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一种等离子体发生器及其电极结构

文献发布时间:2023-06-19 11:11:32


一种等离子体发生器及其电极结构
相关技术
  • 等离子体发生器、用于等离子体发生器的旋转电极的制造方法、执行基板的等离子体处理的方法、以及采用等离子体形成具有混合结构的薄膜的方法
  • 一种低温范围的裸露电极型大气压等离子体发生器系统
技术分类

06120112832108