图像异常原因的确定方法及装置

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种图像异常原因的确定方法及装置。

背景技术

在集成电路芯片生产过程中，通常为了保证硅片的良率，可以使用电子束图像缺陷检测设备对硅片表面进行扫描，以获取硅片表面形貌的图像信息，由于电子束检测系统涉及到高真空，电磁场复合工作环境复杂，在图像获取过程中可能会出现异常。

相关技术中，若扫描电镜图像信息发生异常时，通常需要将扫描电镜电子枪部分、探测器等进行拆除，或者线下对相关电控模组依次进行排查，以确定异常原因，但由于需要进行器件拆除，耗费时间较长，效率较低。由此，如何提高图像异常查找的效率，显得至关重要。

发明内容

本申请提供一种图像异常原因的确定方法及装置。

根据本申请的第一方面，提供一种电子束检测系统，该系统包括激光脉冲发生器、探测器、预放大器、及示波器；所述激光脉冲发生器用于向腔室内发射激光信号，所述腔室用于设置晶圆；所述探测器的输出端与所述预放大器的输入端连接，所述预放大器的输出端与所述示波器连接。

在一些实施方式中，还包括样品台；所述样品台设置于所述腔室内，用于放置晶圆。

根据本申请的第二方面，提供一种图像异常原因的确定方法，应用于如第一方面所述的电子束检测系统，该方法包括：在扫描电镜图像异常、且腔室内处于真空状态的情况下，打开所述激光脉冲发生器以向所述腔室内发射激光信号；基于所述探测器接收到的被腔室内的晶圆反射后的激光信号，生成第一波形图；根据所述第一波形图，确定所述探测器是否发生异常。

在一些实施方式中，所述基于所述探测器接收到的被所述腔室内的晶圆反射后的激光信号，生成第一波形图，包括：在所述探测器将反射后的激光信号转换成电信号后，获取所述电信号参数；在所述预放大器对所述电信号参数进行放大处理后，得到目标电信号参数；将所述目标电信号参数在所述示波器上显示为第一波形图。

在一些实施方式中，所述根据所述第一波形图，确定所述探测器是否发生异常，包括：在所述第一波形图中任一波形的数值小于第一阈值的情况下，确定所述探测器发生异常。

在一些实施方式中，所述方法还包括：在所述探测器发生异常的情况下，利用合格探测器对所述探测器进行替换。

在一些实施方式中，所述方法还包括：在所述探测器正常的情况下，关闭所述激光脉冲发生器；在所述腔室内处于真空状态下，控制所述样品台上电；基于所述探测器接收到的被所述腔室内晶圆反射的电子信号，生成第二波形图；基于所述第二波形图，确定是否存在噪声干扰。

在一些实施方式中，所述基于所述第二波形图，确定是否存在噪声干扰，包括：在所述腔室内处于真空状态下，控制所述样品台下电；基于所述探测器接收到的被所述腔室内的晶圆反射的电子信号，生成第三波形图；基于所述第二波形图和所述第三波形图，确定是否存在噪声干扰。

在一些实施方式中，所述基于所述第二波形图和所述第三波形图，确定是否存在噪声干扰，包括：在所述第二波形图的数值大于第二阈值、所述第三波形图的数值小于第二阈值的情况下，确定异常原因为噪声。

根据本申请的第三方面，提供一种图像异常原因的确定装置，该装置包括：打开模块，用于在扫描电镜图像异常、且腔室内处于真空状态的情况下，打开所述激光脉冲发生器以向所述腔室内发射激光信号；第一生成模块，用于基于所述探测器接收到的被所述腔室内的晶圆反射后的激光信号，生成第一波形图；第一确定模块，用于根据所述第一波形图，确定所述探测器是否发生异常。

在一些实施方式中，所述第一生成模块，具体用于：在所述探测器将反射后的激光信号转换成电信号后，获取所述电信号参数；在所述预放大器对所述电信号参数进行放大处理后，得到目标电信号参数；将所述目标电信号参数在所述示波器上显示为第一波形图。

