一种新型洁净舱及其使用方法

技术领域

本发明属于光学洁净密封舱技术领域，具体地说涉及一种新型洁净舱及其使用方法。

背景技术

洁净舱能排除一定空间内的空气中的悬浮微粒等污染物，并将舱内的温湿度、洁净度、压力、气流速度及静电等环境因素控制在某一需求范围内。现有的洁净舱主要采用一侧设计成进气口、对面侧设计成出气口的洁净方式，通过抽真空和充氮气的方法，对舱内的空气进行置换，排出污染物，从而达到洁净的目的。上述洁净方式在一定程度上能够清理舱内的杂质，但是从流体力学角度考虑，进气口和出气口分别设置在两侧，气流路径并不能完全覆盖舱内空间。虽然气体流动过程中会遇到例如镜架等光学元件阻挡，造成一定的紊流和局部涡流，但是，仍然会有较大部分的角落气流无法流过。同时，由于污染物自重的原因，在充氮过程中，位于角落的污染物会被再次吹起，造成二次污染。

发明内容

针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种新型洁净舱及其使用方法，有效解决气流无法覆盖舱内全部空间、位于角落的污染物被再次吹起造成二次污染的问题，提升洁净度。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种新型洁净舱，包括由舱盖、舱体和舱座围成的内腔，所述舱盖上设有进气口，且舱盖上设有与进气口连通并朝向内腔的进气孔，所述舱座上设有用于承载光学元件的光机台，且光机台上设有透气孔，所述光机台与舱座之间设有汇流槽排，且汇流槽排上设有出气口以及与内腔连通的通孔。

进一步，所述舱盖的内部设有空腔，所述进气口位于舱盖的侧面，所述进气孔均布于舱盖下表面。

进一步，所述舱座通过垫块连接光机台。

进一步，所述垫块通过螺栓分别与舱座、光机台连接。

进一步，所述汇流槽排由多根汇流管组成格栅状，所述多根汇流管相互连通，且汇流管表面均布通孔。

进一步，所述出气口位于汇流管上。

进一步，所述进气口连接有进气管，所述出气口连接有出气管。

进一步，所述进气口和出气口均设有2个。

另，本发明还提供一种新型洁净舱的使用方法，包括以下步骤：

S1：将汇流槽排放置于舱座上方，在舱座上固定垫块并将光机台固定在垫块上；

S2：将光学元件置于光机台上，并将舱体分别与舱座、舱盖固连，通过进气口、出气口抽真空充氮置换，即可。

本发明的有益效果是：

在考虑气流均匀性和污染物自重的前提下，采用由上至下的吹气方式，达到气流束对内腔空间全覆盖，进而避免局部空间未被吹到以及污染物再次被吹起来的可能性，有效减少污染物，提高洁净舱内部的洁净度。

附图说明

图1是本发明的纵向剖面示意图；

图2是汇流槽排的结构示意图。

附图中：1-舱座、2-垫块、3-汇流槽排、4-光机台、5-舱体、6-舱盖、7-进气口、8-出气口、9-汇流管、10-通孔。

具体实施方式

为了使本领域的人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合本发明的附图，对本发明的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。此外，以下实施例中提到的方向用词，例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向，因此，使用的方向用词是用来说明而非限制本发明创造。

实施例一：

如图1-图2所示，一种新型洁净舱，包括由舱盖6、舱体5和舱座1围成的内腔，同时，舱体5分别与舱盖6、舱座1固定连接。

所述舱盖6的内部设有空腔，其侧面设有进气口7，同时，舱盖6上设有与进气口7连通并朝向内腔的进气孔，也就是说，气体依次通过进气口7、进气孔进入内腔。优选的，所述进气孔均布于舱盖6下表面。也就是说，进气气流由一股变为均布的气流束，提高进气气流的均匀性。同时，气流束全面覆盖内腔，避免出现气流无法吹到某个局部的现象。

所述舱座1上设有用于承载光学元件的光机台4，所述光学元件为光学仪器、镜架等，且光机台4上均布有透气孔，防止污染物积累。具体的，所述舱座1通过垫块2连接光机台4，同时，所述垫块2通过螺栓分别与舱座1、光机台4连接。

所述光机台4与舱座1之间设有汇流槽排3，且汇流槽排3上设有出气口8以及与内腔连通的通孔。也就是说，本发明采用由上至下的进气方式，避免内腔中的污染物被二次吹气。所述汇流槽排3由多根汇流管9组成格栅状，所述多根汇流管9相互连通，且汇流管9表面均布通孔10，同时，所述出气口8位于汇流管9上。此外，所述进气口7连接有进气管，所述出气口8连接有出气管。优选的，所述进气口7和出气口8均设有2个。

本发明还提供一种新型洁净舱的使用方法，具体为：

装配之前进行洁净处理，装配时，舱座1固定在支撑平台上，汇流槽排3放置于舱座1上方，随后将垫块2通过螺钉固定在舱座1上，之后将光机台4通过螺钉与垫块2连接，最后将舱体5与舱座1通过螺钉固定连接。使用时，将光学元件置于光机台4上，通过进气口7、出气口8抽真空充氮置换，即可以完成内腔空间洁净。在考虑微粒子自重的条件下，从上而下且均匀的气流束完全可以实现对内腔的全覆盖，并避免了局部空间未被吹到以及污染物再次被吹起来的可能性，从而有效的提高洁净舱内部洁净度。

以上已将本发明做一详细说明，以上所述，仅为本发明之较佳实施例而已，当不能限定本发明实施范围，即凡依本申请范围所作均等变化与修饰，皆应仍属本发明涵盖范围内。