改善吹风洁净度的光刻机系统

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，具体为改善吹风洁净度的光刻机系统。

背景技术

光刻机一般根据操作的简便性分为手动、半自动和全自动三种，手动指的是对准的调节方式，是通过手调旋钮改变它的X轴、Y轴和角度来完成对准，半自动指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐，自动指的是从基板的上载下载，曝光时长和循环都是通过程序控制，自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。

光刻机在清洁时主要是采用吹风系统对工作台和光刻镜头进行吹风除尘，但是在长时间进行吹风清洁时，由于吹出的空气中含有微小的颗粒或者腐蚀性气体，会对光刻镜头的表面造成腐蚀和磨损，进而影响光刻机的正常使用。

因此，我们需要改善吹风洁净度的光刻机系统。

发明内容

本发明的目的在于提供改善吹风洁净度的光刻机系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：改善吹风洁净度的光刻机系统，包括装置箱，所述装置箱的正面设置用控制机构，所述装置箱的内底壁设置有工作台，所述工作台的上方设置有光刻镜头，所述装置箱的左侧表面分别固定安装有支撑板、烘干箱和喷淋箱，所述支撑板的上表面分别固定安装有气泵和过滤箱，所述烘干箱的两侧内壁固定安装有电加热丝，所述喷淋箱的上表面固定安装有支撑柱，所述支撑柱远离喷淋箱的一端固定安装有储水箱，所述储水箱的侧面设置有注水口，所述储水箱的下表面固定安装有水泵，所述装置箱的左侧内壁固定安装有固定板，所述固定板的上表面固定安装有风机，所述装置箱的内底壁固定安装有安装板，所述安装板的右侧面固定安装有电动推杆，所述电动推杆的推送端固定安装有衔接板，所述衔接板远离电动推杆的一侧固定安装有T型喷气管，所述过滤箱的侧面固定安装有气管，所述气管远离过滤箱的一端延伸至装置箱的内部并固定连接有喷气软管，所述喷气软管远离气管的一端延伸至T型喷气管的内部，所述喷气软管呈螺旋状盘绕在电动推杆的表面。

优选的，所述电加热丝的数量为两个，两个所述电加热丝对称设置在烘干箱的两侧内壁，所述支撑柱的数量为四个，四个所述支撑柱呈矩形阵列设置在喷淋箱上表面的四角处。

优选的，所述水泵的进水端固定安装有进水管，所述进水管远离水泵的一端延伸至储水箱的内部并固定安装有过滤网，所述水泵的出水端固定安装有出水管，所述出水管远离水泵的一端延伸至喷淋箱的内部并固定安装有喷淋头。

优选的，所述风机的进风端固定安装有进风管，所述进风管远离风机的一端延伸至装置箱的上表面并固定安装有过滤保护罩，所述风机的出风端固定安装有出风管，所述出风管远离风机的一端延伸至喷淋箱的内部。

优选的，所述T型喷气管的表面固定安装有喷气头，所述喷气头的数量为两个，两个所述喷气头以T型喷气管侧面的中线为对称轴对称设置在T型喷气管的侧面。

优选的，所述喷淋箱的侧面分别开设有两侧开口，两个所述开口的内壁分别固定安装有衔接管和排水管，所述衔接管远离喷淋箱的一端延伸至烘干箱的内部，所述排水管的表面固定安装有排水阀门。

优选的，所述气泵的进气端延伸至烘干箱的内部，所述气泵的出气端延伸至过滤箱的内部，所述过滤箱的内底壁通过滑轨滑动连接有过滤网芯，所述过滤网芯的内壁设置有活性炭颗粒。

优选的，所述过滤箱的正面通过两个合页转动连接有箱门，所述箱门的正面固定安装有把手，所述把手的表面套设有防滑橡胶套，所述箱门和过滤箱的正面均固定安装有固定块，两个所述固定块的侧面均开设有螺纹孔，两个所述螺纹孔的内壁螺纹连接有固定螺栓。

优选的，所述装置箱的下表面固定安装有支撑座，所述支撑座的数量为四个，四个所述支撑座呈矩形阵列设置在装置箱下表面的四角处，所述装置箱的右侧面开设有开口，所述开口的内壁固定安装有吸尘罩。

有益效果

本发明提供了改善吹风洁净度的光刻机系统，具备以下有益效果：

1.该改善吹风洁净度的光刻机系统，通过设置风机、喷淋箱、储水箱、喷淋头、烘干箱、气泵和过滤箱，在对光刻机工作台和光刻镜头进行吹风清理时，能够首先对气流进行喷淋除尘，之后再进行烘干去潮，最后经过活性炭颗粒进行进一步清洁过滤，从而提升了吹风清洁时气流的洁净度，避免了对光刻镜头造成腐蚀或者磨损。

2.该改善吹风洁净度的光刻机系统，通过设置过滤网芯、箱门和把手，使该改善吹风洁净度的光刻机系统在长时间使用过后，能够方便对过滤网芯进行更换，降低了操作者的工作量。

