过滤器

技术领域

本发明涉及过滤器。

背景技术

例如，作为用于捕捉细胞的过滤器，在专利文献1公开了一种细胞捕捉金属过滤器。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-188323号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在专利文献1记载的过滤器中，在提高使用便利性方面仍有改善的余地。

本发明的目的在于，提供一种能够提高使用便利性的过滤器。

用于解决问题的技术方案

本发明的一个方式的过滤器具备：

过滤器基体部，具有第1主面和与所述第1主面相反侧的第2主面，并形成有将所述第1主面和所述第2主面连通的多个贯通孔，

所述过滤器基体部具有向所述第1主面侧或者所述第2主面侧翘曲的一个或者多个弯曲部。

发明效果

根据本发明，能够提供一种能够提高使用便利性的过滤器。

附图说明

图1是从第1主面侧观察本发明涉及的实施方式1的过滤器的一个例子的立体图。

图2是从第2主面侧观察本发明涉及的实施方式1的过滤器的一个例子的立体图。

图3是本发明涉及的实施方式1的过滤器的一个例子的主视图。

图4是本发明涉及的实施方式1的过滤器的一个例子的后视图。

图5是本发明涉及的实施方式1的过滤器的一个例子的左视图。

图6是本发明涉及的实施方式1的过滤器的一个例子的右视图。

图7是本发明涉及的实施方式1的过滤器的一个例子的俯视图。

图8是本发明涉及的实施方式1的过滤器的一个例子的仰视图。

图9是过滤器部的一部分的放大图。

图10是过滤器部中的加强部的一部分的放大图。

图11是在A-A线处切断图10的过滤器部的剖视图。

图12是弯曲部的部分放大剖视图。

图13是弯曲部的部分放大立体图。

图14A是示出过滤器的制造方法的工序的一个例子的概略图。

图14B是示出过滤器的制造方法的工序的一个例子的概略图。

图14C是示出过滤器的制造方法的工序的一个例子的概略图。

图14D是示出过滤器的制造方法的工序的一个例子的概略图。

图14E是示出过滤器的制造方法的工序的一个例子的概略图。

图14F是示出过滤器的制造方法的工序的一个例子的概略图。

图14G是示出过滤器的制造方法的工序的一个例子的概略图。

图14H是示出过滤器的制造方法的工序的一个例子的概略图。

图15是示出以电流密度为参数而测定了翘曲量的实验结果的表。

图16是从第1主面侧观察变形例的过滤器的立体图。

图17是从第2主面侧观察变形例的过滤器的立体图。

图18是变形例的过滤器的主视图。

图19是变形例的过滤器的后视图。

图20是变形例的过滤器的左视图。

图21是变形例的过滤器的右视图。

图22是变形例的过滤器的俯视图。

图23是变形例的过滤器的仰视图。

具体实施方式

(完成本发明的经过)

在专利文献1记载的过滤器中，过滤器形成为平坦的板状。因此，在过滤器没有把手，有时过滤器的操作变得困难。

例如，在过滤结束后从夹持器卸下过滤器时，用户通过镊子等夹着过滤器的外周部分并抬起。若是平坦的板状的过滤器，则不容易将镊子的前端插入到过滤器的外周部分，存在不易将过滤器抬起这样的问题。此外，在用镊子夹着过滤器并抬起的情况下，在镊子的前端接触过滤器的外周部分时会对过滤器的外周部分施加力，有时会使过滤器破损。

