一种干涉仪

技术领域

本发明涉及光学领域，尤其涉及一种干涉仪。

背景技术

干涉仪是根据光干涉现象制成的一种仪器。光源发出的一束光被分成两束(或多束)，经过不同的路径后再汇合成一束光，在干涉图形检测器中产生干涉图形，光束经过不同路径到达检测器的时间差如果发生改变就会引起干涉图形的改变。光速由光的速率和光的方向构成，现在的干涉仪一般是改变光的相对速率和缩短光程来实现干涉图形的改变，比如流水使水中的光更快到达检测器；移动反光镜使光程缩短等。这些干涉仪对光束方向的微小改变不敏感，从而不能满足对光束微角度变化测量的需要。

发明内容

本发明的目的在于提供一种干涉精度高、使用方便的干涉仪。

为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种干涉仪，包括基座，在基座上设置有光源、分束镜、第一反射镜、第二反射镜以及摆动件；

所述分束镜将光源产生的入射光分成透射的第一光束和反射的第二光束；

所述第一光束经过第一反射镜反射后被分束镜分为第一反射光和第一透射光；

所述第二光束经过第二反射镜反射后被分束镜分为第二反射光和第二透射光；

所述第一反射镜和第二反射镜通过固定架设置于摆动件上，所述摆动件初始位置时，第一透射光和第二反射光两者光程相等，当摆动件带动第一反射镜和第二反射镜来回摆动过程中，使得第一透射光和第二反射光两者产生光程差。

优选的，所述基座上设置有固定座，所述光源、分束镜、第一反射镜、第二反射镜以及摆动件均固设于固定座上。

优选的，所述摆动件包括第一摆臂、第二摆臂以及驱动轴，所述第一反射镜设置于第一摆臂上，所述第二反射镜设置于第二摆臂上，所述驱动轴设置于第一摆臂和第二摆臂两者的连接处。

优选的，所述驱动轴包括转轴、驱动线圈以及驱动磁铁，所述第一摆臂和第二摆臂通过转轴设置于基座上，所述驱动磁铁设置于第一摆臂和第二摆臂两者的连接处上，所述驱动线圈设置于固定座上。

优选的，所述转轴上设置有弹簧轴承。

优选的，所述第一摆臂和第二摆臂凸起形成有固定部，在固定部上设置有用于固定驱动磁铁的U型固定架。所述驱动磁铁设置有多块且所述驱动磁铁分为两组，两组驱动磁铁分别设置于U型固定架的内侧壁上，所述驱动线圈悬空设置于两组驱动磁铁之间。

优选的，所述第一反射镜和第二反射镜均为角镜。

优选的，所述固定座上设置有两安装座，两安装座分别设置于固定座两侧，所述两安装座上分别设置有反光镜。

优选的，所述固定座上设置有第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部上设置有光源，所述第二支撑部上设置有光纤接头。

优选的，所述固定座的中部开设有用于放置分束镜的卡槽，所述分束镜卡设于卡槽内。

与现有技术相比，本发明包括基座，在基座上设置有光源、分束镜、第一反射镜、第二反射镜以及摆动件，所述摆动件初始位置时，第一透射光和第二反射光两者光程相等，当摆动件带动第一反射镜和第二反射镜来回摆动过程中，使得第一透射光和第二反射光两者产生光程差，这样设置的好处在于，摆动件的来回摆动保证了干涉精度，同时也方便了使用人员的实用。

附图说明

图1为本发明所述结构示意图；

图2为本发明的剖视图；

图3为本发明一较佳实施例中摆动件的结构示意图；

图4为本发明一较佳实施例中摆动件的部分结构示意图；

图5为本发明一较佳实施例中摆动件的剖视图；

图中所标各部件名称如下：

1、基座；2、第一摆臂；201、第一反射镜；21、第二摆臂；211、第二反射镜；22、转轴；23、驱动线圈；24、驱动磁铁；25、弹簧轴承；3、连接部；31、固定部；32、U型固定架；4、安装座；41.反光镜；5、第一支撑部；51、光源；52、第二支撑部；53、光纤接头；6、固定座；61、卡槽；62、分束镜。

具体实施方式

以下结合附图1至附图5及具体实施例，对本发明作进一步的详细说明。

本发明公开了一种干涉仪，包括基座1，在基座1上设置有光源51、分束镜62、第一反射镜201、第二反射镜211以及摆动件；所述分束镜62将光源51产生的入射光分成投射的第一光束和反射的第二光束；所述第一光束经过第一反射镜201反射后被分束镜62分为第一反射光和第一透射光；所述第二光束经过第二反射镜211反射后被分束镜62分为第二反射光和第二透射光；所述第一反射镜201和第二反射镜211通过固定架设置于摆动件上，所述摆动件初始位置时，第一透射光和第二反射光两者光程相等，当摆动件带动第一反射镜201和第二反射镜211来回摆动过程中，使得第一透射光和第二反射光两者产生光程差。

