光离子发生器

技术领域

本发明涉及利用除静电用电磁波去除静电的光离子发生器，更详细地，涉及一种使辐射除静电用电磁波的照射部简便地拆装从而容易更换照射部的光离子发生器。

背景技术

随着电子设备和通信技术的发展，最近，半导体和LCD(Liquid Cristal Display，液晶显示装置)、OLED(Organic Light Emitting Diode，有机电致发光二极管)等显示装置的使用正在急剧增加。

在半导体和显示装置的制造工序中，晶片因静电而带电，因而会发生附着微细灰尘或元件损毁等问题，导致半导体和显示装置等的生产收率低下。

为了去除这种静电，一般在半导体和显示装置的制造工序中使用可去除晶片等的静电的除静电装置。

除静电装置大致分为电晕放电式装置和X射线辐射式装置，最近，主要使用X射线辐射式装置，即X射线照射式光离子发生器(Photo Ionizer)，X射线辐射式装置克服了电晕放电式装置具有的高电压放电导致的溅射现象、臭氧气体发生、离子平衡调整导致的不便等缺点。

X射线照射式离子发生器是通过生成并辐射X射线(X-ray)而使气体分子离子化，从而使除静电对象物体表面的静电中和的装置，主要以照射软X射线(Soft X-ray)的方式体现。这种光离子发生器不产生微细灰尘，也不需要使空气对流，因而更是倍受瞩目，已开发成多样的方式。

在专利文献1中公开了一种由产生高电压的多个电压发生组件和照射除静电用软X射线的多个X射线管模块结合于主体而构成的光离子发生器。

专利文献1公开的这种光离子发生器具有的优点是能够容易地拆装X射线管模块，可以充分确保延面距离，但问题在于，由于多个电压发生组件和多个X射线管模块结合于条型的主体，因而光离子发生器整体体积增大，难以配置于狭小场所或不易接近的场所，另外，为了使照射区域高密度重叠，体积进一步加大，在安装空间狭小的场所实际上难以使X射线管模块的照射区域高密度重叠。

而且，对于软性X射线管模块凸出到外部的离子发生器，需要容易更换X射线管。

(专利文献1)韩国授权专利第10-2138092号(2020.07.21.)。

发明内容

技术问题

本发明正是为了解决上述问题而发明的，目的是提供一种在能够不受如狭小空间或不易接近场所等的场所限制进行安装的同时能够使除静电用电磁波高密度重叠的光离子发生器。

另外，本发明目的是提供一种辐射除静电用电磁波的照射部能够从离子发生器单元简便地拆装的光离子发生器。

本发明的目的不限于以上提及的目的，未提及的其他目的是本发明技术领域的技术人员可以从以下记载明确理解的。

技术方案

为达成所述目的，本发明的光离子发生器的特征在于，包括：离子发生器单元，所述离子发生器单元加装有辐射除静电用电磁波的多个照射部；主体，所述主体配置成向所述离子发生器单元供应电源；以及电缆单元，所述电缆单元配置成连接所述离子发生器单元和所述主体；其中，所述照射部在所述离子发生器单元拆装。

另外，其特征在于，所述离子发生器单元包括：壳体，所述壳体在内部形成有空间部，在一侧形成有用于加装照射部的照射部加装孔；照射部，所述照射部在所述照射部加装孔拆装并照射电磁波；电路板，所述电路板在所述空间部形成并与所述照射部电连接，用于向所述照射部供应电源；以及电缆连接件，所述电缆连接件在所述壳体另一侧形成以便能够与所述电缆单元连接，并与所述电路板电连接，用于向所述电路板供应电源。

另外，其特征在于，所述照射部在下端部形成有用于与所述电路板电连接的端子。

另外，其特征在于，所述照射部的端子以插头形态形成，在照射部加装孔下部形成有供所述插头形态的端子插入的端子孔，所述照射部以插头结合方式实现与所述壳体和电路板的拆装。

