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一种单晶硅棒切片用线切割机

文献发布时间:2023-06-19 11:00:24


一种单晶硅棒切片用线切割机

技术领域

本发明涉及单晶硅加工领域,特别的,是一种单晶硅棒切片用线切割机。

背景技术

单晶硅片是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,广泛用于制造半导体器件、太阳能电池等行业,而单晶硅片是通过切片机有序的从硅棒上加工所得,现有的单晶硅棒切片用线切割机会在使用过程中出现以下弊端:

一般会通过固定导轮在刻度尺上往复移动来对钢丝旋松和调节其张紧力,一旦导轮瞬间启动收卷运作时,由于上下两股钢丝的中部距离钢丝的收卷端较远,存在较大的滞后性,使得其中部会在绷直过程中,交合围绕彼此且紧密缠绕,导致最终捻绕成螺旋状,难分难解,造成钢丝之间会产生乱绳的情况,影响设备的切割使用。

发明内容

针对上述问题,本发明提供一种,其结构包括操作盘、闭合门、排气盖、机箱、基底,所述操作盘通过基底与机箱之间采用电性连接的方式相配合,所述机箱上安装有闭合门和排气盖,所述机箱包括安装盘、承接座、连接块、载物台、固定体,所述安装盘连接在连接块和基底之间,且中部连接有载物台,所述连接块上连接有承接座,所述承接座上安装有固定体。

作为本发明的进一步改进,所述固定体包括锁盒、托盘、助力组件、导轮、扣点架,所述锁盒连接在助力组件上,所述助力组件安装在托盘上,所述托盘上设有扣点架,所述扣点架连接在导轮上。

作为本发明的进一步改进,所述助力组件包括导带、推送件、压圈、缩合框、导向结构,所述导带通过导轮穿插在压圈和导向结构内部,所述导向结构安装在缩合框上,所述缩合框上设置有推送件。

作为本发明的进一步改进,因导带内部贯穿有钢丝,所述推送件与导向结构间接配合与导带上,从而保证导带可以被推动引导而改变方向。

作为本发明的进一步改进,所述推送件包括延边角、夹扣、制衡垫、展片,所述延边角连接在展片内部,且之间连接有制衡垫,所述展片通过制衡垫连接在缩合框上,且过渡配合有夹扣,所述展片为两个以上的片状结构插接而成,受力向下中部会与夹扣对接,进行有效支撑,加强之间的连接关系。

作为本发明的进一步改进,所述导向结构包括扩编装置、通腔、翼叶、堆成排,所述通腔上安装有扩编装置和堆成排,且通腔两侧均设有翼叶,所述翼叶与导带过渡配合,所述堆成排活动卡合在锁盒内部,方便在定点卡合时,为通腔提拱助力。

作为本发明的进一步改进,所述扩编装置包括支撑结构、转轴托、折杆、压合囊,所述支撑结构安装在压合囊上,所述压合囊上连接有折杆,且与翼叶间接配合,所述折杆通过压合囊与转轴托活动卡合。

作为本发明的进一步改进,所述支撑结构包括中间件、限位框、活动叉、弹簧,所述中间件与导带过渡配合,并连接在折杆上,所述活动叉连接在中间件上,且其滑动配合在限位框内,所述弹簧连接在活动叉上,所述限位框上下两端为可伸缩性弹绳,且连接在压合囊内部。

有益效果

与现有技术相比,本发明的有益效果:

1、本发明在助力组件上设置有推送件和导向结构,利用推送件和导向结构与导带相配合,当上下两股钢丝在绷直过程中,将导带交叉两端逐渐顺着推送件的变形绷直扣合在导向结构内部,保证能引导导带的交叉导向在导向结构内能得到充分的调节空间,达到导带调节钢丝紧绷角度的需求,以防之间交合围绕彼此且紧密缠绕。

2、本发明因夹扣对展片的完全展开能够有效支撑,来增加导带绷直延展的稳定性,从而实现导带在平面高度内的位置调整,以防弯折卡滞在导向结构内。

3、本发明通过折杆的V形结构在可承受范围,能掰直推动压合囊倾斜,来增高压合囊低位的倾斜角度,引导导带扩张延展角度,并出现下部放空的现象。

附图说明

图1为本发明一种单晶硅棒切片用线切割机的结构示意图。

图2为本发明机箱的内部平面结构示意图。

图3为本发明固定体的背部侧视结构示意图。

图4为本发明助力组件的平面结构示意图。

图5为本发明推送件的俯视结构示意图。

图6为本发明导向结构的俯视结构示意图。

图7为本发明扩编装置的平面结构示意图。

图8为本发明支撑结构的平面结构示意图。

图中:操作盘-1、闭合门-2、排气盖-3、机箱-4、基底-5、安装盘-41、承接座-42、连接块-43、载物台-44、固定体-45、锁盒-451、托盘-452、助力组件-453、导轮-454、扣点架-455、导带-531、推送件-532、压圈-533、缩合框-534、导向结构-535、延边角-321、夹扣-322、制衡垫-323、展片-324、扩编装置-351、通腔-352、翼叶-353、堆成排-354、支撑结构-1a1、转轴托-1a2、折杆-1a3、压合囊-1a4、中间点-a11、限位框-a12、活动叉-a13、弹簧-a14。

