激光装置

技术领域

本发明涉及激光装置。

本申请基于2019年2月27日在日本申请的特愿2019-034377号并主张优先权，在此引用其内容。

背景技术

用作切断或者焊接金属板用激光加工机的光纤激光装置使激光在传输光纤内传播，并向外部射出。在该光纤激光装置中，存在如下情况：从工件反射的反射光朝向光纤激光装置返回，由于意外加热等对光纤、激光二极管(LD)等光学部件给予损伤。因此，需要正确地检测反射光的光量，并向激光输出的控制反馈。

在这一点上，专利文献1公开一种技术，对在芯部传播的反射光和在包层传播的反射光双方进行监测，并向激光输出的控制反馈。

专利文献1：日本特开2018-82045号公报

然而，在激光装置内，公知有被称为“光纤熔断”的现象，即，一旦若产生光纤的烧损则朝向光源在光纤的芯部产生破损。若产生光纤熔断，则导致从产生光纤熔断部位至光源为止存在的光部件破损。近年来，伴随着激光的高输出化，光纤熔断的进行速度也上升，存在光纤熔断产生时装置内受到损伤的区域增大的趋势。

在这一点上，上述的专利文献1所涉及的发明仅对以返回光形式从工件反射的反射光进行监测，并向激光输出的控制反馈。即，在专利文献1中，没有考虑检测光纤熔断这种情况。对于在光纤熔断产生时从被加热至高温的芯部放出并向光源侧传播的可见光而言，由于波长频带和功率均与从工件反射的反射光不同，所以不易通过用于检测反射光的检测器来正确地检测出来。因此，在专利文献1记载的激光装置中，无法正确地检测返回光，不易充分保护光部件。

发明内容

本发明是鉴于这样的现有技术的问题点而完成的，目的在于提供能够正确地检测在光纤传播的返回光的激光装置。

为了解决上述课题，本发明的第一方式所涉及的激光装置具备：至少一个光源；传输光纤，其传播从上述光源射出的激光；以及第1光检测部和第2光检测部，其能够对在上述传输光纤中向与上述激光的传播方向相反方向传播的光的一部分进行检测，上述第1光检测部对可见光的波长频带所含的第1光进行检测，上述第2光检测部对近红外光的波长频带所含的第2光进行检测。

根据这样的结构，从传输光纤向光源侧传播的返回光中的与光纤熔断的产生相伴的可见光能够由第1光检测部检测，从工件反射的反射光(从光源射出的激光)能够由第2光检测部检测。由此，能够正确地检测在激光装置的光纤亦即传输光纤传播的返回光。另外，能够独立地检测光纤熔断和反射光的功率，因此，能够在分别检测出它们的情况下进行不同的控制。

另外，也可以是，上述激光装置还具备监测光纤，上述监测光纤与上述传输光纤光学耦合，并对在上述传输光纤中向与上述激光的传播方向相反方向传播的光的一部分进行传播，上述监测光纤的一端部与上述第1光检测部连接，上述第2光检测部是在与上述监测光纤的外周面对置的位置配置的瑞利监测器。

当在传输光纤中产生了光纤熔断的情况下，在传输光纤的芯部内产生可见光。根据这样的结构，该可见光的一部分在传输光纤的芯部的内部从传输光纤向光源侧传播。在传输光纤的芯部的内部传播的该可见光的一部分向监测光纤耦合，向第1光检测部传播。这样，在光纤熔断达到第1光检测部之前可见光传播至第1光检测部，因此，能够及早地检测光纤熔断。另外，能够从监测光纤实施可见光的检测和反射光的检测双方，因此，能够掌握可见光量和反射光量的总量。

另外，所产生的可见光被封入传输光纤的芯部的内部和监测光纤的芯部的内部并且传播至第1光检测部，因此，能够将由第1光检测部接受的光量确保得较多。由此，能够正确地检测光纤熔断。

另外，第1光检测部比近红外光的波长频带所含的第2光优先地检测可见光的波长频带所含的第1光。由此，在从激光装置输出的信号光的波长包含于近红外光的波长频带的情况下(例如，1070nm)，即便在信号光的返回光向第1光检测部传播的情况下，也由于相比于该信号光的返回光，在第1光检测部中优先检测可见光，所以能够抑制错误检测光纤熔断而正确地检测光纤熔断。

另外，也可以是，在上述激光装置中，上述第1光检测部具备：反射镜，其上述第1光的反射率比上述第2光的反射率低，并且上述第1光的透过率比上述第2光的透过率高；和光电转换部，其供透过了上述反射镜的光入射。