另外，其特征在于，照射部加装孔在内侧形成有引导件，以便所述照射部的端子能够电连接于所述电路板。

另外，其特征在于，所述离子发生器单元导电串联加装有所述多个照射部。

另外，其特征在于，所述离子发生器单元以使所述多个照射部向与所述电缆单元连接于所述离子发生器单元的方向相同的方向辐射除静电用电磁波的方式加装于所述离子发生器单元。

另外，其特征在于，所述离子发生器单元以使所述多个照射部向与所述电缆单元连接于所述离子发生器单元的方向垂直交叉的方向辐射除静电用电磁波的方式加装于所述离子发生器单元。

另外，其特征在于，所述电缆单元配置成能够与所述主体和所述离子发生器单元拆装。

另外，其特征在于，所述主体包括供所述电缆单元一侧端部结合的连接件，以与所述电缆单元连接，在所述主体上形成有开口的连结孔以便所述连接件的一部分插入，以将所述连接件连结于所述主体。

另外，其特征在于，所述电缆单元由第一电缆单元和第二电缆单元构成，以便能够相互结合及分离。

另外，其特征在于，所述离子发生器单元加装成使所述多个照射部邻接的照射部之间的距离达到既定长度以下，以便从所述多个照射部辐射的电磁波能够重叠。

另外，其特征在于，所述离子发生器单元加装成使所述多个照射部邻接的照射部之间的距离达到50㎜以下。

另外，其特征在于，所述主体配置成能够与其他主体通过主体连接电缆而连接。

发明效果

本发明的光离子发生器具有的效果是，即使在狭小空间或不易接近的场所也能够容易地安装并能够向对象物高密度照射除静电用电磁波。

另外，操作者无需另外的工具便能够以插头结合方式，从离子发生器单元简便更换作为消耗性部件的照射部，并使所述照射部以卡接方式放置于离子发生器单元，从而无需准备另外的结合构件，具有更换操作简便的效果。

附图说明

图1是本发明一实施形态的光离子发生器的立体图。

图2是示出控制装置连接状态下的本发明一实施形态的光离子发生器的图。

图3是示出本发明第一实施形态的离子发生器单元与电缆单元和连接件结合形态的立体图。

图4是本发明第一实施形态的离子发生器单元的分解立体图。

图5是示出本发明第一实施形态的离子发生器单元的剖面的图。

图6是示出本发明一实施形态的电路板的前面与背面的图。

图7是示出本发明第二实施形态的离子发生器单元与电缆单元和连接件结合形态的立体图。

图8是本发明第二实施形态的离子发生器单元的分解立体图。

图9是示出本发明一实施形态的主体的剖面的图。

图10是示出本发明一实施形态中主体与其他主体连接的结构的图。

图11是示出本发明一实施形态的电缆单元的剖面的图。

图12是示出本发明一实施形态的第一电缆单元与第二电缆单元结合及分离的样子的图。

附图标记

1：光离子发生器

100：离子发生器单元

110：照射部

111：端子

120：照射部固定板

121：贯通口

122：固定螺栓

130：壳体

131：第1外壳

132：第2外壳

133：照射部加装孔

134：接地螺栓

135：注入孔

136：电缆结合孔

137：凹凸结构

140：结合螺栓

150：电路基板

151：贯通孔

152：第一电源图案

153：第二电源图案

154：第一图案线

160：电缆连接件

170：封盖板

171：封盖板结合螺栓

200：主体

210：高电压发生模块

220：本体壳体

250：主体连接电缆

300：电缆

310：第一电缆

320：第二电缆

400：连接件

500：控制装置

510：控制电缆。

具体实施方式

参照下文中与附图一同详细描述的实施例，本发明的优点和特征以及实现他们的方法将显而易见。但是，本发明不限定于以下公开的实施例，可以以互不相同的多样形态体现，本实施例只提供用于使本发明的公开更完整，向本发明所属技术领域的技术人员完整地告知发明的范畴，本发明只由权利要求项的范畴所定义。

