液体喷出头

技术领域

本发明的实施方式涉及一种液体喷出头。

背景技术

近年来，对于喷墨头要求高生产率，进而高速化、液滴量增加成为课题。例如，共享模式共用壁式的喷墨头成为高功率，面向高粘度墨的喷出、大液滴的喷出。在共享模式共用壁式的喷墨头中，通常采用所谓的三循环驱动，即，由两个压力室共用同一个驱动柱，将排列有多个的室中的1/3作为压力室而同时进行驱动。另外，还开发了一种独立驱动头，将驱动的压力室的两侧作为虚设压力室，用独立的两个驱动柱驱动一个压力室。例如，开发了如下结构：在压电体形成多个槽，每隔一个槽堵塞出入口，将未堵塞出入口的槽作为压力室，将堵塞出入口的槽作为空气室，进行独立驱动。

在这样的喷墨头中，在喷出墨滴后，从通用液室向压力室补给墨。此时，喷嘴处发生过冲而产生弯液面隆起的现象。从通用液室到喷嘴的流路的流路阻力越小，则过冲越大，若该过冲无法收敛，则无法在弯液面稳定的状态下进行喷出。因而，为了在喷墨头中实现高速化，要求快速地收敛弯液面的隆起，确保稳定的喷出特性。

发明内容

发明所要解决的技术问题

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种能够确保稳定的喷出特性的液体喷出头。

用于解决技术问题的方案

一个实施方式所涉及的液体喷出头具备致动器部、喷嘴板以及节流部。致动器部具有构成多个压力室的槽和形成于构成所述压力室的所述槽之间的多个侧壁。喷嘴板与所述多个压力室的一侧对置配置。节流部具有节流壁，该节流壁堵塞所述致动器的连通口的一部分，在所述压力室的深度方向上形成所述一侧的宽度缩小的节流口，所述连通口为所述压力室的与所述通用室连通的连通口。

附图说明

图1是表示实施方式所涉及的喷墨头的立体图。

图2是表示实施方式所涉及的喷墨头的一部分的结构的分解立体图。

图3是放大表示该喷墨头的一部分的结构的立体图。

图4是放大表示该喷墨头的一部分的结构的剖视图。

图5是放大表示该喷墨头的一部分的结构的剖视图。

图6是表示该喷墨头的制造方法的说明图。

图7是表示实施方式所涉及的喷墨打印机的示意图。

附图标记说明

10、喷墨头；11、致动器基座；12、喷嘴板；13、框架；17、电路基板；18、歧管；21、基板；22、致动器部；23、罩部；25、供给孔；26、排出孔；27、墨室；29、粘接剂层；31、压力室；32、空气室；33、元件壁(壁部)；34、电极层；51、薄膜；52、驱动IC；100、喷墨打印机；111、壳体；112、介质供给部；113、图像形成部；114、介质排出部；115、输送装置；116、控制部；117、支撑部；118、输送带；119、支撑板；120、带辊；121、引导板对；122、输送用辊；130、头单元；132、墨罐；133、连接流路；134、循环泵；211、图案布线；240、节流部；241、突起部；242、节流口；271、第一通用室；27、墨室；272、第二通用室；291、粘接剂。

具体实施方式

下面参照图1至图6对作为第一实施方式所涉及的液体喷出头的喷墨头10的结构进行说明。图1是表示第一实施方式所涉及的喷墨头的立体图，图2是喷墨头的一部分的分解立体图。图3是放大表示喷墨头的一部分的结构的立体图，图4以及图5是放大表示喷墨头的一部分的结构的剖视图。图6是表示喷墨头的制造方法的说明图。图7是表示作为液体喷出装置的喷墨打印机的示意图。图中X、Y、Z分别表示相互正交的第一方向、第二方向和第三方向。此外，在本实施方式中，以喷墨头10的喷嘴28、压力室31的并列方向沿着X轴、压力室31的延伸方向沿着Y轴、液体的喷出方向沿着Z轴的姿态为基准记载了方向的说明，但是并不限定于此。

图1至图5所示的喷墨头10是用于喷出墨的装置，例如搭载于喷墨打印机的内部。喷墨头10是共享模式共用壁式喷墨头。例如，喷墨头10是压力室31和空气室32交替配置的独立驱动式喷墨头。空气室32是不被供给墨的空气室，不具备喷嘴28。在本实施方式中，喷墨头10是所谓的侧喷型喷墨头。

