梳形光栅零件的制作方法

技术领域

本发明涉及真空电子器件，具体地，涉及一种梳形光栅零件的制作方法。

背景技术

在真空电子器件领域，传统微波管的工作频率决定了其高频系统的尺寸。因此，当传统微波管往更高的频率上发展时，尺寸必须做的越来越小，甚至达到十微米级，同时，对结构的一致性要求也越来越高，达到微米级。

以图1所示的梳形光栅零件为例，其具有数百个深度为h、宽度为h1的齿和宽度为h2的槽的交替周期结构。目前，用于加工具有该结构零件的加工方法主要有电火花加工、光刻、超声加工和激光加工等，这几种加工方法都是在整块原材料上加工出设计图纸所要求的尺寸。在微波管的前期研制阶段，设计方案往往需要不断进行调整完善。相应的，梳形光栅零件尺寸d1、d2、h1、L等也需要不断进行调整，有时甚至需要对L长度上某一处(如L1处)的齿和槽进行尺寸跳变d3、d4、d5、d6……h2、h3……。此时，如果仍然采用传统的加工方法，其加工周期过长，影响管子的研制进度，还会导致加工费用昂贵。

发明内容

本发明的目的是提供一种梳形光栅零件的制作方法，该制作方法快捷方便，能够灵活调整光栅特征结构尺寸以及尺寸跳变的位置和大小，加工周期短，大大降低了制作成本；同时，制作后的结构特性一致性极高。

为了实现上述目的，本发明提供了一种梳形光栅零件的制作方法，包括：

步骤1、加工齿零件和槽零件；

步骤2、根据设计图纸，选择合适的齿零件和槽零件，依次交替放置在工装底座上，然后进行扩散焊制成光栅件。

优选地，步骤1中的齿零件具有外形尺寸W、H以及厚度尺寸d1、d3、d5……。

优选地，步骤1中的槽零件具有外形尺寸W、H-h1、H-h2……以及相应的厚度尺寸d2、d4、d6……。

优选地，步骤2后还包括对制成的光栅件进行二次加工，包括去除多余的外形尺寸以达到设计图纸要求。

优选地，步骤1中的齿零件具有外形尺寸W1、H1以及厚度尺寸d1、d3、d5……。

优选地，步骤1中的槽零件具有外形尺寸W1、H1-h1、H1-h2……以及相应的厚度尺寸d2、d4、d6……。

优选地，W1、H1均大于光栅件的设计外形尺寸。

根据上述技术方案，本发明将数个甚至数百个片状零件叠加在一起进行一次线切割加工外形，可以做到同批次零件的外形尺寸偏差小于1μm，而且一次性加工数百个零件，将大大降低加工周期和加工成本。将加工好的片状零件根据设计方案的要求按照一定的数量和顺序排列起来，再进行扩散焊接，得到所需要的梳形光栅零件。梳形光栅零件的制作方便、快捷，尺寸调整灵活度高，制作成本低，结构特性一致性理论上可以达到100％。

本发明的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是根据本发明中梳形光栅零件的结构示意图；

图2是根据本发明实施方式一制成的梳形光栅零件示意图；

图3是图2中的齿零件结构示意图；

图4是图2中的槽零件结构示意图；

图5是根据本发明实施方式二制成的梳形光栅零件示意图；

图6是图5中的齿零件结构示意图；

图7是图5中的槽零件结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

在本发明中，在未作相反说明的情况下，包含在术语中的方位词仅代表该术语在常规使用状态下的方位，或为本领域技术人员理解的俗称，而不应视为对该术语的限制。

参见图1，本发明提供了一种梳形光栅零件的制作方法，包括：

步骤1、加工齿零件和槽零件；

步骤2、根据设计图纸，选择合适的齿零件和槽零件，依次交替放置在工装底座上，然后进行扩散焊制成光栅件。

更进一步的，步骤2后还包括对制成的光栅件进行二次加工，包括去除多余的外形尺寸以达到设计图纸要求。

具体的，在实施方式一中，包括：

首先，加工如附图3、图4所示的齿零件和槽零件。齿零件具有外形尺寸W、H以及厚度尺寸d1、d3、d5……，槽零件具有外形尺寸W、H-h1(h2……)以及相应的厚度尺寸d2、d4、d6……；

然后，根据设计图纸，选择合适的齿零件和槽零件依次交替放置在工装底座上，进行扩散焊制成如图2所示的光栅件。

在实施方式二中，包括：

首先，加工如附图6、图7所示的齿零件和槽零件。齿零件具有外形尺寸W1、H1以及厚度尺寸d1、d3、d5……，槽零件具有外形尺寸W1、H1-h1(h2……)以及相应的厚度尺寸d2、d4、d6……。这里W1、H1均大于光栅件的设计外形尺寸W和H；

其次，根据设计图纸，选择合适的齿零件和槽零件依次交替放置在工装底座上，进行扩散焊制成如图5所示光栅件；

接着，对图5所示光栅件进行二次加工，去除多余的外形尺寸，加工出设计图纸所要求的外形尺寸，如图2所示的光栅件。

通过上述技术方案，将数个甚至数百个片状零件叠加在一起进行一次线切割加工外形，可以做到同批次零件的外形尺寸偏差小于1μm，而且一次性加工数百个零件，将大大降低加工周期和加工成本。将加工好的片状零件根据设计方案的要求按照一定的数量和顺序排列起来，再进行扩散焊接，得到所需要的梳形光栅零件。梳形光栅零件的制作方便、快捷，尺寸调整灵活度高，制作成本低，结构特性一致性理论上可以达到100％。

以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。