掌桥专利:专业的专利平台
掌桥专利
首页

粉末的原子层沉积装置

文献发布时间:2023-06-19 10:38:35


粉末的原子层沉积装置
相关技术
  • 防止粉末沾粘的粉末原子层沉积装置
  • 气体喷注装置、原子层沉积装置以及使用该原子层沉积装置的原子层沉积方法
技术分类

06120112628574