喷墨头10具备致动器基座11、喷嘴板12以及框架13。致动器基座11是基材的一个例子。在喷墨头10的内部形成有被供给作为液体的一个例子的墨的墨室27。

进而，喷墨头10具备控制喷墨头10的电路基板17、形成喷墨头10与墨罐之间的路径的一部分的歧管18等元件。

如图2至图5所示，致动器基座11具备基板21和一对致动器部22。

基板21例如由氧化铝等陶瓷形成为矩形的板状。基板21具有平坦的安装面。在基板的安装面接合有一对致动器部22。在基板21形成有多个供给孔25和排出孔26。

如图2以及图3所示，在致动器基座11的基板21形成有图案布线211。图案布线211例如由镍薄膜形成。图案布线211具有通用图案、单独图案，构成为与形成于致动器部22的电极层34连接的预定的图案形状。

供给孔25在基板21的中央部且是一对致动器部22之间沿致动器部22的长边方向并排设置。供给孔25与歧管18的墨供给部连通。供给孔25经由墨供给部与墨罐连接。供给孔25将墨罐的墨向墨室27供给。此外，供给孔25并不限定于如图2所示的多个圆形的孔，也可以是沿着致动器部22在X方向上较长的一个长孔。

排出孔26隔着供给孔25以及一对致动器部22而并排设置为两列。排出孔26与歧管18的墨排出部连通。排出孔26经由墨排出部与墨罐连接。排出孔26将墨室27的墨向墨罐排出。

一对致动器部22粘接于基板21的安装面。一对致动器部22隔着供给孔25在基板21上并排设置为两列。各致动器部22分别由例如由锆钛酸铅(PZT)形成的板状的两个压电体形成。所述两个压电体以极化方向在其厚度方向上相互成为反向的方式被粘合。致动器部22例如通过具有热固化性的环氧系粘接剂而粘接于基板21的安装面。如图2所示，致动器部22与并排为两列的喷嘴28相对应地在墨室27内平行地并排配置。致动器部22将墨室27划分为供供给孔25开口的第一通用室271和供排出孔26开口的两个第二通用室272。

致动器部22的短边方向上的宽度从顶面部222侧朝向基板侧逐渐变大。致动器部22的沿着与长边方向正交的方向(短边方向)的截面形状形成为梯形形状。致动器部22的侧面部221具有相对于第二方向以及第三方向倾斜的倾斜面。致动器部22的顶面部222通过粘接剂层29粘接于喷嘴板12。

致动器部22具备多个压力室31、多个空气室32以及分别设于各压力室31的出入口的节流部240。致动器部22具有多个元件壁33(侧壁部)，在元件壁33之间具有构成压力室31以及空气室32的槽14。换言之，元件壁33在形成压力室31以及空气室32的槽14之间形成为驱动元件。

如图1至图5所示，槽14的底面部与基板21的主面通过倾斜的侧面部221相连。多个压力室31和多个空气室32交替地配置。压力室31以及空气室32分别在与致动器部22的长边方向交叉的方向上延伸，在致动器部22的长边方向(X方向)上并列配置有多个。即，多个压力室31以及空气室32的并排方向沿着X方向。在本实施方式中，例如槽14构成为X方向上的宽度尺寸在沿着Z方向的深度方向上恒定，与延伸方向即Y方向正交的截面构成为矩形状。

此外，压力室31的形状与空气室32的形状也可以不同。元件壁33形成于压力室31与空气室32之间，根据驱动信号发生变形，从而使压力室31的容积发生变化。

在致动器基座11的压力室31以及空气室32的内壁面分别设有电极层34。电极层34例如由镍薄膜等导电膜形成。电极层34从槽14的内表面部到达基板21上，与图案布线211连接。例如，电极层34至少形成于元件壁33的侧面部、即构成压力室31的槽14的侧壁面。电极层34例如也可以形成于压力室31的侧面部以及底面部。

多个压力室31与接合于元件壁33的顶部的喷嘴板12的多个喷嘴28连通。即，喷嘴板12与多个压力室31的第三方向上的一侧对置配置。压力室31的第二方向上的两端与墨室27连通。即，一个端部向墨室27的第一通用室271开口，另一个端部向墨室27的第二通用室272开口。因此，墨从压力室31的一个端部流入，并且从另一个端部流出墨。在压力室31中的与墨室27的连通口形成有节流部240，该节流部240具有构成为流路阻力比压力室31内部大的开口即节流口242。作为一个例子，在本实施方式中，在压力室31的延伸方向上的两端的连通口分别形成有节流部240。

