一种密封装置、热炉及加工设备

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种密封装置、热炉及加工设备。

背景技术

在热炉设备中，为了确保热炉的密封性，通常会在炉管的一端设置密封装置，行业内较为常见的密封装置是端面密封。端面密封通常将密封圈设置在炉管的端面，通过法兰压紧在炉管的端面上。由于在实际工作过程中，炉门会对法兰进行挤压，这就容易导致密封圈受到的压力存在浮动，从而导致密封圈的使用寿命较短。与此同时，由于法兰直接将密封圈压紧在炉管端面上，需要确保密封圈以及炉管同轴设置，对安装要求较高，从而造成密封装置安装较为不便。

发明内容

本发明的第一目的在于提出一种密封装置，该密封装置的安装方便，且密封件的使用寿命长。

本发明的第二目的在于提出一种热炉，该热炉的密封性好，组装方便，且密封件的使用寿命长。

本发明的第三个目的在于提出一种加工设备，该加工设备的密封性好，组装方便，且密封件的使用寿命长。

为实现上述技术效果，本发明的技术方案如下：

本发明公开了一种密封装置，用于密封炉管，包括：第一法兰，所述第一法兰的一端伸入所述炉管内部；密封件，所述密封件套设于所述第一法兰伸入所述炉管的一端，且所述密封件抵接于所述炉管的内侧壁；压紧件，所述压紧件设于所述第一法兰，且所述压紧件用于向所述密封件施加朝向炉管方向的力。

在一些实施例中，所述第一法兰包括：配合面，所述配合面位于所述第一法兰与所述炉管配合的一端，所述配合面与所述炉管的轴向方向呈夹角设置；安装部，所述安装部形成于所述配合面靠近所述第一法兰的内侧壁的一侧，且沿所述第一法兰的轴向延伸设置，所述安装部远离所述配合面的一端伸入所述炉管内，所述密封件套设于所述安装部；其中：所述配合面形成有安装槽，所述安装槽用于收容所述压紧件。

在一些具体的实施例中，所述第一法兰还包括：止挡部，所述止挡部形成于所述安装部远离所述第一法兰(100)内侧壁的一侧，所述止挡部包括压紧侧壁，所述压紧侧壁位于所述止挡部靠近所述配合面的一侧；其中，所述压紧件位于所述配合面与所述止挡部之间，所述压紧件用于将所述密封件压紧于所述压紧侧壁。

在一些实施例中，所述密封装置还包括第一调节件，所述第一调节件穿过所述第一法兰且止抵于所述压紧件，所述第一调节件能够驱动所述压紧件压紧所述密封件。

在一些实施例中，所述密封装置还包括第二调节件，所述第二调节件穿过所述第一法兰，所述第二调节件能够带动所述压紧件朝向远离所述密封件的方向运动，以使得所述密封件回弹。

在一些实施例中，所述密封装置还包括第二法兰，所述第二法兰套设于所述炉管的外侧壁，且与所述第一法兰抵接，所述第二法兰具有避让所述压紧件的避让槽。

在一些具体的实施例中，所述密封装置还包括第三调节件，所述第三调节件与所述第一法兰相连，且所述第三调节件的一端穿过所述压紧件止抵于所述第二法兰；其中：所述第三调节件能够驱动所述第一法兰朝向远离所述第二法兰的方向运动。

在一些实施例中，所述压紧件为多个，每个所述压紧件靠近所述第一法兰的内侧壁的一面为弧形面，多个所述压紧件沿所述第一法兰的周向环绕设置。

在一些具体的实施例中，所述压紧件第一端设有拼接凸起，所述压紧件的第二端设有拼接凹槽，相邻的两个所述压紧件中，一个所述压紧件的第一端的所述拼接凸起能够插接于另一个所述压紧件的第二端的所述拼接凹槽内。

在一些实施例中，所述密封装置还包括防撞件，所述防撞件位于所述压紧件与所述炉管的端部之间，所述压紧件包括推挤部和压紧部，所述推挤部朝向所述炉管的一侧还设有配合槽，所述防撞件置于所述配合槽。

