一种晶盒自动启盖设备

技术领域

本发明涉及晶圆传输盒处理设备领域，尤其涉及一种晶盒自动启盖设备。

背景技术

晶圆传输盒俗称水晶盒、硅片盒，应用在光刻设备上，常见的晶圆传输盒一般内置有25个晶圆插槽，晶圆传输盒通常采用带有弹片卡勾的密封盖为晶圆片提供无尘的传输环境，其盒体与密封盖之间设密封圈可提高密封性。晶圆传输盒传输就位后需要通过人工操作启盖，虽然启盖过程在无尘车间进行，但不可避免地会有微尘污染到晶圆。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种晶盒自动启盖设备，采用无气驱动方式构建无尘环境，配备有引拨勾爪以实现高精度解锁操作，配备有提盖勾爪以实现开盖操作，利用行程限位套筒提高引拨勾爪可靠性，使晶盒开盖操作达成无污染、自动化目的。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种晶盒自动启盖设备，包括作业平台、下线轨、正反牙丝杆、支座、伺服、晶盒平台、伺服丝杆升降台、引拨勾爪、伺服丝杆升降机、上限压板、提盖勾爪，所述作业平台上设置有平行排布的下线轨和正反牙丝杆，所述下线轨上承载有一对支座，所述支座对称挂载在由伺服驱动的正反牙丝杆两端，所述支座间居中设置有晶盒平台，每一支座顶部设置有由伺服丝杆升降台驱动的引拨勾爪，所述晶盒平台正上方设置有由伺服丝杆升降机驱动的上限压板，所述上限压板两侧对称外挂有一对间距可变的提盖勾爪，所述提盖勾爪与引拨勾爪上下对齐匹配在晶盒平台边缘。

在本发明一个较佳实施例中，所述上限压板上设置有上线轨，所述上线轨两端设置有水平延长臂，所述提盖勾爪吊挂在水平延长臂上。

在本发明一个较佳实施例中，所述上限压板上设置有居中垂直于上线轨的丝杆步进电机，所述丝杆步进电机上居中安装有联动控制臂，所述联动控制臂两端通过轴承摆臂对称连接到水平延长臂。

在本发明一个较佳实施例中，所述引拨勾爪呈E形并具有一体成型的左勾爪、右勾爪和中置抵唇。

在本发明一个较佳实施例中，所述提盖勾爪是由吊板和垂直设置在吊板下端的勾柄组成，所述勾柄的端面分别同左勾爪、右勾爪的勾面在不同高度上适时以正反向错位匹配。

在本发明一个较佳实施例中，所述支座包括一背板，所述背板两侧设置有一对连接下线轨的抱臂，所述背板上开设有轴孔并同轴设置有穿套正反牙丝杆的行程限位套筒，所述行程限位套筒周面开设有行程调试口，所述行程调试口一端设置有连接正反牙丝杆的丝杆螺母。

在本发明一个较佳实施例中，所述作业平台承载在一中空旋转平台上，所述中空旋转平台的外围设置有水平光电传感器。

本发明的有益效果是：本发明提供的一种晶盒自动启盖设备，采用无气驱动方式构建无尘环境，配备有引拨勾爪以实现高精度解锁操作，配备有提盖勾爪以实现开盖操作，利用行程限位套筒提高引拨勾爪可靠性，使晶盒开盖操作达成无污染、自动化目的。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：