如图4以及图5所示，节流部240构成为使压力室31的与墨室27连通的开口部的X方向上的宽度变窄的形状。作为一个例子，节流部240具有由感光性树脂构成的作为节流壁的一对突起部241，在这一对突起部241之间形成喷嘴板12侧宽度缩小的锥状的狭缝即节流口242。即，一对突起部241在压力室31的深度方向上形成喷嘴板侧宽度缩小的节流口242。

突起部241在压力室31的第二方向上的端部从元件壁33向槽14内突出，并堵塞连通口的一部分。在本实施方式中，在X方向上构成压力室31的两侧部的一对元件壁33(即X方向两侧的元件壁33)分别形成有由感光性树脂构成的突起部241。

例如，突起部241既可以在压力室31的槽14的深度方向即第三方向上跨越整个长度而形成，也可以形成于第三方向上的一部分。另外，突起部241例如除了槽14的侧面以外，也可以在槽14的底面形成感光性树脂。即，也可以是两侧的突起部241在槽14的底部连续的结构。

突起部241是增加压力室31的出入口的流路阻力并且抑制粘接剂291从喷嘴板12侧的端部进入的壁部件。例如，分别设于压力室31的各连通口的两侧部的突起部241分别与第三方向正交的截面为长方形。一对突起部241分别构成为在深度方向上顶部侧的突出量比底部侧的突出量大的锥状。即，一对突起部241的对置面以顶部侧相互接近的方式倾斜，对置面彼此的间隔在底部侧逐渐扩宽。突起部241的顶部侧是指与喷嘴板12的粘接侧。突起部241的底部侧是指从与喷嘴板12的粘接侧分离的位置。

构成压力室31的槽14未被突起部241完全覆盖，在两侧的一对突起部241之间形成有连通压力室31与第一通用室271以及第二通用室272的节流口242。节流口242为在成为压力室31的深度方向的第三方向上延伸的狭缝形状，其第一方向上的开口宽度构成为比压力室31内部的第一方向上的宽度小，从而构成为比压力室31的流路截面积小。

另外，节流口242的喷嘴板12侧的开口端2421的开口宽度构成为能够利用表面张力将未固化的粘接剂291保持于开口端2421的宽度。

例如，在压力室31以及空气室32的内壁形成感光性树脂膜244后，通过曝光处理使构成突起部241的部位固化，从而形成节流部240。即，通过突起部241来堵塞第二方向两端的连通口的一部分，从而形成流路阻力增加的节流部240。

此外，当节流部240的流路阻力过大时，墨滴喷出后的朝向压力室31的墨的补给变慢，从而阻碍高速化。另外，弯液面的隆起根据墨粘度、喷出体积、驱动频率等而不同。因而，以成为与墨补给条件、弯液面的隆起的特性相应的流路阻力的方式分别设定突起部241的形状、节流口242的尺寸、位置。另外，对于突起部241以及节流口242的尺寸，只要是能够缩小节流口242的喷嘴板12侧的开口端2421的开口宽度而抑制粘接剂291的流入的结构即可，例如，根据粘接剂291的粘度等条件来进行设定。此外，两侧的节流部240也可以是不同的结构。

空气室32的第三方向上的一侧被接合于顶部的喷嘴板12堵塞。另外，多个空气室32的例如第二方向上的两端被由感光性树脂材料构成的罩部23堵塞。即，在墨室27的第一通用室271与空气室32的第二方向上的一端侧之间、第二通用室272、空气室32的第二方向上的另一端侧和第二通用室272之间分别配置有罩部23，从而将空气室32的两端与墨室27隔开。因此，空气室32构成墨不流入的空气室。

例如，在与形成突起部241时相同的工序或者不同的工序中，在空气室32的两端部涂敷感光性树脂后，使对象部位固化而形成罩部23。

喷嘴板12例如是由聚酰亚胺制的矩形的薄膜形成的。喷嘴板12与致动器基座11的安装面对置。在喷嘴板12形成有沿厚度方向贯通喷嘴板12的多个喷嘴28。

多个喷嘴28被设为与压力室31数量相同，分别与压力室31对置配置。喷嘴28沿着第一方向并排有多个，与一对致动器部22相对应地排列为两列。各喷嘴28分别构成为轴沿第三方向延伸的筒状。例如，喷嘴28的直径可以是恒定的，也可以是向中央部或者顶端部直径缩小的形状。喷嘴28与形成于一对致动器部22的压力室31的延伸方向上的中途部对置配置，分别与压力室31连通。喷嘴28在各压力室31的与两端部之间相对应的位置且例如长边方向中央部各配置一个。

