一种防尘式扩膜机

技术领域

本发明属于扩膜机技术领域，具体涉及一种防尘式扩膜机。

背景技术

晶圆在生产过程中涉及到贴膜、激光切膜、去膜、倒模、扩膜等工艺。为了保证晶圆的晶粒满足检测需求，需要对其进行剔粒操作。但是，由于晶圆各相邻芯粒之间无任何空隙，会导致在剔粒过程中，相邻芯粒出现崩边、划伤的异常问题，严重影响晶圆质量，不利于后续的生产需求。因此，需要对晶圆进行扩膜处理，增大晶粒之间的间隙便于剔粒。

现有的一些半自动扩膜机，为了便于操作，都是将用于扩膜的机身裸露在机体上，这样的设计，虽然便于操作，但是在不使用时，容易使机身上累积灰尘，影响机器的性能。

发明内容

针对现有技术中的问题，本发明的目的在于提供一种防尘式扩膜机。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案予以实现：

一种防尘式扩膜机，包括机体，设置在机体上且呈外露状的机身，位于机身一侧的所述机体上设有隐藏式用于机身防尘的防尘机构，所述防尘机构包括隐藏槽、防尘板和密封框，所述隐藏槽设置在机身的一侧；所述防尘板可上下运动的滑动连接在隐藏槽内；所述密封框，呈U形，且密封框转动连接在防尘板内；其中，所述防尘板内设有与密封框相匹配的收缩槽，所述密封框底部与收缩槽转动连接，所述收缩槽内壁与密封框边框之间设有相连接且用于机身防尘的防尘罩，所述防尘罩呈柔软可折叠状。

优选的，所述防尘板呈U形，且防尘板之间设有相连接且用于防尘的防尘布，所述防尘板的两端均设有贯穿式调节孔，所述调节孔内设有对称分布且可自动弹出的定位杆，所述隐藏槽出口端内壁上设有用于定位杆卡合固定的定位槽。

进一步的，位于定位杆外侧的所述调节孔内壁上设有呈环形的调节环槽，所述调节环槽内设有相匹配的第一弹簧，所述定位杆穿过调节环槽中部，位于第一弹簧一侧的所述调节环槽内设有固定连接的定位环，所述定位环与相应的定位杆固定连接。

更进一步的，所述防尘板内设有呈U形且用于两个调节孔中部相连通的连通孔，所述定位杆之间设有相连接的连接线，所述连接孔内设有传动线，所述传动线两端分别与相应的连接线中部固定连接，位于密封框上端部一侧的所述连通孔侧壁上设有传动杆，所述传动杆一端与传动线中部固定连接，且传动杆另一端活动穿过连通孔侧壁，且传动杆另一端位于密封框的一侧。

优选的，所述密封框包括横杆和竖杆，所述竖杆为两个，且竖杆对称分布在横杆两端，所述竖杆包括第一杆和第二杆，所述第一杆端部设有用于第二杆滑动连接的滑槽，所述滑槽内设有固定连接且用于第二杆自动收缩的第二弹簧，所述第二弹簧与相应的第二杆端部固定连接，所述防尘罩分别与横杆和竖杆固定连接，所述第一杆和第二杆上均设有相对齐且相互连通的挤压槽，所述挤压槽剖面呈凸形，相应的所述防尘罩底部位于挤压槽中部，所述挤压槽内设有多个均匀分布的卡环，所述卡环上端分别与相应的防尘罩底部固定连接。

进一步的，所述第一杆一端设有与相应收缩槽底部转动连接的转轴，且第一杆另一端底部设有解锁槽，所述解锁槽内设有可上下滑动的解锁杆，位于第二弹簧一侧的所述第二杆底部设有卡槽，所述卡槽内设有可上下运动且用于解锁槽卡合固定的卡杆。

