掌桥专利:专业的专利平台
掌桥专利
首页

沉积氮化硅层的方法、该方法形成的结构以及执行系统

文献发布时间:2023-06-19 11:55:48


沉积氮化硅层的方法、该方法形成的结构以及执行系统
相关技术
  • 沉积氮化硅层的方法、该方法形成的结构以及执行系统
  • 使用原子层沉积法的氮化硅膜的形成方法
技术分类

06120113101139