框架13例如由镍合金形成为矩形的框状。框架13介于致动器基座11的安装面与喷嘴板12之间。框架13分别粘接于致动器基座11的安装面和喷嘴板12。即，喷嘴板12隔着框架13安装于致动器基座11。

歧管18接合于致动器基座11的与喷嘴板12相反的一侧。在歧管18的内部形成有作为与供给孔25连通的流路的墨供给部、作为与排出孔26连通的流路的墨排出部。

电路基板17是薄膜载体封装(FCP)。电路基板17具有：树脂制的薄膜51，形成有多条布线，并且具有柔软性；以及驱动IC52，与薄膜51的多条布线连接。驱动IC52通过薄膜51的布线、图案布线211与电极层34电连接。

在如以上那样构成的喷墨头10的内部形成有由致动器基座11、喷嘴板12以及框架13包围的墨室27。即，墨室27形成于致动器基座11与喷嘴板12之间。例如，墨室27被两个致动器部22在第二方向上分隔为三个区间，具有作为供排出孔26开口的通用室的两个第二通用室272和作为供供给孔25开口的通用室的第一通用室271。第一通用室271以及第二通用室272与多个压力室31连通。

在如以上那样构成的喷墨头10中，墨通过供给孔、压力室以及排出孔而在墨罐与墨室27之间循环。例如根据从喷墨打印机的控制部输入的信号，驱动IC52通过薄膜51的布线向压力室31的电极层34施加驱动电压，从而在压力室31的电极层34与空气室32的电极层34之间产生电位差，从而选择性地使元件壁33进行共享模式变形。通过根据驱动信号使形成于压力室31与空气室32之间的元件壁33变形而使压力室31的容积发生变化。

通过使元件壁33进行共享模式变形，设有该电极层34的压力室31的容积增加，压力减少。由此，墨室27的墨流入该压力室31。

在压力室31的容积增加的状态下，驱动IC52向压力室31的电极层34施加反电位的驱动电压。由此，元件壁33发生共享模式变形，设有该电极层34的压力室31的容积减少，压力增加。由此，压力室31中的墨被加压而从喷嘴28喷出。

作为喷墨头10的制造方法，首先，在板状的基板21上用粘接剂等粘贴形成多个槽14的压电部件，实施使用切割锯、切片机等的机械加工来成型具有预定形状的外形的致动器基座11。此外，例如也可以在预先形成多张厚度的块状的基座部件后进行分割，制造多张预定形状的致动器基座11。

接着，在构成压力室31、空气室32的槽14的内表面、基板21的表面形成电极层34、图案布线211。通过以上，在致动器基座11的表面，在预定部位分别形成电极层34以及图案布线211。

接着，在压力室31的端部形成流路阻力比压力室31的内部大的连通口即节流部240。例如，节流部240的形成方法具有：成膜处理，在构成压力室31的槽14内对感光性树脂的感光性树脂膜244进行成膜；以及成型处理，通过曝光以及显影对感光性树脂膜244进行成型。

作为成膜处理，首先如图6的Act11所示，在压力室31的内壁涂敷感光性树脂而形成感光性树脂膜244。此时，通过控制感光性树脂的涂敷量而使曝光面的感光性树脂形状为凹形状。各槽14内的感光性树脂膜244的顶部侧的表面2440形成为中央向底部侧凹陷的凹面状。

接着，作为成型处理，通过曝光以及显影来成型压力室31的两端部的感光性树脂膜244。例如，在本实施方式中，作为一个例子，在通过对凹面状的表面2440的曝光处理使锥状的固化区域2441固化后，进行去除未固化区域2442的显影处理，从而形成锥状的突起部241以及节流口242。此外，在成型处理中，可以在必要的定时进行烘烤处理。