附图说明

图1为本发明正剖结构示意图；

图2为本发明装置箱正视结构示意图；

图3为本发明过滤箱正视结构示意图；

图4为图1中A处放大结构示意图；

图5为图1中B处放大结构示意图。

图中：1装置箱、2工作台、3光刻镜头、4烘干箱、5喷淋箱、6气泵、7过滤箱、8电加热丝、9储水箱、10水泵、11风机、12安装板、13电动推杆、14衔接板、15T型喷气管、16喷气软管、17喷淋头、18喷气头、19衔接管、20过滤网芯、21活性炭颗粒、22箱门、23把手、24支撑座、25吸尘罩、26控制机构。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-5，本发明提供一种技术方案：改善吹风洁净度的光刻机系统，包括装置箱1，装置箱1的正面设置用控制机构26，装置箱1的下表面固定安装有支撑座24，支撑座24的数量为四个，四个支撑座24呈矩形阵列设置在装置箱1下表面的四角处，装置箱1的右侧面开设有开口，开口的内壁固定安装有吸尘罩25。

装置箱1的内底壁设置有工作台2，工作台2的上方设置有光刻镜头3，装置箱1的左侧表面分别固定安装有支撑板、烘干箱4和喷淋箱5，喷淋箱5的侧面分别开设有两侧开口，两个开口的内壁分别固定安装有衔接管19和排水管，衔接管19远离喷淋箱5的一端延伸至烘干箱4的内部，排水管的表面固定安装有排水阀门。

支撑板的上表面分别固定安装有气泵6和过滤箱7，过滤箱7的正面通过两个合页转动连接有箱门22，箱门22的正面固定安装有把手23，把手23的表面套设有防滑橡胶套，箱门22和过滤箱7的正面均固定安装有固定块，两个固定块的侧面均开设有螺纹孔，两个螺纹孔的内壁螺纹连接有固定螺栓。

气泵6的进气端延伸至烘干箱4的内部，气泵6的出气端延伸至过滤箱7的内部，过滤箱7的内底壁通过滑轨滑动连接有过滤网芯20，过滤网芯20的内壁设置有活性炭颗粒21，通过设置过滤网芯20、箱门22和把手23，使该改善吹风洁净度的光刻机系统在长时间使用过后，能够方便对过滤网芯20进行更换，降低了操作者的工作量。

烘干箱4的两侧内壁固定安装有电加热丝8，电加热丝8的数量为两个，两个电加热丝8对称设置在烘干箱4的两侧内壁，喷淋箱5的上表面固定安装有支撑柱，支撑柱的数量为四个，四个支撑柱呈矩形阵列设置在喷淋箱5上表面的四角处，支撑柱远离喷淋箱5的一端固定安装有储水箱9，储水箱9的侧面设置有注水口。

储水箱9的下表面固定安装有水泵10，水泵10的进水端固定安装有进水管，进水管远离水泵10的一端延伸至储水箱9的内部并固定安装有过滤网，水泵10的出水端固定安装有出水管，出水管远离水泵10的一端延伸至喷淋箱5的内部并固定安装有喷淋头17。

装置箱1的左侧内壁固定安装有固定板，固定板的上表面固定安装有风机11，风机11的进风端固定安装有进风管，进风管远离风机11的一端延伸至装置箱1的上表面并固定安装有过滤保护罩，风机11的出风端固定安装有出风管，出风管远离风机11的一端延伸至喷淋箱5的内部。

装置箱1的内底壁固定安装有安装板12，安装板12的右侧面固定安装有电动推杆13，电动推杆13的推送端固定安装有衔接板14，衔接板14远离电动推杆13的一侧固定安装有T型喷气管15，T型喷气管15的表面固定安装有喷气头18，喷气头18的数量为两个，两个喷气头18以T型喷气管15侧面的中线为对称轴对称设置在T型喷气管15的侧面。

过滤箱7的侧面固定安装有气管，气管远离过滤箱7的一端延伸至装置箱1的内部并固定连接有喷气软管16，喷气软管16远离气管的一端延伸至T型喷气管15的内部，喷气软管16呈螺旋状盘绕在电动推杆13的表面，通过设置风机11、喷淋箱5、储水箱9、喷淋头17、烘干箱4、气泵6和过滤箱7，在对光刻机工作台2和光刻镜头3进行吹风清理时，能够首先对气流进行喷淋除尘，之后再进行烘干去潮，最后经过活性炭颗粒21进行进一步清洁过滤，从而提升了吹风清洁时气流的洁净度，避免了对光刻镜头3造成腐蚀或者磨损。

工作原理：在对光刻机内的工作台2和光刻镜头3进行吹风清理时，气流首先通过风机11进入到喷淋箱5的内部，通过水泵10和喷淋头17对气流进行喷淋过滤，去除气流中的粉尘颗粒，随后气流通过衔接管19进入到烘干箱4内部，被电加热丝8加热烘干，去除气流中的水分，之后通过气泵6进入到过滤箱7内部，通过过滤箱7内部的活性炭颗粒21对气流进行进一步的清洁过滤，最后通过喷气头18对工作台2和光刻镜头3进行吹风清洁，从而提升了吹风清洁时气流的洁净度，避免了对光刻镜头3造成腐蚀或者磨损，同时电动推杆13的伸缩使喷气头18能够将气流均匀的对工作台2和光刻镜头3进行清洁，而且通过过滤网芯20、箱门22和把手23，使该改善吹风洁净度的光刻机系统在长时间使用过后，能够方便对过滤网芯20进行更换，降低了操作者的工作量。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。