一种坩埚打磨组件、氧化铝喷涂加工装置

技术领域

本发明涉及用于磨削或抛光的装置技术领域，具体涉及一种坩埚打磨组件、氧化铝喷涂加工装置。

背景技术

目前，在对单晶石英的生产过程中，其中一个重要的环节是对坩埚的内壁进行喷涂作业，以便提高单晶石英坩埚的寿命和提升单晶坩埚的成晶率；坩埚的喷涂作业主要包括以下步骤：涉及涂料的准备、坩埚内壁表面预打磨、吹扫清洁打磨后的粉末、喷涂坩埚内壁等工艺；在中国专利库中公开了相关的技术，例如公开号为CN104561963A的发明专利中公开了一种多晶硅铸锭用坩埚免烧结涂层方法，该方法步骤如下：将硅溶胶和水混合均匀后，再加入氮化硅和纳米二氧化硅，搅拌均匀，得到浆料；用百洁布打磨坩埚内壁，打磨后用压缩空气吹尽，然而对坩埚进行预热，使坩埚拐角温度达到70-80℃；将浆料喷涂到坩埚内壁，喷涂时，坩埚拐角温度控制在60-70℃，喷涂厚度为0.8-0.9mm；喷涂后，坩埚在60-70℃烘20-30min。其中，坩埚喷涂前的预打磨工艺在中国专利库中也有相关的专利进行公开。

例如公开号CN103447921B中公开一种石英坩埚打磨装置，主运动机构的第一横向轨截面形状为矩形，第二横向轨截面形状为三角形；龙门架固定安装于底盘，第一方向拖板可滑动地设置于第一方向横向轨，第二方向滑板可滑动设置于第二方向横向轨，第一方向横向轨远离底盘的横向轨截面为矩形，第一方向横向轨靠近底盘的横向轨截面形状为燕尾形，第二方向横向轨的截面形状均为燕尾形，主轴电机安装于第二方向滑板，主轴电机驱动平面磨头，伺服电机组件通过滚珠丝杠驱动工作台、第一方向拖板和第二方向滑板；

再例如公开号CN114178948B中公开一种石英坩埚打磨设备，包括传输装置、石英坩埚主体，传输装置由传输部件和动力装置组成，动力装置带动传输部件进行移动；传输装置的传输部件上形成有多组限位口，且石英坩埚主体放置在限位口内通过传输装置进行传输，传输装置的传输部件两侧还形成有外凸的抵压凸块；传输装置下部设置有支撑台，且支撑台上还固定有一个限位套，限位套与限位口直径相等；支撑台两侧处均设置有抵压条，抵压条是通过以连接架为圆心在支撑台上进行转动，并且抵压条的上端部可与抵压凸块摩擦碰触。

上述专利库中已公开的坩埚打磨技术，虽然解决了对坩埚表面进行打磨的技术难题，但是，仍然存在的问题在于：现有技术使用单一的打磨套对坩埚表面进行打磨，而在实际生产过程中，需要根据需求及时调整为不同的打磨套；现有技术通常采用人工方式对打磨套进行更换，会严重影响到喷涂作业的整体加工进度，降低工作效率。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种坩埚打磨组件、氧化铝喷涂加工装置，解决如何快速更换不同打磨套的技术问题。

第一方面，本发明公开了一种坩埚打磨组件，包括用于对坩埚内壁进行打磨的打磨机构；其中，打磨机构包括底盘，底盘上转接有管套，管套上连接支撑盘；支撑盘上环形阵列有至少两台电动推杠，每台电动推杠的伸缩轴上连接不同材质的打磨套；电动推杠用于将打磨套提升并使打磨套、坩埚内壁形成间隙配合；在底盘上转接有用于将坩埚进行承载的托举转体，驱动电机使托举转体在底盘上发生旋转；管套上连接驱动机构，驱动机构用于带动管套发生旋转动作或将管套锁定在底盘上；在打磨机构的旁侧设有至少一条横向轨，横向轨上滑动连接摆放机构；其中，摆放机构包括第一机械臂单元，通过第一翻转马达、第二翻转马达、第三翻转马达用于使第一机械臂单元发生三个方向的翻转，并通过第一旋转马达、第二旋转马达用于使第一机械臂单元发生两个方向的旋转动作；第一机械臂单元的负载盘上连接抱持单元，通过驱动结构用于驱动环抱单元执行抱持坩埚的动作或松开坩埚的动作；通过第一推动机构使摆放机构在横向轨上进行移动。