例如，作为曝光处理，如Act11所示，在元件壁33的顶部侧配置曝光掩模245，从顶部侧通过曝光掩模245进行曝光，从而曝光至到达槽14的底部处的深度。例如，曝光掩模245是具有与节流口242的顶部侧的尺寸相对应的非曝光部2451的图案形状。作为一个例子，通过将曝光方向设定为压力室31的深度方向，能够同时对两侧的突起部241进行曝光而成型。此时，由于感光性树脂膜244的供曝光用光入射的顶部侧的表面2440构成为凹面状，因此若作为曝光用光的紫外线光从顶部侧与Z方向平行地入射，则朝向光分散的方向前进，因此形成朝向底部扩宽成锥状的未固化区域。即，由于入射的表面2440为凹面状，因此固化区域2441与未固化区域2442的边界面成为以底部侧扩大的方式倾斜的形状。

然后，通过用显影液冲洗不需要的未曝光树脂，如Act13所示，在压力室31的出入口形成由感光性树脂膜244形成的锥状的突起部241，并且在两侧的突起部241之间形成有顶部窄而越靠底部越宽的节流口242，从而形成节流部240。

此外，在节流部240的成膜处理以及基于曝光和显影的成型处理中，也可以同时进行涂敷空气室32的两端的感光性树脂的成膜处理以及基于曝光和显影的成型处理，从而与节流部240同时形成堵塞空气室32的罩部23。或者，罩部23也可以在形成节流部240之前或形成节流部240之后通过其它工序来形成。

然后，将致动器基座11组装于歧管18，利用热塑性树脂的粘接片将框架13粘贴于致动器基座11的基板21的一个面。

然后，进行研磨，以使组装后的框架13、致动器部22的元件壁33的顶部、以及突起部241的喷嘴板12侧的面成为同一面。然后，在元件壁33的顶部、框架13、突起部241的研磨面粘接安装喷嘴板12。例如，在喷嘴板12的与压力室31对置的面上涂敷粘接剂291而形成粘接剂层29，在以与喷嘴28对置的方式进行定位并粘贴后，使粘接剂291固化而接合。此时，喷嘴板12侧的节流口242构成为宽度较窄，因此能够抑制固化前的粘接剂291从节流口242进入内部。通过以上，在致动器部22接合喷嘴板12，在元件壁33与喷嘴板12之间设置粘接剂层29。而且，如图1所示，在形成于基板21的主面的图案布线211上通过柔性印刷基板连接驱动IC52、电路基板17，从而完成喷墨头10。

下面参照图7对具备喷墨头10的喷墨打印机100的一个例子进行说明。喷墨打印机100具备壳体111、介质供给部112、图像形成部113、介质排出部114、输送装置115以及控制部116。

喷墨打印机100是如下液体喷出装置：沿着从介质供给部112通过图像形成部113到达介质排出部114的预定的输送路径A，一边输送作为喷出对象物的记录介质例如纸张P一边喷出墨等液体，从而对纸张P进行图像形成处理。

壳体111构成喷墨打印机100的外轮廓。在壳体111的预定部位具备将纸张P向外部排出的排出口。

介质供给部112具备多个供纸盒，构成为能够层叠并保持多张各种尺寸的纸张P。

介质排出部114具备构成为能够保持从排出口排出的纸张P的排纸托盘。

图像形成部113具备支撑纸张P的支撑部117和在支撑部117的上方对置配置的多个头单元130。

支撑部117具备：输送带118，呈环状地设于进行图像形成的预定区域；支撑板119，从背面侧支撑输送带118；以及多个带辊120，设于输送带118的背面侧。

在进行图像形成时，支撑部117将纸张P支撑于作为输送带118的上表面的保持面，并且通过带辊120的旋转在预定的定时传送输送带118，从而将纸张P朝向下游侧输送。

头单元130具备多个(四种颜色)喷墨头10、分别搭载于各喷墨头10上的作为液体罐的墨罐132、连接喷墨头10和墨罐132的连接流路133、以及作为循环部的循环泵134。头单元130是使液体在墨罐132、在喷墨头10的内部制作成的压力室31、空气室32以及墨室27中始终循环的循环型的头单元。

在本实施方式中，具备青色、品红色、黄色、黑色这四种颜色的喷墨头10和分别收纳这些各种颜色的墨的墨罐132。墨罐132通过连接流路133与喷墨头10连接。连接流路133具备与喷墨头10的供给口连接的供给流路和与喷墨头10的排出口连接的回收流路。

另外，在墨罐132上连结有未图示的泵等负压控制装置。并且，负压控制装置与喷墨头10和墨罐132的水头值相对应地对墨罐132内进行负压控制，从而使供给至喷墨头10的各喷嘴28的墨形成预定形状的弯液面。