此外，若是平坦的板状的过滤器，则存在不容易判别正反面这样的问题。

因此，为了解决这些问题，本发明的发明人们找到在过滤器设置翘曲的结构，完成了以下的发明。

本发明的一个方式的过滤器具备：

过滤器基体部，具有第1主面和与所述第1主面相反侧的第2主面，并形成有将所述第1主面和所述第2主面连通的多个贯通孔，

所述过滤器基体部具有向所述第1主面侧或者所述第2主面侧翘曲的一个或者多个弯曲部。

通过这样的结构，能够提高使用便利性。

也可以是，在所述过滤器中，还具备：框部，包围所述过滤器基体部的周围，并且沿着所述过滤器基体部的外周形状。

通过这样的结构，在提高过滤器的机械强度的同时，变得容易形成弯曲部。

也可以是，在所述过滤器中，还具备：加强部，设置在所述过滤器基体部，并且具有比所述过滤器基体部的厚度大的厚度。

通过这样的结构，能够提高过滤器的机械强度。

也可以是，从所述过滤器基体部的所述第1主面侧观察，所述加强部具有在第1方向上延伸的多个第1加强构件和在与所述第1方向交叉的第2方向上延伸的多个第2加强构件，

从所述过滤器基体部的所述第1主面侧观察，所述一个或者多个弯曲部在与所述第1方向以及所述第2方向交叉的第3方向上向所述第1主面侧或者所述第2主面侧翘曲。

通过这样的结构，能够通过加强部的形状来控制弯曲部翘曲的方向。

也可以是，所述一个或者多个弯曲部的翘曲量为所述过滤器的外径的4×10

通过这样的结构，能够进一步提高使用便利性。

也可以是，所述过滤器基体部在所述过滤器基体部的中央具有所述第1主面和所述第2主面平坦地形成的平坦部，

所述多个弯曲部形成为在剖视下将所述平坦部夹在中间。

通过这样的结构，能够进一步提高使用便利性。

也可以是，在所述第1主面中，所述一个或者多个弯曲部所占的区域的比例为1％以上且100％以下。

通过这样的结构，能够进一步提高使用便利性。

也可以是，所述过滤器以金属以及金属氧化物中的至少任一者为主成分。

通过这样的结构，能够在提高机械强度的同时进一步提高使用便利性。

以下，参照附图对本发明涉及的实施方式1进行说明。此外，在各图中，为使说明变得容易，夸张地示出了各要素。

(实施方式1)

整体结构]

图1是从第1主面PS1侧观察本发明涉及的实施方式1的过滤器1的一个例子的立体图。图2是从第2主面PS2侧观察本发明涉及的实施方式1的过滤器1的一个例子的立体图。图3是本发明涉及的实施方式1的过滤器1的一个例子的主视图。图4是本发明涉及的实施方式1的过滤器1的一个例子的后视图。图5是本发明涉及的实施方式1的过滤器1的一个例子的左视图。图6是本发明涉及的实施方式1的过滤器1的一个例子的右视图。图7是本发明涉及的实施方式1的过滤器1的一个例子的俯视图。图8是本发明涉及的实施方式1的过滤器1的一个例子的仰视图。在图中，X、Y、Z方向分别示出了过滤器1的纵向、横向、厚度方向。

例如，过滤器1是对包含过滤对象物的流体进行过滤的过滤器。

在本说明书中，所谓“过滤对象物”，意味着流体包含的对象物之中应被过滤的对象物。例如，过滤对象物也可以是流体包含的生物来源物质。所谓“生物来源物质”，意味着细胞(真核生物)、细菌(真细菌)、病毒等来源于生物的物质。作为细胞(真核生物)，例如，包含诱导性多能干细胞(iPS细胞)、ES细胞、干细胞、间充质干细胞、单核球细胞、单细胞、细胞团、浮游性细胞、黏附性细胞、神经细胞、白血球、再生医疗用细胞、自体细胞、癌细胞、血中循环癌细胞(CTC)、HL-60、HELA、菌类。作为细菌(真细菌)，例如，包含大肠杆菌、结核菌。

作为流体，例如，可列举液体或者气体。作为液体，例如，可列举细胞悬浊液。

过滤器1是金属制过滤器。构成过滤器1的材料以金属以及金属氧化物中的至少任一者为主成分。构成过滤器1的材料例如也可以是金、银、铜、铂、镍、钯、钛、它们的合金以及它们的氧化物。特别是，通过使用钛、镍-钯合金，从而金属的溶出少，能够降低对过滤对象物的影响。