下面参照附图，详细描述实施本发明所需的具体内容。与附图无关，相同的构件标记指称相同的构成要素，“及/或”包括提及的各个项目及一个以上的所有组合。

为了描述多样的构成要素而使用了“第一”“第二”等，但这些构成要素当然不由这些术语所限制。这些术语只用于将一个构成要素区别于其他构成要素。因此，下面提及的第一构成要素在本发明的技术思想内，当然也可以是第二构成要素。

本说明书中使用的术语用于说明实施例，并非要限制本发明。在本说明书中，只要在语句中未特别提及，单数型也包括复数型。说明书中使用的“包括(comprises)”及/或“包括的(comprising)”，不排除在提及的构成要素之外存在或添加一个以上的其他构成要素。

如果没有不同的定义，本说明书中使用的所有术语(包括技术及科学术语)可以用作本发明所属技术领域的技术人员可以共同理解的意义。另外，一般使用的字典中定义的术语，只要未明确地特别定义，不得过于或过度地解释。

下面参照附图，详细描述本发明的优选实施例。

图1是本发明一实施形态的光离子发生器1的立体图，图2是示出控制装置500连接状态下的本发明一实施形态的光离子发生器1构成的图。

本发明一实施形态的光离子发生器1包括照射除静电用电磁波的离子发生器单元100、配置成向离子发生器单元100供应电源的主体200，以及连接所述离子发生器单元100和所述主体200的电缆单元300。

在本发明一实施形态的光离子发生器1中，主体200从外部装置(控制装置500)接受电源供应，由安装于主体200的高电压发生模块210生成高电压电源，并通过所述电缆单元300向所述离子发生器单元100供应电源，接到高电压电源供应的离子发生器单元100由照射部110生成并照射除静电用电磁波。

下面对各构成进行详细描述。

参照图3至图6，详细描述本发明第一实施形态的所述离子发生器单元100。

图3是示出本发明第一实施形态的离子发生器单元100与电缆单元300和连接件400结合的形态(根据照射部规格，如(a)及(b)，可多样变更)的立体图，图4是本发明第一实施形态的离子发生器单元100的分解立体图，图5是示出本发明第一实施形态的离子发生器单元100的剖面的图，图6是示出本发明一实施形态的电路板150的前面(图6的(a))和背面(图6的(b))的图。

本发明第一实施形态的离子发生器单元100通过所述电缆单元300而连接于所述主体200，安装有多个照射除静电用电磁波的照射部110，多个照射部110配置成串联电连接。在图3至图5中示例性示出安装有2个照射部110，也可以安装有3个以上照射部110。

所述照射部110是生成并照射除静电用电磁波的装置，只要是能够去除静电的电磁波，除静电用电磁波不做特别限制，一般生成并照射软X射线。

X射线(X-ray)是相当于可见光线波长约1/1000的电磁波，由电子与原子核碰撞时的快速减速所引起或者当原子深处的空轨道俘获电子时发生。根据物质穿透性，X射线一般分为软X射线和硬X射线，即使是稀薄的空气层也容易被吸收的低穿透性辐射线被称为软X射线，用于伦琴射线等的高穿透性辐射线被称为硬X射线。软X射线的能量低，仅为硬X射线的数十分之一左右，直接照射的影响也很小。软X射线的波长为

在本发明的实施形态中，可以使用配置成产生软X射线的软X射线管作为所述照射部110，软X射线管基本上由玻璃或陶瓷材质的管主体、释放电子的灯丝、对电子进行集束的集束管、及供电子碰撞以辐射软X射线的靶窗构成。

另外，可以从安装于所述主体200且2个端子111露出于外部的高电压发生模块210，通过所述电缆单元300接入数kV～数十kV的高电压。

作为一个示例，靶窗可以由铍(Be)材质构成，在内表面可以涂覆有靶物质，所述靶物质如果与从灯丝释放的电子碰撞则产生X射线。另外，靶物质可以在铍窗涂覆0.5μm至1μm的厚度，其材料可以为金(Au)或钨(W)。

