EL显示装置的制造方法和制造装置、EL显示装置以及电子设备的制造方法

技术领域

本发明涉及EL(electroluminescent：电致发光)显示装置的制造方法和制造装置以及EL显示装置，还涉及电子设备的制造方法。

背景技术

就顶部发射型的有机EL显示装置中的阴极(第二电极)而言，一般形成于显示区域整个面，为了兼顾透光性和导电性，由层厚几nm至几十nm的极薄的金属层或者ITO(氧化铟/锡合金)等形成。特别是ITO等透明电极具有高的面电阻，因此，在显示区域的中央附近，对有机EL元件的电流的供给量由于电压下降而降低，从而容易发生显示质量劣化的现象。因此，进行在划分有机EL元件间的隔壁的对置基板侧(隔壁顶面部)形成分别与阴极导通，并且相互平行地延伸的多条辅助布线(专利文献1)。在此，提出了如下方法：辅助布线通过掩模成膜法来形成。即，用掩模来覆盖EL基体材料面的EL元件区域，使导电材料粒子朝向EL基体材料直线地飞行，从而使该粒子堆积在掩模的间隙部。若如此形成辅助布线，则能减小上述面电阻，从而能缓和显示质量的劣化。

但是，像这样制作辅助布线会存在如下问题：需要用掩模覆盖EL基体材料面的显示区域中的EL元件区域，从而成膜需要很多工时。此外，如果为了显示质量的提高而增大显示区域中的EL元件区域的专有面积，则不得不使将多个EL元件区域的相邻的EL元件区域间隔开而成的隔离区域变窄。

即，有机EL元件越高精细，通过对有机EL元件间进行划分的隔壁而形成的隔离区域越窄，在窄的区域中形成准确地对位的掩模变得非常困难的倾向越强。其结果是，存在如下的问题：成品率下降，产品的质量下降，并且制造成本上升。

此外，难以一次形成俯视格子状的(与纵横交叉的辅助布线对应的)掩模，因此在一次掩模成膜中，仅形成平面方向(以下，在俯视下，将厚度方向标记为Z轴方向，将与厚度方向正交且沿着有机EL元件排列方向的方向标记为X轴方向、Y轴方向)中的一个方向。若采用这样的仅一个方向的辅助布线，则存在实质的面电阻的减小效果不会太大这样的问题。作为这样问题的对策，考虑分阶段地制作沿着X轴方向和Y轴方向的格子状的辅助布线。就是说，为了制作这样的格子状的辅助布线，必须连续进行两次制膜工序。但是，若进行两次制膜工序，则除了存在工时进一步增加这样的问题之外，还会产生在重叠部分辅助布线被膜变得脆弱，从而辅助布线的质量下降等问题。而且，为了避免这样的问题，考虑像专利文献2记载的那样制作与掩模图案相连的部分(与专利文献2所述的间隙对应的部分)，并在一次制膜工序中形成X轴方向和Y轴方向两方的辅助布线，但也仍然存在该相连部分中由于未形成辅助布线而成为高电阻，从而无法充分地达成所期望的目的这样的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007－265756号公报

专利文献2：日本特开2010－153070号公报。

发明内容

发明所要解决的问题

就在EL显示装置中的显示区域的中央附近，对有机EL元件的电流的供给量由于电压下降而降低，从而容易发生显示质量劣化的现象的问题而言，随着EL显示装置的大型化、高精细化，近年来成为大的问题。此外，随着EL显示装置的高精细化，隔离区域进一步变狭小的倾向强烈。形成于狭小的隔离区域的辅助布线当然非常细，容易断线，并且由于基于断线的通电不稳的产生、高电阻化而导致显示区域中的显示质量的下降。

此外，在辅助布线的制膜时使用的掩模通过成膜后的加热、利用药品进行的清洗而从EL显示装置的EL基体材料被去除。此时，在构成EL元件的EL材料是有机物的情况(有机EL元件的情况)下，无法避免EL材料由于热、药品而劣化的问题，寻求一种简单且能对辅助布线进行稳定的通电的、可靠性高的辅助布线的制造方法来代替掩模法。

因此，本发明是鉴于上述实际状况而完成的，其目的在于，提供能在EL显示装置中的显示区域成膜出可靠性高的辅助布线的EL显示装置的制造方法，而且其目的在于，提供用于实现该制造方法的制造装置，并且提供具备可靠性高的辅助布线的EL显示装置。此外，其目的在于，提供能在电子设备成膜出可靠性高的布线的电子设备的制造方法。

上述问题、目的在有机EL显示装置中尤为显著，因此以有机EL显示装置为例进行了说明，但需要在构造上狭小且高度低的(例如10μm以下)的隔离区域中成膜出辅助布线的其他的EL显示装置中也存在同样的问题，因此，不言而喻，本申请发明一般应该应用于EL显示装置。

用于解决问题的方案

用于达成上述目的的本发明的EL显示装置的制造方法的特征构成在于，所述EL显示装置具备第一电极、与所述第一电极对置地设置的第二电极、在被所述第一电极和所述第二电极以能通电的方式夹持的状态下分别发光的多个EL材料层以及将所述多个EL材料层中相邻的EL材料层间隔开的隔壁，所述EL显示装置包括显示区域，该显示区域包括：多个EL元件区域，在从所述多个EL材料层的厚度方向观察的情况下，使来自所述多个EL材料层的每一个的光透过所述第二电极而射出；以及隔离区域，是通过所述隔壁将所述多个EL元件区域中相邻的所述EL元件区域间隔开而成的，其中，所述隔壁在所述厚度方向比所述多个EL元件区域突出，作为所述隔壁的突端部的隔壁顶面部包括所述第二电极的一部分，在所述EL显示装置的制造方法中进行：供给工序，在具有圆筒状周壁的转印介质上的转印区域涂布使导电性粒子分散在溶剂中而得到的导电性油墨，从而形成导电性油墨被膜；以及转印工序，使所述转印介质绕所述圆筒状周壁的轴心旋转，并且将形成于所述圆筒状周壁的所述转印区域上的所述导电性油墨被膜压接至所述显示区域并转印至所述隔壁的所述隔壁顶面部，由此在该隔壁顶面部形成与所述第二电极电连接的辅助布线。

根据上述构成，当电流流至EL元件区域的第一电极与第二电极之间时，EL元件区域中的EL材料层发光，从而EL显示装置的显示区域整体发光。此时，显示区域的中央部与周缘部相比，与电源的距离更远，会发生因电压下降而引起的电流量的减少，因此有发光量降低的倾向。因此，通过在显示区域中的隔离区域形成与第二电极电连接的辅助布线，能防止该电流量的降低。