如图1～图8所示，过滤器1具备过滤器部10和设置在过滤器部10的外周的框部20。此外，过滤器1具有第1主面PS1和与第1主面PSI相反侧的第2主面PS2。在实施方式1中，过滤器部10和框部20被一体形成。此外，第1主面PS1和第2主面PS2对置。

<过滤器部>

过滤器部10是对包含过滤对象物的流体进行过滤的部分。过滤器部10由形成有将第1主面PS1和第2主面PS2连通的多个贯通孔11的过滤器基体部12构成。

过滤器部10具有第1主面PS1和第2主面PS2平坦地形成的平坦部30以及将平坦部30夹在中间而形成的多个弯曲部40。

平坦部30形成在过滤器部10的中央。具体地，从第1主面PS1侧观察，平坦部30从过滤器部10的中央沿着X方向形成至过滤器1的外周部。

多个弯曲部40在剖视下将平坦部30夹在中间而形成在过滤器1的外周的一部分。多个弯曲部40向第1主面PS1侧翘曲。具体地，多个弯曲部40向从第2主面PS2朝向第1主面PS1的方向弯曲。此外，多个弯曲部40在未对过滤器1施加外力的自由的状态下具有弯曲的形状。在实施方式1中，在过滤器部10，在Y方向上对置地形成有两个弯曲部40。因此，如图7以及图8所示，将过滤器1在Y方向上切断的剖面形成为大致U字状。

从过滤器1的厚度方向(Z方向)观察，过滤器部10的形状例如为圆形、多边形、椭圆形。在实施方式1中，过滤器部10的形状为大致圆形。另外，在本说明书中，所谓“大致圆形”，是指长径的长度相对于短径的长度之比为1.0以上且1.2以下。

<框部>

框部20设置在过滤器部10的外周，是每单位面积的贯通孔11的数量比过滤器部10少的部分。框部20中的贯通孔11的数量为过滤器部10中的贯通孔11的数量的1％以下。框部20的厚度也可以比过滤器部10的厚度厚。通过这样的结构，能够提高过滤器1的机械强度。

框部20包围过滤器部10的外周，并且具有沿着过滤器部10的外周形状的形状。框部20在过滤器1的外周部分形成平坦部30的一部分以及多个弯曲部40的一部分。具体地，位于过滤器部10的平坦部30的框部20平坦地形成。位于过滤器部10的弯曲部40的框部20沿着弯曲部40的形状弯曲。即，位于弯曲部40的框部20向第1主面PS1侧翘曲。

在将过滤器1连接于装置而进行使用的情况下，框部20也可以作为将过滤器1和装置连接的连接部而发挥功能。此外，也可以在框部20显示过滤器1的信息(贯通孔11的尺寸等)。

从过滤器部10的第1主面PS1侧观察，框部20形成为环状。从第1主面PS1侧观察过滤器1，框部20的中心与过滤器部10的中心一致。即，框部20与过滤器1形成在同心圆上。

以下，对过滤器部10进行详细说明。

图9是过滤器部10的一部分的放大立体图。如图9所示，多个贯通孔11在过滤器部10的第1主面PS1以及第2主面PS2上周期性地配置。具体地，多个贯通孔11在过滤器部10中以等间隔设置为矩阵状。

在实施方式1中，从过滤器部10的第2主面PS2侧(Z方向)观察，多个贯通孔11沿着与正方形的各边平行的两个排列方向设置。像这样，通过以正方格子排列来设置多个贯通孔11，从而能够提高开口率，能够降低过滤器1对流体的阻力。通过这样的结构，能够缩短处理时间，并降低对过滤对象物的应力。此外，多个贯通孔11的排列的对称性提高，因此变得容易观察过滤器1。