作为对驱动机构的进一步限定：驱动机构包括旋转单元，旋转单元一侧、底盘上设有顶推单元，管套上连接驱动单元；驱动单元的缺口轮盘每旋转一周，顶推单元的第二楔形块抵触旋转单元对应的第一楔形块完成单次的上移动作，且该第一楔形块对应的从动锥齿轮与主动锥齿轮进行接触。

作为对抱持单元的进一步限定：抱持单元包括悬吊架，悬吊架一端连接负载盘；悬吊架上设有驱动结构，驱动结构的另一端连接第一附杆体，第一附杆体与主杆体转接，主杆体的杆身上转接第二附杆体，第二附杆体的自由端与悬吊架就近侧转接，主杆体另一端上连接抱箍。

作为对驱动结构的进一步限定：驱动结构包括电动机，电动机安装于悬吊架上，电动机的输出轴上连接第一蜗杆，第一蜗杆的一侧、悬吊架上转接两相互啮合的第一蜗轮，第一蜗杆与其中一第一蜗轮啮合连接并形成联动；第一蜗轮上连接第一附杆体。

第二方面，本发明公开了一种氧化铝喷涂加工装置，包括坩埚打磨组件，还包括承载除尘组件；承载除尘组件用于对喷涂过程中产生的粉尘颗粒进行收集，并通过承载除尘组件、摆放机构用于对坩埚的位置进行限定；承载除尘组件的除尘风机出风口连接净化设备，横向轨另一端、承载除尘组件一侧设有一条纵向轨，纵向轨上滑动连接用于对坩埚内壁进行喷涂作业的喷涂组件；喷涂组件一侧连接第二推动机构，通过第二推动机构使喷涂组件在纵向轨上进行移动。

作为对承载除尘组件的进一步限定：承载除尘组件包括除尘仓体，除尘仓体上连接进流管道，进流管道自由端口上连接转向嘴，转向嘴的内腔与进流管道形成连通；进流管道的底部连接支脚，转向嘴的开口处转动、连通有导流嘴；导流嘴另一端连接定位环体，导流嘴与定位环体的内腔形成连通，定位环体用于和坩埚形成适配；除尘仓体上安装除尘风机，除尘风机的进风口与除尘仓体连通，除尘风机的出风口与净化设备连接。

作为对喷涂组件的进一步限定：喷涂组件包括第二机械臂单元，第二机械臂单元的负载盘下方连接喷涂机，喷涂机的开关扳机一侧设有开启单元，开启单元用于抵压或远离开关扳机；喷涂机的喷壶底部安装抽水泵，抽水泵的进水口与喷壶内腔连通，抽水泵的出水口连接软质导流管，导流管另一端与喷涂机进行连接，喷壶与第二机械臂单元的滑台连接；喷壶上设有搅拌单元；其中，搅拌单元（28）包括主动轴（2801），主动轴（2801）与喷壶的壶盖转接；主动轴（2801）传动连接伺服电机；喷壶的壶盖上转接搅拌轴（2804），搅拌轴（2804）上连接搅拌头（2805）；搅拌轴（2804）上连接第二从动齿轮（2806），喷壶的壶盖上设有齿环（2807），齿环（2807）、第二从动齿轮（2806）啮合联动。

本发明的有益效果在于：

本发明通过结合摆放机构、打磨机构及第一推动机构，使批量的坩埚可以实现转移、打磨的机械化操作，工作效率较高；另一方面，本发明通过单独结合打磨机构，电机、托举转体带动坩埚发生旋转运动，电动推杠带动打磨套与坩埚内壁接触，从而顺利实现打磨套对坩埚内壁的打磨作业；不同的电动推杠可以将对应材质的打磨套靠近或远离坩埚内壁，以满足不同坩埚对不同材质打磨套的实际需求，通过机械更换打磨套方式代替人工打磨套更换方式，加快喷涂作业的整体加工进度，进一步提高工作效率。

