集成电路制造工艺规则验证DRC自动界面实现方法

技术领域

本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及集成电路制造工艺规则验证DRC自动界面实现方法。

背景技术

集成电路工艺规则验证简称DRC(Design Rule Check)，是集成电路制造企业和设计公司沟通的桥梁，当设计公司需要采用一个制造企业工艺进行电路版图设计的时候，除了需要一份完整的制造企业的工艺设计规则以外，还需要通过一份专业的技术文件进行自动化的工艺规则验证。而这份技术文件则就是工艺规则验证DRC。DRC是所有芯片设计流片的必要文件，运行DRC文件并进行规则验证是所有芯片设计流片的必要流程，也是流片成败的关键因素，所以一份准确完整的工艺规则验证DRC尤为关键。

但是工艺规则验证DRC设计技术内容较多，新人无法独立完成工艺规则验证DRC的编译；工艺规则验证DRC文件涉及集成电路专业代码语法、代码开发架构、代码验证，学习周期较长，手动开发难度较大；针对不同版本输出代码格式无法统一，可读性较差，较难后期维护；DRM(Design Rule Manual，集成电路工艺规则)修改与DRC修正没有同步；同时针对不同工艺内不同metal option(工艺物理层堆叠信息)组合对应的DRC文件较多，通常需要同时支持20-30种不同的metal option，为后期维护提供了非常大的工作量。

发明内容

针对上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供集成电路制造工艺规则验证DRC自动界面实现方法，降低工艺规则验证DRC开发门槛，自动进行规则检测、系统后台算法及模型自动处理、DRC自动改版及修正，且针对不同metal option自动产生不同的DRC文件，提高输出效率，确保输出品质，降低开发门槛。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

集成电路制造工艺规则验证DRC自动界面实现方法，包括如下步骤：

S100、创建DRC工程：通过选项卡模块显示方式新创建DRC工程；

S200、显示进度：提示用户该章节的完成度；

S300、匹配度检查：定义器件信息和工艺物理信息，进行内容的匹配度检查，并实时弹出内容冲突界面；

S400、显示规则：定义物理层的工艺参数，通过规则内容显示界面，将对象选择的指令通过图形的形式进行显示，并自动生成相关的描述语言；

S500、自动开发：进行工艺规则开发，选择DRC对应的不同应用的工艺物理层堆叠信息，并定义可靠性规则以及工艺设计规则的基本信息；

S600、自动界面设定：将DRC头部设定文件进行自动界面设定；

S700、工具文件选择：将DRC导出的不同的对应工具文件进行自动类型选择；

S800、文件导出：编译生成DRC文件并导出，可在下次进行DRC工程创建时，选择直接导入DRM工程。

在本发明一个优选实施例中，在步骤S100的创建DRC工程中，启动软件至初始界面，所述初始界面包含五个选项卡菜单，其顺序依次为：Technology Information、BasicInformation、Layout Rules、Reliability Related Ruler、Design Rule Application，选项卡菜单顺序为DRC规则手册开发顺序。

在本发明一个优选实施例中，在步骤S200的显示进度中，采用进度条的模式，所述进度条用于在主选项卡菜单界面内容未完成时进行提示，并阻止进入下一个选项卡的点击及内容编辑。

在本发明一个优选实施例中，在步骤S300中，采用字符匹配的方法进行内容的匹配度检查。

在本发明一个优选实施例中，在步骤S300的匹配度检查中，在所述TechnologyInformation选项卡中定义选择工艺规则允许的格点规格与对应的工艺规则包含的器件信息，进行剖面图的层次定义、相关层物理信息的输入以及冲突性检测，当存在冲突时进行相关金属层信息的重新输入。

在本发明一个优选实施例中，在步骤S500的自动开发中，在所述BasicInformation选项卡中完成剖面图信息的自动导入，并进行Metal Combination组合数据的自动生成。

在本发明一个优选实施例中，在所述Layout Rules选项卡中，将layer mapping工艺层信息进行自动导入、同步显示，并选择各物理层的工艺规则。

在本发明一个优选实施例中，在步骤S800的文件导出中，在自动导入DRM工程后，DRC文件通过DRM工程中DRM相关物理信息及规则内容的输入，自动生成DRC代码文件。

在本发明一个优选实施例中，在自动生成DRC代码文件后，自动导出不同metaloption组合的DRC代码文件。

通过上述技术方案，本发明具有如下有益效果：

(1)本发明提供一种集成电路制造工艺规则验证DRC自动界面实现方法，该方法通过计算机人机界面的形式完成DRC文件的数据采集、数据分析、规则连接、规则匹配示意图生成、规则基本信息检测、自动整合并生成工艺规则验证DRC技术文件，通过整套界面操作自动化产生大量的工艺规则信息，同时自动化完成工艺验证DRC文件的开发，针对不同metal option(工艺物理层堆叠信息)自动产生不同的DRC文件，提高DRC文件的输出效率并确保输出品质。