优选的，所述基座1上设置有固定座6，并且所述光源51、分束镜62、第一反射镜201、第二反射镜211以及摆动件均设置于固定座6上，这样通过在固定座6在加工过程中将各部件的位置确定，从而提高各部件在固定座6上的安装精度，减少各部件在安装过程中需要手动调节，方便了各部件的安装，同时也提高了各部件的安装精度。

所述第一反射镜201和第二反射镜211均为角镜，这样设置的好处在于，经过角镜的入射光和出射光两者平行，从而保证了光程的情况下，保证入射光和出射光两者平行设置，保证干涉光的精度。

进一步的，所述摆动件包括第一摆臂2、第二摆臂21以及驱动轴，所述第一反射镜201设置于第一摆臂2上，所述第二反射镜211设置于第二摆臂21上，所述第一摆臂2和第二摆臂21两者连接处形成有圆柱状的连接部3，所述驱动轴设置于连接部3的中部，这样所述第一摆臂2和第二摆臂21能绕着驱动轴在周向往复运动。

进一步的，驱动轴包括转轴22、驱动线圈23以及驱动磁铁24，所述第一摆臂2和第二摆臂21通过转轴22设置于基座1上，所述驱动磁铁24设置于连接部3上，所述驱动线圈23设置于固定座6上，所述驱动线圈23与外界电源相连，当外界电源将正向和负向电流以脉冲的形式导入驱动线圈23，所述驱动线圈23形成相应的磁场，该磁场与驱动磁铁24在磁力的作用下使得第一摆臂2和第二摆臂21绕着转轴22顺时针或逆时针发生转动。

进一步的，所述转轴22上设置有弹簧轴承25，所述弹簧轴承25在随着连接部3周向转动过程中发生形变而产生有弹力，所述弹力具有将连接部3回复至初始位置的趋势，具体的，当驱动线圈23通正向电流时使得第一摆臂2和第二摆臂21顺时针摆动至预设位置，并且所述正向电流时长为预设值，而后驱动线圈23通反向电流时使得第一摆臂2和第二摆臂21逆时针摆动至预设位置，并且所述弹簧轴承25形成产生的弹力与驱动磁铁24和驱动线圈23两者产生的磁力共同作用，从而实现了第一摆臂2和第二摆臂21在预设范围内来回摆动，从而实现了第一透射光和第二反射光两者产生光程差恒定。

优选的，所述连接部3上凸起形成有固定部31，具体的，所述固定部31上设置有用于固定驱动磁铁24的U型固定架32，所述驱动磁铁24设置有多块且所述驱动磁铁24分为两组，两组驱动磁铁24分别设置于U型固定架32的内侧壁上，所述驱动线圈23悬空设置于两组驱动磁铁24之间，这样设置的好处在，当驱动线圈23通电产生磁场并与驱动磁铁24产生吸引或排斥的磁力，由于驱动线圈23固定，从而驱动磁铁24能通过U型固定架32带动第一摆臂2和第二摆臂21绕着转轴22在周向方向上往复运动。

优选的，所述固定座6上设置有两安装座4，两安装座4分别设置于固定座6两侧，在两安装座4上分别设置有第一反光镜41和第二反光镜41。

优选的，所述固定座6上还设置有第一支撑部5和第二支撑部52，所述第一支撑部5上设置有光源51，所述第二支撑部52上设置有光谱仪。

所述光源51产生的入射光经反光镜41反射至分束镜62上，所述分束镜62将的入射光分为透射的第一光束和反射的第二光束，所述第一光束经第一反射镜201反射后再次穿过分束镜62并被分束镜62分为第一反射光和第一透射光，所述第二光束经过第二反射镜211反射后再次穿过分束镜62冰杯分为第二反射光和第二透射光，所述第一透射光和第二反射光两者形成干涉光并射至第二反光镜41上，所述第二反光镜41将干涉光反射至光纤接头53后与外接光谱仪相连。

优选的，所述固定座6的中部开设有用于放置分束镜62的卡槽61，所述分束镜62卡设于卡槽61内，所述第一摆臂2和第二摆臂21两者分别位于分束镜62的两侧，

以上所述者，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用来限定本发明的实施范围，即凡依本发明所作的均等变化与修饰，皆为本发明权利要求范围所涵盖，这里不再一一举例。