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晶圆检查装置和使用晶圆检查装置制造半导体装置的方法

文献发布时间:2023-06-19 12:21:13


晶圆检查装置和使用晶圆检查装置制造半导体装置的方法
相关技术
  • 检查缺陷的方法、进行缺陷检查后的晶圆或者使用该晶圆制造的半导体元件、晶圆或者半导体元件的质量管理方法以及缺陷检查装置
  • 外延晶圆背面检查方法及其检查装置、外延成长装置的起模针管理方法及外延晶圆制造方法
技术分类

06120113268170