根据这样的结构，能够从向第1光检测部传播的光中分离出近红外光(第2光)和可见光(第1光)，而且使所分离出的可见光向光电转换部传播。由此，能够抑制错误检测光纤熔断而正确地检测光纤熔断。

另外，也可以是，上述第1光检测部具备：反射镜，其上述第1光的反射率比上述第2光的反射率高；和光电转换部，其供由上述反射镜反射的光入射。

根据这样的结构，向光电转换部入射的近红外光(第2光)减少，因此，能够增加向光电转换部入射的光中的可见光(第1光)的比例。由此，能够抑制错误检测光纤熔断而正确地检测光纤熔断。

另外，也可以是，上述反射镜处上述第2光的透过率比上述第1光的透过率高，在俯视上述第1光检测部的情况下，透过了上述反射镜的光所到达的上述第1光检测部的内壁面相对于透过了上述反射镜的光所传播的方向所呈的倾斜角度大于0°且不足90°。

根据这样的结构，能够抑制透过了反射镜的近红外光(第2光)在第1光检测部的内壁面反射并向监测光纤侧返回这种情况。由此，能够抑制在监测光纤附近产生发热。

另外，也可以是，上述反射镜处上述第2光的透过率比上述第1光的透过率高，在俯视上述第1光检测部的情况下，透过了上述反射镜的光所到达的上述第2光检测部的内壁面是曲面。

根据这样的结构，能够抑制透过了反射镜的近红外光(第2光)在第1光检测部的内壁面反射并向监测光纤侧返回。由此，能够抑制在监测光纤附近产生发热。

另外，也可以是，在俯视上述第1光检测部的情况下，反射镜的入射面相对于从上述监测光纤射出的光的传播方向倾斜45°。

根据这样的结构，在俯视第1光检测部的情况下，能够在从监测光纤向第1光检测部入射的光的传播方向上，或者在与从监测光纤向第1光检测部入射的光的传播方向垂直的方向上，配置光电转换部的位置。

另外，也可以是，光电转换部的可见光的波长频带的光电转换效率比近红外光的波长频带的光电转换效率高。

根据这样的结构，能够比近红外光优先地使可见光转换为光电流，能够正确地检测光纤熔断。

也可以是，第2光是从光源射出的激光。

根据这样的结构，即便在从光源射出的激光的返回光向第1光检测部传播的情况下，也通过上述的结构，在第1光检测部中比该激光的返回光优先地检测可见光，因此，能够抑制错误检测光纤熔断而正确地检测光纤熔断。

也可以是，具备：多个输入光纤，其与多个光源光学耦合；和桥接光纤，其具有入射端面和射出端面，且上述多个输入光纤与上述入射端面连接，监测光纤的一端面与桥接光纤的入射端面连接，传输光纤的一端面与桥接光纤的射出端面连接。

根据这样的结构，能够将来自多个光源的光合波的桥接光纤的空端口用作监测光纤，因此，不需要对传输光纤使用光耦合器来使监测用的光分支，可实现结构的简化。另外，激光不会产生因光耦合器引起的插入损失，因此，能够抑制激光的输出降低。另外，不会产生由于光耦合器的插入损失而产生的热，因此，能够提高激光装置的安全性。

另外，也可以是，在俯视桥接光纤的上述入射端面的情况下，上述监测光纤的一端面包含于上述传输光纤的一端面。

根据这样的结构，从传输光纤向光源侧(向与激光的传播方向相反方向)传播的可见光容易与监测光纤耦合。因此，能够稳定地检测光纤熔断。

另外，也可以是还具备滤波器，上述滤波器配置于反射镜与上述光电转换部之间，且可见光的波长频带所含的第1光的透过率比第2光的透过率高。

根据这样的结构，向光电转换部入射的激光减少，因此，能够抑制错误检测光纤熔断而正确地检测光纤熔断。

另外，也可以是，在俯视第1光检测部的情况下，滤波器的入射面相对于向光电转换部入射的光的传播方向的倾斜角度大于0°且不足90°。

根据这样的结构，与滤波器的入射面相对于向光电转换部入射的光的传播方向所呈的倾斜角度为90°的情况相比，能够抑制由滤波器反射的光向监测光纤侧返回。由此，能够抑制在监测光纤的端面附近产生发热。