当通过压接导电性油墨被膜并转印至形成隔离区域的隔壁的隔壁顶面部的转印工序来形成该辅助布线时，能遍及隔离区域的整个区域(存在于隔离区域的所有的隔壁顶面部)地一次成膜。因此，在将辅助布线转印至隔壁顶面部时，不需要进行EL元件区域的掩模和辅助布线的图案化，就能简单地在显示区域中的隔离区域的整个区域进行成膜。

此外，该转印工序是将在具有圆筒状周壁的转印介质上的转印区域形成的导电性油墨被膜转印至显示区域的工序，因此，仅将转印介质的转印区域对位为能覆盖显示区域的状态，而不需要微细的对位。具体而言，仅通过仅对转印介质的旋转移动量和与显示区域的相对的水平移动距离进行调整的对位，就能将转印介质的转印区域对位为能覆盖显示区域的状态。因此，与一边微细地将掩模进行对准一边进行制膜相比，能极其简单地以高精度实现导电性油墨被膜相对于隔离区域的对位。

而且，导电性油墨被膜是在具有圆筒状周壁的转印介质上的转印区域涂布使导电性粒子分散在溶剂中而得到的导电性油墨而形成的，因此，可以通过转印介质的旋转动作来进行对平面上的隔离区域整个面的转印动作，因此能容易地控制压接所需的对位、压接强度。

此外，预先设为不使用转印用的树脂片基体材料等，而反复使用具有圆筒状周壁的转印介质，由此能作为以低成本且环境负荷低的方式形成导电性油墨被膜的制造方法。

此外，在上述构成中，也可以是，在所述转印工序中，在所述显示区域中所述隔壁顶面部的整个区域形成所述导电性油墨被膜。

导电性油墨被膜可以通过进行烧成(Curing)而直接作为辅助布线。因此，导电性油墨被膜的面积形成得尽可能宽的话，通电电阻小，显示区域中的显示质量的改善效果高。即，可以说在显示区域中形成于隔壁顶面部的整个区域(在俯视观察下与隔壁顶面部重叠的整个区域)是最有效的。通过进行上述转印工序，容易使导电性油墨被膜遍布至隔离区域中的隔壁的隔壁顶面部的各个角落(在俯视观察下隔壁顶面部的轮廓部分)，从而能大大期待显示质量的改善效果。

此外，在上述构成中，也可以是，所述EL材料层由有机EL材料形成。

就在EL显示装置中的显示区域的中央附近，对有机EL材料的电流的供给量由于电压下降而降低，从而显示质量劣化的现象而言，在使用容易受在制造工序中的热、药品的使用制约的有机EL材料的情况下，是特别难以回避的问题，没有其他有效的代替手段，因此可以说上述构成的形成辅助布线的EL显示装置的制造方法的应用价值高。

此外，在上述构成中，也可以是，所述EL元件区域的所述第二电极具有与所述多个EL材料层对置的第一面和所述第一面的相反侧的第二面，所述隔离区域的所述第二电极具有与所述隔壁对置的第三面和所述第三面的相反侧的第四面，在所述EL元件区域的至少一部分，所述第四面相对于所述第二面的高度为10μm以下。

此外，在上述构成中，也可以是，所述隔离区域中的所述隔壁顶面部的至少一部分的宽度为20μm以下。

此外，在上述构成中，也可以是，所述辅助布线的厚度为2μm以下。

就在EL显示装置中的显示区域的中央附近，对EL材料层的电流的供给量由于电压下降而降低，从而显示质量劣化的现象而言，特别是随着EL显示装置的大型化、高精细化而可能会成为深刻的问题，但随着EL显示装置的高精细化的推进，与各EL材料层对应的各EL元件区域小，从而将各EL元件区域间隔开的隔壁不得不变细、变薄。即使在隔离区域中的第二电极的表面相对于EL材料元件区域中的第二电极层的表面的高度成为10μm以下，或者隔离区域中的隔壁顶面部的宽度成为20μm以下的情况下，仅进行上述转印工序，就能在隔壁顶面部(或者隔壁顶面部的整个区域)形成辅助布线的厚度成为2μm以下的导电性油墨被膜。由此，能比较容易地在隔壁的隔壁顶面部设置厚度比较薄的辅助布线，从而可以说上述EL显示装置的制造方法的应用价值高。

此外，在上述构成中，也可以是，所述转印工序在使所述EL显示装置从载置有所述EL显示装置的载置面浮起的状态下执行。

本发明的EL显示装置的制造装置的特征构成在于，具备：载置台，载置EL基体材料，该EL基体材料具备第一电极、与所述第一电极对置地设置的第二电极、在被所述第一电极和所述第二电极以能通电的方式夹持的状态下分别使光透过所述第二电极而射出的多个EL材料层以及将所述多个EL材料层中相邻的EL材料层间隔开并突出的隔壁；转印介质，在保持了含有使导电性粒子分散在溶剂中而得到的导电性油墨的导电性油墨被膜的状态下，绕轴心旋转自如并且相对于所述载置台接近/分离移动自如地横架配置于所述载置台的上方；压接机构，对载置于所述载置台上的所述EL基体材料与所述转印介质的相对距离进行控制，并对所述载置台上的所述EL基体材料与所述转印介质的接触度进行调整；保持机构，以所述载置台的所述EL基体材料成为水平的方式，对所述载置台的载置所述EL基体材料的载置面进行保持；以及转印对位机构，具有旋转机构和水平移动机构，该旋转机构使所述转印介质绕轴心旋转，该水平移动机构与所述转印介质的旋转同步地，使所述转印介质和载置于所述载置台上的所述EL基体材料中的至少一方相对地水平移动。

根据上述构成，能配置为如果在载置台载置EL基体材料，其中，该EL基体材料具备第一电极、与第一电极对置地设置的第二电极、在被第一电极和第二电极以能通电的方式夹持的状态下使光透过第二电极而射出的多个EL材料层以及将多个EL材料层中相邻的EL材料层间隔开并且突出的隔壁，则能从载置台上的EL基体材料的上表面侧转印导电性油墨被膜。此外，能在保持了含有使导电性粒子分散在溶剂中而得到的导电性油墨的导电性油墨被膜的状态下，将绕轴心旋转自如并且相对于载置台接近/分离移动自如地横架配置的转印介质配置于载置台的上方。而且，当保持于载置台的载置面的EL基体材料被保持机构保持为水平，通过压接机构来控制该EL基体材料与转印介质的相对距离，并且一边调整该EL基体材料与转印介质的接触度一边使其接触时，能将形成于转印介质的导电性油墨被膜仅转印至EL基体材料隔壁部的上表面。此时，具备转印对位机构，该转印对位机构具有：旋转机构，使转印介质绕轴心旋转；以及水平移动机构，与转印介质的旋转同步地，使载置于载置台的EL基体材料水平移动，因此，能将导电性油墨被膜准确地转印至EL基体材料，从而能在隔离区域的整体形成导电性油墨被膜。因此，通过该导电性油墨被膜来形成辅助布线，因此能以极其简单且可靠的工序来制造具有可靠性高的辅助布线的EL显示装置。