另外，多个贯通孔11的排列并不限定于正方格子排列，例如，也可以是准周期排列或者周期排列。作为周期排列的例子，如果是方形排列，则也可以是两个排列方向的间隔不相等的长方形排列，还可以是三角格子排列或者正三角格子排列等。另外，贯通孔11只要在过滤器部10设置有多个即可，排列没有限定。

在过滤器部10中，未形成贯通孔11的部分由过滤器基体部12形成。如图9所示，过滤器基体部12形成为格子状。具体地，过滤器基体部12具有在过滤器部10中在第1方向D1上延伸的多个第1基体构件12a和在与第1方向D1交叉的第2方向D2上延伸的多个第2基体构件12b。第1方向D1和第2方向D2在XY平面中交叉。多个第1基体构件12a在第2方向D2上以等间隔进行配置。多个第2基体构件12b在第1方向D1上以等间隔进行配置。

多个第1基体构件12a以及多个第2基体构件12b由板状的构件形成。多个第1基体构件12a和多个第2基体构件12b交叉，由此划分出多个贯通孔11。在实施方式1中，从第2主面PS2侧观察过滤器部10，第1方向D1和第2方向D2正交。

在实施方式1中，多个第1基体构件12a以及多个第2基体构件12b被一体形成。

过滤器部10中的过滤器基体部12的厚度为0.5μm以上且20μm以下。由此，能够在具备了机械强度的基础上降低通过过滤器的流体的压力损失。优选地，过滤器部10中的过滤器基体部12的厚度为1.0μm以上且3μm以下。由此，能够进一步降低通过过滤器1的流体的压力损失。

在实施方式1中，过滤器基体部12的厚度被设计为大致固定。通过使过滤器基体部12的厚度大致固定，从而能够再现性良好地控制弯曲部40的位置、翘曲量。所谓“大致固定”，意味着过滤器基体部12的厚度收敛于±5％以内的误差。另外，过滤器基体部12的厚度并不限定为大致固定。

贯通孔11的间隔b可根据所分离的过滤对象物而适当地进行设计。例如，在过滤对象物为细胞的情况下，贯通孔11的间隔b可根据细胞的种类(大小、形态、性质、弹性)或者量而适当地进行设计。在此，所谓贯通孔11的间隔b，如图9所示，意味着从过滤器部10的第2主面PS2侧观察贯通孔11时任意的贯通孔11的中心和相邻的贯通孔11的中心的距离。在实施方式1中，从第2主面PS2侧观察，贯通孔11为正方形。贯通孔11的中心成为两条对角线交叉的交点。

在周期排列的构造体的情况下，贯通孔11的间隔b例如比贯通孔11的一边a的1倍大且为10倍以下，优选为贯通孔11的一边a的3倍以下。或者，例如，过滤器部10的开口率为10％以上，优选地，开口率为25％以上。通过这样的结构，能够降低过滤器部10处的对流体的阻力。因此，能够缩短处理时间，能够降低对细胞的应力。另外，所谓开口率，通过(贯通孔11所占的面积)/(假定未对贯通孔11进行开孔时的第2主面PS2的投影面积)来计算。

在贯通孔11中，第1主面PS1侧的开口和第2主面PS2侧的开口通过连续的壁面连通。具体地，贯通孔11设置为第1主面PS1侧的开口能够向第2主面PS2侧的开口投影。即，在从第2主面PS2侧观察过滤器部10的情况下，贯通孔11设置为第2主面PS2侧的开口与第1主面PS1侧的开口重叠。在实施方式1中，划分贯通孔11的内壁设置为相对于第1主面PS1以及第2主面PS2垂直。