在一些实施方式中，所述第一确定模块，具体用于：在所述第一波形图中任一波形的数值小于第一阈值的情况下，确定所述探测器发生异常。

在一些实施方式中，所述装置还包括：替换模块，用于在所述探测器发生异常的情况下，利用合格探测器对所述探测器进行替换。

在一些实施方式中，所述电子束检测系统还包括样品台，所述装置还包括：关闭模块，用于在所述探测器正常的情况下，关闭所述激光脉冲发生器；控制模块，用于在所述腔室内处于真空状态下，控制所述样品台上电；第二生成模块，用于基于所述探测器接收到的被所述腔室内晶圆反射的电子信号，生成第二波形图；第二确定模块，用于基于所述第二波形图，确定是否存在噪声干扰。

在一些实施方式中，所述第二确定模块，包括：控制单元，用于在所述腔室内处于真空状态下，控制所述样品台下电；生成单元，用于基于所述探测器接收到的被所述腔室内的晶圆反射的电子信号，生成第三波形图；确定单元，用于基于所述第二波形图和所述第三波形图，确定是否存在噪声干扰。

在一些实施方式中，所述确定单元，具体用于：在所述第二波形图的数值大于第二阈值、所述第三波形图的数值小于第二阈值的情况下，确定异常原因为噪声。

根据本申请的第四方面，提供一种半导体设备，包括如上述的任一种电子束检测系统、如上述的任一种图像异常原因的确定装置及腔室。

根据本申请的第五方面，提供一种电子设备，电子设备包括：处理器以及存储有计算机程序指令的存储器；处理器执行计算机程序指令时实现上述的任一种图像异常原因的确定方法。

根据本申请的第六方面，提供一种计算机可读存储介质，其特征在于，计算机可读存储介质上存储有计算机程序指令，计算机程序指令被处理器执行时实现上述的任一种图像异常原因的确定方法。

综上所述，本申请提供的图像异常原因的确定方法及装置至少具有以下有益效果：在扫描电镜图像异常、且腔室内处于真空状态的情况下，打开所述激光脉冲发生器以向所述腔室内发射激光信号；基于所述探测器接收到的被腔室内的晶圆反射后的激光信号，生成第一波形图；根据所述第一波形图，确定所述探测器是否发生异常。由此，在扫描电镜图像发生异常时，可以打开激光脉冲发生器以发射激光信号，再基于探测器接收到的激光信号，生成第一波形图，进而确定探测器是否发生异常，从而可以实现在线对探测器进行检测，无需将探测器单独拆解开来再进行检测，即可确定是否是探测器异常导致的图像异常，从而简化了对探测器进行异常排查的过程，方便了操作，也节省了时间，提高了图像异常原因确定的效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域的技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请的实施例提供的一种电子束检测系统的示意图；

图2为本申请的实施例提供的一种图像异常原因的确定方法的流程图；

图3为本申请的实施例提供的一种第一波形图的示意图；

图4为本申请的实施例提供的一种图像异常原因的确定方法的流程图；

图5为本申请的实施例提供的一种第二波形图及第三波形图的示意图；

图6为本申请的实施例提供的一种图像异常原因的确定装置的结构图；

图7为本申请的实施例提供的一种电子设备的结构图。

具体实施方式

为了使本申请的上述以及其他特征和优点更加清楚，下面结合附图进一步描述本申请。应当理解，本文给出的具体实施例是出于向本领域的技术人员解释的目的，仅是示例性的，而非限制性的。

在以下描述中，阐述了许多具体细节以提供对本申请的透彻理解。然而，对于本领域的技术人员来说，明显的是，不需要采用具体细节来实践本申请。在其他情况下，未详细描述众所周知的步骤或操作，以避免模糊本申请。