也可以是，光电转换部具备：将由光电二极管产生的电流信号转换为电压信号的跨阻电路，跨阻电路具备除去电压信号的AC成分的低通滤波器。

在使用激光装置进行加工的情况下，存在根据加工状态而随机地产生等离子体的情况。根据这样的结构，能够除去由等离子体光产生的噪声信号，能够正确地检测光纤熔断。

另外，也可以是，光电转换部具备光电二极管，光电二极管的上述第1光的光电转换效率比上述第2光的光电转换效率高。

根据这样的结构，能够比近红外光(第2光)优先地将可见光(第1光)转换为光电流，能够正确地检测光纤熔断。

另外，也可以是，光电转换部具备：将由光电二极管产生的电流信号转换为电压信号的跨阻电路，跨阻电路具备：除去电压信号的AC成分的低通滤波器。

在使用激光装置进行加工的情况下，存在根据加工状态随机地产生等离子体的情况。根据这样的结构，能够除去由等离子体光产生的噪声信号，能够正确地检测光纤熔断。

另外，也可以是，第1光检测部的内壁面被实施将所入射的光转换为热的粗糙化处理。

根据这样的结构，能够抑制由第1光检测部的内壁面反射的光向监测光纤侧返回。由此，能够抑制在监测光纤的端面附近产生发热。

另外，也可以是，激光装置还具备：判定部，其基于来自第1光检测部的信号判定是否产生了光纤熔断；和控制部，其基于判定部的判定控制从光源输出的激光的功率。

根据这样的结构，能够控制在产生了光纤熔断时来自光源的输出。由此，能够提高激光装置的安全性。

也可以是，激光的功率为1kW以上，从判定部中判定为产生了光纤熔断起至控制部使激光的功率停止为止的时间为100msec以下。

伴随着激光的高输出化，光纤熔断的进行速度也上升。特别是，若成为1kW以上，则熔断以10m/s的速度发展。根据这样的结构，能够缩小在光纤熔断产生时装置内受到损伤的区域。

另外，也可以是，判定部根据来自第2光检测部的信号判定是否产生了超过规定功率的反射光。

在判断为产生了超过规定功率的反射光的情况下，能够控制来自光源的输出。由此，能够提高激光装置的安全性。

另外，也可以是，传输光纤是多模光纤。

根据激光装置，能够及早地检测光纤熔断。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式所涉及的激光装置的概念图。

图2是表示本发明的一实施方式所涉及的第1光检测部的概念图。

图3是表示使图2所示的第1光检测部的局部变形的变形例的概念图。

图4是表示使图2所示的第1光检测部的局部变形的变形例的概念图。

图5是表示使图2所示的第1光检测部的局部变形的变形例的概念图。

图6是表示图2所示的第1光检测部的变形例的概念图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明所涉及的激光装置的优选的实施方式详细地进行说明。

(一实施方式)

对本实施方式的激光装置的结构进行说明。

图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的激光装置的概念图。如图1所示，本实施方式的激光装置1具备多个光源10、桥接光纤20、传输光纤21、监测光纤31、第1光检测部40、第2光检测部70作为主要结构。在本实施方式中，使用多模光纤来作为传输光纤21。

光源10是射出规定波长的信号光的激光源，例如，是光纤激光装置、固体激光装置。在光源10为光纤激光装置的情况下，是谐振器型的光纤激光装置，或者是MO-PA(MasterOscillator Power Amplifier)型的光纤激光装置。从各个光源10射出的信号光是近红外光所含的波长的第2光，在本实施方式中，是1070nm的波长的光。

在各个光源10连接有使从光源10射出的激光传播的输入光纤(输入光纤束)11。各个输入光纤11例如是芯部的直径为20μm左右的少模光纤。因此，从各个光源10射出的激光以2～10左右的LP模，在各个输入光纤11传播。

桥接光纤20是将多个输入光纤11的芯部和传输光纤21的芯部连接的构件。桥接光纤20具有：连接有多个输入光纤11的入射端面20a和连接有传输光纤21的射出端面20b。

在多个输入光纤11传播的激光通过桥接光纤20而合波，生成输出光。所生成的输出光在传输光纤21中传播，向激光装置的外部输出。输出光的功率例如成为1kW以上。

此处，当在传输光纤21中产生了“光纤熔断”现象的情况下，在光纤熔断产生时从被加热至高温的芯部释放可见光。该可见光的一部分在传输光纤21的芯部的内部向光源10侧(向与输出光的传播方向相反方向)传播。在传输光纤21传播的可见光向桥接光纤20的射出端面20b入射，并且从桥接光纤20的入射端面20a射出。