(2)本发明提供了自动导入DRM工程的方法，完全确保DRM与DRC改版内容的同步修正，确保内容的一致性，本方法在关联确认的过程中，防止DRC代码的错误修正以及完成自动冲突检查，确保整个DRC改版修正过程清晰，无疏漏，与规则完全匹配，开发难度低，工艺规则验证DRC的编译规则较为简单，降低工艺规则验证DRC的开发门槛。

附图说明

图1为本发明集成电路制造工艺规则验证DRC自动界面实现方法的整体流程框图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。

在本发明使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本公开。在本公开和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。

如图1所示，示出了本发明集成电路制造工艺规则验证DRC自动界面实现方法，具体步骤如下：

S100、创建DRC工程：通过选项卡模块显示方式新创建DRC工程；

S200、显示进度：提示用户该章节的完成度；

S300、匹配度检查：定义器件信息和工艺物理信息，进行内容的匹配度检查，并实时弹出内容冲突界面；

S400、显示规则：定义物理层的工艺参数，通过规则内容显示界面，将对象选择的指令通过图形的形式进行显示，并自动生成相关的描述语言；

S500、自动开发：进行工艺规则开发，将DRC对应不同应用的metal option组合进行勾选，并定义可靠性规则以及工艺设计规则的基本信息；

S600、自动界面设定：将DRC头部设定文件进行自动界面设定；

S700、工具文件选择：将DRC导出的不同的对应工具文件进行自动类型选择；

S800、文件导出：编译生成DRC文件并导出，可在下次进行DRC工程创建时，选择直接导入DRM工程。

下面对本发明的方法进行详细描述：

S100、创建DRC工程：启动软件至初始界面，通过选项卡模块显示方式新创建DRC工程。具体的，所述初始界面包含五个选项卡菜单，其顺序依次为：Technology Information(器件和工艺物理信息)、Basic Information(物理层工艺参数)、Layout Rules(工艺规则)、Reliability Related Ruler(可靠性规则)、Design Rule Application(工艺设计规则应用)，选项卡菜单顺序为DRC规则手册开发顺序，启动软件后进行新工程的创建，选择DRC中各个工艺节点及种类的输入，自动完成工艺模块的选择与模组数据的匹配。

S200、显示进度：采用进度条的模式提示用户该章节的完成度。具体的，在初始数据未填入前停留在第一个选项卡，由进度条进行流程控制。当数据输入完成后显示进度条填满，才可进入下一个选项卡进行操作。

S300、匹配度检查：定义器件信息和工艺物理信息，采用字符匹配的方法进行内容的匹配度检查，并实时弹出内容冲突界面。具体的，通过Technology Information选项卡定义选择工艺规则允许的格点规格与对应的工艺规则包含的器件信息，对剖面图的层次进行定义、相关层物理信息的输入，同时进行冲突性检测，根据弹出的冲突对话框进行相关金属层信息的修正。

S400、显示规则：定义物理层的工艺参数，通过规则内容显示界面，将对象选择的指令通过图形的形式进行显示，并自动生成相关的描述语言。具体的，自动导入并显示物理层，并选择各物理层的工艺规则，输入各层次的工艺参数，根据器件功能和特性显示相应层，根据剖面图自动生成金属层组合数据。

S500、自动开发：进行工艺规则开发，将DRC对应不同应用的metal option组合进行勾选，并定义可靠性规则以及工艺设计规则的基本信息。具体的，Metal Combination组合数据未多选项，可依据工艺支持模组的需要，用鼠标点击对应的Metal Combination组合勾选，再通过Reliability Related Ruler选项卡以及Design Rule Application选项卡定义可靠性规则以及工艺设计规则的基本信息，进行自动开发。

S600、自动界面设定：将DRC头部设定文件进行自动界面设定。具体的，在选择条件规则后，将对应的相关规则序号、规则内容描述、规则数据等信息进行同步显示，再进入DRC设定页面进行DRC文件头部设定内容的自动输入。

S700、工具文件选择：将DRC导出的不同的对应工具文件进行自动类型选择。具体的，在所述Basic Information选项卡中完成剖面图信息的自动导入，并进行MetalCombination组合数据的自动生成。