从第2主面PS2侧观察，贯通孔11的形状为正方形，贯通孔11的一边a为0.5μm以上且400μm以下。优选地，贯通孔11的一边a为1μm以上且30μm以下。

另外，贯通孔11的形状并不限定于从第2主面PS2侧观察为正方形。例如，从第2主面PS2侧观察，贯通孔11的形状也可以为圆形、椭圆形、矩形、多边形等。

在过滤器部10中，优选第1主面PS1以及第2主面PS2的表面粗糙度小。在此，所谓表面粗糙度，意味着在任意的5处利用触针式高低差计测定的最大值与最小值之差的平均值。在实施方式1中，表面粗糙度优选小于过滤对象物的大小，更优选小于过滤对象物的大小的一半。这是因为，能够降低过滤对象物的附着，能够在用过滤器1捕捉过滤对象物之后以高效率进行回收。

图10是过滤器部10中的加强部13的一部分的放大图。图11是在A-A线处切断图10的过滤器部10的剖视图。

如图10以及图11所示，在过滤器部10设置有加强部13。加强部13是对过滤器基体部12进行加强的构件，提高了过滤器1的机械强度。例如，加强部13抑制在包含过滤对象物的流体通过过滤器部10时对过滤器基体部12施加外力而使过滤器基体部12破损。

加强部13设置在过滤器基体部12的第1主面PS1侧。此外，加强部13具有比过滤器基体部12的厚度t1大的厚度t2。

从第1主面PS1侧观察，加强部13形成为格子状。加强部13具有在第1方向D1上延伸的多个第1加强构件13a和在与第1方向D1交叉的第2方向D2上延伸的多个第2加强构件13b。在实施方式1中，多个第1加强构件13a和多个第2加强构件13b正交。

多个第1加强构件13a以及多个第2加强构件13b由板状的构件形成。多个第1加强构件13a和多个第2加强构件13b被一体形成。此外，多个第1加强构件13a以及多个第2加强构件13b设置在过滤器基体部12，使得跨越多个贯通孔11。

多个第1加强构件13a以及多个第2加强构件13b以等间隔进行配置。例如，多个第1加强构件13a的间隔A1以及多个第2加强构件13b的间隔A2为200μm以上且500μm以下。优选地，间隔A1以及A2为250μm以上且350μm以下。另外，所谓间隔A1，意味着相邻的两个第1加强构件13a之间的距离。所谓间隔A2，意味着相邻的两个第2加强构件13b之间的距离。在实施方式1中，间隔A1和间隔A2大致相等。另外，间隔A1和间隔A2也可以不同。

从第1主面PS1侧观察过滤器部10，多个第1加强构件13a的宽度B1以及多个第2加强构件13b的宽度B2大于过滤器基体部12的多个第1基体构件12a以及多个第2基体构件12b的宽度。例如，多个第1加强构件13a的宽度B1以及多个第2加强构件13b的宽度B2为5μm以上且40μm以下。优选地，宽度B1以及宽度B2为10μm以上且30μm以下。

接着，对弯曲部40进行详细说明。

图12是弯曲部40的部分放大剖视图。如图12所示，弯曲部40翘曲，使得过滤器1的外周端部向第1主面PS1侧抬起。具体地，弯曲部40随着朝向过滤器1的外周而向第1主面PS1侧连续地弯曲。所谓“连续地弯曲”，意味着不包含台阶而缓慢地弯曲。在实施方式1中，弯曲部40弯曲为弓状而形成。

弯曲部40的翘曲量L1为过滤器的外径d的4×10

例如，弯曲部40的翘曲量L1只要为10μm以上且2.5mm以下即可。由此，变得容易用前端的厚度被加工得薄的镊子等器具把持弯曲部40。或者，能够通过压缩气体(气枪)的吹喷而使弯曲部40的弯曲大幅变形，从而制造把持的时机。优选地，弯曲部40的翘曲量L1只要为100μm以上且2.5mm以下即可。由此，在通过市面销售的镊子等器具来把持过滤器1时，能够抑制过滤器1损伤。更优选地，弯曲部40的翘曲量L1只要为0.5mm以上且2.5mm以下即可。由此，即使过滤器1接触液体也能够维持弯曲部40的形状。

