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对特征进行等离子体蚀刻的方法、由其形成的衬底及用于等离子体蚀刻的设备

文献发布时间:2023-06-19 11:14:36


对特征进行等离子体蚀刻的方法、由其形成的衬底及用于等离子体蚀刻的设备
相关技术
  • 对特征进行等离子体蚀刻的方法、由其形成的衬底及用于等离子体蚀刻的设备
  • 用以使穿过衬底的过孔侧壁及其它深蚀刻特征部光滑的后蚀刻反应等离子体研磨
技术分类

06120112856467