另外，所述照射部110可以以插头形态配备有所述2个端子111，以便在所述离子发生器单元100容易地拆装。对于以插头形态配备有端子111的照射部110，将在下面再次描述。

前述的所述照射部110的2个端子111只是用于描述的示例，所述端子111不限于2个，当然可以配备1个或3个以上。

本发明第一实施形态的离子发生器单元100包括多个所述照射部110、壳体130、电路基板150和电缆连接件160。

所述壳体130由第一外壳131和第二外壳132构成，第一外壳131和第二外壳132结合以在内部形成有空间部。第一外壳131和第二外壳132通过外壳结合螺栓140而结合。

第一外壳131和第二外壳132可以均由具有导电性的金属材料构成，也可以只有第一外壳131由具有导电性的金属材料构成。

在第一外壳131上，在与所述第二外壳132结合的一侧的相反侧面，形成有多个用于加装多个照射部110(例如，软X射线管)的照射部加装孔133。多个照射部加装孔133形成得能够使彼此邻接的照射部110保持既定间隔加装。

多个照射部110结合于所述第一外壳131，以便向相同方向照射电磁波(例如，照射部110为圆筒状的软X射线管时，结合成使软X射线管的中心轴相互平行)，所述间隔可以设置为既定值以下，以便在向照射对象物照射电磁波时，使电磁波的照射区域重叠。所述间隔优选可以设置为50㎜以下，所述间隔指照射部加装孔133的中心部之间的距离。

在所述第一外壳131的照射部加装孔133加装有照射部110，通过固定螺栓122结合于所述第一外壳131，以便使照射部固定板120覆盖所述照射部110的一部分，所述照射部固定板120具有供照射部110的电磁波穿过的贯通孔121。根据如上所述构成，照射部110的靶窗与所述第一外壳131电连接，如后所述，随着第一外壳131接地，所述照射部110的靶窗也可以一同接地。

所述照射部110结合于所述第一外壳131后，每个照射部有2个端子111露出于所述第一外壳131内侧，露出的端子111电连接于形成有电路图案的电路板150，以便串联电连接所述照射部110。在所述电路板150上连接有所述电缆单元300包括的2个电源供应线，以向所述照射部110供应电源。

对于所述电路板150的详细构成，参照图6进行描述。

图6的(a)示出电路板150的前面，(b)示出电路板150的背面。电路板150例如可以为PCBPrinted Circuit Board基板。

在所述电路板150上，在左侧和右侧(以图6的(a)为基准)分别形成有2个贯通孔151，在左侧的2个贯通孔151中，一个照射部110中露出的2个端子111从所述电路板150的背面侧插入并通过焊接方式结合，在右侧的2个贯通孔151中，另一个照射部110中露出的2个端子111从所述电路板150的背面侧插入并通过焊接方式结合。其中，所述2个端子111与所述电路板150的结合方式不限于焊接方式。

另外，在所述电路板150上形成有第一图案线154，以便使左侧的1个贯通孔151与右侧的1个贯通孔151电连接。

在图6中，图上左下侧贯通孔151与右下侧贯通孔151连接于第一图案线154，但这只是一个实施形态，只要是左侧的一个贯通孔151与右侧的一个贯通孔连接的形态，则不特别限制。

未通过所述第一图案线154连接的左右侧贯通孔151分别电连接于在电路板150前面形成的第一电源图案152和第二电源图案153，第一电源图案152和第二电源图案153分别通过焊接方式连接到所述电缆单元300的2个电源供应线。

根据如上所述构成，例如，从第一电源图案152供应的电流经第一图案线154流入第二电源图案153(当然也可以配置成电流逆向流动)，多个所述照射部110通过电路板150而串联电连接。