循环泵134例如是由压电泵构成的送液泵。循环泵134设于供给流路。循环泵134通过布线与控制部116的驱动电路连接，构成为能够通过CPU(Central Processing Unit：中央处理器)的控制来进行控制。循环泵134使液体在包括喷墨头10和墨罐132在内的循环流路中循环。

输送装置115沿着从介质供给部112通过图像形成部113到达介质排出部114的输送路径A输送纸张P。输送装置115具备沿着输送路径A配置的多个引导板对121和多个输送用辊122。

多个引导板对121分别具备夹着被输送的纸张P对置配置的一对板部件，沿着输送路径A对纸张P进行导向。

输送用辊122通过控制部116的控制被驱动而旋转，从而将纸张P沿着输送路径A向下游侧传送。此外，在输送路径A的各处配置有检测纸张的输送状况的传感器。

控制部116具备：作为控制器的CPU等控制电路、存储各种程序等的ROM(Read OnlyMemory：只读存储器)、暂时存储各种可变数据、图像数据等的RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)以及进行来自外部的数据的输入以及向外部的数据的输出的接口部。

在如以上那样构成的喷墨打印机100中，控制部116例如在接口中检测到用户通过操作输入部的操作进行的打印指示时，驱动输送装置115来输送纸张P，并且在预定的定时对头单元130输出印刷信号，从而驱动喷墨头10。作为喷出动作，喷墨头10根据与图像数据相应的图像信号向驱动IC52发送驱动信号，通过布线向压力室31的电极层34施加驱动电压，选择性地驱动致动器部22的元件壁33而从喷嘴28喷出墨，在保持于输送带118上的纸张P上形成图像。另外，作为液体喷出动作，控制部116通过驱动循环泵134而使液体在通过墨罐132和喷墨头10的循环流路中循环。通过循环动作，对于墨罐132内的墨，通过循环泵134被驱动，墨罐132的墨通过歧管18的墨供给部而从供给孔25向墨室27的第一通用室271供给。该墨被供给至一对致动器部22的多个压力室31和多个空气室32。墨通过压力室31流入墨室27的第二通用室272。该墨从排出孔26通过歧管18的墨排出部而被排出至墨罐132中。

根据上述实施方式，通过在压力室31的出入口形成节流部，能够提高喷出稳定性。另外，节流部240的向作为压力室31的通用室的第一通用室271、第二通用室272开口的开口部比压力室31的流路截面积小。因此，在喷墨头10中进行了液体喷出时的弯液面的隆起变小。因而，弯液面的恢复变快，能够减轻对下一次喷墨的影响，能够提高喷出稳定性。

另外，在喷墨头10中，通过采用使用感光性树脂使节流部240的狭缝状的节流口242的上部变窄的构造，能够抑制粘接剂291的流入，能够提高生产率。即，例如，在将喷嘴板12接合于致动器部22时，若节流部240因剩余的粘接剂291的流入而被填埋，成为印刷不良，则存在生产率降低的可能性，但是通过使节流口242的喷嘴板12侧的开口端2421的开口宽度足够窄，能够抑制粘接剂291的流入，因此能够抑制印刷不良。

另外，根据上述实施方式，在致动器部22的槽14形成感光性树脂膜244，通过曝光处理进行图案化，从而能够形成节流部240，工序较少，能够廉价且容易地形成节流部240。而且，由于能够通过曝光以及显影比较自由地选择突起部241的厚度、形状，因此也容易自由地设计节流部的流路阻力。另外，通过将感光性树脂膜244的表面设为凹面状，能够容易地形成锥状的节流口242。在上述实施方式中，由于致动器部22的侧面部221构成倾斜面，因此曝光方向上的限制较少，曝光以及显影处理变得容易。

此外，本发明并不限定于上述实施方式，在实施阶段中能够在不脱离其主旨的范围内对构成要素进行变形而具体化。

在上述实施方式中，增加流路阻力的节流部240构成为具有形成于压力室31的两侧的元件壁33的壁面的一对突起部241，但是节流部240的形状并不限定于此。例如也可以是形成于压力室31的喷嘴板12侧的一部分的突起。例如，节流口242形成为沿成为压力室的深度方向的第三方向延伸的狭缝形状，但是也可以沿其它方向延伸，或者也可以是包括圆形、椭圆形在内的其它形状。

