镀膜箱及加工设备

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种镀膜箱及加工设备。

背景技术

化学气相沉积技术在保护膜层、微电子技术、太阳能利用、光纤通信、超导技术和制备新材料等许多方面得到广泛的应用。

上述工艺需要采用真空镀膜设备进行。真空镀膜设备需要使用真空腔室，如方形真空腔室。现有的方形真空腔室的腔门基本都是90°直接开合，导致腔门及其转动的铰链都是在腔体外部，因为如果腔门下沉至腔体内部，现有的铰链结构会导致腔门与腔体边缘发生干涉。而腔门没有下沉至腔体，导致密封性能难以提高。

因此，亟需一种镀膜箱及加工设备，以解决以上问题。

发明内容

根据本发明的一个方面，目的在于提供一种镀膜箱。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

镀膜箱，包括箱体、腔门以及传动机构；箱体的上端具有开口；腔门封盖于开口；传动机构包括固定组件和活动组件，固定组件设置于箱体内壁，活动组件的第一端连接于腔门，活动组件的第二端与固定组件滑动连接；其中，活动组件能够带动腔门向远离箱体的方向直线运动，并使得腔门向外翻转，以打开箱体。通过上述设置，该镀膜箱有利于提升其内部的密封性能，且能够解决镀膜箱开合时，与其内部结构发生干涉的问题。

作为本发明提供的镀膜箱的可选方案，固定组件设有导轨，导轨包括直线导轨和弧形导轨，直线导轨朝向开口延伸设置，弧形导轨的第一端与直线导轨连通，弧形导轨的第二端朝向开口延伸设置；活动组件包括从动杆、支撑架和第一滑块，支撑架的一端固定连接于腔门，支撑架的另一端通过第一滑块可转动地连接于从动杆的端部，第一滑块滑动设置于导轨；其中，从动杆用于带动第一滑块由直线导轨滑动到弧形导轨，以使腔门远离开口后向外翻转，及带动第一滑块由弧形导轨滑动到直线导轨，以使腔门向内翻转后靠近开口。通过上述设置，能够实现腔门朝向远离开口的方向顺利打开。

作为本发明提供的镀膜箱的可选方案，直线导轨包括远离开口的第一直线部、靠近开口的第二直线部，第一直线部与第二直线部的连接处为弧形导轨的第一端；活动组件还包括第二滑块，第二滑块与第一滑块间隔设置，第二滑块滑动设置于第二直线部；第一滑块滑动设置于第一直线部及弧形导轨；其中，从动杆用于带动第一滑块沿第一直线部做直线往复运动，并带动第二滑块沿第二直线部做同向的直线往复运动，以使腔门靠近或远离开口；从动杆用于带动第一滑块在弧形导轨的第一端和弧形导轨的第二端之间往复滑动，以使腔门向外翻转或向内翻转。通过上述设置，能够顺利实现腔门向外翻转打开和向内翻转闭合。

作为本发明提供的镀膜箱的可选方案，活动组件还包括驱动杆；驱动杆的一端位于弧形导轨远离开口的一侧，并用于在外部驱动组件的驱动作用下转动；驱动杆的另一端可转动地连接于从动杆未与支撑架连接的一端；其中，驱动杆用于在驱动作用下转动，使得第一滑块、第二滑块沿直线导轨滑动，及第一滑块沿弧形导轨滑动。通过上述设置，能够提升腔门控制的便利性。

作为本发明提供的镀膜箱的可选方案，支撑架包括依次呈角度依次连接的支撑杆、衔接杆和滑动杆，支撑杆的端部连接于腔门，第二滑块设置于衔接杆和滑动杆的衔接处，第一滑块设置于滑动杆远离衔接杆的端部，支撑杆和衔接杆之间的夹角用于避让开口的边缘。通过上述设置，能够避免腔门在相对于箱体的开口垂直打开状态时，支撑架与箱体的开口边沿发生干涉的问题。

作为本发明提供的镀膜箱的可选方案，弧形导轨的顶端与直线导轨的顶端齐平；支撑杆、衔接杆和滑动杆依次呈直角连接；当第二滑块位于直线导轨的顶端，第一滑块位于直线导轨与弧形导轨的连通位置处时，滑动杆平行于直线导轨的延伸方向，腔门垂直于竖直方向，且位于箱体的开口上方；当第二滑块位于直线导轨的顶端，第一滑块位于弧形导轨的顶端时，滑动杆垂直于直线导轨的延伸方向，腔门平行于竖直方向。通过上述设置，腔门能够实现相对于箱体的开口垂直打开，进而提升箱体的开口在打开状态下的通过面积，便于加工材料在箱体中的取放。