具体实施方式

基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

实施例1

如图1-图4所示,本发明提供一种单晶硅棒切片用线切割机,其结构包括操作盘1、闭合门2、排气盖3、机箱4、基底5,所述操作盘1通过基底5与机箱4之间采用电性连接的方式相配合,所述机箱4上安装有闭合门2和排气盖3,所述机箱4包括安装盘41、承接座42、连接块43、载物台44、固定体45,所述安装盘41固定连接在连接块43和基底5之间,且中部焊接连接有载物台44,所述连接块43一侧嵌接连接有承接座42,所述承接座42外侧安装有固定体45,所述固定体45包括锁盒451、托盘452、助力组件453、导轮454、扣点架455,所述锁盒451设有两个,分别焊接连接在助力组件453两侧,所述助力组件453安装在托盘452上,所述托盘452两侧设有两个结构大小一致的扣点架455,所述扣点架455扣接连接在导轮454两侧,所述助力组件453包括导带531、推送件532、压圈533、缩合框534、导向结构535,所述导带531通过导轮454交叉贯穿在压圈533和导向结构535内部,所述导向结构535安装在缩合框534两侧,所述缩合框534两侧分别设置有推送件532,因导带531内部贯穿有钢丝,所述推送件532与导向结构535间接配合与导带531上,从而保证导带531可以被推动引导而改变方向,在助力组件453上设置有推送件532和导向结构535,利用推送件532和导向结构535与导带531相配合,当上下两股钢丝在绷直过程中,将导带531交叉两端逐渐顺着推送件532的变形绷直扣合在导向结构535内部,保证能引导导带531的交叉导向在导向结构535内能得到充分的调节空间,达到导带531调节钢丝紧绷角度的需求,以防之间交合围绕彼此且紧密缠绕。

实施例2

如图5-图8所示,在实施例1的基础上,本发明结合以下结构部件的相互配合所述推送件532包括延边角321、夹扣322、制衡垫323、展片324,所述延边角321焊接连接在展片324内部,且之间固定连接有制衡垫323,所述展片324通过制衡垫323铰接连接在缩合框534上,且中部过渡配合有夹扣322,所述展片324为两个以上的片状结构插接而成,受力向下中部会与夹扣322对接,进行有效支撑,加强之间的连接关系,所述导向结构535包括扩编装置351、通腔352、翼叶353、堆成排354,所述通腔352为中空结构,其内部和顶部分别安装有扩编装置351和堆成排354,且通腔352两侧均设有翼叶353,所述翼叶353与导带531过渡配合,所述堆成排354活动卡合在锁盒451内部,方便在定点卡合时,为通腔352提拱助力,所述扩编装置351包括支撑结构1a1、转轴托1a2、折杆1a3、压合囊1a4,所述支撑结构1a1安装在压合囊1a4内部,所述压合囊1a4之间插嵌连接有折杆1a3,且与翼叶353间接配合,所述折杆1a3为V形结构,通过压合囊1a4与转轴托1a2内部活动卡合,所述支撑结构1a1包括中间件a11、限位框a12、活动叉a13、弹簧a14,所述中间件a11与导带531过渡配合,并嵌接连接在折杆1a3连接端,所述活动叉a13中部固定连接在中间件a11上,且其尖端滑动配合在限位框a12内壁,所述弹簧a14焊接连接在活动叉a13之间,所述限位框a12上下两端为可伸缩性弹绳,且固定连接在压合囊1a4内部,因夹扣322对展片324的完全展开能够有效支撑,来增加导带531绷直延展的稳定性,从而实现导带531在平面高度内的位置调整,以防弯折卡滞在导向结构535内,通过折杆1a3的V形结构在可承受范围,能掰直推动压合囊1a4倾斜,来增高压合囊1a4低位的倾斜角度,引导导带531扩张延展角度,并出现下部放空的现象。

下面对上述技术方案中的一种单晶硅棒切片用线切割机的工作原理作如下说明:

本发明在使用过程中,当导轮454瞬间启动收卷运作时,因上下两股钢丝的中部距离钢丝收卷端的导轮454较远,且之间距离较近,存在较大的滞后性,为防止其中部会在绷直过程中,会出现交合围绕彼此且紧密缠绕的状况,因此,在导轮454背部设置有助力组件453,因导带531内部对接有来自导轮454的钢丝,利用导轮454的驱动下,其导带531会随着钢丝紧绷下垂,将压圈533两侧的推送件532囊括压制住,并携带展片324向靠近导向结构535一侧扩张,使得夹扣322会随着展片324在缩合框534上的摆动扩展,而通过延边角321和制衡垫323,对进行展片324定位加固,使得导带531交叉初始端会被调整垫高,保证导带531交叉端能从导向结构535顺畅延伸出去,同时,被垫高导带531的延伸端将会挤压限位框a12两端来进一步扩张,导带531将会接触到中间点a11,实现上托,使得压制外侧活动叉a13来发生不断夹合,压缩弹簧a14,让活动叉a13在限位框a12内交叉滑动,并间接改变所承接的导带531的接触面积,使得导带531在这上方发生向外窜动,初步有向外扩的趋势,以防钢丝中部交杂在一起,再者,这将会使得压合囊1a4底部会在转轴托1a2内靠近并初步对顶,将之间的折杆1a3的V形结构在可承受范围内,以窜动的支撑结构1a1为支点,在压合囊1a4之间掰直,推动压合囊1a4倾斜朝两侧倾斜,来增高压合囊1a4低位的倾斜角度,随着压合囊1a4不断的扩张,将会受翼叶353的限制,将整个扩编装置351向外翻转,增加对导带531的受力面积,出现压合囊1a4下部突然放空,导带531顺扩编装置351向外翻转的角度,由两侧向中部呈波浪形扩偏,起到扩大钢丝之间距离的作用。

在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“侧向”、“长度”、“宽度”、“高度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图中所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。

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技术分类

06120112765655