在一些具体的实施例中，所述第一法兰内限定出沿所述炉管周向延伸设置的第一冷却腔；和/或：所述第二法兰限定出沿所述炉管周向延伸设置的第二冷却腔。

在一些具体的实施例中，所述密封装置还包括固定板，所述固定板套设于所述炉管，所述第一法兰通过连接件与所述固定板相连，所述第二法兰相对设置的两侧分别止抵于所述第一法兰和所述固定板。

本发明还公开了一种热炉，包括前文所述的密封装置和炉管，所述密封装置用于对所述炉管密封形成反应腔。

本发明还公开了一种加工设备，包括前文所述的密封装置和炉管，所述密封装置用于对所述炉管密封形成反应腔，所述反应腔用于加工衬底。

本发明的密封装置的有益效果：由于密封件抵接于炉管的内侧壁，且压紧件能够将密封件压紧在第一法兰上，该密封装置采用了内径向密封的方式密封炉管，密封件受到的压紧力相对稳定，且第一法兰能够阻挡炉管内的热源通过光照辐射带来的高温热量，使得传递到密封件上的热量相对较少，使得密封件的工作温度相对较低，有利于延长密封件的使用寿命。于此同时，在实际组装过程中，先将压紧件和密封件套设在第一法兰上，然后将第一法兰安装到炉管上即可，组装非常方便。

本发明的热炉的有益效果：由于具有前文所述的密封装置，该热炉的密封性好，组装方便，且密封件的使用寿命长。

本发明的加工设备的有益效果：由于具有前文所述的密封装置，该热炉的密封性好，组装方便，且密封件的使用寿命长，衬底加工质量高。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

图1是本发明实施例的密封装置与炉管的配合结构示意图；

图2是图1所示结构的分解结构的示意图；

图3是本发明实施例的密封装置的结构示意图；

图4是本发明实施例的密封装置的第一个轴测剖面示意图；

图5是本发明实施例的密封装置的第二个剖面示意图；

图6是本发明实施例的密封装置的第三个剖面示意图；

图7是本发明实施例的密封装置的第四个剖面示意图；

图8是本发明实施例的密封装置的压紧件的局部放大示意图。

附图标记：

100、第一法兰；110、配合面；111、安装槽；120、第一冷却腔；130、安装部；140、止挡部；141、压紧侧壁；

200、第二法兰；210、避让槽；220、第二冷却腔；230、限位槽；

300、压紧件；310、推挤部；311、配合槽；320、压紧部；321、拼接凸起；

400、密封件；

500、第一调节件；600、第二调节件；700、第三调节件；800、防撞件；900、固定板；1000、连接件；1010、螺栓；1020、螺母；

10、炉管；101、凸出部。

具体实施方式

为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面参考图1-图8描述本发明实施例的密封装置的具体结构。

本发明公开了一种密封装置，如图1-图4所示，该密封装置包括第一法兰100、密封件400和压紧件300，第一法兰100的一端伸入炉管10内部，密封件400套设于第一法兰100伸入炉管10的一端，且密封件400抵接于炉管10的内侧壁，压紧件300设于第一法兰100，且压紧件300用于向密封件400施加朝向炉管10方向的力。

可以理解的是，由于密封件400抵接于炉管10的内侧壁，且压紧件300能够将密封件400压紧在第一法兰100上，该密封装置采用了内径向密封的方式密封炉管10，密封件400受到的压紧力相对稳定，且第一法兰100能够阻挡炉管10内的热源通过光照辐射带来的高温热量，使得传递到密封件400上的热量相对较少，使得密封件400的工作温度相对较低，有利于延长密封件400的使用寿命。于此同时，在实际组装过程中，先将压紧件300和密封件400套在第一法兰100上，然后将第一法兰100安装到炉管10上即可，组装非常方便。

需要补充说明的是，由于该密封装置采用了内径向密封的方式密封炉管10，炉管10无需像现有技术中一样焊接额外的高温保护环，并减小了炉管10最大尺寸，在有限空间为炉管10安装方式提供了极大便利。