本申请实施例提供的图像异常原因的确定方法，可由本申请实施例提供的图像异常原因的确定装置执行，该装置可配置于电子设备中。

参考图1，本申请提供了一种电子束检测系统，该系统包括：激光脉冲发生器、探测器、预放大器、及示波器。

其中，激光脉冲发生器可以用于向腔室内发射激光信号，腔室可以用于设置晶圆，探测器的输出端可以与预放大器的输入端连接，预放大器的输出端可以与示波器连接。

其中，探测器又可以称为扫描电镜探测器，其可以用于接收腔室内的晶圆反射的信号，比如在激光脉冲发生器发射激光脉冲时，可以用于接收样品台上面晶圆反射回来的二次电子和背散射电子等，从而得到晶圆表面形貌的灰度图像信息等等，本申请对此不做限定。

可选的，还可以包括样品台，该样品台设置于腔室内，用于放置晶圆。

其中，样品台，也可以称为样品定位平台，其可以用于放置晶圆，比如放置待检测的硅片样品、裸晶圆(bare wafer)等；样品台可以设置有带电模组，比如上电模组、高压模组、供电模组等等，本申请对此不做限定。

可选的，激光脉冲发生器和示波器可以均设置于腔室外，预放大器可以设置于腔室外；预放大器也可以设置于腔室内，在预放大器设置于腔室内时，其可以与探测器一体设置，或者也可以分开设置等等，本申请对此不做限定。

其中，激光脉冲发生器可以用于发射激光脉冲，探测器可以对接收到的被腔室内的晶圆反射后的激光信号或电子信号进行转换，以得到电信号。由于探测器得到的电信号可能较为微弱，预放大器可以用于对接收的电信号进行放大处理，示波器可以对接收的放大后的电信号进行处理与展示。

举例来说，在如图1所示的电子束检测设备的示意图中，激光脉冲发生器107可以用于发射激光脉冲，探测器103可以用于接收被腔室内的晶圆反射后的激光信号。当扫描电镜图像异常时，可以通过关闭扫描电镜的枪阀102，以使扫描电镜电子枪101停止发射电子束。之后打开激光脉冲发生器107以发射激光脉冲，之后探测器103可以将接收到的被腔室104内的bare wafer 106反射后的激光信号转化成电信号，预放大器108可以对其进行放大处理，示波器109可以将其进行展示，以形成第一波形图，进而根据该第一波形图，可以确定探测器是否发生异常。由于该过程不会破坏真空环境，从而在对探测器检测过程中，尽量降低了对设备工作时间的影响等。

可选的，在探测器发生异常的情况下，可以对该探测器进行更换，比如可以使用合格的新探测器将其进行替换。

或者，在探测器未发生异常、正常的情况下，还可以关闭激光脉冲发生器，并控制样品台上电，之后探测器可以将腔室内晶圆反射的电子信号进行转化，以得到电信号，预放大器对其进行放大处理，示波器将经放大处理后的电信号进行展示，以形成生成第二波形图，进而可以基于该第二波形图，确定是否存在噪声干扰。

从而，本申请实施例中，在扫描电镜图像异常时，可以在线检查探测器是否发生异常、是否存在噪声干扰，在不破坏真空环境的情况下，即可确定出扫描电镜图像异常原因，节省了时间，避免了由于拆卸设备造成的时间浪费，简化了流程，提高了效率。

参考图2，本申请提供了一种图像异常原因的确定方法，该方法包括：

步骤201，在扫描电镜图像异常、且腔室内处于真空状态的情况下，打开激光脉冲发生器以向腔室内发射激光信号。

可以理解的是，本申请提供的图像异常原因的确定方法，可以适用于如图1所示的电子束检测系统，或者也可以适用于其他任何可实现同样功能的电子束检测系统等等，本申请对此不做限定。

其中，扫描电镜(scanning electron microscope，SEM)图像是用电子枪射出电子束聚焦后，在晶圆表面上做光栅状扫描得到的一种图像，它可以通过探测电子作用于晶圆所产生的信号，来观察并分析晶圆表面的组成、形态和结构。