图13是弯曲部40的部分放大立体图。如图13所示，在过滤器部10的第1主面PS1侧设置有加强部13。加强部13具有在第1方向D1上延伸的多个第1加强构件13a和在与第1方向D1交叉的第2方向D2上延伸的多个第2加强构件13b。在实施方式1中，多个第1加强构件13a和多个第2加强构件13b在XY平面中相互正交。

从过滤器部10的第1主面PS1侧观察，弯曲部40在与第1方向D1以及第2方向D2交叉的第3方向D3上向第1主面PS1侧翘曲。具体地，弯曲部40在XY平面中在第1方向D1与第2方向D2之间在以X方向为轴进行卷绕的第3方向D3上弯曲为弓状。

第1方向D1以及第2方向D2分别是多个第1加强构件13a以及多个第2加强构件13b延伸的方向，因此机械强度比较高。因此，能够在与第1方向D1以及第2方向D2不同的第3方向D3上容易地形成弯曲部40。

在实施方式1中，在第1主面PS1中，多个弯曲部40所占的区域比平坦部30所占的区域小(参照图3以及图4)。另外，多个弯曲部40所占的区域并不限定于此。多个弯曲部40所占的区域也可以比平坦部30所占的区域大。例如，在第1主面PS1中，多个弯曲部40所占的区域的比例也可以为1％以上且100％以下。优选地，在第1主面PS1中，多个弯曲部40所占的区域的比例也可以为5％以上且50％以下。更优选地，在第1主面PS1中，多个弯曲部40所占的区域的比例也可以为15％以上且50％以下。

[过滤器的制造方法]

使用图14A～图14H对过滤器1的制造方法的一个例子进行说明。

如图14A所示，在基板50上形成Cu膜51。例如，Cu膜51通过利用溅射成膜装置进行溅射而形成。或者，Cu膜51也可以通过利用蒸镀装置进行蒸镀而形成。此时，为了使基板50和Cu膜51的粘接性提高，也可以在基板50与Cu膜51之间形成Ti膜。

如图14B所示，在Cu膜51上涂敷抗蚀剂并使其干燥，由此形成抗蚀剂膜52。例如，在Cu膜51上使用旋涂机涂敷感光性正型液体抗蚀剂(住友化学株式会社制造的Pfi-3A)。接着，使用加热板对抗蚀剂进行加热干燥，从而形成抗蚀剂膜52。

如图14C所示，对抗蚀剂膜52进行曝光以及显影处理，除去相当于过滤器基体部12的部位的抗蚀剂膜52。例如，关于曝光机，使用i线步进式曝光机(Canon制造的Pfi-37A)。

显影使用刮板显影装置来进行。显影液使用TMAH(Tetramethylammoniumhydroxide，四甲基氢氧化铵)。在进行了曝光以及显影处理之后，进行水洗以及干燥处理。

如图14D所示，使用电解镀敷装置进行电解镀敷。由此，在除去了抗蚀剂膜52的部分形成作为镀敷膜的第1层53。

如图14E所示，使用能够进行高压喷射处理的抗蚀剂剥离装置，用剥离液NMP(N-methyl-2-pyrrolidone，n-甲基-2-吡咯烷酮)将抗蚀剂膜52剥离。然后，对第1层53进行IPA(Isopropyl alcohol，异丙醇)清洗以及水洗处理，并使其干燥。由此，形成过滤器基体部12，该过滤器基体部12形成有多个贯通孔11。

如图14F所示，除了相当于加强部13的部分54a以及相当于框部20的部分(未图示)以外，在过滤器基体部12形成抗蚀剂膜54。例如，在过滤器基体部12涂敷抗蚀剂并使其干燥，由此形成抗蚀剂膜54。对抗蚀剂膜54进行曝光以及显影处理，除去相当于加强部13的部分54a以及相当于框部20的部分的抗蚀剂膜54。