需要进一步补充说明的是，密封件400为采用耐高温以及耐腐蚀的材料制造，具体可以根据现有技术进行选择，在此不对密封件400的材料、型号等参数进行限定。

在一些实施例中，如图4所示，第一法兰100包括配合面110以及安装部130，配合面110位于第一法兰100与炉管10配合的一端，配合面110与炉管10的轴向方向呈夹角设置。安装部130形成于配合面110靠近第一法兰100的内侧壁的一侧，且沿第一法兰100的轴向延伸设置，安装部130远离配合面110的一端伸入炉管10内，密封件400套设于安装部130。配合面110形成有安装槽111，安装槽111用于收容压紧件300。可以理解的是，将压紧件300安装到安装槽111内，在实际工作的过程中，由于安装槽111的限位作用能够避免压紧件300脱出第一法兰100的现象，从而确保压紧件300能够稳定地朝向密封件400施加朝向炉管10的作用力。与此同时，由于第一法兰100具有伸入炉管10的安装部130，且密封件400套设在安装部130上，这样在实际工作过程中，第一法兰100与炉管10沿其轴向具有重叠的部分，且密封件400套在这个重叠的部分上，这样能够提升密封件400对炉管10的密封性能。

在一些具体的实施例中，如图4所示，压紧件300具有推挤部310和压紧部320，推挤部310和压紧部320大致呈L型设置，压紧部320设置于推挤部310靠近安装部130的一侧。推挤部310位于安装槽111内，压紧部320的至少一部分伸入炉管10且压紧在密封件400上。可以理解的是，为了确保压紧件300能够稳定地压紧密封件400，密封装置会设置一个穿设于第一法兰100且止抵于压紧件300的调节件，在实际工作过程中通过调整调节件来驱动压紧件300压紧密封件400。在一种可能的实现方式中，推挤部310的直径相对较大，这样方便调节件驱动压紧件300运动，从而确保压紧件300能够稳定地压紧密封件400。而直径相对较小的压紧部320伸入炉管10且压紧在密封件400上，这样能够提升密封效果。

在一些具体的实施例中，如图4所示，第一法兰100还包括止挡部140，止挡部140形成于安装部130远离第一法兰100内侧壁的一侧，止挡部140包括压紧侧壁141，压紧侧壁141位于止挡部140靠近配合面110的一侧，压紧件300位于配合面110与止挡部140之间，压紧件300用于将密封件400压紧于压紧侧壁141。可以理解的是，在实际工作过程中，压紧件300将密封件400压紧于止挡部140的压紧侧壁141上，能够使得密封件400在压紧力的作用下发生形变使其较为紧密的贴合在炉管10的内侧壁上，从而确保密封件400的密封作用。于此同时，止挡部140还能够确保压紧件300不会脱出安装部130，确保了压紧件300的安装稳定性。

在一些实施例中，如图5所示，密封装置还包括第一调节件500，第一调节件500穿过第一法兰100且止抵于压紧件300，第一调节件500能够驱动压紧件300压紧密封件400。可以理解的是，在实际安装过程中，将密封装置安装到炉管10上后只需要调节第一调节件500使得压紧件300沿炉管10的轴向方向发生移动从而将密封件400牢固地压紧在第一法兰100的安装槽111的侧壁上。

可选的，第一调节件500为多个，多个第一调节件500沿第一法兰100的周向间隔设置。由此，能够使得压紧件300均匀地压紧密封件400以确保密封件400的密封效果。

可选的，第一调节件500为螺栓且与第一法兰100螺纹连接。

在一些具体的实施例中，如图6所示，密封装置还包括第二调节件600，第二调节件600穿过第一法兰100，第二调节件600能够带动压紧件300朝向远离密封件400的方向运动，以使得密封件400回弹。可以理解的是，在实际工作过程中，当需要拆卸或者维修的过程中，只需要驱动第二调节件600朝向远离密封件400的方向运动，由于第二调节件600穿过第一法兰100且与压紧件300相连，压紧件300在第二调节件600的作用下脱离密封件400，密封件400回弹使得第一法兰100和炉管10的内径向密封连接失效，从而方便地将第一法兰100从炉管10中拆下。