更进一步的，所述卡槽内设有用于卡杆自动弹出的第三弹簧，所述第三弹簧一端与卡槽内壁固定连接，且第三弹簧另一端与卡杆端部固定连接，位于解锁杆两端的所述解锁槽内壁上设有对称分布的限位槽，所述限位槽内设有滑动连接的限位滑块，所述限位滑块分别与相应的解锁杆两端固定连接。

与现有技术相比，本发明具有以下技术效果：

在机体一侧设置隐藏槽，使防尘板能够在不使用完全隐藏在机体内，不影响正常的使用；在使用时，直接将防尘板向上拔出，即可使用；

收缩槽、防尘罩和密封框的设计，使防尘板完全拔出后，密封框能够向外旋转，带动折叠状的防尘罩完全展开，从而使防尘罩将裸露在外的机体完全密封，实现了防尘；

整个设计，使用和回收，都十分的方便快捷。

参照后文的说明和附图，详细公开了本发明的特定实施方式，指明了本发明的原理可以被采用的方式。应该理解，本发明的实施方式在范围上并不因而受到限制。

针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。

应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例1提供的整体结构示意图；

图2为本发明实施例1提供的防尘罩打开后主视结构示意图；

图3为本发明实施例1提供的图2中A处放大结构示意图；

图4为本发明实施例1提供的传动线和传动杆侧视连接结构示意图；

图5为本发明实施例1提供的防尘板与密封框主视结构示意图；

图6为本发明实施例2提供的第一杆和第二杆连接结构示意图；

图7为本发明实施例2提供的解锁杆和解锁槽连接结构示意图；

图中标号说明：1、机体；11、机身；12、防尘板；121、连通孔；122、传动线；123、防尘罩；124、密封框；1241、第二杆；1241、卡槽；12412、第三弹簧；12413、卡杆；1242、第一杆；12421、第二弹簧；12422、滑槽；12423、解锁杆；12424、限位滑块；12425、限位槽；12426、解锁槽；125、隐藏槽；126、调节孔；1261、连接线；1262、第一弹簧；1263、定位杆；1264、定位槽；1265、定位环；1266、调节环槽；127、收缩槽；128、防尘布；129、转轴；120、传动杆。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明中的技术方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。

需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的另一个元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中另一个元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“和／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

实施例1

请参阅图1-5，一种防尘式扩膜机，包括机体1，设置在机体1上且呈外露状的机身11，位于机身11一侧的所述机体1上设有隐藏式用于机身11防尘的防尘机构，所述防尘机构包括隐藏槽125、防尘板12和密封框124，所述隐藏槽125设置在机身11的一侧；所述防尘板12可上下运动的滑动连接在隐藏槽125内；所述密封框124，呈U形，且密封框124转动连接在防尘板12内；其中，所述防尘板12内设有与密封框124相匹配的收缩槽127，所述密封框124底部与收缩槽127转动连接，所述收缩槽127内壁与密封框124边框之间设有相连接且用于机身11防尘的防尘罩123，所述防尘罩123呈柔软可折叠状。

进一步，所述防尘板12呈U形，且防尘板12之间设有相连接且用于防尘的防尘布128，所述防尘板12的两端均设有贯穿式调节孔126，所述调节孔126内设有对称分布且可自动弹出的定位杆1263，所述隐藏槽125出口端内壁上设有用于定位杆1263卡合固定的定位槽1264。

防尘板12U形的设计，并采用防尘布128进行代替，能够有效的降低防尘板12的成本；

定位杆1263和定位槽1264的设计，使防尘板12在向上运动后，定位杆1263能够与定位槽1264卡合，实现了防尘板12的固定，保证了防尘板12在使用时的稳定性。

进一步，位于定位杆1263外侧的所述调节孔126内壁上设有呈环形的调节环槽1266，所述调节环槽1266内设有相匹配的第一弹簧1262，所述定位杆1263穿过调节环槽1266中部，位于第一弹簧1262一侧的所述调节环槽1266内设有固定连接的定位环1265，所述定位环1265与相应的定位杆1263固定连接。

