一种用于快速清洗激光剥蚀池的装置

技术领域

本发明涉及实验领域，尤其涉及一种用于快速清洗激光剥蚀池的装置。

背景技术

在激光剥蚀取样与电感耦合等离子体质谱联用分析元素或者同位素时，需要通过工作气体管路向激光剥蚀池内输入工作气体，每当剥蚀并分析完一个样品后，需要更换激光剥蚀池上的连接管路，通过输入清洗气体将上一个样品剥蚀后残留的气溶胶吹扫干净后，才能再次连接工作气体管路分析下一个样品；其在元素分析过程中，需要不断的进行管路更换操作，严重降低了元素分析工作的工作效率，给元素分析工作带来一定的困扰。

发明内容

本发明目的是针对上述问题，提供一种结构简单、使用便利的用于快速清洗激光剥蚀池的装置。

为了实现上述目的，本发明的技术方案是：

一种用于快速清洗激光剥蚀池的装置，包括第一两位五通阀、第二两位五通阀，第一两位五通阀上设置有第一连接口、第二连接口、第三连接口、第四连接口、第五连接口，当第一连接口与第四连接口相连通时，第二连接口与第五连接口相连通；当第一连接口与第三连接口相连通时，第二连接口与第四连接口相连通；所述第二两位五通阀上设置有第六连接口、第七连接口、第八连接口、第九连接口、第十连接口，当第六连接口与第八连接口相连通时，第七连接口与第九连接口相连通；当第六连接口与第九连接口相连通时，第七连接口与第十连接口相连通；所述第六连接口与第三连接口通过第一气路管道相连通，第四连接口通过第二气路管道与激光剥蚀池的进气口相连通，激光剥蚀池的出气口通过出气管道与第七连接口相连通。

进一步的，所述第一连接口与工作气体管路相连通，第二连接口与清洗气体管路相连通，第八连接口呈封闭状态，第九连接口与电感耦合等离子体质谱仪相连通。

进一步的，所述第一两位五通阀、第二两位五通阀均包括固定板、滑动板，固定板与滑动板滑动连接且两者之间保持密封状态；所述第一两位五通阀上的固定板从上至下等间距设置有第三连接口、第四连接口、第五连接口，第一两位五通阀上的滑动板从上至下设置有第一连接口、第二连接口，第一连接口与第二连接口之间的间距与第三连接口、第四连接口、第五连接口之间的间距相一致；所述第二两位五通阀上的固定板从上至下等间距设置有第八连接口、第九连接口、第十连接口，第二两位五通阀上的滑动板从上至下设置有第六连接口、第七连接口，第六连接口与第七连接口之间的间距与第八连接口、第九连接口、第十连接口之间的间距相一致。

与现有技术相比，本发明具有的优点和积极效果是：

本发明通过采用在激光剥蚀池的进气口、出气口两侧分别设置第一两位五通阀、第二两位五通阀的设计，使得通过对第一两位五通阀、第二两位五通阀上连接口连通状态的改变，可以轻松实现工作气体管路、清洗气体管路的快速替换，避免了在更换下一个检测样品时需要不断更换激光剥蚀池上连接管路的状况发生，节省了更换连接管路的时间，提高了元素分析工作的工作效率，给元素分析工作带来了便利。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的第一状态结构图；

图2为本发明的第二状态结构图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

本实施例公开了一种用于快速清洗激光剥蚀池的装置，包括第一两位五通阀A、第二两位五通阀B，第一两位五通阀A上设置有第一连接口1、第二连接口2、第三连接口3、第四连接口4、第五连接口5，当第一连接口1与第四连接口4相连通时，第二连接口2与第五连接口5相连通；当第一连接口1与第三连接口3相连通时，第二连接口2与第四连接口4相连通；所述第二两位五通阀B上设置有第六连接口8、第七连接口9、第八连接口10、第九连接口11、第十连接口12，当第六连接口8与第八连接口10相连通时，第七连接口9与第九连接口11相连通；当第六连接口8与第九连接口11相连通时，第七连接口9与第十连接口12相连通；

所述第一连接口1与工作气体管路相连通用于输入氦气，第二连接口2与清洗气体管路相连通用于输入氩气或氦气，第八连接口10呈封闭状态，第九连接口11与电感耦合等离子体质谱仪相连通；所述第六连接口8与第三连接口3通过第一气路管道16相连通，第四连接口4通过第二气路管道13与激光剥蚀池14的进气口6相连通，激光剥蚀池14的出气口7通过出气管道15与第七连接口9相连通。

本发明通过第一两位五通阀、第二两位五通阀的设计操作可以实现工作状态和清洗状态的迅速切换，工作状态如图1所示：第一两位五通阀A的第一连接口与第四连接口连通，第一两位五通阀A的第二连接口与第五连接口连通；第二两位五通阀B的第六连接口与第八连接口连通，第二两位五通阀B的第七连接口与第九连接口连通，此时清扫气体经由第二连接口流入，从第五连接口流出；工作气体从第一连接口流入，经由第四连接口、第二气路管道进入样品剥蚀池14再经由出气管道、第七连接口到达第九连接口，最后进入电感耦合等离子体质谱仪进行分析操作。

清洗状态如图2所示：第一两位五通阀A的第一连接口与第三连接口连通，第一两位五通阀A的第二连接口与第四连接口连通；第二两位五通阀B的第六连接口与第九连接口连通，第二两位五通阀B的第七连接口与第十连接口连通，此时清扫气体经由第二连接口流入，从第四连接口流出，经由第二气路管道进入样品剥蚀池14再经由出气管道到达第七连接口，最后从第十连接口排出废气；工作气体从第一连接口流入，经第三连接口、第一气路管道后到达第六连接口，最后经过第九连接口进入电感耦合等离子体质谱仪中。

所述第一两位五通阀A、第二两位五通阀B均包括固定板18、滑动板17，固定板18与滑动板17滑动连接且两者之间保持密封状态；所述第一两位五通阀A上的固定板从上至下等间距设置有第三连接口3、第四连接口4、第五连接口5，第一两位五通阀A上的滑动板从上至下设置有第一连接口1、第二连接口2，第一连接口1与第二连接口2之间的间距与第三连接口3、第四连接口4、第五连接口5之间的间距相一致；所述第二两位五通阀B上的固定板从上至下等间距设置有第八连接口10、第九连接口11、第十连接口12，第二两位五通阀B上的滑动板从上至下设置有第六连接口8、第七连接口9，第六连接口8与第七连接口9之间的间距与第八连接口10、第九连接口11、第十连接口12之间的间距相一致。

固定板与滑动板滑动连接的设计，使得在对两位五通阀进行切换操作时，只需令滑动板相对于固定板滑动一定的间距即可，例如在工作状态切换为清洗状态时，只需令第一两位五通阀中的滑动板向上移动一定距离，令第二两位五通阀中的滑动板向下移动移动距离即可，其操作简单，方便快捷，提高了本发明的使用效果，当然，这仅仅是本发明的其中一种两位五通阀结构，其他两位五通阀结构同样可以实现本技术方案的技术效果。

本发明通过采用在激光剥蚀池的进气口、出气口两侧分别设置第一两位五通阀、第二两位五通阀的设计，使得通过对第一两位五通阀、第二两位五通阀上连接口连通状态的改变，可以轻松实现工作气体管路、清洗气体管路的快速替换，避免了在更换下一个检测样品时需要不断更换激光剥蚀池上连接管路的状况发生，节省了更换连接管路的时间，提高了元素分析工作的工作效率，给元素分析工作带来了便利。