另外，确定SEM图像异常的方式可能有多种，比如生成的SEM图像中没有任何图像信息、没有图像单元；或者，在超过预设时常的情况下，未得到SEM图像等等，均可以认为SEM图像异常，本申请对此不做限定。可以理解的是，本申请实施例中，在得到SEM图像的过程中是在真空环境下进行的，若确定SEM图像异常，那么可以先关闭扫描电镜的枪阀，以停止发射电子束，而此时仍为真空环境，未破坏腔室的真空状态。之后可以打开激光脉冲发生器，以使激光脉冲发生器可以向腔室内发射激光信号，该激光信号可以到达腔室内放置的晶圆表面。

步骤202，基于探测器接收到的被腔室内的晶圆反射后的激光信号，生成第一波形图。

其中，激光脉冲发生器向腔室内发射的激光信号，可以在放置的晶圆表面发生反射，探测器可以接收到被腔室内的晶圆反射后的激光信号，之后可以将该激光信号进行转换以得到物理信号，比如可以得到电信号，进而对该电信号进行处理，可以生成第一波形图。

可选的，可以在探测器将反射后的激光信号转换成电信号后，获取电信号参数，之后预处理器可以对电信号参数进行放大处理，得到目标电信号参数，再将目标电信号参数在示波器上显示为第一波形图。

其中，电信号参数可以为一个，或者也可以为多个，比如可以为电压值，或者也可以为其他任意物理参数等等，本申请对此不做限定。

另外，目标电信号参数可以理解为经放大处理后的电信号参数，比如，探测器将反射后的激光信号转换成电信号后，获取到的电信号参数可能较为微弱，此时可以经过预放大器对其进行处理，以得到目标电信号参数。

可以理解的是，获取的电信号参数的数量与探测器的类型、规格相关，比如其可以与探测器的输出端的数量可以呈正相关，比如若探测器只有一个输出端，那么获取的电信号参数可以为一组；若探测器有多个输出端，那么获取的电信号参数可以为多组等等，本申请对此不做限定。

举例来说，在探测器有四个输出端的情况下，可以获取到四组电信号参数，之后可以对其进行放大，得到四组目标电信号参数，相应的，在示波器上显示的第一波形图中可以包含四条波形，如图3(a)所示，本申请对此不做限定。

步骤203，根据第一波形图，确定探测器是否发生异常。

可以理解的是，在探测器正常工作的情况下，得到的第一波形图为规律的波形图，若探测器出现异常，得到的第一波形图可能就会发生变化。从而，本申请实施例中，可以根据第一波形图展示的波形数据，确定探测器是否发生异常。

可选的，可以在第一波形图中任一波形的数值小于第一阈值的情况下，确定探测器发生异常。

其中，第一阈值可以为提前设定的数值，比如可以为10毫伏(millivolt，mv)、15mv等等，本申请对此不做限定。

举例来说，在第一阈值为20mv的情况下，若第一波形图如图3(a)部分展示的四条波形1、波形2、波形3、波形4所示，可知该探测器正常、未发生异常；若第一波形图如图3(b)部分展示的四条波形1、波形2、波形3、波形4所示，其中，波形1的数值小于该阈值，那么可以确定该探测器发生异常等等，本申请对此不做限定。

可选的，可以在探测器发生异常的情况下，利用合格探测器对探测器进行替换，从而可以继续获取SEM图像。

从而本申请实施例中，可以在不破坏真空环境的情况下，在线对探测器进行检测，以确定SEM图像异常是否是探测器异常导致的，无需将探测器单独拆解开来再进行检测，从而简化了对探测器进行异常检测的过程，方便了操作，也节省了时间，提高了效率。

本申请实施例，可以在扫描电镜图像异常、且腔室内处于真空状态的情况下，打开激光脉冲发生器以向腔室内发射激光信号，之后可以基于探测器接收到的被腔室内的晶圆反射后的激光信号，生成第一波形图，再根据第一波形图，确定探测器是否发生异常。由此，在扫描电镜图像发生异常时，可以打开激光脉冲发生器以发射激光信号，再基于探测器接收到的激光信号，生成第一波形图，进而确定探测器是否发生异常，从而可以实现在线对探测器进行检测，无需将探测器单独拆解开来再进行检测，即可确定是否是探测器异常导致的图像异常，从而简化了对探测器进行异常排查的过程，方便了操作，也节省了时间，提高了图像异常原因确定的效率。