可选的，第二调节件600为多个，多个第二调节件600沿第一法兰100的周向间隔设置。由此，在拆卸过程中通过多个第二调节件600的驱动能够使得密封件400均匀回弹从而方便第一法兰100的拆卸。

可选的，第二调节件600为螺栓，第二调节件600穿过第一法兰100上的通孔，且与压紧件300螺纹连接。当然，在本发明的其他实施例中，第二调节件600也可以穿过第一法兰100上的通孔后直接与压紧件300粘接，并不限于本实施例的螺纹连接。

在一些实施例中，如图4所示，密封装置还包括第二法兰200，第二法兰200套设于炉管10的外侧壁，且与第一法兰100抵接，例如第二法兰200抵接于配合面110。可以理解的是，增设的第二法兰200一方面能够起到保护炉管10以及压紧件300的作用，另一方面能够提升密封装置对炉管10的密封作用。

这里需要说明的是，在本发明的实施例中，也可以不设置第一调节件500，在实际组装过程中，先将第二法兰200与炉管10固定，通过将第一法兰100压紧连接在第二法兰200，使得第一法兰100去驱动压紧件300以实现压紧密封件400的目的。

可选的，第二法兰200朝向第一法兰100的一侧具有避让压紧件300的避让槽210。可以理解的是，增设的避让槽210能够使得压紧件300不会干扰第一法兰100和第二法兰200的外圈的抵接关系，从而有利于提升第一法兰100和第二法兰200的连接密封性。

在一些更具体的实施例中，如图7所示，密封装置还包括第三调节件700，第三调节件700与第一法兰100相连，且第三调节件700的一端穿过压紧件300止抵于第二法兰200；其中：第三调节件700能够驱动第一法兰100朝向远离第二法兰200的方向运动。可以理解的是，长时间工作后密封件400可能会失去弹性，也就是说通过第二调节件600驱动压紧件300释放密封件400后，可能会出现密封件400无法回弹的现象，此时如果强行拆除第一法兰100可能会损坏炉管10，本实施例中，增设的第三调节件700，在实际拆卸过程中，只需要调节第三调节件700使得第三调节件700伸出压紧件300的长度逐渐增加，使得第一法兰100与第二法兰200之间的间距逐渐增大，从而实现第一法兰100与密封件400的拆卸。

可选的，第三调节件700为螺栓且与第一法兰100螺纹连接。第三调节件700的螺柱与第一法兰100连接后穿出第一法兰100，并且穿过压紧件300上的通孔止抵于第二法兰200。在实际工作过程中，只需要转动第三调节件700即可实现第三调节件700伸出压紧件300的长度逐渐增加，使得第一法兰100与第二法兰200之间的间距逐渐增大，调节非常方便。

可选的，当密封装置包括同时包括第一调节件500、第二调节件600以及第三调节件700时，在炉管10的径向方向上，第二调节件600以及第三调节件700位于第一调节件500的径向外侧，在炉管10的周向方向上，第二调节件600位于炉管的左侧以及右侧，第三调节件700位于炉管10的上侧以及下侧。这样通过在炉管10的轴向以及径向的方向上区别设置件第一调节件500、第二调节件600以及第三调节件700，方便在实际工作中，操作人员有针对性操作某一个调节件。

在一些具体的实施例中，如图2所示，压紧件300为多个，每个压紧件300均为弧形结构，例如每个压紧件300靠近第一法兰100的内侧壁的一面为弧形面。如此，多个压紧件300沿第一法兰100的周向环绕设置，能够拼接为整圆结构。可以理解的是，根据前文所述，压紧件300安装在环绕第一法兰100设置的安装槽111内，如果压紧件300为一个整圆结构，则会导致压紧件300的安装较为困难。在本实施例中，将压紧件300拆分成多个弧形结构，在实际组装过程中，只需要将多个压紧件300分别贴合在安装槽111的底壁上使得多个压紧件300拼接为整圆结构即可，组装非常的方便。可以理解，相邻的压紧件300之间可以相连接，也可以间隔设置。