S800、文件导出：编译生成DRC文件并导出，可在下次进行DRC工程创建时，选择直接导入DRM工程。具体的，根据设置自动生成并导出对应的DRC文件，当用户已经生成了对应的DRM工程文件，并进行了相关的修正，则可以在进行DRC工程创建时，选择直接导入DRM工程，则同步所有DRM修改内容都将使DRC规则内容进行同步变更及输出。

以具体示例进行说明：

本发明中DRC自动开发工具界面是通过界面进行数据采集、分析、计算处理，最终完成规则验证文件DRC的自动开发：首先完成工艺种类及节点的选择，工具自动匹配对应的工艺模组；然后按界面提示进行电性参数输入完成工艺基础层次信息自动生成；依据模组器件的内容进行自动引导输入，并自动产生工艺器件相关输出；依据技术信息界面输出工艺剖面图进行工艺金属组合的自动输出；依据工艺基础信息的数据采集及验证，将工艺手册基本信息进行后台整合在Layout Rules界面进行规则的定义及选择；验证内容文件头部设定自动输入；规则验证DRC文件metal option输出的选择；最后在界面上选择并完成规则验证DRC的成果输出。

具体操作如下：

(1)首先启动初始界面，点击初始界面第一个下拉菜单进行新工程的创建，选择DRC中各个工艺节点及种类的输入，自动完成工艺模块的选择，并自动匹配对应工艺所需要的模组数据；

(2)进入新工程初始界面，该界面包括5个选项卡菜单，顺序依次为DRC开发顺序，初始数据未填入前停留在第一个选项卡，由进度条进行流程控制，当数据输入完成后，则进度条填满，鼠标可点击进入下一个选项卡，选中的选项卡就会同时突出加亮；

(3)正式开发DRC,在Technology Information中定义选择工艺规则允许的格点规格，其次勾选对应的工艺规则包含的器件信息。在右边的空白区依据需要进行的工艺规则类型进行剖面图的层次定义，鼠标双击该层次则可进行相关层物理信息的输入，同时工具将依据剖面图实际工艺特性进行冲突性检测，当弹出冲突对话框时需要进行相关金属层信息的重新输入；

(4)在Basic Information选项卡Layer Information模组中，会依据步骤⑵中剖面图信息自动读入相关工艺层并进行自动分类后供选择，鼠标点击对应的工艺层类型，并在对应信息栏位双击鼠标后依据弹出对话框的提示内容将工艺数据进行依次填入；

(5)在Basic Information选项卡layer Information选择完成后，直接进行Device truth的内容开发，会依据步骤⑷中生成的相关layer信息自动生成device相关层信息供选择，用鼠标依据不同器件的功能及特性点击对应的层信息，并用不同图示模式进行显示；

(6)在Basic Information选项卡device truth选择完成后工具自动导入步骤⑶周的剖面图信息，进行Metal Combination组合数据的自动生成，该组数据未多选项，可依据工艺支持模组的需要，用鼠标点击对应的Metal Combination组合；

(7)在Layout Rules选项卡中，会依据步骤⑷、⑸、⑹生成的数据进行自动读取。将步骤⑷、⑸、⑹结果显示在界面上，通过鼠标点击进行选择，表示对该选择对象进行规则的开发，界面中间的Rule definition/Rule Definition/Rule则通过鼠标点击及下拉菜单选择方式进行内容的勾选，同时在选择过程中，右侧图示框将依据实际条件规则的选择，显示对应的图示内容。最终确认内容则直接鼠标点击Apply按键，并确认内容序号。同步在界面最下侧，将同步自动显示对应的相关规则序号，规则内容描述，规则数据等信息；

(8)当layout Rules相关内容填写完成后，点击下拉菜单Edit→Export DRCSetting，进入DRC设定页面进行DRC文件头部设定内容的自动输入；

(9)当DRC设定完成，则点击下拉菜单Delivering Products→DRC Command File，点击对应metal option进行所需要导出文件对应的需求选择；

(10)当metal option勾选完成后，则可以直接进行DRC文件的导出；

(11)在所有内容自动导出完成后，点击关闭按钮进行工具的关闭；

(12)当用户已经生成了对应的DRM工程文件，并进行了相关的修正，则可以在进行DRC工程创建时，选择直接导入DRM工程，则同步所有DRM修改内容都将进行DRC规则内容的同步变更及输出。

以上所述，仅为本发明的较佳实施例，并非对本发明任何形式上和实质上的限制，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明方法的前提下，还将可以做出若干改进和补充，这些改进和补充也应视为本发明的保护范围。凡熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，当可利用以上所揭示的技术内容而做出的些许更动、修饰与演变的等同变化，均为本发明的等效实施例；同时，凡依据本发明的实质技术对上述实施例所作的任何等同变化的更动、修饰与演变，均仍属于本发明的技术方案的范围内。