对供电电源进行判断，如果电压在正常需求范围内(过大，过小都判定为不正常情况)，FU1&2&3正常，R1线圈得电，触点R1-1闭合。在按下PWR On按钮，自动检测安全互锁回路里面的EMO，Door Sensor，R1-1这三项的状态，同时都处在正常状态时，处理器SPLC输出给到继电器S/R1的线圈，线圈得电，触点S/R1-1闭合，因此接触器U-MC的线圈得电其四相触点闭合，不间断直流供电回路的指示灯U-HL亮起；同时处理器SPLC输出给到S/R2的线圈，线圈得电，触点S/R2-1闭合，因此接触器N-MC的线圈得电其四相触点闭合，间断交流供电回路的指示灯N-HL亮起，判定为安全保护系统正常。

上电失败：

第一种情况：

当CB1闭合后，上电保护系统会对供电电源进行判断，如果电压过大，FU1&2&3熔断，R1无法正常接收电压；如果电压过小，R1线圈不在工作范围内无法得电，触点R1-1保持常开，无法正常供电。

第二种情况：

当CB1闭合后，上电保护系统会对供电电源进行判断，如果电压在正常需求范围内(过大，过小都判定为不正常情况)，FU1&2&3正常，R1线圈得电，触点R1-1闭合。

再按下PWR On按钮，自动检测安全互锁回路里面的EMO，Door Sensor，R1-1这三项的状态，此时无论EMO或者Door sensor中的任意一个，或者两个都处于异常状态，处理器SPLC没有输出给到继电器S/R1的线圈，线圈不得电，触点S/R1-1保持常开，因此接触器U-MC的线圈不得电，其四相触点保持常开，不间断直流供电回路的指示灯U-HL不亮；同时处理器SPLC没有输出给到继电器S/R2的线圈，线圈不得电，触点S/R2-1保持常开，因此接触器N-MC的线圈不得电，其四相触点保持常开，间断交流供电回路的指示灯N-HL不亮，判定为上电保护系统不正常。

本发明实施例通过增加了对于供电电源给到机台的电压电流实际值的判断和相应保护回路，同时也会对供电波动进行处理，让其处于平稳状态，提高了设备的安全可靠性，同时提升了设备中所有器件的使用生命周期。使用了处理器，在判断条件上增加了第一回路模块涉及到的电压判断；同时采用双回路单独控制，可提升控制的稳定性，降级机台的风险等级，提升机台的安全性。并且处理器可以在无需更改硬件设施，只需对程序进行重新编写，改造方便，费用低，实施简单。同时上电安全系统只需一个不间断电源模块即可给整台设备供给不间断电源，更加的节省设备使用空间，同时也可降低成本；并且为每个支路都配备相应的断路器作为各个回路的保护，每个功能的总支路配备相应的带有漏电保护的断路器作为总支路，当任意支路发生漏电时，可第一时间起到保护作用，提高设备的安全等级。

需要说明的是，对于方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明实施例并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明实施例，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作并不一定是本发明实施例所必须的。

本发明实施例还公开了一种半导体工艺设备，晶圆承载结构、工艺结构，以及如上所述的上电安全保护系统，所述工艺结构与所述晶圆承载结构连接，对所述圆承载结构上承载的晶圆片进行工艺处理；所述上电安全保护系统用于为所述工艺结构和所述晶圆承载结构供电。

在本发明的一种示例中，该半导体工艺设备具体可以为一种晶圆清洗设备。

在本发明的一种示例中，该半导体工艺设备可以为一种晶圆加工设备。

对于装置实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

本领域内的技术人员应明白，本发明实施例的实施例可提供为方法、装置、或计算机程序产品。因此，本发明实施例可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明实施例可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。

本发明实施例是参照根据本发明实施例的方法、终端设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理终端设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理终端设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理终端设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理终端设备上，使得在计算机或其他可编程终端设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程终端设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

尽管已描述了本发明实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明实施例范围的所有变更和修改。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。

以上对本发明所提供的一种上电安全保护系统和半导体工艺设备，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。