光罩组件及显示面板

技术领域

本发明属于半导体技术领域，尤其涉及一种光罩组件及显示面板。

背景技术

在半导体技术领域中，光罩组件为非常重要的构图工具，用于将光罩组件中的图案单元转移到目标衬底上，形成目标衬底上可导电的图案。

在光罩生产、运输、曝光使用过程中，光罩组件与物体进行接触或相互摩擦时会产生大量电荷，并且在周围空气中也存在大量的电荷，这些电荷容易聚集在光罩组件上，产生静电积累，当累积的静电电荷到一定程度时，会发生放电现象，从而击伤光罩组件。

因此，亟需一种新的光罩组件及显示面板。

发明内容

本发明实施例提供了一种光罩组件及显示面板，通过静电防护部以将光罩组件在生产、运输、曝光使用等过程中所产生的静电从第一边缘处导走、释放，避免光罩组件的边缘出现静电击伤，有效提高了产品生产良率，降低了成本。

第一方面，本发明实施例提供了一种光罩组件，包括：第一图案层，所述第一图案层包括第二图案部，以及围绕所述第二图案部的第一图案部，所述第一图案部具有第一边缘，所述第一边缘与所述第一图案层的边缘至少部分重合，至少部分所述第一图案部的所述第一边缘设有向所述第二图案部凹陷的第一凹槽部；静电防护部，在垂直所述第一图案层所在平面的方向上，所述静电防护部与所述第一凹槽部投影至少部分交叠。

第二方面，本发明实施例提供了一种显示装置，包括上述任一实施例中的光罩组件。

与相关技术相比，本发明实施例所提供的光罩组件包括第一图案层，第一图案层中的第一图案部围绕第二图案部设置，即第一图案部相对于第二图案部更靠近第一图案层的边缘设置，通过在至少部分第一图案部的第一边缘设置向第二图案部凹陷的第一凹槽部，以利用第一凹槽部为静电防护部提供设置空间，在垂直第一图案层所在平面的方向上，静电防护部与第一凹槽部投影至少部分交叠，即静电防护部至少部分设于第一凹槽部内，通过静电防护部以将光罩组件在生产、运输、曝光使用等过程中所产生的静电从第一边缘处导走、释放，避免光罩组件的边缘出现静电击伤，有效提高了产品生产良率，降低了成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本发明一种实施例提供的光罩组件的结构示意图；

图2是本发明一种实施例提供的图1中A处的局部放大图；

图3是本发明一种实施例提供的图1中C处的局部放大图；

图4是本发明一种实施例提供的图1中B处的局部放大图；

图5是本发明另一种实施例提供的图1中A处的局部放大图；

图6是本发明又一种实施例提供的图1中A处的局部放大图；

图7是本发明又一种实施例提供的图1中A处的局部放大图；

图8是根据本发明另一种实施例提供的光罩组件的结构示意图；

图9是根据本发明又一种实施例提供的光罩组件的结构示意图；

图10是根据本发明一种实施例提供的显示面板的第二图案层的结构示意图；

图11是本发明一种实施例提供的图10中D处的局部放大图。

具体实施方式

下面将详细描述本发明的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本发明的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本发明可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本发明的示例来提供对本发明的更好的理解。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

为了更好地理解本发明，下面结合图1至图11根据本发明实施例的光罩组件及显示面板进行详细描述。

在现有技术中，光罩组件中的图案部与图案部之间是独立的，当两个独立的图案部面积足够大，且两独立图案部之间存在较小间隙时，两独立图案部之间，在光罩组件生产、运输、曝光使用过程中容易受静电影响，导致光罩组件边缘存在放电击伤，进而影响产品生产良率。

为了解决上述问题，本发明实施例所提供的光罩组件通过静电防护部以将光罩组件在生产、运输、曝光使用等过程中所产生的静电从第一边缘处导走、释放，避免光罩组件的边缘出现静电击伤，有效提高了产品生产良率，降低了成本。