本发明一实施形态利用电路板150而将多个照射部110串联电连接，因而可以提高操作性。

不过，利用电路板150将多个照射部110串联电连接的构成只是本发明一实施形态，只要是串联电连接多个照射部110的结构，便可以采用如导线连接方式、连接器连接方式等的多样方式，不特别限制。

作为另一实施例，当所述照射部110的2个端子111配备成插头形态时，所述照射部加装孔133可以在下部形成有供所述插头形态的2个端子111插入的2个端子孔(未示出)。此时，优选所述端子孔形成得使所述照射部的端子111能够电接触所述电路板150。

因此，所述照射部110插入到所述照射部加装孔133内，所述插头形态的端子111结合于所述端子孔，所述照射部110可以通过所述电路板150接受电源供应。

另外，所述照射部加装孔133可以在内侧形成有引导件(未示出)，所述引导件进行引导，以便在所述照射部110插入的同时，所述照射部的2个端子111可以电连接到所述电路板150。

上述实施例的所述照射部110的端子111为了比喻成普通插头形状进行描述而限定为2个端子111，但所述照射部110的端子111个数不限，当然可以变更为1个或3个以上的端子111进行应用。

而且，可以配置成在所述照射部加装孔133内侧形成有挂接槽(未示出)，在所述照射部110外侧形成有挂接构件(未示出)，在所述照射部110通过所述照射部加装孔133插入于离子发生器单元100时，能够以挂接方式放置。此时，使所述照射部110和所述照射部固定板120可以配备成一体型，从而可以容易地进行所述离子发生器单元100和所述照射部110的拆装，即使所述照射部110与所述照射部固定板120配备成一体型，所述一体型照射部也可以构成为能够通过所述固定螺栓122将所述照射部固定板120结合于所述第一外壳131，这是显而易见的。

本发明的多个照射部110串联电连接，因而在多个照射部110中流动相同电流的条件下，与多个照射部110并联电连接的情形相比，可以降低整体耗电量，另外，随着整体耗电量下降，可以抑制所述主体200具备的高电压发生模块210的大型化。

在第一外壳131的内侧螺合有接地螺栓134。所述接地螺栓134使连接于离子发生器单元100的电缆单元300的地线固定于所述第一外壳131，发挥使所述第一外壳131接地的作用，如上所述，可以使结合于所述第一外壳131的所述照射部110的靶窗为接地状态。

可以在第一外壳131的外侧面形成有用于有效向外部散热的散热器结构。作为一实施例，如图3所示，可以在第一外壳131的外侧面形成有用于增大与外部空气接触的表面积的形态的凹凸结构137。不过，这种凹凸结构137只是一实施形态，只要是能够有效散热的结构，则不特别限制。

另外，散热器结构也可以在第一外壳131和第二外壳132各自或某一方形成。

通过这种散热器结构，可以使离子发生器单元100产生的热有效散热，可以抑制因将多个照射部110邻接安装于体积较小的壳体130而导致离子发生器单元100温度过度上升。

在所述第二外壳132的与所述第一外壳131结合的一侧的相反侧面，形成有用于向壳体内部注入绝缘物质的注入孔135和供电缆连接件160结合的电缆结合孔136。

在电缆结合孔136结合有电缆连接件160，通过电缆连接件160，电缆单元300被导入第二外壳132的内侧。如上所述，被导入的电缆单元300中包括的2个电源供应线分别连接到电路板的第一电源图案152和第二电源图案153，地线通过接地螺栓134结合于第一外壳131。

在所述电缆单元300的2个电源供应线和地线分别结合于所述电路板150和所述第一外壳131的状态下，所述第二外壳132和所述第一外壳131通过外壳结合螺栓140而结合。随着所述第一外壳131和第二外壳132的结合而在壳体130内部形成空间部，在空间部中配置有电路板150，以将所述多个照射部110串联电连接。

将所述第一外壳131和所述第二外壳132通过所述外壳结合螺栓140结合后，通过所述注入孔135向壳体130内部的空间部注入绝缘物质并塑封。随着壳体130内部的空间部填充绝缘物质并塑封，可以防止壳体130内部因高电压放电现象而发生短路。