此外，在上述构成中，也可以是，所述压接机构是如下构成：具备将所述转印介质横架支承的一对臂，独立地控制各臂的转印介质支承高度，并控制所述EL基体材料与所述转印介质的相对距离。

根据上述构成，优选的是，能更精度良好地进行通过压接机构实现的EL基体材料与转印介质的相对距离的控制。

此外，在上述构成中，也可以是，具备对所述转印介质供给导电性油墨，从而形成所述导电性油墨被膜的成膜用喷嘴的构成。

根据上述构成，能经由成膜用喷嘴将导电性油墨(在本公开中包括导电性糊剂)均匀地供给并涂布至转印介质的转印区域，从而容易更均匀地形成在转印区域形成的导电性油墨被膜的厚度，因此优选。

此外，在上述构成中，也可以是，所述载置台具备使所述EL基体材料从所述载置面浮起的上浮机构，所述压接机构是对所述转印介质与在通过所述上浮机构而浮起的状态下载置于所述载置台上的所述EL基体材料的相对距离进行控制，并且对所述转印介质与所述EL基体材料的接触度进行调整的构成，所述水平移动机构与所述转印介质的旋转同步地，使所述转印介质和在通过所述上浮机构而浮起的状态下载置于所述载置台上的所述EL基体材料中的至少一方相对地水平移动。

本发明的EL显示装置的特征构成在于，具备EL基体材料，该EL基体材料具备第一电极、与所述第一电极对置地设置的第二电极、在被所述第一电极和所述第二电极以能通电的方式夹持的状态下分别发光的多个EL材料层以及将所述多个EL材料层中相邻的EL材料层间隔开的隔壁，其中，所述EL显示装置包括显示区域，该显示区域包括：多个EL元件区域，在从所述多个EL材料层的厚度方向观察的情况下，使来自所述EL材料层的每一个的光透过所述第二电极而射出；以及隔离区域，是通过所述隔壁将所述多个EL元件区域中相邻的EL元件区域间隔开而成的，所述隔壁在所述厚度方向比所述多个EL元件区域突出，与所述第二电极电连接的辅助电极在所述显示区域中配置于作为所述隔壁的突端部的隔壁顶面部的整个区域。

根据上述构成，特别是，形成与第二电极电连接的辅助电极的导电性油墨被膜在显示区域中形成于隔壁顶面部的整个区域，因此，可以说在上述EL显示装置的制造方法的应用价值高的EL显示装置中，成为具有可靠性高的辅助布线、显示质量高的EL显示装置。

本发明的电子设备的制造方法的特征构成在于，所述电子设备具备基板和设于所述基板上的规定的区域内的隔壁，其中，所述隔壁在所述基板的所述厚度方向突出，并具有作为突端部的隔壁顶面部，在所述电子设备的制造方法中进行：供给工序，在具有圆筒状周壁的转印介质上的转印区域涂布使导电性粒子分散在溶剂中而得到的导电性油墨，从而形成导电性油墨被膜；以及转印工序，使所述转印介质绕所述圆筒状周壁的轴心旋转，并且将形成于所述圆筒状周壁的所述转印区域上的所述导电性油墨被膜压接至所述区域并转印至所述隔壁的所述隔壁顶面部，由此在该隔壁顶面部形成布线。

在上述构成中，也可以是，所述转印工序在使所述基板从载置有所述基板的载置面浮起的状态下执行。

如以上那样，本申请中的载置不限于转印时EL基体材料与载置面物理上接触的方案，还包括即使在转印前后EL基体材料与载置面物理上接触，也至少在转印时EL基体材料浮起，EL基体材料与载置面不再物理上接触的方案。

发明效果

因此，能提供能在EL显示装置中的显示区域成膜出可靠性高的辅助布线的EL显示装置的制造方法和制造装置，此外，能提供具备可靠性高的辅助布线的EL显示装置。此外，能提供在电子设备成膜出可靠性高的布线的电子设备的制造方法。

需要说明的是，根据上述构成，在EL基体材料中，在对辅助布线供电时，隔离区域狭小的情况下，也可以考虑从EL基体材料的背面经由通孔等进行供电，但如上述的说明那样，也有时难以在狭小的隔离区域形成通孔等。

在这样的情况下，能从设于显示区域的周边的驱动电路等进行供电，从而能毫无问题地应对EL显示装置的高精细、大画面要求。

附图说明

图1是表示EL显示装置的构成的电路构成图。

图2是电路构成图中的像素驱动电路的一个例子。

图3是EL显示装置的显示区域中的纵剖侧视图。

图4是EL基体材料的显示区域的示意图。

图5是EL显示装置的制造装置的局部纵剖侧视图。

图6是对EL显示装置的制造方法的工序进行说明的示意图。

图7是其他实施方式的载置台的说明图。

图8是其他实施方式的载置台的说明图。

具体实施方式

以下，对本发明的实施方式的EL显示装置的制造方法和制造装置、EL显示装置以及电子设备的制造方法进行说明。需要说明的是，以下记载了优选的实施例，但这些实施例分别是为了更具体地例示本发明而记载的，可以在不脱离本发明的主旨的范围进行各种各样的变更，本发明不限定于以下的记载。

[EL显示装置]

图1中示出了本发明的实施方式的EL显示装置。该EL显示装置1被用作有机EL显示装置，在基板11上的显示区域11A中，多个有机EL元件10R、10G、10B被配置为二维矩阵状。有机EL元件10R、10G、10B分别产生红色的光(波长620nm～750nm)、绿色的光(波长495nm～570nm)、蓝色的光(波长450nm～495nm)。有机EL元件10R、10G、10B相当于子像素点(R像素、G像素、B像素)，将这三个R像素、G像素、B像素的组作为一个像素点(像素)进行图像显示。在显示区域11A的周边设有影像显示用的信号线驱动电路11B和扫描线驱动电路11C。