请参阅图1至图2，图1是根据本发明一种实施例提供的光罩组件的结构示意图；图2是本发明一种实施例提供的图1中A处的局部放大图。

本发明实施例提供了一种光罩组件，包括：第一图案层1，第一图案层1包括第二图案部12，以及围绕第二图案部12的第一图案部11，第一图案部11具有第一边缘F1，第一边缘F1与第一图案层1的边缘至少部分重合，至少部分第一图案部11的第一边缘F1设有向第二图案部12凹陷的第一凹槽部K10；静电防护部2，在垂直第一图案层1所在平面的方向上，静电防护部2与第一凹槽部K10投影至少部分交叠。

本发明实施例所提供的光罩组件包括第一图案层1，第一图案层1中的第一图案部11围绕第二图案部12设置，即第一图案部11相对于第二图案部12更靠近第一图案层1的边缘设置，通过在至少部分第一图案部11的第一边缘F1设置向第二图案部12凹陷的第一凹槽部K10，以利用第一凹槽部K10为静电防护部2提供设置空间，在垂直第一图案层1所在平面的方向上，静电防护部2与第一凹槽部K10投影至少部分交叠，即静电防护部2至少部分设于第一凹槽部K10内，通过静电防护部2以将光罩组件在生产、运输、曝光使用等过程中所产生的静电从第一边缘F1处导走、释放，避免光罩组件的边缘出现静电击伤，有效提高了产品生产良率，降低了成本。

进一步的，由于静电防护部2至少部分设于第一凹槽部K10内，即使发生静电击伤，也可以将静电的击伤点限制的第一凹槽部K10内，即静电击伤范围可控，不是无序击伤其它部位，便于对应维修或改进。

在本实施例中，根据实际需要，各第一图案部11之间可以相互独立设置，即各第一图案部11之间具有一定间隔，同理，各第二图案部12之间具有一定间隔，而第一图案部11和相邻的第二图案部12之间也具有一定间隔，以形成对应的膜层图案。

可选的，本发明实施例中的第一图案层1可以采用金属铬Cr材料制备而成。

在本实施例中，至少部分第一图案部11的第一边缘F1设有向第二图案部12凹陷的第一凹槽部K10，其中，根据第一图案部11和第二图案部12的相对位置不同，第一凹槽部K10的具体凹陷方向不同，第一凹槽部K10的凹陷方向可以是沿沿垂直于第一图案层1厚度方向的平面内的任意凹陷。

在本实施例中，静电防护部2可以采用放电尖端J或者连接至少两个第一图案部11的连接线等结构形式，将静电导出或者释放，只要能够防止光罩组件被静电击伤即可。

请参阅图2至图3，图3是本发明一种实施例提供的图1中C处的局部放大图；在一些可选的实施例中，第一图案部11、第二图案部12沿第一方向X、第二方向Y阵列排布，第一方向X和第二方向Y相交；第一凹槽部K10包括第一凹槽K1；沿第一方向X，相邻的两个第一图案部11分别设有相对设置的第一凹槽K1；和/或，沿第二方向Y，相邻的两个第一图案部11分别设有相对设置的第一凹槽K1；其中，在垂直第一图案层1所在平面的方向上，静电防护部2与第一凹槽K1投影交叠。

需要说明的是，在本实施例中，可以将部分第一图案部11沿第一方向X间隔设置，相对应的，在沿第一方向X相邻的两个第一图案部11分别设有相对设置的第一凹槽K1，如图3所示。和/或，将部分第一图案部11沿第二方向Y间隔设置，相对应的，沿第二方向Y，相邻的两个第一图案部11分别设有相对设置的第一凹槽K1，如图2所示，即第一凹槽K1的设置位置需要根据第一图案部11的设置位置进行决定，只要能够使相邻两个第一图案部11的第一凹槽K1相对设置即可。

在垂直第一图案层1所在平面的方向上，静电防护部2与第一凹槽K1投影交叠，即静电防护部2至少部分位于第一凹槽K1内，静电防护部2和设有第一凹槽K1的第一图案部11之间电连接，以便于静电的传导。根据实际需要，可以将部分静电防护部2向远离第一图案层1的方向伸出，以便于将静电导出。

在本实施例中，为了便于制备，第一凹槽K1可以设置于第一图案部11的边角，且为对应第一图案层1最外围的边角位置，既方便形成第一凹槽K1，也便于在第一凹槽K1内形成静电防护部2。