向壳体130内部的空间部注入所述绝缘物质并塑封后，将封盖板170结合于所述第二外壳132以便覆盖所述注入孔135，从而封闭所述注入孔135。在所述封盖板170上形成有贯通孔，以便所述电缆连接件160可以贯通，所述封盖板170可以通过另外的封盖板结合螺栓171而结合于所述第二外壳132。

如上所述的本发明第一实施形态的离子发生器单元100配置成通过电缆单元300而与具备高电压发生模块210的主体200连接，因而离子发生器单元100本身不具备另外的用于产生高电压的构成，从而体积实现最小化。因此，可以将本发明第一实施形态的离子发生器单元100容易地安装于狭小场所或不易接近的场所。

进而，多个照射部110具有既定间隔并安装于所述离子发生器单元100，以便向对象物照射电磁波时使照射区域重叠，从而可以在减小体积的同时，生成并照射高密度的除静电用电磁波(例如，软X射线)，最大限度提高除静电效率。

对于本发明第二实施形态的离子发生器单元100，参照图7和图8进行描述。

所述第一实施形态的离子发生器单元100如图3和图4所示，多个照射部110的照射方向与所述电缆单元300连接到所述壳体130的方向相同，因而在需要向与所述电缆单元300导入方向垂直交叉的方向照射电磁波的场所会不容易安装。

图7和图8的本发明第二实施形态的离子发生器单元100配置成多个照射部110的照射方向与所述电缆单元300连接到所述壳体130的方向垂直交叉。

具体地，第二实施形态的离子发生器单元100在第二外壳132的一侧侧面形成有供电缆连接件160结合的电缆结合孔136，以便结合于第一外壳131的照射部110的照射方向与电缆单元300结合于所述壳体130的方式垂直交叉。

此时，电缆结合孔136所形成的第二外壳132的所述一侧侧面的厚度可能不足以坚固地固定所述电缆连接件160，因而也可以在所述侧面形成向外侧凸出既定高度的凸出部，在凸出部形成所述电缆结合孔136。

另外，在第二实施形态的离子发生器单元100中，可以配置成形成有电缆结合孔136的所述第二外壳132的面的相反侧开放，可以配置成将所述第一外壳131和所述第二外壳132结合后，向所述第二外壳132的开放侧注入绝缘物质，通过封盖板170覆盖并封闭所述第二外壳132的开放侧。

这只是一实施例，与所述第一实施形态的离子发生器单元100一样，也可以在第二外壳132的一侧面形成另外的注入孔以注入绝缘物质。此时，与第一实施形态一样，也可以通过另外的封盖板来封闭注入孔。

在本发明第二实施形态的离子发生器单元100中，电缆单元300结合于离子发生器单元100的方向与电磁波的照射方向垂直交叉，因而，即使在电缆单元300导入的方向与照射电磁波的方向垂直交叉的场所，也可以容易地安装离子发生器单元100。

第一实施形态的离子发生器单元100和第二实施形态的离子发生器单元100，离子发生器单元100可根据安装场所适当选择，也可以在一个主体200同时连接有第一实施形态的离子发生器单元和第二实施形态的离子发生器单元。

下面参照图9和图10，对本发明一实施形态的主体200进行描述。

所述主体200具备条形状的本体壳体220，在内部安装有高电压发生模块210，所述高电压发生模块210产生向所述离子发生器单元100供应的电源。在图9和图10中示出了所述本体壳体220为条形状，但这只是一实施形态，所述本体壳体220的形状不特别限制。

在所述本体壳体220的一侧面形成有连结孔221，所述连结孔221可供所述电缆单元300结合。电缆单元300可以直接插入所述连结孔221，以使电缆单元300与主体200结合，也可以是结合于电缆单元300的连接件400插入以使电缆单元300和主体200结合。所述连结孔221根据所述电缆单元300的连接方式，可以为多样形状。