如图14G所示，使用电解镀敷装置进行电解镀敷。由此，在相当于加强部13的部分54a以及相当于框部20的部分，即，在未形成抗蚀剂膜54的部分形成作为镀敷膜的第2层55。第2层55的电解镀敷时的电流密度与第1层53的电解镀敷时的电流密度不同。

如图14H所示，将抗蚀剂膜54剥离，并将Cu膜51蚀刻除去。

像这样，能够制作过滤器1。

在上述的制造方法中，形成加强部13以及框部20的第2层55的电解镀敷时的电流密度与形成过滤器基体部12的第1层53的电解镀敷时的电流密度不同。由此，能够形成弯曲部40。

图15是示出以电流密度为参数而测定了翘曲量的实验结果的表。如图15所示，在实施例1中，测定了在第1层53和第2层55的电流密度不同的条件下制造的过滤器的翘曲量。具体地，在实施例1中，第1层53的电解镀敷的电流密度为11.5A/dm

在实施例1中，在过滤器形成了弯曲部40，翘曲量为2mm。相对于此，在比较例1中，在过滤器未形成弯曲部40，翘曲量为0mm。

电流密度变得越大，镀敷膜的内部应力(收缩率)变得越大。因此，在第1层53和第2层55的电流密度不同的情况下，在第1层53和第2层55中内部应力(收缩率)出现差异。在上述制造方法中，利用该内部应力(收缩率)之差形成了弯曲部40。

像这样，在形成第1层53和第2层55时，通过在电流密度不同的条件下进行电解镀敷，从而能够制造具有弯曲部40的过滤器1。

[效果]

根据实施方式1涉及的过滤器1，能够达到以下的效果。

过滤器1具备过滤器基体部12，该过滤器基体部12具有第1主面PS1和与第1主面PS1相反侧的第2主面PS2，并形成了将第1主面PS1和第2主面PS2连通的多个贯通孔11。过滤器基体部12具有向第1主面PS1侧翘曲的多个弯曲部40。

通过这样的结构，过滤器1的使用便利性提高。具体地，在过滤器1设置有向第1主面PS1侧或者第2主面PS2侧翘曲的多个弯曲部40，因此能够容易地判别过滤器1的正反面。

此外，在使用镊子等器具将过滤器1抬起的情况下，通过用镊子捏住弯曲部40，从而能够容易地抬起。例如，在过滤结束后从夹持器卸下过滤器1时，用户能够通过镊子捏住弯曲部40而容易地抬起。由此，能够从夹持器容易地卸下过滤器1。进而，与平坦的过滤器相比，能够抑制过滤器1破损。

此外，在将多个过滤器1堆叠而进行保管的情况下，通过弯曲部40使过滤器1的分拣变得容易。

过滤器1还具备框部20，该框部20包围过滤器基体部12的周围，并且沿着过滤器基体部12的外周形状。通过这样的结构，还能够提高过滤器1的机械强度。此外，变得容易形成多个弯曲部40。

过滤器1还具备加强部13，该加强部13设置在过滤器基体部12，并且具有比过滤器基体部12的厚度t1大的厚度t2。通过这样的结构，还能够提高过滤器1的机械强度。此外，还能够保证弯曲部40的机械强度。

从过滤器基体部12的第1主面PS1侧观察，加强部13具有在第1方向D1上延伸的多个第1加强构件13a和在与第1方向D1交叉的第2方向D2上延伸的多个第2加强构件13b。从过滤器基体部12的第1主面PS1侧观察，多个弯曲部40在与第1方向D1以及第2方向D2交叉的第3方向D3上向第1主面PS1侧翘曲。通过这样的结构，能够控制弯曲部40翘曲的方向。具体地，在第1方向D1以及第2方向D2上，多个第1加强构件13a以及多个第2加强构件13b延伸，机械强度变得比较高。在与第1方向D1以及第2方向D2交叉的第3方向D3上，未配置多个第1加强构件13a以及多个第2加强构件13b，过滤器基体部12容易弯曲。因此，在第3方向D3上，过滤器1比较容易翘曲，因此能够容易地形成弯曲部40。