可选的，在第一图案部11呈矩形、平行四边形等由两条直边限定形成边角的图形时，第一凹槽K1可以包括顺次连接的两条边，根据第一凹槽K1的形状不同，两条边之间的夹角也不同。例如，两条边之间的夹角等于90°。

在一些可选的实施例中，第一凹槽K1的深度大于或者等于10μm。可以理解的是，由于相邻的两个第一图案部11的第一凹槽K1相对设置，因而，第一凹槽K1的深度越大，对应的第一图案部11之间的间隙也就越大，有效降低了产生静电的风险，且第一凹槽K1的深度越大，第一凹槽K1用于容纳静电防护部2的空间也就越大，便于设置静电防护部2。

在本实施例中，根据第一凹槽K1的设置位置不同，第一凹槽K1的深度可以理解为，第一凹槽K1朝向第二图案部12凹陷方向的凹陷深度，也可以理解为，在和第一凹槽K1朝向第二图案部12凹陷方向相交的方向上，第一凹槽K1的延伸的深度，例如，在第一凹槽K1包括顺次连接的两条边时，第一凹槽K1的深度可以理解为第一凹槽K1沿任意一条边的延伸方向的深度。

请参阅图4，图4是本发明一种实施例提供的图1中B处的局部放大图；在一些可选的实施例中，第一凹槽部K10包括第二凹槽K2，第二凹槽K2包括顺次连接的三条边；其中，在垂直第一图案层1所在平面的方向上，静电防护部2与第二凹槽K2投影交叠。

可以理解的是，在本实施例中，第二凹槽K2包括顺次连接的三条边，即第二凹槽K2需要设于第一图案部11的边缘中部，而不是第一图案部11的边角位置，第二凹槽K2可以对应整个第一图案层1的外边缘设置，而不是相对的第一图案部11之间的间隙内，以便于形成第二凹槽K2和静电防护部2，降低工艺难度。

在本实施例中，在垂直第一图案层1所在平面的方向上，静电防护部2与第二凹槽K2投影交叠，即静电防护部2至少部分设于第二凹槽K2内，静电防护部2可以直接和形成第二凹槽K2的第一图案部11边缘直接连接。例如，第二凹槽K2包括顺次连接的三条边，位于中间的边对应于第二凹槽K2的底边，另外两条边分别对应于第二凹槽K2的侧边，静电防护部2可以和第二凹槽K2的底边即位于中间的边连接，便于制备。

请参阅图2至图4，在一些可选的实施例中，静电防护部2包括连接至少两个第一图案部11的第一连接线21，通过第一连接线21可以将所产生的静电在被第一连接线21连接的第一图案部11之间传递，提高静电的可传递范围，避免因局部的静电过大，而产生静电击伤，有效提高了产品生产良率，降低了成本。

第一连接线21可以和第一图案层1可以相同的工艺一同成型，即第一连接线21可以和第一图案层1可以采用相同的材料制备，以简化生产工艺，降低生产成本。

可以理解的是，第一连接线21沿垂直其延伸方向的宽度不宜过小，过小则加工难度大，难以成型，且第一连接线21沿垂直其延伸方向的宽度也不宜过大，过大则会影响对应光罩组件所形成的显示面板膜层的具体图形，如造成显示面板上相互独立的两个图形之间发生连接，发生短路问题。

可选的，第一连接线21垂直其延伸方向的宽度范围为0.5μm～1μm。

例如，第一连接线21垂直其延伸方向的宽度可以为0.5μm、0.6μm、0.7μm、0.8μm、0.9μm、1.0μm中的任意一者。经由发明人实验测得，第一连接线21垂直其延伸方向的宽度为0.7μm时，可以保证便于制备的同时，避免在光罩组件所形成的显示面板膜层上产生过多残留，从而避免如显示面板上相互独立的两个图形之间发生连接，发生短路问题。

在一些可选的实施例中，在垂直第一图案层1所在平面的方向上，第一凹槽部K10投影覆盖第一连接线21投影，即第一连接线21可以设于相对的两个第一凹槽K1内，第一连接线21可以和对应形成第一凹槽K1的第一图案部11的边缘连接，如图2或3所示；或者，第一连接线21也可以至少部分设于第二凹槽K2内，如图4所示。