作为本发明提供的镀膜箱的可选方案，传动机构为两个，镀膜箱还包括传动连杆，两个传动机构的固定组件分别布置于箱体的相对两侧壁上，传动连杆连接于两个传动机构的活动组件。通过上述设置，能够实现两侧的传动机构的同时运作，有效提升腔门打开时的平稳性。

作为本发明提供的镀膜箱的可选方案，开口的内侧壁沿周向设置凸台结构，凸台结构与开口的边缘之间的距离大于或等于腔门的厚度，当腔门封盖于箱体的开口时，腔门抵靠于凸台结构。通过上述设置，能够进一步提升腔门与箱体的开口之间的接触可靠性，并有利于减小整个镀膜箱的占用空间。

作为本发明提供的镀膜箱的可选方案，凸台结构和腔门中的一个设置有第一密封件，当腔门封盖于箱体的开口时，第一密封件夹设于凸台结构和腔门之间；和/或，开口的内侧壁凹设有环槽，环槽位于凸台结构朝向腔门的一侧，环槽内设有第二密封件，当腔门封盖于箱体的开口时，第二密封件能够夹设于开口的内侧壁和腔门的周侧面之间。通过上述设置，进一步提升腔门和箱体之间的密封性能。

根据本发明的另一个方面，目的在于提供一种加工设备，加工设备包括气源柜和如上述方案任一项的镀膜箱，气源柜与镀膜箱连通，气源柜用于向镀膜箱通入气体。通过上述设置，能够通过增大镀膜箱的内部可容纳空间，进而提升单次加工的材料数量，进而提升加工效率。

本发明的有益效果：

本发明提供的镀膜箱包括箱体、腔门以及传动机构。该传动机构包括固定组件和活动组件，该固定组件连接于该箱体内壁，该活动组件连接于该腔门，该固定组件为该活动组件提供移动导向。也就是说，该固定组件能够规定该活动组件相对于该固定组件的移动轨迹，进而确定腔门相对于箱体的运动轨迹。该活动组件相对于该固定组件移动，能够带动该腔门运动至平行于该箱体的开口平面，并使得该腔门朝向远离该箱体的方向的转动，该腔门能够运动至与该箱体的竖直方向平行的位置以打开该箱体；或，该活动组件能够带动该腔门转动至平行于该箱体的开口平面，并沿竖直方向靠近该箱体，并封盖于该箱体的开口。也就是说，在传动机构的作用下，该腔门相对于箱体具有两个方式的运动，即腔门相对于箱体在竖直方向上的升降，以及腔门相对于箱体的转动。上述设置能够防止腔门转动打开箱体的开口时，腔门下沉于箱体中的一部分与箱体的开口边沿或箱体内部其他部件造成干涉，使得关闭腔门时，腔门可以低于或者齐平于该箱体的上端面。该腔门封盖于该箱体的开口时，该腔门低于或者齐平于该箱体的上端面，通过上述设置，能够保证箱体的开口与腔门的紧密连接，有利于提升箱体内部的密封性能。

附图说明

图1是本发明实施例提供的镀膜箱的结构示意图；

图2是图1中结构标记为A的局部放大图；

图3是本发明实施例提供的镀膜箱的部分结构示意图一(腔门打开状态)；

图4是本发明实施例提供的镀膜箱的部分结构示意图二(腔门翻转状态)；

图5是本发明实施例提供的镀膜箱的部分结构示意图三(腔门顶升状态)；

图6是本发明实施例提供的镀膜箱的部分结构示意图四(腔门闭合状态)。

图中：

100、箱体；110、凸台结构；

200、腔门；

300、传动机构；310、固定组件；311、直线导轨；312、弧形导轨；320、活动组件；321、驱动杆；322、从动杆；323、支撑架；3231、支撑杆；3232、衔接杆；3233、滑动杆；324、第一滑块；325、第二滑块；

400、传动连杆。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、“左”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

本实施例提供了一种镀膜箱及加工设备。该加工设备包括气源柜和本实施例提供的镀膜箱。气源柜与镀膜箱通过管路连通，气源柜用于向镀膜箱通入气体。

图1示出本发明实施例提供的镀膜箱的结构示意图，参照图1，该镀膜箱包括箱体100、腔门200以及传动机构300。箱体的上端具有开口，该腔门200能够封盖于该箱体100的顶部开口处。传动机构300设置于箱体100内，通过该传动机构300，能够实现腔门200相对于箱体100的开口的打开或封盖。