在所述主体200可以连接有多个离子发生器单元100，此时，在所述本体壳体220上可以形成有与所连接的离子发生器单元100的个数相应的连结孔221。另外，根据实施形态，也可以在一个连结孔221连接多个离子发生器单元100。

在所述主体200可以连接有控制装置500，所述控制装置500向所述高电压发生模块210供应电源，并控制所述高电压发生模块210和所述离子发生器单元100。所述控制装置500可以通过另外的控制电缆510连接到所述主体，所述控制电缆510可以能拆装地结合于所述控制装置500和所述主体200。

另外，根据实施形态，所述控制装置500可以与所述主体200一体形成。

所述高电压发生模块210可以与所述离子发生器单元的个数相应地安装于所述本体壳体220内部。不过，本发明不限于此，根据实施形态，可以配置成一个高电压发生模块210向多个离子发生器单元100供应电源。

另外，所述主体200可以配置成通过其他主体200和电缆(主体连接电缆250)等而连接。

具体地，如图10所示，所述主体200的长度方向一侧端部与另一主体200的长度方向一侧端部可以通过主体连接电缆250而连接，所述主体连接电缆250可以配置成能够在主体拆装。

通过这种构成，可以通过一个控制装置500控制多个主体200。

下面参照图11和图12，对本发明一实施形态的电缆单元300进行详细描述。

所述电缆单元300配置成连接所述离子发生器单元100和所述主体200。另外，所述电缆单元300包括2条电源供应线和1条地线，2条电源供应线和1条地线被绝缘材料一同被覆而构成一条电缆单元线。另外，2条电源供应线和1条地线也可以分别被单独的绝缘材料被覆。

如上所述，在本发明一实施形态中，所述2条电源供应线通过焊接方式结合于所述离子发生器单元100的电路板150，所述地线通过接地螺栓134固定于第一外壳131，从而所述电缆单元300与所述离子发生器单元100电连接。

根据实施形态，所述电缆单元300和所述离子发生器单元100也可以能拆卸地连接。例如，可以在所述电缆单元300和所述离子发生器单元100分别形成有可相互结合的连接用连接器，以相互拆装相应连接用连接器的形态，实现所述电缆单元300与所述离子发生器单元100的拆装。不过，这只是一实施形态，只要是电缆单元300与所述离子发生器单元100可拆装的结构，则不特别限制。

在所述电缆单元300的与所述主体200结合的一侧端部可以形成有连接件400，以便能够在所述主体200拆装。所述连接件400的一部分插入于在所述主体的本体壳体220上形成的连结孔221，在所述插入的一部分上形成的端子凸起结合于在所述主体200的本体壳体220内部形成的端子槽，从而所述电缆单元300与所述主体200可以结合。

如图11和图12所示，所述电缆单元300可以由能相互分离及结合的第一电缆单元310和第二电缆单元320构成。此时，在第一电缆单元310的第二电缆单元侧端部与第二电缆单元320的第一电缆单元侧端部中一方形成有凸起型端子，在另一方形成有槽型端子，通过所述凸起型端子与所述槽型端子结合及分离，从而所述第一电缆单元310和所述第二电缆单元320可以分离及结合。通过所述凸起型端子和所述槽型端子，所述第一电缆单元310和所述第二电缆单元320各自包括的2条电源供应线和1条地线可以电连接或断开。

本发明在将所述电缆单元300分离为第一电缆单元310和第二电缆单元320的状态下，可以在将离子发生器单元100安装于安装场所后，将第一电缆单元310和第二电缆单元320结合以向离子发生器单元供应电源，因而具有的优点是，即使在不易以连接长电缆的状态安装的场所，也可以容易地安装离子发生器单元100。

以上参照附图描述了本发明的实施例，但本发明所属技术领域的技术人员可以理解，本发明在不变更其技术思想或必需特征的情况下，可以以其他具体形态实施。因此，以上记述的实施例在所有方面应理解为只是示例而非限定。