在一些更具体的实施例中，如图8所示，压紧件300的第一端设有拼接凸起321，压紧件300的第二端设有拼接凹槽，相邻的两个压紧件300中，一个压紧件300的第一端的拼接凸起321能够插接于另一个压紧件300的第二端的拼接凹槽内。可以理解的是，通过拼接凸起321和拼接凹槽的配合，能够使得多个压紧件300拼接为一个牢固的整体，一方面能够避免压紧件300从第一法兰100上掉落的现象，另一方面能够提升相邻的两个压紧件300的连接密封性。

当然，在本发明的其他实施例中，压紧件300沿其周向两端均设置拼接凸起321；在有的实施例中，压紧件300沿其周向两端均设置拼接凹槽，压紧件300上的拼接凸起321和拼接凹槽的位置可以根据实际需要选择。

可选的，拼接凸起321为长条状凸起。由此，方便相邻压紧件300之间插接。当然，在本发明的其他实施例中，拼接凸起321还可以为楔形凸起等其他结构，也就是说，在本发明的实施例中，拼接凸起321的整体形状、尺寸以及截面形状均可以根据实际需要选择。

在一些实施例中，如图4和图8所示，密封装置还包括防撞件800，防撞件800位于压紧件300与炉管10的端部之间，压紧件300包括推挤部310和压紧部320，推挤部310朝向炉管10的一侧还设有配合槽311，防撞件800置于配合槽311。可以理解的是，在实际工作过程中，如果压紧件300出现过度调整，在炉管10的轴向方向上，压紧件300是有一定几率与炉管10的端部接触上，在压紧件300上设置防撞件800能够避免压紧件300压碎炉管10的端部。

可选的，配合槽311沿压紧件300的周向延伸设置，防撞件800为o型圈。截面为矩形或者圆形，防撞件800的一侧凸出于配合槽311的距离为5mm-10mm。由此，能够提升对炉管10的保护作用。

需要进一步补充说明的是，防撞件800为采用耐高温以及耐腐蚀的材料制造，具体可以根据现有技术进行选择，在此不对防撞件800的材料、尺寸等参数进行限定。

在一些实施例中，第一法兰100内限定出沿炉管10周向延伸设置的第一冷却腔120。可以理解的是，在实际工作过程中，第一冷却腔120内流通有冷却液，能够实现对第一法兰100的降温，从而间接降低密封件400的温度，避免密封件400长时间处于高温状态有利于延长密封件400的使用寿命。这里需要说明的是，第一法兰100背离炉管10的一侧形成有敞开的腔体，通过焊接一个封板形成第一冷却腔120。第一冷却腔120还可以部分延伸至炉内，实现对密封件400更精准高效地降温。第一冷却腔120的设置方式可以有多种，在此不对第一冷却腔120的形状以及具体形成方式做出限定。

在一些实施例中，第二法兰200限定出沿炉管10周向延伸设置的第二冷却腔220。可以理解的是，在实际工作过程中，第二冷却腔220内流通有冷却液，能够实现对炉管10端部的降温，从而间接降低密封件400的温度，避免密封件400长时间处于高温状态有利于延长密封件400的使用寿命。这里需要说明的是，第二法兰200的外侧壁形成有敞开的腔体，通过焊接一个封板形成第二冷却腔220，第二冷却腔220的设置方式可以有多种，在此不对第二冷却腔220的形状以及具体形成方式做出限定。第二冷却腔220还可以与第一冷却腔120配合使用，对密封件400的降温效果更佳。

在一些实施例中，密封装置还包括固定板900，固定板900套设于炉管10，第一法兰100通过连接件1000与固定板900相连，第二法兰200相对设置的两侧分别止抵于第一法兰100和固定板900。可以理解的是，增设的固定板900，在实际组装过程中，第一法兰100和第二法兰200限于固定板900安装成一个整体，然后再将这个整体安装到炉管10上，使得本实施例的密封装置的安装非常方便。

可选的，炉管10的一端设有凸出部101，第二法兰200止抵于凸出部101上。由此，能够进一步提升第二法兰200的安装稳定性。

可选的，第二法兰200上设有用于避让连接件1000的限位槽230。可以理解的是，在实际连接过程中，连接件1000穿过限位槽230后与第一法兰100相连，能够沿周向限制第二法兰200避免第二法兰200出现转动。