此时，该可见光的一部分向与桥接光纤20的入射端面20a连接的监测光纤31的芯部耦合，在监测光纤31中传播的该可见光的一部分向第1光检测部40传播。这样，产生了光纤熔断的传输光纤21的芯部和第1光检测部40光学耦合，因此，能够使产生光纤熔断时所产生的可见光向第1光检测部40传播。在光纤熔断到达第1光检测部40之前，可见光传播至第1光检测部40，因此，能够及早地检测光纤熔断。

另外，所产生的可见光被封入传输光纤21的芯部的内部和监测光纤31的芯部的内部并且传播至第1光检测部40，因此，能够将由第1光检测部40接受的光量确保得较多。由此，能够正确地检测光纤熔断。

另外，优选在从沿着光轴的方向俯视桥接光纤20的入射端面20a的情况下，与桥接光纤20的入射端面20a连接的监测光纤31的一端面包含于与桥接光纤20的射出端面20b连接的传输光纤21的一端面。

根据这样的结构，从传输光纤21向光源10侧(向与激光的传播方向相反方向)传播的可见光容易与监测光纤31耦合。因此，能够稳定地检测光纤熔断。

在第1光检测部40中对可见光进行光电转换。光电转换后的可见光作为监测信号向判定部50输入。接下来，在判定部50中，将预先决定的阈值与监测信号的值进行比较。在监测信号的值超过预先决定的阈值的情况下，判定部50判定为产生了光纤熔断。基于该判定结果，由控制部60控制光源10的电流，使光源10的输出功率切断或降低。

根据本实施方式，能够及早地检测光纤熔断，因此，通过进行该控制，能够减少在光纤熔断产生时激光装置1内受到损伤的区域，能够使与部件更换等修理相伴的成本减少。

另外，优选从判定部50中判定为产生了光纤熔断起至控制部60使激光的功率停止为止的时间为100msec以下。伴随着激光的高输出化，光纤熔断的进行速度也上升。特别是，若成为1kW以上，则熔断以10m/s的速度发展。根据该结构，能够进一步缩小在光纤熔断产生时装置内受到损伤的区域。

然而，存在从激光装置1向外部输出的输出光被激光的照射对象物反射而作为反射光返回激光装置1内的情况(以下，反射光)。该反射光从传输光纤21入射，向光源侧(向与输出光的传播方向相反方向)传播。与上述的可见光相同，该反射光也传播至第1光检测部40，因此，存在错误检测光纤熔断的产生的可能性。

此处，第1光检测部40对包含作为可见光的波长频带(400nm～700nm)的第1光的光进行检测。具体而言，第1光检测部40比作为近红外光的波长频带(800～2500nm)的第2光优先地检测作为可见光的波长频带的第1光。因此，即便在属于近红外光的波长频带的输出光的反射光向第1光检测部40传播的情况下，也由于在第1光检测部40中比该反射光优先地检测可见光，所以能够抑制错误检测光纤熔断而正确地检测光纤熔断。

此外，本实施方式的第1光检测部成为供在监测光纤31传播的光入射的结构，但不限定于此。也可以在与监测光纤31或者传输光纤21的外周面对置的位置配置第1光检测部。

第2光检测部70在与监测光纤31的外周面对置的位置配置。第2光检测部是所谓瑞利监测器，对在监测光纤31传播的光的瑞利光进行检测。

上述瑞利监测器具备：光电二极管和将由该光电二极管产生的光电流转换为电压(监测信号)的跨阻电路。此处，该光电二极管的近红外光的波长频带所含的光(第2光)的光电转换效率比可见光的波长频带所含的光(第1光)的光电转换效率高。因此，能够比可见光优先地将近红外光向监测信号转换。这样，相比于可见光的波长频带所含的光，第2光检测部70能够优先地检测近红外光的波长频带所含的光，因此，能够正确地检测反射光。

优选属于上述近红外光的波长频带的光是从光源10输出的激光。由此，在入射至上述光电二极管的光中，从工件反射的反射光能够比可见光优先地向监测信号转换。

在第2光检测部70中对反射光进行光电转换。光电转换后的反射光作为监测信号向判定部50输入。接下来，在判定部50中，将预先决定的阈值与监测信号的值进行比较。在判定部50中，在监测信号的值超过预先决定的阈值的情况下，判定为产生了超过规定功率的反射光，并基于该判定结果，由控制部60控制光源10的电流使光源10的输出功率切断或者降低。