在显示区域11A内例如设有有源型的驱动电路(像素驱动电路11D)。如图2所示，像素驱动电路11D具有驱动用的晶体管Tr1和写入用的晶体管Tr2，在晶体管Tr1、Tr2之间设有电容器CS。在第一电源线(Vcc)与第二电源线(GND)之间，有机EL元件10R(或有机EL元件10G、10B)串联连接于晶体管Tr1。信号线驱动电路11B通过配置于列方向的多个信号线11Ba向晶体管Tr2的源电极供给图像信号。扫描线驱动电路11C通过配置于行方向的多个扫描线11Ca向晶体管Tr2的栅电极依次供给扫描信号。

图3是表示图1所示的显示装置的截面构成的图。需要说明的是，在图3中示出了与具有有机EL元件10R、10G、10B的像素对应的区域。有机EL元件10R、10G、10B设于基板11和对置基板21之间。在基板11上设有驱动电路层13，该驱动电路层13包括分别对有机EL元件10R、10G、10B进行驱动的像素驱动电路11D。以覆盖该驱动电路层13的方式形成平坦化膜14，在平坦化膜14上例如设有作为阳极的第一电极15。第一电极15与设于驱动电路层13的晶体管Tr1电连接。

在有机EL元件10R、10G、10B中，从基板11侧起依次层叠有第一电极15、发光的EL材料层17以及第二电极18。EL材料层17被配置为被第一电极15和第二电极18以能通电的方式夹持的状态。此外，形成有将多个EL材料层17的相邻的EL元件区域间隔开的隔壁16。

在这些有机EL元件10R、10G、10B上，以密封层19为间隔贴合有对置基板21。在需要抑制漫反射的情况下，也可以在对置基板21形成黑矩阵层20(遮光层)。而且，也可以在黑矩阵之间形成具有漫反射防止功能的平坦化膜23。

该EL显示装置1例如是在EL材料层17产生的光从第二电极18侧射出的、所谓顶部发射方式(上表面发光方式)的有机EL显示装置。此外，在图3所示的例子中，EL材料层17包括按每个有机EL元件10R、10G、10B而发出不同的颜色的光的EL材料。以下，对各部分的构成进行说明。

基板11例如由玻璃、硅(Si)晶片、树脂或者导电性基板等构成。作为导电性基板，例如可以使用通过氧化硅(SiO

在驱动电路层13例如形成有晶体管Tr1、Tr2等像素晶体管和电容器CS等，但在此仅图示出它们中的晶体管Tr1。晶体管Tr1例如是底栅型的薄膜晶体管(TFT：Thin FilmTransistor)，例如由MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor：金属氧化物半导体场效应晶体管)构成。在该晶体管Tr1中，在基板11上例如依次层叠有隔着绝缘膜而图案形成的栅电极、栅极绝缘膜、形成沟道的半导体薄膜以及层间绝缘膜。此外，在半导体薄膜的两端侧邻接地形成有源电极和漏电极。第一电极15电连接于晶体管Tr1的漏电极。需要说明的是，晶体管Tr1不限于这样的底栅型，也可以是顶栅型。此外，半导体薄膜既可以由结晶硅和非晶硅等构成，也可以由氧化物半导体构成。

平坦化膜14用于使形成有驱动电路层13的基板11的表面平坦化，并均匀地形成有机EL元件10R、10G、10B的各层的膜厚。该平坦化膜14设有用于将第一电极15与晶体管Tr1的漏电极电连接的接触孔，还起到防止它们不必要地接触的作用。作为平坦化膜14的构成材料，例如可以举出聚酰亚胺树脂，丙烯酸树脂以及酚醛树脂等有机材料，或者氧化硅(SiO

第一电极15按各有机EL元件10R、10G、10B的每一个电分离地设置，并且具有光反射性，在提高发光效率的方面希望具有尽可能高的反射率。此外，第一电极15被用作阳极，因此理想的是由空穴注入性高的材料构成。这样的第一电极15的层叠方向的厚度(以下，仅称为厚度)例如为100nm以上且5μm以下。作为第一电极15的构成材料，可以举出铬(Cr)、金(Au)、铂(Pt)、镍(Ni)、铜(Cu)、钼(Mo)、钨(W)、钛(Ti)、钽(Ta)、银(Ag)、铝(Al)等金属元素的单质或合金。在第一电极15的表面也可以设有铟和锡的氧化物(ITO)等透明导电膜。第一电极15的厚度可以根据布线电阻与反射率(表面粗糙度)的平衡来适当设定。需要说明的是，铝虽然反射率高，但表面会产生氧化膜，或者因功函数不大而产生空穴注入势垒，但能通过设置适当的空穴注入层来作为第一电极15使用。此外，第一电极15既可以是上述金属的单质或合金的单层膜，也可以是层叠膜。

如图3、图4所示，隔壁16用于将第一电极15按每个像素和各像素的每个有机EL元件进行电分离，并且确保第一电极15与第二电极18之间的绝缘性。隔壁16与各第一电极15对置并具有开口，形成有机EL元件10R、10G、10B各自的EL元件区域11Aa。该隔壁16例如由氧化硅或者聚酰亚胺等绝缘材料构成，也具有遮光性。隔壁16形成为包围使显示区域11A中EL材料层17各自的发光透过第二电极18而射出的多个EL元件区域11Aa的格子状。并且，形成将多个EL元件区域11Aa的相邻的EL元件区域11Aa、11Aa间隔开的隔离区域11Ab。隔壁16在EL材料层17的厚度方向比多个EL元件区域11Aa突出。需要说明的是，显示区域11A、多个EL元件区域11Aa以及隔离区域11Ab是从EL材料层17的厚度方向观察的情况下的区域。

隔离区域11Ab形成于各像素彼此之间以及各有机EL元件10R、10G、10B彼此之间。以往，在宽度15μm～30μm左右的各像素间的隔离区域11Ab设置了辅助布线22，但随着高精细化，难以在宽度15μm左右以下的各有机EL元件10R、10G、10B彼此之间的隔离区域11Ab形成辅助布线22。在这样的隔离区域11Ab中，作为隔壁16的突端部的隔壁顶面部16a的高度为10μm以下。隔壁顶面部16a的高度可以为5μm以下，也可以为3μm以下。此外，隔壁顶面部16a的高度也可以为1μm以上。隔壁顶面部16a包括第二电极18的一部分。该第二电极18既可以覆盖各隔壁16的突端面的整体，也可以仅覆盖各隔壁16的突端面的一部分。

需要说明的是，在本实施方式中，隔壁顶面部16a的高度是指，隔离区域11Ab中的第二电极18的表面(与隔壁16对置的面的相反侧的面)相对于EL元件区域11Aa中的第二电极18的表面(与EL材料层17对置的面的相反侧的面)的高度的意思。此外，隔离区域11Ab中的隔壁顶面部16a的宽度在像素间为20μm以下，在各像素内的有机EL元件10R、10G、10B(子像素)彼此之间为20μm以下。隔壁顶面部16a的宽度可以为10μm以下，也可以为5μm以下。