可选的，电子束检测系统还可以包括样品台，从而本申请实施例中，在确定探测器未发生异常的情况下，还可以对样品台中进一步排查，以确定SEM图像的异常原因，下面结合图4对上述过程进行进一步说明。

如图4所示，该图像异常原因的确定方法，可以包括以下步骤：

步骤401，在扫描电镜图像异常、且腔室内处于真空状态的情况下，打开激光脉冲发生器以向腔室内发射激光信号。

步骤402，基于探测器接收到的被腔室内的晶圆反射后的激光信号，生成第一波形图。

步骤403，根据第一波形图，确定探测器是否发生异常。

需要说明的是，步骤401至步骤403的具体内容及实现方式，可以参照本公开其他各实施例的说明，此处不再赘述。

步骤404，在探测器正常的情况下，关闭激光脉冲发生器。

步骤405，在腔室内处于真空状态下，控制样品台上电。

可以理解的是，若根据第一波形图，确定出探测器正常、未发生异常，那么此时为了进一步确定SEM图像异常的原因，可以先关闭激光脉冲发生器，之后可以控制样品台上电，在该过程中未破坏腔室内的真空环境，因此可以使得一直处于真空状态，也即在真空状态下，可以先初步确定出SEM图像异常不是由于探测器异常导致的，那么之后可以在样品台上电后，进一步确定SEM图像异常原因。

另外，样品台可以设置有带电模组，比如上电模组、高压模组、供电模组等等，之后可以控制样品台中的带电模组上电，以进入正常的工作状态等等，本申请对此不做限定。

步骤406，基于探测器接收到的被腔室内晶圆反射的电子信号，生成第二波形图。

其中，在样品台上电后，由于探测器是灵敏信号接收装置，其可以接收到被腔室内晶圆反射的电子信号，之后可以将该电子信号进行转换以得到物理信号，比如可以得到电信号，进而对该电信号进行处理，可以生成第二波形图。

另外，被腔室内晶圆反射的电子信号可以有多种，比如可以为二次电子(secondary electron，SE)、背散射电子(backscattered electron，BSE)等等，本申请对此不做限定。

可选的，可以在探测器将反射后的电子信号转换成电信号后，获取对应的电信号参数，之后可以对该电信号参数进行放大处理，得到与该电子信号相对应的目标电信号参数，将目标电信号参数在示波器上显示为第二波形图。

其中，得到第二波形图的过程及实现方式可以参照本公开各实施例中得到第一波形图的说明，此处不再赘述。

步骤407，基于第二波形图，确定是否存在噪声干扰。

可以理解的是，由于探测器是灵敏信号接收装置，其容易受空间电磁辐射和电磁传导辐射影响，从而可以根据示波器测量出的第二波形图衡量电子束设备噪声水平，进而确定SEM图像异常原因是否是噪声。通常，在正常、无噪声干扰的情况下，第二波形图可以为规律的波形图；若存在噪声干扰，第二波形图会发生变化，比如变得杂乱无章、没有规律，从而本申请实施例中，可以根据第二波形图显示的波形，确定是否存在噪声干扰。

可选的，可以在腔室内处于真空状态下，控制样品台下电，之后可以基于探测器接收到的被腔室内的晶圆反射的电子信号，生成第三波形图，再基于第二波形图和第三波形图，确定是否存在噪声干扰。

其中，第三波形图可以理解为样品台下电状态下，探测器将被腔室内的晶圆反射的电子信号进行转化得到电信号参数，进而生成的第三波形图。

可以理解的是，若不存在噪声干扰，那么第二波形图与第三波形图应保持一致；若存在噪声干扰，那么第二波形图与第三波形图就不一致，比如波形发生变化、数值大小发生变化等等。从而本申请实施例中，在样品台上电的情况下可以获取到第二波形图，在样品台下电情况下得到第三波形图，之后若二者一致，那么可以确定当前样品台不存在噪声干扰，若二者不一致，那么可以认为当前样品台存在噪声干扰。

