一种直流溅射电源

技术领域

本发明涉及一种直流溅射电源，属于电源技术领域。

背景技术

目前，真空镀膜设备为了提高其镀膜性能，一般采用具有快速灭弧功能的直流溅射电源，如中国专利公开的CN201410530034.1“一种直流磁控溅射镀膜电源快速灭弧电路”，即在电源输出端加装灭弧电路，从而使得电源输出更为稳定和可靠。但是，在实际应用中发现，常规的电源内部的风冷散热结构散热性能无法支撑电源模块和灭弧电路的散热需求。为此，亟需一种具有较高散热性能的直流溅射电源，以实现其在真空镀膜行业的高性能应用。

发明内容

本发明的目的在于克服上述不足，提供一种具有风水双冷功能的直流溅射电源。

本发明的目的是这样实现的：

一种直流溅射电源，包含有箱体，以及位于箱体内的电压器模组和多个电气模块，箱体内设置有两块相互平行的水冷散热板，且两块水冷散热板之间串联相连，水冷散热板的进出水口穿出箱体，变压器模组位于两块水冷散热板之间，电气模块分别贴合安装于两块水冷散热板上，且箱体的侧壁上安装有进风孔，箱体的背板上安装有抽风风机。

优选的，所述电气模块包含有整流模块、IGBT模块和灭弧电路，所述整流模块和IGBT模块分别安装于同一线路板的正反两侧，且IGBT模块贴合在水冷散热板上，灭弧电路贴合在水冷散热板上。

优选的，所述抽风风机位于两块水冷散热板之间，且抽风风机正对变压器模组，且两块水冷散热板与箱体的两侧之间形成有辅助散热风道，所述水冷散热板设置有进出水口的一端贴合在箱体的背板上，并且该设置有进出水口的一端与箱体的底板之间设置有与辅助散热风道相连通的狭缝，所述水冷散热板的另一端与面板具有一定散热间隙，所述变压器模组的底部与箱体的底板之间设置有一散热风道，该散热风道连通抽风风机与散热间隙相连通。

优选的，所述电源还包含有控制线路板，水冷散热板设置有进出水口的一端下凹后使得其与箱体顶板之间形成有供控制线路板安装的空间。

优选的，冷却水经由与IGBT模块贴合的水冷散热板导入，随后通过管路输送至与灭弧电路贴合的水冷散热板内循环后导出，并且冷却风经由箱体侧板上的进风孔进入后，分别通过撒热间隙和散热风道与电气模块热交换后，经由抽风风机将受热的空气导出。

优选的，所述电压器模组通过主线路板安装于箱体内。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

通过水冷板的引入、结合风冷通道的设计，实现了水冷、水冷的双重冷却效果；并且在电气模块的空间布局上，将发热量大的IGBT模块、灭弧电路和变压器模组直接贴合在水冷散热板上实现高效冷却，尤其是对于变压器模组，在水冷的基础上，还额外设置了冷却风道，进一步提高了其冷却性能。

附图说明

图1为本发明一种直流溅射电源的结构示意图。

图2为本发明一种直流溅射电源去除顶板、侧板后的结构示意图。

图3为本发明一图2另一视角下的结构示意图。

图4为本发明中变压器模组（变压器未示意）的结构示意图。

图5为本发明中图4的另一视角下的结构示意图。

图6为本发明中图4的后视图。

其中：

箱体1、变压器模组2、水冷散热板3、抽风风机4、断路器5、接线端子6、整流模块7、IGBT模块8、互感器一9、灭弧电路10、控制线路板11、稳压器12、互感器二13、主线路板14；

底板1.1、顶板1.2、面板1.3、背板1.4、侧板1.5、进风孔1.6、出风口1.7；

底面板2.1、侧面板2.2、变压器2.3、

底部风道2.1.1；

出线孔2.2.1；

出线豁口3.1、进出水口3.2、联通水口3.3。

具体实施方式

实施例一：

参见图1~6，本发明涉及一种直流溅射电源，包含有箱体1，所述箱体1由相互平行的底板1.1和顶板1.2、以及围合在底板1.1和顶板1.2之间的面板1.3、背板1.4及两块侧板1.5构成，所述两块侧板1.5靠近面板1.3处设置有多个进风孔1.6，所述背板1.4上设置有出风口1.7；

所述底板1.1的中部设置有变压器模组2，变压器模组2包含有底面板2.1，所述底面板2.1的底面沿其长度方向设置有底部风道2.1.1，且底部风道2.1.1的长度方向与背板1.4的相垂直，所述底面板2.1的顶面两侧分别安装有两块水冷散热板3，所述底面板2.1上设置有四块侧面板2.2围合构成容纳变压器2.3的空间，且两块水冷散热板3分别与两侧的侧面板2.2相贴合并通过螺栓固定相连。

同时，所述侧面板2.2的上部开设有出线孔2.2.1，用于走线，所述水冷散热板3的顶部设置有出线豁口3.1，该出线豁口3.1正对出线孔2.2.1，用于给穿出出线孔2.2.1的走线进行让位。

并且，所述水冷散热板3的端部上方凸起穿过背板1.4后设置有进出水口3.2，且水冷散热板3的端部下方设置有联通水口3.3。

使用时，两块水冷散热板3上的两个穿出背板1.4的进出水口3.2分别作为冷却水进口和出口，两个联通水口3.3之间通过管路相连接，使得两块水冷散热板3串联使用。

所述背板1.4的进风孔1.6上安装有一抽风风机4，且抽风风机4正对底部风道2.1.1，从而使得使用时，能够再次通过风冷方式对变压器模组2起到散热作用。

所述背板1.4的两端分别安装有断路器5和接线端子6，电源经由断路器5引入箱体1内，经由箱体内的整流模块7、IGBT模块8、变压器模组2、灭弧电路10和稳压器12后、经由接线端子6输出。具体的讲：所述IGBT模块8和整流模块7分别安装于同一线路板的两侧，且IGBT模块8贴合在一水冷散热板3上，整流模块7通过铜排与断路器5相连接，且整流模块7和断路器5相连接的铜排上套装有互感器一9，用于获取输入端的电信号提供给控制线路板11，IGBT模块8的输出端连接的导线经朝向面板1.3的出线孔2.2.1穿入变压器模组2内变压器2.3的初级输入端相连接，变压器2.3的次级输出端上的连接线经由位于侧面侧面板2.2上的出线孔2.2.1后与灭弧电路10相连接，且灭弧电路10贴合在另一水冷散热板3的表面上，且灭弧电路10的输出端经由稳压器12后通过铜排连接至接线端子6，且连接至接线端子6的铜排上套装有互感器二13，用于获取输出端的电信号提供给控制线路板11。

实施例二：

实施例二与实施例一的区别在于，为了减少箱体1内部的走线，使得内部更为规整，使得冷却风循环更为顺畅，且减少走线上的线损降低热能的产生，还可在底板1.1上设置主线路板14，变压器模组2安装于主线路板14上并无电气连接，稳压器12安装于主线路板14上并且控制线路通过主线路板14走线。且采用主线路板14还可使得安装更为简便，整体安装于主线路板14上，整体放入箱体1内安装于底板1.1上。

实施例一和实施例二中，控制线路板11位于互感器一9和互感器二13的上方，并且通过线束连接至整流模块7、IGBT模块8、互感器一9、灭弧电路10、控制线路板11、稳压器12和互感器二13，从而实现控制相连，并且靠近背板1.4，工作时产生的少许热量能够通过背板1.4上安装的抽风风机4快速导出。

另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。