第一电极15、第二电极18、EL材料层17以及隔壁16构成EL基体材料1A。EL基体材料1A还包括晶体管Tr1和基板11等。需要说明的是，在提到EL基体材料1A中的隔壁顶面部16a的情况下，是指与对置基板21对置的隔壁16的面中的、包括对置基板21方向上与基板11离得最远的面的部分。例如，隔壁顶面部16a是隔壁16的突端面。在覆盖隔壁16的至少一部分地形成有第二电极18等其他的覆盖层的情况下，是指与对置基板21对置的隔壁16的面和其他的覆盖层的面中的、包括与基板11离得最远的面的部分区域。

也可以是，EL材料层17形成在被第一电极15和第二电极18以能通电的方式夹持的状态下发光的发光层，并且除此之外还包括例如空穴输送层(HTL：Hole TransportLayer)、空穴注入层(HIL：Hole Injection Layer)以及电子输送层(ETL：ElectronTransport Layer)等。

在EL材料层17中，当施加电场时，发生电子与空穴的再结合，从而产生光。

EL材料层17例如由按每个有机EL元件10R、10G、10B而不同的材料构成。在有机EL元件10R形成有发红色光的红色EL材料层17R，在有机EL元件10G形成有发绿色光的绿色EL材料层17G，在有机EL元件10B形成有发蓝色光的蓝色EL材料层17B。

在红色EL材料层17R中，通过施加电场，从第一电极15注入的空穴的一部分与从第二电极18注入的电子的一部分再结合，从而产生红色的光。这样的红色EL材料层17R例如包括红色发光材料、空穴输送性材料、电子输送性材料以及双电荷输送性材料中的至少一种。红色发光材料既可以是荧光性的也可以是磷光性的。这样的红色EL材料层17R例如厚度为200nm左右，并由在4,4'-双(2,2-二苯乙烯基)联苯(DPVBi)中混合了30重量％的2,6-双[(4'－甲氧基二苯基氨基)苯乙烯基]-1,5-二氰基萘(BSN)而成的物质构成。

在绿色EL材料层17G中，通过施加电场，从第一电极15注入的空穴的一部分与从第二电极18注入的电子的一部分再结合，从而产生绿色的光。这样的绿色EL材料层17G例如包括绿色发光材料、空穴输送性材料、电子输送性材料以及双电荷输送性材料中的至少一种。绿色发光材料既可以是荧光性的也可以是磷光性的。这样的绿色EL材料层17G例如厚度为200nm左右，并由在DPVBi中混合了5重量％的香豆素6而成的物质构成。

在蓝色EL材料层17B中，通过施加电场，从第一电极15注入的空穴的一部分与从第二电极18注入的电子的一部分再结合，从而产生蓝色的光。这样的蓝色EL材料层17B例如包括蓝色发光材料、空穴输送性材料、电子输送性材料以及双电荷输送性材料中的至少一种。蓝色发光材料既可以是荧光性的也可以是磷光性的。这样的蓝色EL材料层17B例如厚度为200nm左右，并由在DPVBi中混合了2.5重量％的4,4′-双[2-[4-(N,N-二苯氨基)苯基]-乙烯基]联苯(DPAVBi)而成的物质构成。

空穴输送层用于提高向各色的EL材料层17的空穴注入效率，也可以兼作空穴注入层。空穴输送层例如厚度为40nm左右，并由4,4',4”-三((3-甲基苯基苯基氨基)三苯胺(m-MTDATA)或α-萘基苯基二胺(αNPD)构成。

电子输送层由8-羟基喹啉和铝(Alq3)构成。

此外，也可以是，在这样的EL材料层17与第二电极18之间设有电子注入层(EIL：Electron Injection Layer)。电子注入层是电子输送性的有机材料和低功函数的金属材料的混合层。电子输送性的有机材料例如是8-羟基喹啉和铝(Alq3)，金属材料例如是镁(Mg)、钙(Ca)、锂(Li)等。或者，电子注入层例如也可以由将镁、钙、锂、铝、银等金属中的至少两种材料混合而成的合金构成。

第二电极18具有透光性，例如有机EL元件10R、10G、10B全部共同地遍及显示区域11A的整个面形成。该第二电极18例如由铟锡氧化物(ITO)、氧化锌(ZnO)、氧化铝掺杂氧化锌(AZO)、镓氧化物掺杂氧化锌(GZO)、铟锌氧化物(IZO)或者铟钛氧化物(ITiO)等透明导电膜构成。

该第二电极18的膜厚例如为50nm～1000nm，优选为100nm～500nm。该第二电极18例如能通过蒸镀法来形成。

密封层19构成为包括例如由氮化硅、氧化硅或金属氧化物等形成的保护层和例如由热固化型树脂或紫外线固化型树脂形成的粘接层等。

对置基板21由对在有机EL元件10R、10G、10B中产生的光透明的玻璃等材料构成。

黑矩阵层20具有遮光性，并且例如与有机EL元件10R、10G、10B的各发光区域对置并具有开口。黑矩阵层20的面形状(与对置基板21的主面平行的面形状)例如是格子状。

该黑矩阵层20可以设于对置基板21的光入射侧(元件侧)和光出射侧中的任一面，但例如在图3中设于光入射侧的面。

在本实施方式中，在如上所述的构成中，在基板11与黑矩阵层20之间设有辅助布线22。辅助布线22与黑矩阵层20的至少一部分对置地设置。辅助布线22的宽度例如为3μm～50μm，厚度例如为0.1μm～3μm。在此，辅助布线22设于第二电极18上，并且其平面形状成为图4中示意性地示出那样的格子状。具体而言，以包围有机EL元件10R、10G、10B的各发光区域的方式形成格子状的辅助布线22，与第二电极18电连接的辅助布线22形成于显示区域11A中的隔壁顶面部16a的整个区域。需要说明的是，在图4中，作为省略了EL材料层17、第二电极18、密封层19、对置基板21等构成的示意图，明确了辅助布线22与隔壁顶面部16a的整个区域的关系。

可以通过后述的EL显示装置的制造方法如上所述仅在期望的部分形成该辅助布线22。

使用能通过后述的EL显示装置的制造方法中的转印工序进行转印的材料来作为辅助布线22的构成材料，例如使用包含导电性材料的导电性油墨等。作为导电性油墨，例如可以举出使纳米尺寸的银、铝、铜(Cu)等导电性粒子分散在溶剂中而得到的金属油墨等导电性油墨。通过使用这样的导电性材料，可以获得高的遮光性能。作为这样的导电性油墨，优选使用使银纳米粒子分散在溶剂中而得到的纳米银油墨。