本实施方式的第2光检测部70的瑞利监测器配置于监测光纤31的侧方，但也可以配置于传输光纤21的侧方。另外，本实施方式的第2光检测部70成为瑞利监测器，但不限定于此。也可以将监测光纤31或者传输光纤21的最外包层以比该包层高的折射率覆盖，对在该包层传播的反射光进行检测，也可以将该包层的表面粗糙化，并将从该包层泄漏的散射光检测为反射光。另外，也可以利用光耦合器将在监测光纤31或者传输光纤21的芯部中传播的光一部分分支并检测反射光。

根据本实施方式，能够独立地检测光纤熔断和反射光的功率，因此，能够在分别检测出它们的情况下进行不同的控制。例如，也可以是，在检测出光纤熔断的情况下和检测出超过规定功率的反射光的情况下，使显示于未图示的显示部的警报不同。

也可以是，当在判定部50中判定为第2光检测部70产生了超过规定功率的反射光时，降低针对由第1光检测部40光电转换的监测信号的阈值。由此，能够更高速地检测光纤熔断。

存在如下情况：通过使射出可见光的光源(以下，引导光源)经由光纤与桥接光纤20的入射端面20a连接，并使可见光从传输光纤21输出，由此进行激光装置的输出光的定位。在这样的情况下，优选控制部60在切断了引导光源的输出之后进行激光装置射出输出光的控制。由此，能够抑制来自引导光源的可见光以噪声形式出现于由第1光检测部40光电转换后的监测信号的情况。作为其结果，能够降低针对判定部50中由第1光检测部40光电转换后的监测信号的阈值，能够更高速地检测光纤熔断。

(第1光检测部)

使用图2～图6，对一实施方式所涉及的第1光检测部40进行说明。如图2所示，第1光检测部40具备第1光检测部主体41、光电转换部43、可见光反射型反射镜42、监测光纤31局部作为主要结构。另外，在第1光检测部主体41的内部配置有光电转换部43、可见光反射型反射镜42、监测光纤31局部。

此外，在图2～图6中，对相同或者相当的构成要素标注相同的附图标记并省略重复的说明。

如图2所示，在监测光纤31传播并入射至第1光检测部40的光向可见光反射型反射镜42入射。另外，在俯视第1光检测部40的情况下，可见光反射型反射镜42的入射面相对于从监测光纤31的一端部射出的光的传播方向倾斜45°。另外，在与从监测光纤31向第1光检测部入射的光的传播方向垂直的方向上，在由可见光反射型反射镜42反射的光所传播的方向上配置有光电转换部43。

可见光反射型反射镜42中属于可见光的波长频带的光(第1光)的反射率比属于近红外光的波长频带的光(第2光)的反射率高。因此，入射至可见光反射型反射镜42的光中的属于可见光的波长频带的激光由可见光反射型反射镜42反射并向光电转换部43入射。根据这样的结构，在监测光纤31传播的光中，能够比近红外光优先地使可见光向光电转换部43入射。

优选属于上述近红外光的波长频带的光是从光源10输出的激光。能够抑制上述的返回光向第1光检测部40入射，能够正确地检测光纤熔断。

光电转换部43将所入射的光(主要是可见光)转换为监测信号。光电转换部43具备光电二极管和将由该光电二极管产生的光电流转换为电压(监测信号)的跨阻电路。此处，该光电二极管的可见光的波长频带所含的光的光电转换效率比近红外光的波长频带所含的光的光电转换效率高。因此，能够比近红外光优先地使可见光向监测信号转换。由此，能够正确地检测光纤熔断。

优选属于上述近红外光的波长频带的光是从光源10输出的激光。由此，在入射至光电二极管的光中，能够比激光优先地使可见光向监测信号转换，能够正确地检测光纤熔断。

另外，光电转换部43的跨阻电路具备除去监测信号的AC成分的低通滤波器。具体而言，对于跨阻电阻并列地插入电容器。在使用激光装置进行加工的情况下，存在根据加工状态随机地产生等离子体的情况。根据这样的结构，能够从监测信号除去因等离子体光产生的噪声，能够正确地检测光纤熔断。

另外，在可见光反射型反射镜42处，属于近红外光的波长频带的光(第2光)的透过率比属于可见光的波长频带的光(第1光)的透过率高。更具体而言，从光源10输出的激光的透过率比属于可见光的波长频带的光的透过率高。因此，在入射至可见光反射型反射镜42的光中，返回光的成分(从光源10输出的激光的成分)透过可见光反射型反射镜42，向第1光检测部主体41的内壁面入射。