通过将第一连接线21设于第一凹槽K1内，在可以利用第一连接线21连接相邻的第一图案部11的同时，还可以利用第一凹槽K1对于第一连接线21的设置位置进行限定，由于即使出现静电击伤，也会出现在第一连接线21处，因而，可以利用第一凹槽K1对第一连接线21位置进行限制，避免静电无序击伤第一图案部11的其它部位。

可以理解的是，由于相邻的两个第一图案部11的第一凹槽K1相对设置，因而，第一连接线21可以分别和相对的两个第一凹槽K1的底边连接，相对的两个第一凹槽K1的底边也是相对设置的，以便于设置第一连接线21。

第一连接线21也可以至少部分设于第二凹槽K2内，例如，第二凹槽K2包括顺次连接的三条边，位于中间的边对应于第二凹槽K2的底边，另外两条边分别对应于第二凹槽K2的侧边，第一连接线21可以和第二凹槽K2的底边即位于中间的边连接，便于制备。

请参阅图5至图6，图5是本发明另一种实施例提供的图1中A处的局部放大图；图6是本发明又一种实施例提供的图1中A处的局部放大图；在一些可选的实施例中，静电防护部2包括放电部22，放电部22包括沿远离放电部22所在的第一图案部11的方向渐缩设置的放电尖端J，相邻放电尖端J之间间隔设置。

可以理解的是，放电部22能够将其所在的第一图案部11所产生的静电通过放电尖端J释放，避免对第一图案部11造成击伤，放电尖端J可以利用尖端放电的原理进行放电，尖端放电即物体尖锐部分发生的一种放电现象。

可选的，在垂直第一图案层1所在平面的方向上，第一凹槽K1投影覆盖放电部22投影，即放电部22可以设置于第一凹槽K1内，如图5所示，或者，也可以将放电部22部分设置于第二凹槽K2内，并使放电尖端J伸出第二凹槽K2，以便于放电，如图6所示，并无特殊限定。

可选的，在放电部22可以设置于第一凹槽K1内时，由于相邻的两个第一图案部11的第一凹槽K1相对设置，为避免相邻两个放电部22的放电相互干扰，可以对相邻放电尖端J之间的最小距离进行限定。

例如，可以使相邻放电尖端J之间的最小距离大于或者等于0.5μm，以使得相邻两个第一图案部11之间及时进行放电而不影响到其它位置的第一图案部11。相邻放电尖端J之间的最小距离可以等于0.5μm、0.6μm、0.7μm、0.8μm或者其他数值，并无特殊限定。

请参阅图7至图9，图7是本发明又一种实施例提供的图1中A处的局部放大图；图8是根据本发明另一种实施例提供的光罩组件的结构示意图；图9是根据本发明又一种实施例提供的光罩组件的结构示意图；在一些可选的实施例中，光罩组件还包括连接相邻两个第一图案部11的第一边缘F1的第二连接线3；在垂直第一图案层1所在平面的方向上，第二连接线3与第一凹槽部K10投影不交叠。

可以理解的是，由第二连接线3连接的两个第一图案部11为一电连接的整体结构，静电可以在被第二连接线3连接的第一图案部11之间传递，提高静电的可传递范围，避免因局部的静电过大，而产生静电击伤，有效提高了产品生产良率，降低了成本。

在本实施例中，在垂直第一图案层1所在平面的方向上，第二连接线3与第一凹槽部K10投影不交叠，即第二连接线3不设于第一凹槽部K10的第一凹槽K1或者第二凹槽K2内。

可选的，在设有第二连接线3的情况下，静电防护部2可以采用放电部22的结构形式，而非第一连接线21的结构形式，以避免出现第一连接线21和第二连接线3功能重复的情况，可以在利用第二连接线3实现相邻第一图案部11之间的静电传递的同时，利用放电部22进行静电释放，避免第一图案部11出现静电击伤。