具体而言，在基板11上准备EL基体材料1A，该EL基体材料1A具有驱动电路层13、平坦化膜14、第一电极15、隔壁16、EL材料层17以及第二电极18。对该EL基体材料1A使用图6所示的EL显示装置的制造装置，在位于隔壁16的上部的第二电极18上形成辅助布线22。此时，在将上述金属油墨涂布在第二电极18上之后，在规定的温度下进行烧成，由此形成辅助布线22。例如，在使用了上述纳米银油墨的情况下，在与其他方式相比成为低温的120℃左右以下的温度下进行烧成而使其缩颈，从而显现银纳米粒子的导电性。由此，即使在温度由于有机EL材料的耐热性的问题而受到制约的情况下，也能形成辅助布线22。需要说明的是，理想的是，辅助布线22的形成在大气气氛中、氮气氛中等水分少的环境下进行。如此，在基板11上形成了有机EL元件10R、10G、10B以及辅助布线22之后，经由密封层19使形成了黑矩阵层20的对置基板21贴合至基板11。此外，只要能通过密封层19的光学特性来充分抑制辅助布线22的反射光且产品上没有问题即可，也可以不设置黑矩阵层20。

[EL显示装置的制造装置]

如图5和图6所示，形成辅助布线22的EL显示装置的制造装置具备：基体30；载置台31，设于该基体30；以及鼓状的转印介质(例如辊)32，配置于载置台31的上方，具有圆筒状周壁。需要说明的是，转印介质32在保持了含有使导电性粒子分散在溶剂中而得到的导电性油墨的导电性油墨被膜a的状态下，绕轴心旋转自如并且相对于载置台31接近/分离移动自如地横架配置。

在基体30设有使上表面平坦且水平的引导面30a，并且在该基体30的上部立起设置有一对臂30b。在上述基体30的引导面30a上设有水平驱动单元33。该水平驱动单元33具备设于X方向的导轨33a和使水平移动体34沿着导轨33a往复移动的线性马达33b。

在水平移动体34的一端部内固定有引导体35，在该引导体35内设有多个载置台驱动部36。并且，由该引导体35引导的载置台31被驱动自如地保持于载置台驱动部36。该载置台31以使上表面平坦且水平的方式设置，将EL基体材料1A的下表面保持于该上表面。构成通过独立地调整多个载置台驱动部36，以包括EL基体材料1A的隔壁顶面部16a的假想平面成为水平的方式，对载置台31的载置EL基体材料1A的载置面进行保持的保持机构。需要说明的是，水平驱动单元33构成为作为使载置于载置台31的EL基体材料1A水平移动的水平移动机构发挥功能。

此外，在设于基体30的一对臂30b分别设有由该一对臂30b横架支承的转印介质32和对狭缝口模41(制膜用喷嘴的一个例子)进行上下驱动的转印介质上下驱动部37。并且，转印介质32通过来自控制部38的控制而沿着设于各臂30b内的转印介质保持部37a被上下驱动。就是说，转印介质上下驱动部37独立地调整各臂30b的转印介质支承高度。此外，为了计测转印介质32与载置台31的间隙的距离而在载置台31内埋设有距离计测传感器42(例如，能非接触地进行计测的激光位移传感器)。控制部38获取距离计测传感器42的计测结果，并基于获取到的计测结果来使转印介质上下驱动部37驱动各臂30b，从而对EL基体材料1A与转印介质32的相对距离进行控制。由此，能对保持于水平移动体34的载置台31上的EL基体材料1A与转印介质32的接触度进行调整。控制部38例如具备处理器等半导体电路和半导体存储器等存储介质。处理器读取储存于存储介质的控制程序，并按照所读取出的控制程序来执行控制。

此外，转印介质32连接于使转印介质32绕圆筒状周壁的轴心旋转的马达32A，马达32A作为通过来自控制部38的控制而使转印介质32绕轴心旋转的旋转机构发挥功能。此外，通过旋转机构与水平移动机构同步地进行控制来作为转印对位机构发挥功能。该同步是以通过水平移动机构的水平移动得到的EL基体材料1A的移动速度与通过由旋转机构进行的绕轴心的旋转移动得到的转印介质32的外周面(包括转印区域32a的面)的旋转移动速度成为相同速度的方式进行同步控制。

此外，在转印介质32的上方具备狭缝口模41。进行通过该狭缝口模41来供给使导电性粒子分散在溶剂中而得到的导电性油墨的供给工序。在供给工序中，在具有圆筒状周壁的转印介质32上的转印区域32a涂布导电性油墨，从而形成导电性油墨被膜a。

如此涂布并形成于转印介质32的转印区域32a的导电性油墨被膜a通过压接机构被压接至EL基体材料1A，由此，当转印介质32与EL基体材料1A的显示区域11A接触时，遍及显示区域11A中位于最上方侧的隔离区域11Ab中的隔壁顶面部16a的整个区域地进行接触。由此，能遍及隔壁顶面部16a的整个区域地转印导电性油墨被膜a，从而形成辅助布线22。

在转印区域32a涂布了导电性油墨之后，在导电性油墨完全干燥之前(例如3分钟以内)进行转印。在导电性油墨完全干燥之前进行转印，因此能以非常轻的接触仅在必要的部位进行转印。即，即使不施加强压力或者不施加高热也能进行转印，因此能避免对EL基体材料1A的不良影响。

需要说明的是，转印介质32具备对转印介质32上的表面状态进行了调整的转印区域32a，以便在导电性油墨通过狭缝口模41被供给至转印介质32时，所需最小限量的导电性油墨形成为均质的导电性油墨被膜a。此外，转印介质32由在压接于EL基体材料1A时变形量少的构件(例如，高硬度的弹性体材料)形成，并且被选择为使得规定的压力下的压接时的变形量成为规定的变形量(例如，10μm)以下。

此外，成为如下构成：通过转印对位机构使转印介质32的旋转与EL基体材料1A的水平移动同步，形成于该转印区域32a的导电性油墨被膜a在覆盖EL基体材料1A上的显示区域11A的状态下被对位，在该状态下，压接机构对载置于载置台31上的EL基体材料1A与转印介质32的相对距离进行控制，并将EL基体材料1A与转印介质32的接触度调节为适于导电性油墨被膜a的转印的状态。即，EL元件区域11Aa中的由压接机构实现的压接被控制为不与导电性油墨被膜a接触的接触度，导电性油墨被膜a仅在形成隔离区域11Ab的隔壁顶面部16a被精度良好地转印。此外，如此转印的导电性油墨被膜a遍及隔壁顶面部16a的整个区域(存在于隔离区域11Ab的所有的隔壁顶面部16a)地被转印，因此，由该导电性油墨被膜a形成的辅助布线22尽可能宽且可靠性高。由此，能实现薄膜且低电阻的布线形成。