例如，节流口242并不限定于形成为底部侧逐渐扩大的锥状的例子。作为一个例子，也可以构成为在深度方向上两侧、即与开口端2421相反的一侧的底部侧的开口宽度比中央部小。或者，也可以是喷嘴板12侧的一部分区域的开口端2421宽度缩小，其它底部侧的区域具有比开口端2421大的恒定的开口宽度的结构。

另外，两侧的节流部240也可以是分别不同的结构。例如，通过利用突起部241在两侧与通用室271、272连通的压力室31的至少一个连通口形成节流部240，能够得到改善喷出性能、能够廉价且容易地形成节流部240这样的效果。

另外，罩部23以及突起部241形成为在形成压力室31、空气室32的槽14的内侧形成并填埋槽14的一部分的形状，但是并不限定于此。例如在致动器的侧面，也可以在形成压力室31、空气室32的槽14的外侧形成堵塞空气室32的罩部23、堵塞压力室31的连通口的一部分的例如突起部241，将节流部240形成于槽14以及元件壁33的外侧。

在上述实施方式中，示出了在基板21的主面部分配置有具备多个槽14的致动器部22的例子，但是并不限定于此。例如，也可以是在基板21的端面具备致动器的结构。另外，喷嘴列的数量也不限定于上述实施方式，也可以构成为具备一列或者三列以上。

另外，在上述实施方式中，举例示出了在基板21具备由压电部件构成的层叠压电体的致动器基座11，但是并不限定于此。例如，也可以不使用基板而仅由压电部件形成致动器基座11。另外，也可以不使用两张压电部件，而设为一张压电部件。另外，空气室32也可以与作为通用室的第一通用室271、第二通用室272连通。另外，供给侧和排出侧可以相反，或者也可以构成为能够切换。

另外，在上述实施方式中，作为一个例子示出了压力室31的第二方向上的一侧为供给侧，第二方向上的另一侧为排出侧，第一通用室流体从压力室的一侧流入并从另一侧流出的循环型的喷墨头，但是并不限定于此。例如，也可以是非循环型。另外，例如也可以采用如下结构：压力室31的两侧的通用室为供给侧而从两侧流入。即，也可以采用如下结构：流体从压力室31的两侧流入，并从配置于压力室31的中央的喷嘴28流出。即使在该情况下，通过在成为压力室31的两侧的入口的连通口设置节流部240，也能够增加流路阻力，改善喷出效率。另外，分别形成于两端的节流部240的结构也可以不同。

另外，在上述实施方式中，示出了将节流部240分别形成于压力室31的延伸方向上的两端的例子，但是并不限定于此，也可以仅在压力室31与两端的通用室271、272连通的两侧的出入口中的、一侧形成节流部240。例如，也可以是如下结构：在一侧的端部形成有流路阻力比压力室31内部增加的节流部240，另一侧的端部具有与压力室31内部相同的流路阻力、例如与压力室31的内部的截面积相同的连通口的截面积。

在上述实施方式中，举例示出了压力室31的两侧与墨室连通的侧喷型，但是并不限定于此。例如，也可以是仅压力室31的一侧与墨室27连通的末端喷射型。

另外，在上述实施方式中，示出了在两侧部分别形成突起部241的例子，但是并不限定于此。例如，突起部241也可以仅形成于一侧的元件壁33。

在上述实施方式中，示出了通过形成具有凹面状的表面的感光性树脂膜244而将曝光的光的方向设定为扩散方向的例子，但是并不限定于此。例如也可以通过将曝光的方向设定为相对于槽14的深度方向倾斜等来设定曝光深度、固化区域。

另外，例如，喷出的液体并不限定于印刷用的墨，例如，也可以是喷出包含用于形成印刷布线基板的布线图案的导电性粒子的液体的装置等。

另外，在上述实施方式中，示出了喷墨头被用于喷墨打印机等液体喷出装置的例子，但是并不限定于此，例如，也能够用于3D打印机、工业用的制造机械、医疗用途，能够实现小型轻量化以及低成本化。

根据以上说明的至少一个实施方式，能够提供液体喷出头以及液体喷出头的制造方法，能够确保稳定的喷出特性。

虽然说明了几个实施方式，但这些实施方式只是作为示例而提出的，并非旨在限定发明的范围。这些实施方式能够以其他各种方式进行实施，能够在不脱离发明的宗旨的范围内进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形被包括在发明的范围和宗旨中，同样地被包括在权利要求书所记载的发明及其等同的范围内。