具体地，传动机构300包括固定组件310和活动组件320，该固定组件310连接于该箱体100内壁，该活动组件320连接于该腔门200。活动组件320的第一端连接于腔门200，活动组件320的第二端与固定组件310滑动连接。该活动组件320相对于该固定组件310移动，能够带动腔门200向远离箱体100的方向直线运动，并使得腔门200向外翻转，以打开箱体100；或，能够带动该腔门200转动至平行于该箱体100的开口平面，并沿竖直方向靠近该箱体100，并封盖于该箱体100的开口。

图3示出本发明实施例提供的镀膜箱的部分结构示意图一(腔门打开状态)；图4示出本发明实施例提供的镀膜箱的部分结构示意图二(腔门翻转状态)；图5示出本发明实施例提供的镀膜箱的部分结构示意图三(腔门顶升状态)；图6示出本发明实施例提供的镀膜箱的部分结构示意图四(腔门闭合状态)。参照图3-图6，该固定组件310呈矩形块状结构，安装于箱体100的内壁，其背离箱体100的内壁的一侧设有导轨。活动组件320包括从动杆322、支撑架323和第一滑块324。支撑架323的一端固定连接于腔门200，支撑架323的另一端通过第一滑块324可转动地连接于从动杆322的端部，第一滑块324滑动设置于导轨。

具体地，该导轨包括相互连通的直线导轨311和弧形导轨312。直线导轨311朝向开口延伸设置，弧形导轨312的第一端与直线导轨311的中间位置连通，弧形导轨312的第二端朝向箱体100的开口延伸设置。该弧形导轨312具体为圆心角为45°的弧形。从动杆322用于带动第一滑块324由直线导轨311滑动到弧形导轨312，以使腔门200远离箱体100的开口后向外翻转，从动杆322还能够带动第一滑块324由弧形导轨312滑动到直线导轨311，以使腔门200向内翻转后靠近开口。通过上述设置，该固定组件310为该活动组件320提供移动导向，通过活动组件320在直线导轨311和弧形导轨312中的滑动，实现腔门200的状态控制。

再为具体地，直线导轨311包括远离开口的第一直线部以及靠近开口的第二直线部。第一直线部与第二直线部的连接处为弧形导轨312的第一端。活动组件320还包括第二滑块325，第二滑块325与第一滑块324间隔设置，第二滑块325滑动设置于第二直线部。第一滑块324滑动设置于第一直线部及弧形导轨312。其中，从动杆322用于带动第一滑块324沿第一直线部做直线往复运动，并带动第二滑块325沿第二直线部做同向的直线往复运动，以使腔门200靠近或远离开口。从动杆322还能够带动第一滑块324在弧形导轨312的第一端和弧形导轨312的第二端之间往复滑动，以使腔门200向外翻转或向内翻转。

更为具体地，该活动组件320还包括驱动杆321，该镀膜箱还包括外部驱动组件。该外部驱动组件的驱动端设置于该箱体100的外侧部。驱动杆321的一端位于弧形导轨312远离开口的一侧，并连接于外部驱动组件的驱动端，在外部驱动组件的驱动作用下，驱动杆321能够转动。驱动杆321的另一端可转动地连接于从动杆322未与支撑架323连接的一端。其中，驱动杆321用于在外部驱动组件的驱动作用下转动，使得第一滑块324、第二滑块325沿直线导轨311滑动，也能够带动第一滑块324沿弧形导轨312滑动。在本实施中，该外部驱动组件可以为减速机和驱动电机的结合，其为现有技术，其结构和原理本实施例在此不做赘述。通过该外部驱动组件，能够实现腔门200的自动控制，相较于人工转动驱动杆321，能够有效减轻人工劳动强度。

作为可选地，在该驱动杆321与外部驱动组件的连接处，设置有密封结构，该密封结构能够在驱动杆321的旋转过程中保证该驱动杆321与箱体100的侧部的贯穿位置处的密封性能，该密封结构可以选择唇形油封、磁流体和机械密封等方式实现。

继续参照图3-图6，支撑架323呈Z形结构，包括依次呈角度依次连接的支撑杆3231、衔接杆3232和滑动杆3233。支撑杆3231的端部连接于腔门200，第二滑块325设置于衔接杆3232和滑动杆3233的衔接处，第一滑块324设置于滑动杆3233远离衔接杆3232的端部。该第一滑块324具体由实现滑动杆3233与从动杆322转动连接的转轴充当。支撑杆3231和衔接杆3232之间的夹角用于避让开口的边缘，防止腔门200打开时出现结构干涉问题。