此外，在设于基体30的上部的臂30b的前方设置有定位摄像机39。该定位摄像机39使其测定面与水平移动体34的上表面对置地设置。

该定位摄像机39为了进行EL基体材料1A的对位而连接于图像处理部40，该图像处理部40连接于控制部38。此外，该控制部38连接于设在水平移动体34内的载置台驱动部36，通过发出命令来使该载置台驱动部36工作规定量。因此，定位摄像机39和图像处理部40作为载置台31的载置EL基体材料1A的载置面的移动机构的一部分发挥功能，以使EL基体材料1A的隔壁顶面部16a的水平方向的位置(X，Y，θ)成为控制范围内。载置台驱动部36成为如下构成：通过独立地控制多个载置台驱动部36，能在基体30中的水平移动体34的水平移动方向(X方向)、宽度方向(Y方向)以及旋转方向(θ：EL基体材料1A相对于基体30的水平移动方向的角度偏移量)均精度良好地进行位置保持。

[EL显示装置的制造方法]

接着，按照图5对使用该EL显示装置的制造装置来在EL基体材料1A形成辅助布线22的EL显示装置的制造方法进行说明。

进行供给工序，该供给工序是在EL显示装置的制造装置的转印介质32上的转印区域32a涂布使导电性粒子分散在溶剂中而得到的导电性油墨，从而形成导电性油墨被膜a的工序。该供给工序通过从狭缝状的排出口对转印介质32落下供给导电性油墨的狭缝口模41来进行。具体而言，一边从狭缝口模41使导电性油墨落下供给至转印介质32，一边使转印介质32绕圆筒状周壁的轴心旋转，并且朝向载置台31运送使导电性油墨预干燥而形成的导电性油墨被膜a。在预干燥中，可以是自然干燥、加热干燥中的任一个，但导电性油墨被膜a被调整为适于转印的厚度、硬度。此外，预干燥也可以在从供给工序到转印工序的所需时间内连续地进行，还可以是在供给工序后，暂时静置并进行预干燥的方案。

另一方面，将EL基体材料1A载置于EL显示装置的制造装置的载置台31，其中，该EL基体材料1A具有：第一电极15、与第一电极15对置地设置的第二电极18、在被第一电极15和第二电极18以能通电的方式夹持的状态下透过第二电极18而发光的EL材料层17以及将多个相邻的EL材料层17间隔开的隔壁16。

在实际进行形成辅助布线22的转印工序之前，求出EL基体材料1A的上表面的高度(包括EL基体材料1A的隔壁顶面部16a的假想平面的高度)与转印介质32的高度的关系。即，将保持了含有使导电性粒子分散在溶剂中而得到的导电性油墨的导电性油墨被膜a的状态下的转印介质32按压至载置于载置台31的上表面的EL基体材料1A。以此时的转印介质32上的转印区域32a与EL基体材料1A的显示区域11A重叠的方式，并且以载置台31上的EL基体材料1A与转印介质32的接触度成为适当的方式设定转印介质32的高度。就转印介质32的高度而言，通过对设于一对臂30b的转印介质上下驱动部37独立地进行高度控制来适当地设定EL基体材料1A与转印介质32的接触度和平行度。即，控制部38利用距离计测传感器42来测定转印介质32与载置台31的间隙的距离，并对转印介质上下驱动部37进行驱动调整，直至EL基体材料1A与转印介质32成为适当的接触度的高度为止。一般而言，难以准确地调整两个鼓状的物体的间隔。根据本实施方式的方法，仅使用一个鼓状的转印介质32，因此，与使用两个鼓状的输送体并利用这两个输送体来夹入EL基体材料1A的情况相比，能容易地进行准确的间隔调整。

接着，上述控制部38在保持在使转印介质32压接至EL基体材料1A的高度的同时使水平移动体34水平移动，并且使转印介质32绕圆筒状周壁的轴心旋转。由此，进行将形成于圆筒状周壁的转印区域32a上的导电性油墨被膜a转印至EL基体材料1A的隔壁顶面部16a的转印工序。一般而言，旋转体的位置保持由于轴抖动等而比较困难。根据本实施方式的方法，仅使用一个作为旋转体的转印介质32，因此，与使用两个旋转体并利用这两个旋转体来夹入EL基体材料1A的情况相比，能容易地进行位置保持。

导电性油墨被膜a在与EL基体材料1A接触的部分中从转印介质32的转印区域32a被转印至EL基体材料1A的显示区域11A中的隔离区域11Ab的隔壁顶面部16a，除此以外的部分残留在转印介质32上。其结果是，在隔壁顶面部16a中，形成与第二电极18电连接的辅助布线22的导电性油墨被膜a成为形成于显示区域11A中的隔壁顶面部16a的整个区域的状态。

〔其他实施方式〕

在上述实施方式中，在辅助布线22的对置基板21侧直接设置了密封层19，但还可以设置针对辅助布线22的保护层。通过这样的保护层，能提高辅助布线22的耐候性、抑制劣化，或者能作为抑制各层间等的光的反射的反射防止膜发挥功能。此外，还可以是，其他公知的功能层也设于基板11与对置基板21之间。

EL元件10的像素的构成如上所述，图示出了以相等的大小排列各色的EL元件10的构成，但也可以取而代之，将发光度弱的蓝色的有机EL元件10B制作得稍大等，设为考虑了各色的发光强度的比率，或者也可以组合白色等其他颜色的像素来作为子像素。这样的像素的构成可以采用各种各样的公知的构成。

本公开例如能应用于EL显示装置以外的电子设备，并且具备基板和设于基板上的规定的区域内的隔壁的电子设备。隔壁既可以附加在基板上，也可以与基板一体形成(例如，在表面形成有凹凸的基板的凸部)。在这些例子中，可以仅在附加的隔壁或凸部选择性地将功能性材料(例如，导电性油墨、绝缘材料、隔壁材料、光控制材料等)图案化。该图案可以自由地设计，由此，能自由地设计功能性材料的成膜面的形状。此外，也可以是，不使用隔壁而将与基体材料表面不同的亲和性的材料涂布在基体材料表面，由此，利用亲疏性来形成图案，并在基体材料表面中涂布了材料的部分或未涂布材料的部分涂布功能性材料。

在上述实施方式中，EL显示装置的制造装置是如下构成：通过在将EL基体材料1A载置于设于基体30的载置台31时，EL基体材料1A与载置台31的载置面31a接触的方案进行载置，但载置台31的构成不限于此。