可选的，可以在第二波形图的数值大于第二阈值、第三波形图的数值小于第二阈值的情况下，确定异常原因为噪声。

其中，第二阈值可以为提前设定的数值，比如可以为8mv、10mv、15mv等等，本申请对此不做限定。

举例来说，在第二阈值为10mv的情况下，若第三波形图如图5(a)所示，其中，各条波形的数值均小于第二阈值10mv，第二波形图如图5(b)所示，由图示可知，第二波形图的数值存在10mv的情况，那么可以确定异常原因为噪声。

需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本申请实施例中，确定异常原因为噪声的方式等的限定。

步骤408，在探测器发生异常的情况下，利用合格探测器对探测器进行替换。

从而本申请实施例中，在SEM图像异常时，可以在正常真空工作环境下对探测器进行测试、以及排查噪声，有效地保证了电子束检测系统的在线运行时间，由于不用破除主腔室真空环境，从而节省了因破除真空环境和恢复至正常工作的大量时间，有效地提升设备稳定性，减少了设备的故障时间，又由于通过在线方式进行排查，可以快速定位影响图像质量的根本原因，有效节约因排查方式不当而造成的时间浪费过多，可以有效提升设备运行效率。

本申请实施例，可以在扫描电镜图像异常、且腔室内处于真空状态的情况下，打开激光脉冲发生器以向腔室内发射激光信号，之后可以基于探测器接收到的被腔室内的晶圆反射后的激光信号，生成第一波形图，并根据第一波形图，确定探测器是否发生异常，在探测器正常的情况下，关闭激光脉冲发生器，在腔室内处于真空状态下，控制样品台上电，并基于探测器接收到的被腔室内晶圆反射的电子信号，生成第二波形图，之后可以基于第二波形图，确定是否存在噪声干扰，或者在探测器发生异常的情况下，利用合格探测器对探测器进行替换。由此，可以通过在线检测，确定探测器是否发生异常，在探测器正常的情况下，可以通过对样品台进行检测，以确定噪声是否为异常原因，在探测器异常的情况下，对探测器进行更换，从而实现了在线对探测器、样品台进行排查，无需将器件单独拆解开来再进行检测，即可确定图像异常原因，从而简化了异常排查的流程，方便了操作，也节省了时间，提高了效率。

根据本申请提供一种图像异常原因的确定装置，如图6所示，该装置包括打开模块610、第一生成模块620和第一确定模块630。

其中，打开模块610用于在扫描电镜图像异常、且腔室内处于真空状态的情况下，打开所述激光脉冲发生器以向所述腔室内发射激光信号；第一生成模块620用于基于所述探测器接收到的被所述腔室内的晶圆反射后的激光信号，生成第一波形图；第一确定模块630用于根据所述第一波形图，确定所述探测器是否发生异常。

在一些实施方式中，所述第一生成模块620具体用于在所述探测器将反射后的激光信号转换成电信号后，获取所述电信号参数；在所述预放大器对所述电信号参数进行放大处理后，得到目标电信号参数；将所述目标电信号参数在所述示波器上显示为第一波形图。

在一些实施方式中，所述第一确定模块630具体用于所述第一波形图中任一波形的数值小于第一阈值的情况下，确定所述探测器发生异常。

在一些实施方式中，所述装置还包括：替换模块，用于在所述探测器发生异常的情况下，利用合格探测器对所述探测器进行替换。

在一些实施方式中，所述装置还包括：关闭模块，用于在所述探测器正常的情况下，关闭所述激光脉冲发生器；控制模块，用于在所述腔室内处于真空状态下，控制所述样品台上电；第二生成模块，用于基于所述探测器接收到的被所述腔室内晶圆反射的电子信号，生成第二波形图；第二确定模块，用于基于所述第二波形图，确定是否存在噪声干扰。