附图说明

图1为坩埚打磨组件的立体结构展示图。

图2为打磨机构的立体结构示意图。

图3为坩埚的外观结构示意图。

图4为托举转体与驱动电机的连接示意图。

图5为摆放机构的立体结构示意图。

图6为抱持单元的立体结构示意图。

图7为驱动机构与打磨机构局部装配示意图。

图8为管套的装配结构示意图。

图9为驱动单元安装结构示意图。

图10为驱动单元、自锁单元的装配结构示意图。

图11为氧化铝喷涂加工装置的整体结构示意图。

图12为承载除尘组件单独立体图。

图13为喷涂组件的整体展示图。

图14为喷涂机的喷壶底部安装抽水泵。

图15为搅拌单元的第二视角装配结构示意图。

图中，底盘1；管套2；支撑盘3；电动推杠4；打磨套5；托举转体6；大环部601；小环部602；坩埚7；板体701；凸块702；横向轨8；第一机械臂单元9；滑台901；容纳腔902；第一转体903；第一翻转节904；第二翻转节905；第二转体906；第三翻转节907；负载盘908；第二机械臂单元10；抱持单元11；悬吊架1101；电动机1102；第一蜗杆1103；第一蜗轮1104；第一附杆体1105；主杆体1106；第二附杆体1107；抱箍1108；旋转单元12；主动锥齿轮1201；从动锥齿轮1202；第一楔形块1203；顶推单元13；第二楔形块1301；加强筋1302；驱动单元14；四爪轮盘1401；缺口轮盘1402；中心轴1403；承载架1404；拨动杆体1405；自锁单元15；自锁箱1501；旋转阀1502；除尘仓体16；进流管道17；转向嘴18；支脚19；导流嘴20；定位环体21；除尘风机22；纵向轨23；喷涂机24；开启单元25；电动伸缩缸2501；抵压板2502；抽水泵26；导流管27；搅拌单元28；主动轴2801；主动齿轮2802；第一从动齿轮2803；搅拌轴2804；搅拌头2805；第二从动齿轮2806；齿环2807。

具体实施方式

为了清楚的理解本申请技术方案，下面将结合具体实施例和附图对本申请提供的一种坩埚打磨组件、氧化铝喷涂加工装置进行详细说明。

以下实施例中所使用的术语只是为了描述特定实施例的目的，而并非旨在作为对本申请的限制。如在本申请的说明书和权利要求书中所使用的那样，单数表达形式“一个”、“一种”、“上述”、“该”和“这一”旨在也包括例如“一个或多个”这种表达形式，除非其上下文中明确地有相反指示。还应当理解，在本申请以下各实施例中，“至少一个”、“一个或多个”是指一个、两个或两个以上。

在本说明书中描述的参考“一个实施例”或“一些实施例”等意味着在本申请的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“一个实施例”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。术语“包括”、“包含”、“具有”及它们的变形都意味着“包括但不限于”，除非是以其他方式另外特别强调。

实施例1，本实施例提供了一种坩埚打磨组件，参考图1，示出的是坩埚打磨组件的立体结构展示图，从图中可以看出，坩埚打磨组件包括打磨机构，进一步结合图2，图2示出的是打磨机构的立体结构示意图，结合图1-2，打磨机构包括底盘1，在底盘1的上表面中央转动连接有管套2，管套2上套接固定有支撑盘3，支撑盘3与管套2同轴心线重合；支撑盘3的上表面以环形阵列方式连接有四台电动推杠4，电动推杠4直接使用现有技术，例如型号为MNTL；电动推杠4的伸缩轴上连接有打磨套5，且每个电动推杠4上的打磨套5材质不同，例如四个可以打磨套5材质可以分别选择白刚玉磨料、棕刚玉磨料、单晶刚玉磨料、铬刚玉磨料，或者其他的材质；每个打磨套5的外表面均可以与坩埚7的内侧壁形成间隙配合。在底盘1的上表面设有托举转体6，其中，托举转体6的底部为大环部601，大环部601与底盘1的上表面形成同心转动连接；托举转体6的顶部为小环部602，小环部602可以与坩埚7的进口处形成套接适配，如图3中所示（图3为坩埚7的外观结构示意图），在坩埚7进口处的外边缘上连接板体701，板体701上以环形阵列方式连接四块凸块702，四块凸块702形成的环形阵列中心线与坩埚7中心线形成共线，凸块702与坩埚7的外边缘形成间隔（L），小环部602的环身可以插入该间隔并与该间隔形成搭接适配。进一步结合图4，示出的是托举转体6与驱动电机的连接示意图，如图中所示，托举转体6的大环部601一侧安装有驱动电机，驱动电机的输出轴通过传输皮带与托举转体6的大环部601进行连接。