图1 是本发明一种晶盒自动启盖设备的整机结构图；

图2 是本发明一种晶盒自动启盖设备的晶盒平台结构图；

图3 是本发明一种晶盒自动启盖设备的正反牙丝杆结构图；

图4 是本发明一种晶盒自动启盖设备的上限压板结构图；

图5 是本发明一种晶盒自动启盖设备的引拨勾爪结构图；

图6 是本发明一种晶盒自动启盖设备的轴孔结构图；

图7 是本发明一种晶盒自动启盖设备的晶圆传输盒示意图。

实施方式

下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1-7所示，本发明实施例包括：

一种晶盒自动启盖设备，包括作业平台1、下线轨2、正反牙丝杆3、支座4、伺服5、晶盒平台6、伺服丝杆升降台7、引拨勾爪8、伺服丝杆升降机9、上限压板10、提盖勾爪11，所述作业平台1上设置有平行排布的下线轨2和正反牙丝杆3，所述下线轨2上承载有一对支座4，所述支座4对称挂载在由伺服5驱动的正反牙丝杆3两端，所述支座4间居中设置有晶盒平台6，每一支座4顶部设置有由伺服丝杆升降台7驱动的引拨勾爪8，所述晶盒平台6正上方设置有由伺服丝杆升降机9驱动的上限压板10，所述上限压板10两侧对称外挂有一对间距可变的提盖勾爪11，所述提盖勾爪11与引拨勾爪8上下对齐匹配在晶盒平台6边缘。

其中，所述上限压板10上设置有上线轨12，所述上线轨12两端设置有水平延长臂13，所述提盖勾爪11吊挂在水平延长臂13上。

进一步的，所述上限压板10上设置有居中垂直于上线轨12的丝杆步进电机14，所述丝杆步进电机14上居中安装有联动控制臂15，所述联动控制臂15两端通过轴承摆臂16对称连接到水平延长臂13。

进一步的，所述引拨勾爪8呈E形并具有一体成型的左勾爪17、右勾爪18和中置抵唇19。

进一步的，所述提盖勾爪11是由吊板20和垂直设置在吊板20下端的勾柄21组成，所述勾柄21的端面分别同左勾爪17、右勾爪18的勾面在不同高度上适时以正反向错位匹配。

进一步的，所述支座4包括一背板22，所述背板22两侧设置有一对连接下线轨2的抱臂23，所述背板22上开设有轴孔24并同轴设置有穿套正反牙丝杆3的行程限位套筒25，所述行程限位套筒25周面开设有行程调试口26，所述行程调试口26一端设置有连接正反牙丝杆3的丝杆螺母27。

所述轴孔24起到让位作用，可防止丝杆憋停问题。

所述行程调试口26用于确定丝杆行程，使不同尺寸的晶圆传输盒引拨勾爪8能正确伸入扣接槽内准确定位。

晶圆传输盒的盒体不可受应力形变，否则会导致晶圆刮伤，所以将所述行程限位套筒25与正反牙丝杆3同轴套接，可以避免引拨勾爪8在调试过程中发生过载，保护晶圆传输盒不受过载压力损坏。

进一步的，所述作业平台1承载在一中空旋转平台28上，所述中空旋转平台28的外围设置有水平光电传感器29。

本设备采用无气的驱动方式实现整机机械运转，整机主要依靠丝杆实现机械化传动，从而在无尘车间内实现晶圆零污染目的。

如图7所示，开盖动作主要是将卡勾100从锁舌200上脱钩，脱钩过程中需要对盒盖300实施上限限位，可以是压紧盒盖300，也可以是无接触悬浮在盒盖300上，可防止盒盖300窜动弹跳；脱钩完成后执行盒盖300提升动作，由于晶圆传输盒400密封性较高，因此盒盖300上提过程需要克服一定的负压，须对扣接槽500施加下压压力，使盒盖300与密封圈600脱接。提盖到一定高度时，利用中空旋转平台28驱动晶盒平台6自转，供水平光电传感器29检测密封圈600位置，判断密封圈600有无粘连问题，并及时停机报警。

综上所述，本发明提供了一种晶盒自动启盖设备，采用无气驱动方式构建无尘环境，配备有引拨勾爪8以实现高精度解锁操作，配备有提盖勾爪11以实现开盖操作，利用行程限位套筒25提高引拨勾爪8可靠性，使晶盒开盖操作达成无污染、自动化目的。

以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。