实施例：

如图1-图8所示，本实施例的密封装置包括第一法兰100、第二法兰200、压紧件300、密封件400、防撞件800、第一调节件500、第二调节件600、第三调节件700以及固定板900。炉管10的一端具有凸出部101。固定板900套设于炉管10，第一法兰100通过连接件1000与固定板900相连，连接件1000包括螺栓1010和螺母1020。第一法兰100包括配合面110、安装部130以及止挡部140，配合面110位于第一法兰100与炉管10配合的一端，配合面110与炉管10的轴向方向呈夹角设置。安装部130形成于配合面110靠近第一法兰100的内侧壁的一侧，且沿第一法兰100的轴向延伸设置，安装部130远离配合面110的一端伸入炉管10内。配合面110形成有安装槽111，安装槽111用于收容压紧件300。止挡部140形成于安装部130远离第一法兰100内侧壁的一侧，止挡部140包括压紧侧壁141，压紧侧壁141位于止挡部140靠近配合面110的一侧，压紧件300位于配合面110与止挡部140之间，压紧件300用于将密封件400压紧于压紧侧壁141。

第二法兰200相对设置的两侧分别止抵于第一法兰100和固定板900，第二法兰200上设有用于避让螺栓1010的限位槽230，且第二法兰200朝向第一法兰100的一侧设有避让槽210。密封件400套设于安装部130。

压紧件300具有推挤部310和压紧部320，推挤部310和压紧部320大致呈L型设置，压紧部320设置于推挤部310靠近安装部130的一侧。推挤部310位于安装槽111内，压紧部320一部分伸入炉管10且将密封件400压紧于压紧侧壁141上。压紧件300为多个，每个压紧件300靠近第一法兰100的内侧壁的一面为弧形面，多个压紧件300沿第一法兰100的周向环绕设置。每个压紧件300沿其周向的第一端设有拼接凸起321，第二端设有拼接凹槽，相邻的两个压紧件300中，一个压紧件300上的拼接凸起321能够插接于另一个压紧件300上的拼接凹槽内。每个推挤部310上均设有配合槽311，配合槽311内设有防撞件800。第一调节件500与第一法兰100螺纹连接，且穿过第一法兰100止抵于推挤部310。第二调节件600穿过第一法兰100且与推挤部310螺纹相连。第三调节件700与第一法兰100螺纹连接，第三调节件700的一端穿过推挤部310止抵于第二法兰200上。第一法兰100内限定出沿炉管10周向延伸设置的第一冷却腔120。第二法兰200限定出沿炉管10周向延伸设置的第二冷却腔220。

本实施例的密封装置的优点如下：

第一：采用内径向密封的方式，能够使得炉管10的结构，无需焊接额外的高温保护环，并减小了炉管10最大尺寸，在有限空间为炉管10安装方式提供了极大便利；

第二：第一法兰100和第二法兰200内均流通有冷却液，大大降低周围高温环境，避免密封件400因高温损坏，有利于延长密封件400的使用寿命；

第三：采用内径向密封的方式，第一法兰100挡住了炉管10内热源通过光照辐射带来的高温热量，大大的延长了密封件400的使用寿命；

第四：通过设置第一调节件500、第二调节件600以及第三调节件700，不仅能够确保压紧件300能够牢靠地压紧密封件400，还能够方便第一法兰100以及密封件400的拆卸。

本发明还公开了一种热炉，包括前文所述的密封装置和炉管10。本发明的热炉，由于具有前文所述的密封装置，该热炉的密封性好，组装方便，且密封件400的使用寿命长。

本发明还公开了一种加工设备，该加工设备包括前文密封装置和炉管10，密封装置用于对炉管10密封形成反应腔，反应腔用于加工衬底。本发明的加工设备，由于具有前文所述的密封装置，该热炉的密封性好，组装方便，且密封件400的使用寿命长，衬底加工质量高。

这里需要补充说明的是，本发明的加工设备可以为高温炉，且还可以包括其他部件，比如净化台，气源柜，真空系统等，该加工设备可以用于制造集成电路、平面显示器件、光电子器件、传感器、太阳能电池等半导体元件。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本发明的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。