第一弹簧1262的设计，能够使定位杆1263自动弹出。

进一步，所述防尘板12内设有呈U形且用于两个调节孔126中部相连通的连通孔121，所述定位杆1263之间设有相连接的连接线1261，所述连接孔内设有传动线122，所述传动线122两端分别与相应的连接线1261中部固定连接，位于密封框124上端部一侧的所述连通孔121侧壁上设有传动杆120，所述传动杆120一端与传动线122中部固定连接，且传动杆120另一端活动穿过连通孔121侧壁，且传动杆120另一端位于密封框124的一侧。

连接线1261和传动线122的设计，利用传动线122，能带动连接线1261同步运动，从而使多个定位杆1263同步收缩，实现定位杆1263的同步解锁，方便快捷，同时，传动杆120的设计，使密封框124在完全收缩至收缩槽127内后，必然将传动杆120进行挤压，使传动杆120挤压传动线122，从而使密封框124完全进入收缩槽127内后，使定位杆1263能够同步收缩，防尘板12解锁固定，能够向下运动至隐藏槽125，实现隐藏，整体方便快捷。

实施例2

与实施例1相同之处不在重述，与实施例1不同之处在于：

请参阅图6-7，所述密封框124包括横杆和竖杆，所述竖杆为两个，且竖杆对称分布在横杆两端，所述竖杆包括第一杆1242和第二杆1241，所述第一杆1242端部设有用于第二杆1241滑动连接的滑槽12422，所述滑槽12422内设有固定连接且用于第二杆1241自动收缩的第二弹簧12421，所述第二弹簧12421与相应的第二杆1241端部固定连接，所述防尘罩123分别与横杆和竖杆固定连接，所述第一杆1242和第二杆1241上均设有相对齐且相互连通的挤压槽，所述挤压槽剖面呈凸形，相应的所述防尘罩123底部位于挤压槽中部，所述挤压槽内设有多个均匀分布的卡环，所述卡环上端分别与相应的防尘罩123底部固定连接。

当机身11高度过高时，导致防尘板12的高度必然过高，从而当密封框124旋转后，密封框124平铺的尺寸必然会大于机体1表面，会导致密封后出现漏空处，影响整体的防尘效果；

而第一杆1242和第二杆1241的设计，使密封框124在旋转呈水平状后，能够通过第二杆1241收缩在第一杆1242内，使密封框124能够更加精准的将机体1表面覆盖，解决漏缝的情况，保证整体的密封防尘效果；

挤压槽和卡环的设计，使第二杆1241在收缩时，不影响防尘罩123的运动，而且能够有效的将防尘罩123固定在挤压槽内，保证整体密封防尘效果。

进一步，所述第一杆1242一端设有与相应收缩槽127底部转动连接的转轴129，且第一杆1242另一端底部设有解锁槽12426，所述解锁槽12426内设有可上下滑动的解锁杆12423，位于第二弹簧12421一侧的所述第二杆1241底部设有卡槽1241，所述卡槽1241内设有可上下运动且用于解锁槽12426卡合固定的卡杆12413。

卡杆12413的设计，使第一杆1242和第二杆1241在伸长后，能够有效的去固定，而解锁杆12423的设计，使密封框124在旋转至水平状时，能够将解锁杆12423进行挤压，解锁杆12423的传动，带动卡杆12413收缩至卡槽1241内，第二杆1241由于第二弹簧12421的弹性，自动收缩，使密封框124能够自动调节距离，能够有效的将密封框124更加贴合机体1表面，保证整体的密封防尘性。

进一步，所述卡槽1241内设有用于卡杆12413自动弹出的第三弹簧12412，所述第三弹簧12412一端与卡槽1241内壁固定连接，且第三弹簧12412另一端与卡杆12413端部固定连接，位于解锁杆12423两端的所述解锁槽12426内壁上设有对称分布的限位槽12425，所述限位槽12425内设有滑动连接的限位滑块12424，所述限位滑块12424分别与相应的解锁杆12423两端固定连接。