此处，透过了可见光反射型反射镜42的光所入射的第1光检测部主体41的内壁面被实施有黑硬质耐酸铝处理。由此，入射至内壁面的光被内壁面吸收并转换为热。另外，供透过了可见光反射型反射镜42的光入射的第1光检测部主体41的内壁面被实施在化学上使表面粗糙化的磨砂(梨皮)处理。由此，能够使所入射的光散射。这样，通过实施粗糙化处理以防止入射至第1光检测部主体41的内壁面的光向监测光纤31返回，由此，能够抑制由于光被监测光纤的被覆吸收等引起的在监测光纤31附近产生的发热。

并且，第1光检测部40也可以具有不会使入射至第1光检测部主体41的内壁面的光向监测光纤31返回的构造。例如，如图3所示，也可以是，在俯视第1光检测部40的情况下，在第1光检测部40上形成有相对于透过了可见光反射型反射镜42的光所传播的方向倾斜的倾斜面(内壁面)44。透过了可见光反射型反射镜42的光到达倾斜面44。优选倾斜面44的倾斜角度α大于0°且不足90°。根据这样的结构，能够进一步抑制透过了可见光反射型反射镜42的近红外光由第1光检测部主体41的内壁面反射而向监测光纤侧返回这种情况。由此，能够抑制在监测光纤31附近产生的发热。

并且，第1光检测部40也可以具有用于防止入射至第1光检测部主体41的内壁面的光向监测光纤31返回的构造。例如，如图4所示，也可以是，在俯视第1光检测部40的情况下，在第1光检测部40上形成有相对于透过了可见光反射型反射镜42的光所传播的方向弯曲的弯曲面(内壁面)47。透过了可见光反射型反射镜42的光到达弯曲面47。优选弯曲面47是朝向第1光检测部主体41的外侧凸出的曲面状。根据这样的结构，能够抑制透过了可见光反射型反射镜42的近红外光在第1光检测部主体41的内壁面反射而向监测光纤侧返回这种情况。由此，能够抑制在监测光纤附近产生发热的情况。

另外，作为用于在监测光纤31传播的光中比近红外光优先地使可见光向光电转换部43入射的构造，如图5所示，优选将使作为可见光的波长频带的第1光比激光优先透过(换言之，第1光的透过率比第2光的透过率高)滤波器46配置于可见光反射型反射镜42与光电转换部43之间。

在本实施方式中，作为传输光纤21，使用多模光纤进行了说明，但光纤的种类没有特别限定。

(第1光检测部的变形例)

图6示出第1光检测部40的变形例。如图6所示，在监测光纤31传播的光向近红外光反射型反射镜45入射。另外，在俯视第1光检测部40的情况下，近红外光反射型反射镜45的入射面相对于从监测光纤31射出的光的传播方向倾斜45°。另外，在从监测光纤31向第1光检测部40入射的光的传播方向上，在透过了近红外光反射型反射镜45的光所传播的方向上配置有光电转换部43。此外，也可以是，在近红外光反射型反射镜45与光电转换部43之间还具备使可见光的波长频带所含的光透过的滤波器。

在近红外光反射型反射镜45中，属于近红外光的波长频带的光(第1光)的反射率比属于可见光的波长频带的光(第2光)的反射率高。因此，入射至近红外光反射型反射镜45的光中的主要属于近红外光的波长频带的光(主要从光源输出的激光的返回光成分)由近红外光反射型反射镜45反射，并向第1光检测部主体41的内壁面入射。优选在该内壁面如上述那样被实施粗糙化处理。

另外，在近红外光反射型反射镜45中，属于可见光的波长频带的光(第1光)的透过率比属于近红外光的波长频带的光(第2光)的透过率高。更具体而言，可见光的透过率比从光源10输出的激光的透过率高。因此，在入射至近红外光反射型反射镜45的光中，可见光的成分透过近红外光反射型反射镜45并向光电转换部43入射。

根据这样的结构，在监测光纤31传播的光中，能够比近红外光优先地使可见光向光电转换部43入射。

优选本变形例所述的属于近红外光的波长频带的光是从光源10输出的激光。

附图标记说明

1...激光装置；10...光源；11...输入光纤；20...桥接光纤；21...传输光纤；31...监测光纤；40...第1光检测部；42...可见光反射型反射镜；43...光电转换部；45...近红外光反射型反射镜；50...判定部；60...控制部；70...第2光检测部。