请参阅图8至图9，在一些可选的实施例中，光罩组件还包括第三连接线4，第三连接线4连接各第二连接线3。

可以理解的是，由于第二连接线3连接相邻两个第一图案部11，因而，在通过第三连接线4连接各第二连接线3后，可以将各第二连接线3所连接的第一图案部11为一电连接的整体结构，静电可以在被第二连接线3连接的第一图案部11之间传递，例如，可以通过第二连接线3以及第三连接线4将所有的第一图案部11连接，以起到静电防护的作用。

请参阅图8或图9，在一些可选的实施例中，第二连接线3、第三连接线4的延伸轨迹呈直线(如图9所示)或曲线(如图8所示)。例如，第二连接线3、第三连接线4的延伸轨迹可以呈折线、波浪形曲线或者不规则的曲面的形式，只要能够保证第二连接线3、第三连接线4的连接以及第二连接线3和第一图案部11的连接即可。

可选的，第二连接线3、第三连接线4的延伸轨迹呈弧线，弧线不会存在直角尖端，可有效降低静电击伤。

请参阅图10至图11，图10是根据本发明一种实施例提供的显示面板的第二图案层5的结构示意图；图11是本发明一种实施例提供的图10中D处的局部放大图。本发明实施例还提供了一种显示面板，采用上述任一实施例中的光罩组件制备形成。

可选的，显示面板包括第二图案层5，第二图案层5包括第四图案部52以及围绕第四图案部52的第三图案部51，第三图案部51具有第二边缘F2，第二边缘F2与第三图案层的边缘至少部分重合，至少部分第三图案部51设有向第四图案部52凹陷的第二凹槽部K20。

需要说明的是，第二图案层5可以通过光刻工艺中的涂胶、曝光、显影等光刻工艺流程制备形成，第二图案层5可以以光罩组件的第一图案层1作为遮挡层，进行曝光、显影，即第二图案层5中的第三图案部51的图案形状可以和光罩组件第一图案层1中的第一图案部11的图案形状相对应，而第四图案部52的图案形状可以和光罩组件第一图案层1中的第二图案部12的图案形状相对应，同理，由于至少部分第一图案部11的第一边缘F1设有向第二图案部12凹陷的第一凹槽部K10，因而，在至少部分第三图案部51也对应设有向第四图案部52凹陷的第二凹槽部K20，即第二凹槽部K20和第一凹槽部K10相对应。

可选的，由于在光罩组件还设有静电防护部2，且在垂直第一图案层1所在平面的方向上，静电防护部2与第一凹槽部K10投影至少部分交叠，因而，在通过光罩组件制备显示面板的第二图案层5时，若静电防护部2尺寸太小，则受到工艺限制，无法在光罩组件上制备出静电防护部2，而采用可以工艺制备出的静电防护部2的尺寸时，所制备的静电防护部2会产生残留，即可以工艺制备出的静电防护部2的尺寸无法到达现有机台进行曝光显影后无残留的最低限度，即所制备的静电防护部2，会在第二图案层5上产生对应的图形或者部分残留的图形，即第二凹槽部K20边缘设置有至少一个凸起部T，凸起部T对应于静电防护部2的图形或者部分残留的图形，凸起部T具体可以对应于静电防护部2和第一图案部11相连接部分的残留。

本发明实施例所提供的显示面板可以为有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称为OLED)显示面板、量子点发光二极管(Quantum Dot LightEmitting Diodes，简称为QLED)、液晶显示面板(Liquid Crystal Display，简称为LCD)或微型平面显示面板(Micro-OLED或Micro-LED)等。

本发明实施例提供的显示面板可以应用于手机，也可以为任何具有显示功能的电子产品，包括但不限于以下类别：电视机、笔记本电脑、桌上型显示器、平板电脑、数码相机、智能手环、智能眼镜、车载显示器、医疗设备、工控设备、触摸交互终端等，本发明实施例对此不作特殊限定。

以上，仅为本发明的具体实施方式，所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，上述描述的系统、模块和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的位于过程，在此不再赘述。应理解，本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本发明的保护范围之内。

还需要说明的是，本发明中提及的示例性实施例，基于一系列的步骤或者装置描述一些方法或系统。但是，本发明不局限于上述步骤的顺序，也就是说，可以按照实施例中提及的顺序执行步骤，也可以不同于实施例中的顺序，或者若干步骤同时执行。