本申请在使用时：

当机器不准备使用时，先将防尘板12从隐藏槽125内拔出，当定位杆1263运动至定位槽1264时，定位杆1263由于第一弹簧1262的弹性，自动弹出，卡合在定位槽1264内，实现了防尘板12的固定；

防尘板12固定后，将密封板向外旋转，密封板带动防尘罩123将机身11罩住；

当密封板运动至水平状时，必然将解锁杆12423进行挤压，通过解锁杆12423将卡杆12413进行同步挤压，第二杆1241由于第二弹簧12421的弹性，自动收缩至第一杆1242内，使密封框124大小与机体1上表面大小相同，从而使密封框124能够有效的与机体1表面契合，保证整体的密封防尘性；

当机器需要使用时，只需要将横杆向外来，使第一杆1242和第二杆1241拉伸至初始长度，使卡杆12413与卡槽1241卡合，保证第一杆1242和第二杆1241的固定，然后将密封框124旋转至收缩槽127内，在密封框124旋转的同时，使防尘罩123收缩折叠在收缩槽127内；当密封框124旋转至收缩槽127内后，将密封框124再次按压，带动传动杆120将传动线122挤压，使定位杆1263同步收缩，解除了防尘板12的锁定，然后即可将防尘板12回收至隐藏槽125内，整体操作，方便快捷。

本文引用的任何数字值都包括从下限值到上限值之间以一个单位递增的下值和上值的所有值，在任何下值和任何更高值之间存在至少两个单位的间隔即可。举例来说，如果阐述了一个部件的数量或过程变量（例如温度、压力、时间等）的值是从1到90，优选从20到80，更优选从30到70，则目的是为了说明该说明书中也明确地列举了诸如15到85、22到68、43到51、30到32等值。对于小于1的值，适当地认为一个单位是0.0001、0.001、0.01、0.1。这些仅仅是想要明确表达的示例，可以认为在最低值和最高值之间列举的数值的所有可能组合都是以类似方式在该说明书明确地阐述了的。

除非另有说明，所有范围都包括端点以及端点之间的所有数字。与范围一起使用的“大约”或“近似”适合于该范围的两个端点。因而，“大约20到30”旨在覆盖“大约20到大约30”，至少包括指明的端点。

披露的所有文章和参考资料，包括专利申请和出版物，出于各种目的通过援引结合于此。描述组合的术语“基本由…构成”应该包括所确定的元件、成分、部件或步骤以及实质上没有影响该组合的基本新颖特征的其他元件、成分、部件或步骤。使用术语“包含”或“包括”来描述这里的元件、成分、部件或步骤的组合也想到了基本由这些元件、成分、部件或步骤构成的实施方式。这里通过使用术语“可以”，旨在说明“可以”包括的所描述的任何属性都是可选的。

多个元件、成分、部件或步骤能够由单个集成元件、成分、部件或步骤来提供。另选地，单个集成元件、成分、部件或步骤可以被分成分离的多个元件、成分、部件或步骤。用来描述元件、成分、部件或步骤的公开“一”或“一个”并不说为了排除其他的元件、成分、部件或步骤。

应该理解，以上描述是为了进行图示说明而不是为了进行限制。通过阅读上述描述，在所提供的示例之外的许多实施方式和许多应用对本领域技术人员来说都将是显而易见的。因此，本教导的范围不应该参照上述描述来确定，而是应该参照所附权利要求以及这些权利要求所拥有的等价物的全部范围来确定。出于全面之目的，所有文章和参考包括专利申请和公告的公开都通过参考结合在本文中。在前述权利要求中省略这里公开的主题的任何方面并不是为了放弃该主体内容，也不应该认为发明人没有将该主题考虑为所公开的发明主题的一部分。