其中，继续参见图1，在打磨机构的左右两侧分别设置两条横向轨8，每条横向轨8上滑动连接有摆放机构，摆放机构一侧连接第一推动机构，可以使用如电动推杠4（型号MNTL）等第一推动机构将摆放机构进行移动；摆放机构的具体结构如下。

参考图5并进一步结合图1，其中，图5示出的是摆放机构的立体结构示意图，从两图中可以看出，摆放机构包括第一机械臂单元9，更加具体的，第一机械臂单元9包括滑台901，滑台901上螺栓安装有容纳腔902，容纳腔902的顶部转动连接有第一转体903，第一旋转马达安装于容纳腔902凸出部的内侧，第一旋转马达的动力输出轴通过传输带与第一转体903进行连接（传输带可以直接使用O-420型的市面上现有的皮带，本发明涉及的其他传输带与该处传输带相同）；第一转体903上安装有第一翻转马达，第一翻转马达的一侧设有第一翻转节904，第一翻转马达的输出轴与第一翻转节904连接；第一翻转节904的另一侧转动连接有第二翻转节905，第一翻转节904上安装有第二翻转马达（第二翻转马达与第一翻转马达型号相同，此处不再赘述，图中并未示出），第二翻转马达的动力输出轴与第二翻转节905连接；第二翻转节905的另一侧连接有第二旋转马达（第一旋转马达与第二旋转马达的型号相同），第二旋转马达的输出轴上连接第二转体906，第二转体906上可调节的连接有第三翻转节907，第二转体906上连接有用于驱动第三翻转节907发生翻转动作的第三翻转马达（第三翻转马达与第一翻转马达、第二翻转马达型号相同）；第三翻转节907上连接负载盘908，负载盘908的下方连接有抱持单元11。通过三台翻转马达分别用于调节第一翻转节904、第二翻转节905、第三翻转节907实现翻转动作；以及通过两台旋转马达用于调节第一转体903、第二转体906分别实现旋转动作，最终间接实现对抱持单元11的多方位调整；抱持单元11更加具体的结构如下。

参考图6并结合图1、图5，图6示出的是抱持单元11的立体结构示意图，从图中可以看出，抱持单元11包括悬吊架1101，悬吊架1101的一端连接有四颗长螺栓，长螺栓的另一端连接在负载盘908上；悬吊架1101上安装有电动机1102，电动机1102的输出轴上连接第一蜗杆1103，第一蜗杆1103的一侧、悬吊架1101上转动连接有两相互啮合的第一蜗轮1104，第一蜗杆1103与其中一第一蜗轮1104啮合连接并形成联动；每个第一蜗轮1104的上表面均螺栓连接有第一附杆体1105，第一附杆体1105与主杆体1106的末端进行转动连接，主杆体1106的杆身上转动连接有第二附杆体1107，第二附杆体1107的自由端与悬吊架1101的就近侧进行转动连接；主杆体1106的另一端上固定连接有抱箍1108，两抱箍1108以及对应的主杆体1106、第一附杆体1105、第二附杆体1107共同构成环抱结构，可以用于对坩埚7的外表面进行抱持；第一蜗杆1103、第一蜗轮1104及电动机1102共同构成驱动结构，驱动结构用于驱动环抱结构执行抱持坩埚7的动作或松开坩埚7的动作。

抱持单元11的工作原理如下：继续参见图6，启动电动机1102，电动机1102带动第一蜗杆1103沿a方向发生旋转运动，第一蜗杆1103联动第一蜗轮1104及对应第一附杆沿b方向发生旋转运动；在第一蜗轮1104上第一附杆体1105以及悬吊架1101上第二附杆体1107的共同作用下，两主杆体1106带动相应抱箍1108分别沿c1、c2方向移动并对坩埚7外表面进行压紧，两抱箍1108从不同方向压紧坩埚7外表面以便实现对坩埚7的抱持动作；当抱持单元11需要松开坩埚7外表面时，通过电动机1102反向带动第一蜗杆1103进行转动即可，此处不再赘述。