例如，如图7和图8所示，也可以在载置台31具备使EL基体材料1A从载置面31a浮起的上浮机构43。

上浮机构43具有：气体喷射部43a，设于EL基体材料1A的载置面31a；以及气体供给机构43b，向该气体喷射部43a供给气体，例如空气、氮气等惰性气体。

气体喷射部43a可以构成为狭缝状、多孔状、多个单孔状等。如图7所示，例如，在将气体喷射部43a构成为狭缝状的情况下，各狭缝的长度优选为200mm～900mm左右，各狭缝的宽度优选为0.5mm～2mm左右，各狭缝的深度优选为1mm～3mm左右，相邻的狭缝彼此的间隔优选为30mm～60mm左右。

优选的是，狭缝被配设为能使EL基体材料1A整个面以均匀的上浮量浮起。由此，浮起的EL基体材料1A能针对来自转印介质32的转印压产生均匀的反作用力。

如图8所示，气体供给机构43b构成为具备与连通于气体喷射部43a的底部的气体供给口43c连通的气体供给配管43d等。气体供给口43c和气体供给配管43d经由拟合部(fitting)43e连接。来自未图示的鼓风机的气体经由气体供给配管43d、拟合部43e被供给至气体供给口43c，该气体从气体喷射部43a喷射。

就上浮机构43而言，在气体喷射部43a中喷射能获得能对抗来自转印介质32的转印压的大小的喷射压的气体，由此，即使在通过转印介质32实现的转印中，从载置面31a浮起的EL基体材料1A也不会与载置面31a接触。

需要说明的是，在EL基体材料1A的厚度为0.5mm～0.7mm左右时，EL基体材料1A的从载置台31的载置面31a起的上浮量优选为10um～300um左右，优选在10μm～100μm的范围内。通过使上浮量小于300μm，能减少所喷射的气体的绝热膨胀。由此，能抑制气体喷射部43a的周边的温度下降，能减少气体喷射部43a的变形、结露、气体的压力变化、流量变化等的影响。

在本实施方式中，在通过转印介质32进行的转印前后，EL基体材料1A以从载置面31a起的上浮量成为50μm左右的方式浮起，但在通过转印介质32进行的转印中，EL基体材料1A以从载置面31a起的上浮量成为50μm的2/3左右的上浮量的方式被转印介质32按压。

在本实施方式中，是如下构成：通过上浮机构43，EL基体材料1A以浮起的状态载置于载置台31，因此，转印介质32与EL基体材料1A的间隙的变动吸收EL基体材料1A与载置台31之间的间隙变动，因此能进行在转印介质32与EL基体材料1A的间隙和接触压稳定的状态下的转印。

需要说明的是，在载置台31设有抵接于EL基体材料1A的周缘的引导件。通过该引导件，即使EL基体材料1A成为从载置面31a浮起的状态，也不会在载置面31a沿水平方向横向偏移。

在该实施方式中，转印介质32也具备对转印介质32上的表面状态进行了调整的转印区域32a，以便在导电性油墨通过狭缝口模41被供给至转印介质32时，所需最小限量的导电性油墨形成为均质的导电性油墨被膜a。

在转印介质32的转印区域32a的表面设有转印用树脂，该转印用树脂由在被压接至EL基体材料1A时变形量少的构件形成，规定的压力下的压接时的变形量被设计为在该转印用树脂的厚度方向上每100um为2μm以下，优选为1um以下。

需要说明的是，转印介质32具有以树脂材料的面方向尺寸计每100mm的厚度方向的变化量为5um以下的平面度。优选的是，转印介质32构成为：在被压接至EL基体材料1A时，在树脂材料厚度方向上容许的间隙成为20um以内的范围。EL基体材料1A由于空气而浮起，因此间隙的容许值也可以大到20μm。

通过对转印介质32与EL基体材料1A之间的按压力进行控制，即使EL基体材料1A的隔壁顶面部16a的高度为1μm～3μm左右，辅助布线22的宽度为3μm～50μm左右，厚度为0.1μm～3μm左右，也能进行该辅助布线22的印刷。

此时，即使不过度按压EL基体材料1A，也能利用来自通过上浮机构43供给的气体的反作用力，将转印介质32与EL基体材料1A之间的按压力适当地印刷成辅助布线22仅印刷在EL基体材料1A的隔壁顶面部16a而不印刷在EL基体材料1A的其他部分。

需要说明的是，在该实施方式中，也通过狭缝口模41在具有圆筒状周壁的转印介质32上的转印区域32a涂布导电性油墨，从而形成导电性油墨被膜a。需要说明的是，该导电性油墨被膜a的厚度为2μm以下。

在该实施方式中，也在第二电极18上对EL基体材料1A形成辅助布线22时，将上述金属油墨涂布至第二电极18上之后，通过在规定的温度，例如70℃～200℃的范围内进行烧成来形成辅助布线22。

例如，在使用了上述纳米银油墨的情况下，在与其他方式相比成为低温的120℃左右以下的温度下进行烧成而使其缩颈，从而显现银纳米粒子的导电性。由此，即使在温度由于有机EL材料的耐热性的问题而受到制约的情况下，也能形成辅助布线22。

在上述的说明中，对水平驱动单元33构成为作为使载置于载置台31的EL基体材料1A水平移动的水平移动机构发挥功能的情况进行了说明，但水平移动机构的构成不限于此。例如，水平移动机构也可以是使转印介质32水平移动的构成，只要是与转印介质32的旋转同步地，使转印介质32和载置于载置台31上的EL基体材料1A中的至少一方相对地水平移动的构成即可。

需要说明的是，上述的实施方式(包括其他实施方式，以下同样)所公开的构成可以在不产生矛盾的情况下与其他实施方式所公开的构成进行组合来应用，此外，本说明书中所公开的实施方式是示例，本发明的实施方式不限定于此，可以在不脱离本发明的目的的范围内适当进行改变。

产业上的可利用性

本发明的EL显示装置的制造方法和制造装置、EL显示装置以及电子设备的制造方法可以特别有利地用于提供高精细的EL显示装置。

附图标记说明：

1：EL显示装置

1A：EL基体材料

11A：显示区域

11Aa：EL元件区域

11Ab：隔离区域

15：第一电极

16：隔壁

16a：隔壁顶面部

17：EL材料层

18：第二电极

22：辅助布线

30b：臂

31：载置台

31a：载置面

32：转印介质

32a：转印区域

41：狭缝口模

43：上浮机构

43a：气体喷射部

43b：气体喷射机构

43c：气体喷射口

43d：气体供给配管

43e：拟合部

a：导电性油墨被膜。