一种半导体加工用工装

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，具体的说是一种半导体加工用工装。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可控，范围从绝缘体到导体之间的材料。

然而，现有的半导体工件在加工过程中，通常需要对工件进行打磨或者抛光，由于工件固定起来较不方便，进而使半导体工件在加工过程中容易发生偏移、滑动的现象，从而影响工件的加工效果；另外，在工件加工结束后，操作人员需要重新拿取新的工件进行加工，重复拿取的操作步骤较繁琐，进而不利于提高半导体工件的加工效率。

发明内容

针对现有技术中的问题，本发明提供了一种半导体加工用工装。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种半导体加工用工装，包括主体机构，所述主体机构上配合转动有传送机构；所述主体机构上固定有支撑板；所述支撑板上安装有驱动机构；所述驱动机构上固定有转动机构；所述转动机构上配合连接有限位机构；

所述转动机构包括导杆，所述支撑板上转动连接有导杆，所述限位机构包括转杆，所述导杆与转杆之间转动连接，所述转杆上转动连接有摆杆，所述摆杆与导杆之间固定连接，所述摆杆上固定安装有固定杆，所述固定杆上转动连接有套杆，所述支撑板上固定连接有转杆，所述套杆上套接有橡胶垫，所述套杆的截面直径大于固定杆的截面直径。

具体的，所述转动机构还包括第二卡板，所述导杆上固定连接有第二卡板，所述第二卡板上转动连接有第一卡板，所述第一卡板与固定板之间转动连接，所述固定板上固定安装有滑块，所述支撑板上固定连接有滑杆，且所述滑块与滑杆之间滑动连接，所述滑块上转动连接有连杆，所述第一卡板和第二卡板呈倾斜设置，所述连杆呈L形结构设置。

具体的，所述驱动机构包括安装块，所述支撑板上固定连接有安装块，所述安装块内配合安装有第二电机，所述第二电机的输出端通过联轴器固定连接有转轴，所述转轴上固定连接有转盘，所述转轴与支撑板之间转动连接，所述转盘与连杆之间转动连接。

具体的，所述主体机构包括工作台，所述支撑板与工作台之间固定连接，所述工作台上固定安装有支撑杆，若干个所述支撑杆两两一组呈对称设置，相邻两个所述支撑杆通过连接板配合连接。

具体的，所述传送机构包括第一电机，所述工作台上固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端通过联轴器固定连接有长杆，所述长杆上固定安装有导向杆，所述长杆上固定连接有齿轮，若干个所述齿轮均与链条啮合，所述导向杆上粘接有防滑垫，且所述导向杆与工作台之间转动连接。

本发明的有益效果是：

(1)本发明所述的一种半导体加工用工装，在对工件加工时，操作人员可以打开传送机构的控制开关，进而便于在传送机构转动时可以对工件进行导向传送，使加工更加便捷，有利于防止操作人员在加工时需要来回拿取半导体工件的情况，即：操作人员在对半导体工件进行加工时，可以先将工件放置到工作台上，工作台上配合转动有若干个导向杆，第一电机配合安装在工作台上，操作人员打开第一电机的控制开关，第一电机的输出端通过联轴器固定连接有长杆，长杆上固定安装有导向杆，导向杆上粘接有防滑垫，长杆上固定连接有齿轮，若干个齿轮上均啮合有链条，第一电机启动时，带动一个长杆转动，进而使齿轮转动时带动链条转动，链条转动使另外的齿轮转动，进而使长杆在转动时可以带动导向杆转动，导向杆转动，进而便于对半导体工件进行导向，从而有利于防止操作人员在加工时需要来回拿取半导体工件的情况。

(2)本发明所述的一种半导体加工用工装，在加工时，可以打开驱动机构的控制开关，进而使驱动机构带动转动机构转动，从而便于带动限位机构转动，有利于提高加工用工装的使用效率，即：操作人员在对半导体工件加工前，需要对工件进行固定，操作人员可以打开第二电机的控制开关，第二电机固定在安装块上，第二电机的输出端通过联轴器固定连接有转轴，转轴上固定连接有转盘，转盘在支撑板内转动，第二电机启动时，转轴带动转盘转动，转盘上分别转动连接有两个连杆，连杆的端部与滑块之间转动连接，支撑板上固定连接有滑杆，滑杆上滑动连接有滑块，滑块上固定安装有固定板，固定板上转动连接有第一卡板，第一卡板上转动连接有第二卡板，第二卡板与导杆之间固定连接，转轴带动转盘转动时，可以带动两个连杆转动，连杆转动时带动滑块在滑杆上滑动，滑块滑动时带动固定板滑动，进而使第一卡板顺着固定板转动，进而使第二卡板转动时带动导杆转动，从而便于使导杆驱动摆杆转动。