其中，管套2上还设有驱动机构，驱动机构可以带动管套2发生旋转动作或可以将管套2锁定在底盘1上。

坩埚打磨组件的整体工作方式如下：参见图1，首先，横向轨8上的摆放机构利用抱持单元11、第一机械臂单元9的功能将堆放点的坩埚7夹持住置于空中，其次，利用第一推动机构将摆放机构及坩埚7转移至打磨机构的一侧（向打磨机构移动方向为e2方向，而向堆放点移动方向为e1方向），再次利用摆放机构将坩埚7置于打磨机构的托举转体6上。然后，根据实际打磨需求，使用打磨机构的电动推杠4将对应的打磨套5提升至与坩埚7内壁进行接触，与此同时，通过电动推杠4将其余三个打磨套5与坩埚7内壁脱离接触。最后，利用驱动电机带动托举转体6及托举转体6上的坩埚7发生旋转，在坩埚7旋转过程中，打磨套5与坩埚7内壁产生持续摩擦，从而使打磨套5对坩埚7内壁产生打磨、抛光效果。

本发明通过结合摆放机构、打磨机构及第一推动机构，使批量的坩埚7可以实现转移、打磨的机械化操作，工作效率较高；另一方面，本发明通过单独结合打磨机构，电机、托举转体6带动坩埚7发生旋转运动，电动推杠4带动打磨套5与坩埚7内壁接触，从而顺利实现打磨套5对坩埚7内壁的打磨作业；不同的电动推杠4可以将对应材质的打磨套5靠近或远离坩埚7内壁，以满足不同坩埚7对不同材质打磨套5的实际需求，通过机械更换打磨套5方式代替人工打磨套5更换方式，加快喷涂作业的整体加工进度，进一步提高工作效率。

作为对驱动机构的进一步限定，参考图7示出的驱动机构与打磨机构局部装配示意图，从图中可以看出，驱动机构包括旋转单元12，其中，旋转单元12包括主动锥齿轮1201，主动锥齿轮1201的中心连接有销轴，销轴穿过管套2与底盘1上、管套2内的驱动源的输出轴连接，该处的驱动源用于带动销轴发生旋转，而驱动源可以直接选用伺服电机，或者选用与伺服电机功能相同的其他驱动源（如图8，示出的是管套2的装配结构示意图）；电动推杠4的外表面套接有从动锥齿轮1202，主动锥齿轮12012与从动锥齿轮1202可以啮合连接并形成联动；电动推杠4的底部连接有凸缘，凸缘转动连接于支撑盘3且凸缘另一端置于支撑盘3下方；凸缘上活动套设有弹性部件（例如弹簧等）；当弹性部件处于自然状态时，从动锥齿轮1202位于主动锥齿轮1201下方且与主动锥齿轮1201脱离接触；置于支撑盘3下方的凸缘上连接有第一楔形块1203，第一楔形块1203的一侧、底盘1的上表面设有顶推单元13，顶推单元13的具体结构如下。

继续参见图7，顶推单元13包括第二楔形块1301，第二楔形块1301上连接有加强筋1302，加强筋1302另一端连接在底盘1上；如图7中所示，第一楔形块1203沿d方向逐渐向第二楔形块1301靠近时，第一楔形块1203、第二楔形块1301的两斜面相对；当第一楔形块1203、第二楔形块1301接触后，第一楔形块1203的斜面沿d方向继续抵压第二楔形块1301斜面，第一楔形块1203沿e1方向向上移动，直至从动锥齿轮1202与主动锥齿轮1201进行接触；参考图9所示的驱动单元14安装结构示意图，从图中可以看出，管套2上连接驱动单元14，驱动单元14的具体结构如下。