具体地，弧形导轨312的顶端与直线导轨311的顶端齐平。可选地，支撑杆3231、衔接杆3232和滑动杆3233依次呈直角连接。当第二滑块325位于直线导轨311的顶端，第一滑块324位于直线导轨311与弧形导轨312的连通位置处时，滑动杆3233平行于直线导轨311的延伸方向，腔门200垂直于竖直方向，且位于箱体100的开口上方。当第二滑块325位于直线导轨311的顶端，第一滑块324位于弧形导轨312的顶端时，滑动杆3233垂直于直线导轨311的延伸方向，腔门200平行于竖直方向。通过上述设置，便于避让开口的边缘，同时能够保证腔门200相对于开口完全打开时，腔门200能够呈垂直状态树立于开口的一侧。

继续参照图1，在本实施例中，该传动机构300为两个，该镀膜箱还包括传动连杆400。两个传动机构300分别布置于该箱体100的相对两侧壁上，该传动连杆400连接于两个该传动机构300的从动杆322。当外部驱动组件驱动一个驱动杆321进行转动时，该驱动杆321能够带动与其连接的从动杆322同时转动，在传动连杆400的传动作用下，另一个传动机构300的从动杆322同时转动。通过该传动连杆400，能够保证两个传动机构300动作的同步性，进一步提升腔门200相对于箱体100转动打开或转动闭合动作的稳定性。

可选地，箱体100的开口的内侧壁沿周向设置凸台结构110。凸台结构110与开口的边缘之间的距离大于或等于腔门200的厚度，当腔门200封盖于箱体100的开口时，腔门200抵靠于凸台结构110。也就是说，当该腔门200封盖于该箱体100的开口时，该腔门200一部分嵌设于该箱体100中，通过上述设置，能够有效减小腔门200封盖于该箱体100的开口时，凸出于箱体100的上端面的高度，有利于减小整个镀膜箱的占用空间，并提升腔门200对于开口的封堵可靠性。可选地，在本实施例中，该凸台结构110与开口的边缘之间的距离等于该腔门200的厚度。也就是说，当腔门200封盖于该箱体100的开口时，该腔门200的上端面与该箱体100的上端面齐平。

具体地，凸台结构110和腔门200中的一个设置有第一密封件，当腔门200封盖于箱体100的开口时，第一密封件夹设于凸台结构110和腔门200之间。通过上述设置，能够提升箱体100内部的密封性能。在本实施例中，该第一密封件可选为橡胶密封圈。

再为具体地，开口的内侧壁凹设有纵向开设的环槽，上述环槽位于凸台结构110朝向腔门200的一侧，环槽内设有第二密封件。当腔门200封盖于箱体100的开口时，第二密封件能够夹设于开口的内侧壁和腔门200的周侧面之间。该第二密封件同样可以选择橡胶密封圈，可选地，在箱体100需要具有信号屏蔽功能时，采用屏蔽用密封圈作为第二密封件。

本实施例提供的镀膜箱的关闭过程如下：

参照图3，此时腔门200处于完全打开状态，驱动杆321和从动杆322转动至均平行于竖直方向，第二滑块325滑动至弧形导轨312的顶端，第一滑块324滑动至直线导轨311的顶端，滑动杆3233垂直于竖直方向，腔门200平行于竖直方向。

参照图4，此时腔门200处于翻转状态，图4中所示的是腔门200翻转过程中的一个位置，此时腔门200与箱体100的开口所在平面呈45°夹角。此时，驱动杆321转动，带动从动杆322转动，进而带动第二滑块325沿弧形导轨312并朝向靠近直线导轨311的方向滑动，直至滑动至弧形导轨312与直线导轨311的连通位置，并进入直线导轨311中。

然后，如图5所示，腔门200平行于箱体100的开口所在平面，但是仍然处于箱体100的外部。在这个过程中，该第一滑块324始终处于直线导轨311的顶端。此时腔门200处于顶升状态。

参照图6，驱动杆321继续转动，带动从动杆322继续转动，此时第一滑块324和第二滑块325均位于直线导轨311中，在直线导轨311的限制下，该第一滑块324和第二滑块325在从动杆322的带动下沿直线导轨311向下运动，直至腔门200下沉入箱体100，并坐落于凸台结构110。此时腔门200处于闭合状态。

本实施例提供的镀膜箱的开启过程即为上述关闭过程的相反过程，本实施例在此不做赘述。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。