(3)本发明所述的一种半导体加工用工装，限位机构随转动机构转动时，可以使限位机构在主体机构上转动，进而便于对工件进行夹持，从而使固定更加便捷，即：支撑板上固定连接有转杆，转杆与导杆之间转动连接，导杆上固定连接有摆杆，摆杆上固定连接有固定杆，固定杆上转动连接有套杆，套杆上粘接有橡胶垫，导杆转动时，可以使摆杆在转杆上转动，摆杆带动固定杆转动，当固定杆转动时使橡胶垫与工件抵触，进而使两组套杆对工件进行固定，从而在对工件加工时可以防止工件位移的情况；且套杆与固定杆之间转动连接，进而便于对工件固定时可以防止套杆与工件直接抵触容易产生损坏的情况。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1为本发明提供的一种半导体加工用工装的一种较佳实施例的整体结构示意图；

图2为图1所示的A部结构放大示意图；

图3为本发明的导向杆与长杆的连接结构示意图；

图4为图3所示的B部结构放大示意图；

图5为本发明的工作台与支撑板的连接结构示意图；

图6为图5所示的C部结构放大示意图；

图7为本发明的导杆与支撑板的连接结构示意图；

图8为图7所示的D部结构放大示意图；

图9为图7所示的E部结构放大示意图；

图10为本发明的导杆与转杆的连接结构示意图；

图11为图10所示的F部结构放大示意图。

图中：1、主体机构；101、工作台；102、支撑杆；103、连接板；2、传送机构；201、第一电机；202、防滑垫；203、导向杆；204、长杆；205、齿轮；206、链条；3、限位机构；301、套杆；302、橡胶垫；303、固定杆；304、摆杆；305、转杆；4、转动机构；401、导杆；402、连杆；403、滑块；404、固定板；405、滑杆；406、第一卡板；407、第二卡板；5、支撑板；6、驱动机构；601、安装块；602、第二电机；603、转轴；604、转盘。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

如图1-图11所示，本发明所述的一种半导体加工用工装，包括主体机构1，所述主体机构1上配合转动有传送机构2；所述主体机构1上固定有支撑板5；所述支撑板5上安装有驱动机构6；所述驱动机构6上固定有转动机构4；所述转动机构4上配合连接有限位机构3；

所述转动机构4包括导杆401，所述支撑板5上转动连接有导杆401，所述限位机构3包括转杆305，所述导杆401与转杆305之间转动连接，所述转杆305上转动连接有摆杆304，所述摆杆304与导杆401之间固定连接，所述摆杆304上固定安装有固定杆303，所述固定杆303上转动连接有套杆301，所述支撑板5上固定连接有转杆305，所述套杆301上套接有橡胶垫302，所述套杆301的截面直径大于固定杆303的截面直径，限位机构3随转动机构4转动时，可以使限位机构3在主体机构1上转动，进而便于对工件进行夹持，从而使固定更加便捷，即：支撑板5上固定连接有转杆305，转杆305与导杆401之间转动连接，导杆401上固定连接有摆杆304，摆杆304上固定连接有固定杆303，固定杆303上转动连接有套杆301，套杆301上粘接有橡胶垫302，导杆401转动时，可以使摆杆304在转杆305上转动，摆杆304带动固定杆303转动，当固定杆303转动时使橡胶垫302与工件抵触，进而使两组套杆301对工件进行固定，从而在对工件加工时可以防止工件位移的情况；且套杆301与固定杆303之间转动连接，进而便于对工件固定时可以防止套杆301与工件直接抵触容易产生损坏的情况。

具体的，所述转动机构4还包括第二卡板407，所述导杆401上固定连接有第二卡板407，所述第二卡板407上转动连接有第一卡板406，所述第一卡板406与固定板404之间转动连接，所述固定板404上固定安装有滑块403，所述支撑板5上固定连接有滑杆405，且所述滑块403与滑杆405之间滑动连接，所述滑块403上转动连接有连杆402，所述第一卡板406和第二卡板407呈倾斜设置，所述连杆402呈L形结构设置。

具体的，所述驱动机构6包括安装块601，所述支撑板5上固定连接有安装块601，所述安装块601内配合安装有第二电机602，所述第二电机602的输出端通过联轴器固定连接有转轴603，所述转轴603上固定连接有转盘604，所述转轴603与支撑板5之间转动连接，所述转盘604与连杆402之间转动连接，在加工时，可以打开驱动机构6的控制开关，进而使驱动机构6带动转动机构4转动，从而便于带动限位机构3转动，有利于提高加工用工装的使用效率，即：操作人员在对半导体工件加工前，需要对工件进行固定，操作人员可以打开第二电机602的控制开关，第二电机602固定在安装块601上，第二电机602的输出端通过联轴器固定连接有转轴603，转轴603上固定连接有转盘604，转盘604在支撑板5内转动，第二电机602启动时，转轴603带动转盘604转动，转盘604上分别转动连接有两个连杆402，连杆402的端部与滑块403之间转动连接，支撑板5上固定连接有滑杆405，滑杆405上滑动连接有滑块403，滑块403上固定安装有固定板404，固定板404上转动连接有第一卡板406，第一卡板406上转动连接有第二卡板407，第二卡板407与导杆401之间固定连接，转轴603带动转盘604转动时，可以带动两个连杆402转动，连杆402转动时带动滑块403在滑杆405上滑动，滑块403滑动时带动固定板404滑动，进而使第一卡板406顺着固定板404转动，进而使第二卡板407转动时带动导杆401转动，从而便于使导杆401驱动摆杆304转动。