多个弯曲部40的翘曲量L1为过滤器的外径d的4×10

过滤器基体部12在过滤器基体部12的中央具有第1主面PS1和第2主面PS2平坦地形成的平坦部30。多个弯曲部40形成为在剖视下将平坦部30夹在中间。通过这样的结构，过滤器1的使用便利性进一步提高。此外，通过平坦部30还能够保证过滤性能。

在第1主面PS1中，多个弯曲部40所占的区域的比例为1％以上且100％以下。通过这样的结构，过滤器1的使用便利性进一步提高。

过滤器1以金属以及金属氧化物中的至少任一者为主成分。通过这样的结构，能够进一步提高过滤器1的机械强度。

另外，在实施方式1中，对在过滤器1中形成有多个弯曲部40的例子进行了说明，但是并不限定于此。例如，只要在过滤器1中形成有一个或者多个弯曲部40即可。

在实施方式1中，对弯曲部40向第1主面PS1侧翘曲的例子进行了说明，但是并不限定于此。例如，弯曲部40也可以向第2主面PS2侧翘曲。关于弯曲部40翘曲的方向，例如，也可以对形成第1层53以及第2层55的电解镀敷的电流密度、加强部13的尺寸以及/或者框部20的尺寸等适当地进行调整而决定。

在实施方式1中，对弯曲部40为弯曲成弓状的形状的例子进行了说明，但是并不限定于此。例如，弯曲部40只要向第1主面PS1侧或者第2主面PS2侧翘曲即可，弯曲部40的形状并不限定于弓状。

在实施方式1中，对过滤器1具备加强部13以及框部20的例子进行了说明，但是并不限定于此。加强部13以及框部20并不是必需的构成要素。

<变形例>

使用图16～图23对变形例的过滤器1A进行说明。图16是从第1主面PS1侧观察变形例的过滤器1A的立体图。图17是从第2主面PS2侧观察变形例的过滤器1A的立体图。图18是变形例的过滤器1A的主视图。图19是变形例的过滤器1A的后视图。图20是变形例的过滤器1A的左视图。图21是变形例的过滤器1A的右视图。图22是变形例的过滤器1A的俯视图。图23是变形例的过滤器1A的仰视图。

如图16～图23所示，在过滤器1A中，与实施方式1的过滤器1相比，在第1主面PS1中，弯曲部40A所占的区域比平坦部30A所占的区域大。具体地，过滤器1A的大致整体由弯曲部40形成。

即使在像过滤器1A这样的结构中，也与实施方式1的过滤器1同样地，能够提高使用便利性。此外，即使在将多个过滤器1A堆叠而进行保管的情况下，也具有容易对多个过滤器1A进行堆叠且容易进行分拣这样的效果。

另外，在变形例的过滤器1A中，对设置有平坦部30的例子进行了说明，但是并不限定于此。例如，也可以在过滤器1A中不设置平坦部30。

参照附图并与优选的实施方式相关联地对本发明进行了充分的记载，但是对本领域技术人员而言，各种变形、修正是显而易见的。关于这样的变形、修正，应理解为，只要不脱离由随附的权利要求书规定的本发明的范围，就包含于其中。

产业上的可利用性

本发明的过滤器能够提高使用便利性，因此对包含过滤对象物的流体的过滤用途而言是有用的。

附图标记说明

1：过滤器；

10：过滤器部；

11：贯通孔；

12：过滤器基体部；

12a：第1基体构件；

12b：第2基体构件；

13：加强部；

13a：第1加强构件；

13b：第2加强构件；

20：框部；

30：平坦部；

40：弯曲部；

50：基板；

51：Cu膜；

52：抗蚀剂膜；

53：第1层；

54：抗蚀剂膜；

55：第2层；

D1：第1方向；

D2：第2方向；

D3：第3方向；

PS1：第1主面；

PS2：第2主面。