在一些实施方式中，所述第二确定模块，包括：控制单元，用于在所述腔室内处于真空状态下，控制所述样品台下电；生成单元，用于基于所述探测器接收到的被所述腔室内的晶圆反射的电子信号，生成第三波形图；确定单元，用于基于所述第二波形图和所述第三波形图，确定是否存在噪声干扰。

在一些实施方式中，所述确定单元，具体用于：在所述第二波形图的数值大于第二阈值、所述第三波形图的数值小于第二阈值的情况下，确定异常原因为噪声。

本申请提供的图像异常原因的确定装置，可以在扫描电镜图像异常、且腔室内处于真空状态下，打开激光脉冲发生器以向腔室内发射激光信号，之后可以基于探测器接收到的被腔室内的晶圆反射后的激光信号，生成第一波形图，再根据第一波形图，确定探测器是否发生异常。由此，在扫描电镜图像发生异常时，可以打开激光脉冲发生器以发射激光信号，再基于探测器接收到的激光信号，生成第一波形图，进而确定探测器是否发生异常，从而可以实现在线对探测器进行检测，无需将探测器单独拆解开来再进行检测，即可确定是否是探测器异常导致的图像异常，从而简化了对探测器进行异常排查的过程，方便了操作，也节省了时间，提高了图像异常原因确定的效率。

应理解，本文中前述关于本申请的方法所描述的具体特征、操作和细节也可类似地应用于本申请的装置和系统，或者，反之亦然。另外，上文描述的本申请的方法的每个步骤可由本申请的装置或系统的相应部件或单元执行。

应理解，本申请的装置的各个模块/单元可全部或部分地通过软件、硬件、固件或其组合来实现。各模块/单元各自可以硬件或固件形式内嵌于电子设备的处理器中或独立于处理器，也可以软件形式存储于电子设备的存储器中以供处理器调用来执行各模块/单元的操作。各模块/单元各自可以实现为独立的部件或模块，或者两个或更多个模块/单元可实现为单个部件或模块。

本申请还提供一种半导体设备，该半导体设备包括如上述的任一种电子束检测系统、如上述的任一种图像异常原因的确定装置及腔室。

可选的，本申请提供的半导体设备还可以包括扫描电镜，扫描电镜包括电子枪和枪阀。

如图7所示，本申请提供了一种电子设备700，电子设备包括处理器701以及存储有计算机程序指令的存储器702。其中，处理器701执行计算机程序指令时实现上述的图像异常原因的确定方法的各步骤。该电子设备700可以广义地为服务器、终端，或任何其他具有必要的计算和/或处理能力的电子设备。

在一个实施例中，该电子设备700可包括通过系统总线连接的处理器、存储器、网络接口、通信接口等。该电子设备700的处理器可用于提供必要的计算、处理和/或控制能力。该电子设备700的存储器可包括非易失性存储介质和内存储器。该非易失性存储介质可存储有操作系统、计算机程序等。该内存储器可为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该电子设备700的网络接口和通信接口可用于与外部的设备通过网络连接和通信。该计算机程序被处理器执行时执行本申请的方法的步骤。

本申请提供了一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质上存储有计算机程序指令，计算机程序指令被处理器执行时实现上述的图像异常原因的确定方法。

本领域的技术人员可以理解，本申请的方法步骤可以通过计算机程序来指示相关的硬件如电子设备700或处理器完成，计算机程序可存储于非暂时性计算机可读存储介质中，该计算机程序被执行时导致本申请的步骤被执行。根据情况，本文中对存储器、存储或其它介质的任何引用可包括非易失性或易失性存储器。非易失性存储器的示例包括只读存储器(ROM)、可编程ROM(PROM)、电可编程ROM(EPROM)、电可擦除可编程ROM(EEPROM)、闪存、磁带、软盘、磁光数据存储装置、光学数据存储装置、硬盘、固态盘等。易失性存储器的示例包括随机存取存储器(RAM)、外部高速缓冲存储器等。

以上描述的各技术特征可以任意地组合。尽管未对这些技术特征的所有可能组合进行描述，但这些技术特征的任何组合都应当被认为由本说明书涵盖，只要这样的组合不存在矛盾。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。