参考图10并结合图9，其中，图10示出驱动单元14、自锁单元15的装配结构示意图，如图9、10中所示，驱动单元14包括四爪轮盘1401，四爪轮盘1401的四个爪部上分别形成有开口槽，位于相邻两爪部之间的四爪轮盘1401外边缘形成有弧形槽；四爪轮盘1401的一侧设有缺口轮盘1402，缺口轮盘1402的中心设有中心轴1403，中心轴1403的另一端与承载架1404形成转动连接，承载架1404固定连接在底盘1上；缺口轮盘1402的缺口中心处连接有拨动杆体1405，拨动杆体1405自由端形成凸起部，拨动杆体1405凸起部可以与四爪轮盘1401的开口槽形成滑动适配，缺口轮盘1402外边缘与四爪轮盘1401的弧形槽形成滑动适配；缺口轮盘1402及拨动杆体1405与四爪轮盘1401共同构成日内瓦机构（日内瓦机构的结构及工作原理为现有技术中的公知常识，此处不再赘述）；缺口轮盘1402每旋转一周，拨动杆体1405凸起部依次完成进入开口槽的动作和退出开口槽的动作，四爪轮盘1401相应旋转90度；同时，本实施例同时限定：每当四爪轮盘1401带动管套2、支撑盘3旋转90度，第二楔形块1301随即抵触对应的第一楔形块1203完成单次上移动作，且该第一楔形块1203对应的从动锥齿轮1202与主动锥齿轮1201进行接触，从而间接使对应的打磨套5发生旋转；承载架1404的上表面及中心轴1403上连接自锁单元15，自锁单元15的具体结构如下。本发明通过结合旋转单元12、顶推单元13、驱动单元14，单次只需控制驱动单元14的缺口轮盘1402旋转一周，即可联动顶推单元13的第二楔形块1301对旋转单元12相应的第一楔形块1203进行抵触，间接使该第一楔形块1203对应的打磨套5发生旋转，以机械方式可以将对应材质打磨套5精准、快速的切换至旋转动作或静止动作，以便适应不同坩埚7的需求，提高工作效率。

继续参见图10，自锁单元15包括自锁箱1501，自锁箱1501内安装有蜗轮蜗杆机构，该蜗轮蜗杆机构的第二蜗轮与中心轴1403同心固定连接，该蜗轮蜗杆机构的第二蜗杆转动连接在自锁箱1501上，第二蜗杆的一端安装旋转阀1502。本发明通过进一步结合自锁单元15，利用自锁单元15的自锁功能，可以将移动后的驱动单元14进行及时锁定，防止驱动单元14带动旋转单元12与顶推单元13脱离接触，避免对应打磨套5出现停转现象从而影响到坩埚7的整体打磨作业。

驱动机构的工作原理如下：当需要更换不同材质打磨套5对坩埚7内壁进行打磨时，利用锁定单元、驱动单元14使支撑盘3上打磨套5沿支撑盘3中心发生公转运动，直至该打磨套5对应的第一楔形块1203与顶推单元13的第二楔形块1301完成抵触，并使相应的旋转单元12从动锥齿轮1202与转动的主动锥齿轮1201进行接触，此时，相应的从动锥齿轮1202及打磨套5发生自转运动，飞转的打磨套5对坩埚7内壁进行打磨作业。

实施例2，本实施例提供了一种氧化铝喷涂加工装置，参考图11，示出氧化铝喷涂加工装置的整体结构示意图，从图中可以看出，氧化铝喷涂加工装置不仅包括实施1中的坩埚打磨组件，还包括承载除尘组件；其中，进一步结合图12示出的承载除尘组件单独立体图，如图11、12中所示，承载除尘组件包括除尘仓体16，除尘仓体16上连接有进流管道17，进流管道17的自由端口上连接转向嘴18，转向嘴18的内腔与进流管道17形成连通；进流管道17的底部连接有支脚19，支脚19用于和地面进行支撑，转向嘴18的开口处转动、连通有导流嘴20；导流嘴20的另一端连接定位环体21，导流嘴20与定位环体21的内腔形成连通，定位环体21的环形边沿与凸块702、坩埚7之间的间隔（L）形成相互适配；转向嘴18、导流嘴20之间设置成转动连接，是为了能够将定位环体21的位置进行及时调整，以便应对后续的喷涂需求；凸块702、坩埚7之间的间隔（L）和坩埚打磨组件中摆放机构共同实现对坩埚7的定位，其中，凸块702、坩埚7之间的间隔（L）用于对坩埚7进口处进行限定，摆放机构用于抱持单元11用于对坩埚7外表面进行限定。

在除尘仓体16的顶部安装有除尘风机22（现有产品，例如型号：TZY），除尘风机22的进风口与除尘仓体16连通，除尘风机22的出风口用于和净化设备进行连接，净化设备使用市面上可以购买到的现有产品（例如：型号HT），承载除尘组件用于对喷涂过程中产生的粉尘颗粒进行收集，净化设备进一步对承载除尘组件收集到的粉尘颗粒进行净化处理。

承载除尘组件的工作方式为：首先，当摆放机构将坩埚7移动至定位环体21一侧时，通过进一步调整摆放机构，直至摆放机构将坩埚7进口处的间隔（L）置于定位环体21内，通过间隔（L）、摆放机构共同将坩埚7进行定位。然后，在喷涂坩埚7的过程中将除尘风机22及净化设备启动，喷涂时产生的粉尘颗粒依次经过进流管道17、导流嘴20、转向嘴18进入除尘仓体16，再经除尘风机22后进入净化设备内。