具体的，所述主体机构1包括工作台101，所述支撑板5与工作台101之间固定连接，所述工作台101上固定安装有支撑杆102，若干个所述支撑杆102两两一组呈对称设置，相邻两个所述支撑杆102通过连接板103配合连接。

具体的，所述传送机构2包括第一电机201，所述工作台101上固定安装有第一电机201，所述第一电机201的输出端通过联轴器固定连接有长杆204，所述长杆204上固定安装有导向杆203，所述长杆204上固定连接有齿轮205，若干个所述齿轮205均与链条206啮合，所述导向杆203上粘接有防滑垫202，且所述导向杆203与工作台101之间转动连接，在对工件加工时，操作人员可以打开传送机构2的控制开关，进而便于在传送机构2转动时可以对工件进行导向传送，使加工更加便捷，有利于防止操作人员在加工时需要来回拿取半导体工件的情况，即：操作人员在对半导体工件进行加工时，可以先将工件放置到工作台101上，工作台101上配合转动有若干个导向杆203，第一电机201配合安装在工作台101上，操作人员打开第一电机201的控制开关，第一电机201的输出端通过联轴器固定连接有长杆204，长杆204上固定安装有导向杆203，导向杆203上粘接有防滑垫202，长杆204上固定连接有齿轮205，若干个齿轮205上均啮合有链条206，第一电机201启动时，带动一个长杆204转动，进而使齿轮205转动时带动链条206转动，链条206转动使另外的齿轮205转动，进而使长杆204在转动时可以带动导向杆203转动，导向杆203转动，进而便于对半导体工件进行导向，从而有利于防止操作人员在加工时需要来回拿取半导体工件的情况。

本发明在使用时，首先，操作人员在对半导体工件进行加工时，可以先将工件放置到工作台101上，工作台101上配合转动有若干个导向杆203，第一电机201配合安装在工作台101上，操作人员打开第一电机201的控制开关，第一电机201的输出端通过联轴器固定连接有长杆204，长杆204上固定安装有导向杆203，导向杆203上粘接有防滑垫202，长杆204上固定连接有齿轮205，若干个齿轮205上均啮合有链条206，第一电机201启动时，带动一个长杆204转动，进而使齿轮205转动时带动链条206转动，链条206转动使另外的齿轮205转动，进而使长杆204在转动时可以带动导向杆203转动，导向杆203转动，进而便于对半导体工件进行导向，从而有利于防止操作人员在加工时需要来回拿取半导体工件的情况；操作人员在对半导体工件加工前，需要对工件进行固定，操作人员可以打开第二电机602的控制开关，第二电机602固定在安装块601上，第二电机602的输出端通过联轴器固定连接有转轴603，转轴603上固定连接有转盘604，转盘604在支撑板5内转动，第二电机602启动时，转轴603带动转盘604转动，转盘604上分别转动连接有两个连杆402，连杆402的端部与滑块403之间转动连接，支撑板5上固定连接有滑杆405，滑杆405上滑动连接有滑块403，滑块403上固定安装有固定板404，固定板404上转动连接有第一卡板406，第一卡板406上转动连接有第二卡板407，第二卡板407与导杆401之间固定连接，转轴603带动转盘604转动时，可以带动两个连杆402转动，连杆402转动时带动滑块403在滑杆405上滑动，滑块403滑动时带动固定板404滑动，进而使第一卡板406顺着固定板404转动，进而使第二卡板407转动时带动导杆401转动，从而便于使导杆401驱动摆杆304转动；支撑板5上固定连接有转杆305，转杆305与导杆401之间转动连接，导杆401上固定连接有摆杆304，摆杆304上固定连接有固定杆303，固定杆303上转动连接有套杆301，套杆301上粘接有橡胶垫302，导杆401转动时，可以使摆杆304在转杆305上转动，摆杆304带动固定杆303转动，当固定杆303转动时使橡胶垫302与工件抵触，进而使两组套杆301对工件进行固定，从而在对工件加工时可以防止工件位移的情况；且套杆301与固定杆303之间转动连接，进而便于对工件固定时可以防止套杆301与工件直接抵触容易产生损坏的情况。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。