继续参见图11，在两条横向轨8另一端、承载除尘组件一侧设置有一条纵向轨23，纵向轨23上滑动连接有喷涂组件，喷涂组件的一侧连接第二推动机构（第一推动机构、第二推动机构完全相同，此处不再赘述），喷涂组件的具体结构如下。

参考图13，示出的是喷涂组件的整体展示图，从图中可以看出，喷涂组件包括第二机械臂单元10（第一机械臂单元9与第二机械臂单元10完全相同，此处不再赘述），第二机械臂单元10的负载盘下方连接喷涂机24（例如直接使用型号为WLY-H03的有线喷涂机24），喷涂机24的开关扳机一侧还设有开启单元25，开启单元25的更加具体结构如下。

开启单元25包括电动伸缩缸2501（例如直接使用型号为TJC-C1-系列的电动伸缩杆），电动伸缩缸2501的伸缩轴上连接抵压板2502，抵压板2502的一个侧面与开关扳机相对；电动伸缩缸2501的外表面上安装有固定架，固定架的另一端与第二机械臂单元10的负载盘连接。当需要喷涂时，启动电动伸缩缸2501，电动伸缩缸2501的伸缩轴带动抵压板2502对开关扳机进行抵压，喷涂料从喷涂机24的喷嘴中喷出，从而实现对坩埚7的内表面进行喷涂作业；进一步结合图14，喷涂机24的喷壶底部安装抽水泵26，抽水泵26的进水口与喷壶内腔连通，抽水泵26的出水口连接软质导流管27（例如可以直接使用pu塑料软管），导流管27另一端与喷涂机24进行连接。

喷壶安装于第二机械臂单元10的滑台上；喷壶上还安装有搅拌单元28，搅拌单元28的更加具体结构如下。

参考图14-15，图14示出搅拌单元28的第一视角装配结构示意图，图15示出搅拌单元28的第二视角装配结构示意图，从图14、15中可以看出，搅拌单元28包括主动轴2801，主动轴2801转动连接在喷壶的壶盖上；主动轴2801置于喷壶壶盖上方的一端连接主动齿轮2802，主动齿轮2802的一侧设有第一从动齿轮2803，第一从动齿轮2803与主动齿轮2802啮合并进行联动；从动齿轮与一台伺服电机的输出轴同心连接，伺服电机固定在喷壶的壶盖上。

主动轴2801置于喷壶壶盖下方的另一端侧壁凸缘上转动连接有搅拌轴2804，搅拌轴2804的下方连接网状搅拌头2805（设置为网状更加方便将喷涂料进行打散搅拌）；搅拌轴2804的上方连接第二从动齿轮2806，搅拌轴2804外侧、喷壶壶盖下方设有齿环2807，齿环2807通过销轴固定在喷壶壶盖下方，齿环2807与第二从动齿轮2806啮合并进行联动。

搅拌单元28的工作原理如下：首先，继续参见图15，启动伺服电机，伺服电机带动第一从动齿轮2803沿f1发生旋转，第一从动齿啮合联动主动齿轮2802、主动轴2801沿f2方向发生旋转；然后，继续参见图14，主动轴2801在旋转时，带动搅拌轴2804、网状搅拌头2805以主动轴2801为中心、沿f2方向发生公转运动，与此同时，在齿环2807、第二从动齿轮2806的啮合联动作用下，搅拌轴2804、网状搅拌头2805沿f3方向发生自转运动；搅拌轴2804、网状搅拌头2805在同步发生公转、自转过程中对喷涂料实现充分搅拌混合。

喷涂组件的整体工作方式为：首先，当第二机械臂单元10将喷涂机24的喷嘴调整至与坩埚7内壁的待喷涂位置相对时，启动喷涂机24，通过喷涂机24对坩埚7内壁进行喷涂作业；然后，当喷涂机24内的氧化铝喷涂料不足时，先通过搅拌单元28对喷壶内的氧化铝喷涂料进行搅拌混合，之后通过抽水泵26将喷壶内搅拌均匀的氧化铝喷涂料抽至喷涂机24内，喷涂机24继续对坩埚7内壁进行喷涂作业。