线宽测量方法和线宽测量装置

技术领域

本申请属于显示面板技术领域，尤其涉及一种线宽测量方法和线宽测量装置。

背景技术

在显示面板的生产流程中，线宽或线距等关键尺寸(Critical Dimension，CD)对于器件的性能有重要的影响，因此线宽或者线距的测量关系到产品的品质。

线宽测量装置在进行测量时，需要首先移动到测量点位，在测量视野中定位特征图案，再通过待测图案设定中的目标线宽与特征图案的相对位置进行抓边识别，从而测量出目标线宽。

然而，因定位不精准产生的误差以及特征图案中不同点位间的制程不同，特征图案与标准图案匹配时会产生不同的重合度，由此产生特征图案的偏移，从而导致测量结果失真，影响显示面板的制程。

发明内容

本申请实施例提供一种线宽测量方法和线宽测量装置，以减少特征图案的偏移对线宽测量的影响以及减小对显示面板制程的影响。

第一方面，本申请实施例提供一种线宽测量方法，包括：

采集测量样本的视野图像，所述测量样本为具有线路图案的基板；

将预存的与所述视野图像中的特征图案对应的标准图案与所述特征图案进行匹配；

若匹配成功，则在所述视野图像中获取预设图案；

以所述预设图案为基准定位所述视野图案中的待测图案，并对所述待测图案的目标线宽进行测量，以得到所述目标线宽的测量结果。

可选的，所述获取预设图案包括：

识别所述视野图像中两条非平行的线路边线，并将所述两条非平行的线路边线作为所述预设图案。

可选的，所述识别所述视野图像中两条非平行的线路边线，并将所述两条非平行的线路边线作为所述预设图案包括：

识别所述视野图像中两条垂直的线路边线，并将所述两条垂直的线路边线作为所述预设图案。

可选的，以所述预设图案的两条垂直的线路边线建立坐标系，所述坐标系中相互垂直的两个坐标轴与所述两条垂直的线路边线部分重合，所述坐标系的坐标轴原点为所述两条垂直的线路边线的交点或所述两条垂直的线路边线延长线的交点。

可选的，所述若匹配成功之前，还包括：

将所述标准图案与所述特征图案进行重合度比较；

当所述标准图案与所述特征图案的重合度大于或等于70％，则匹配成功。

可选的，所述基板对应所述待测图案具有多条走线和多条沟道，每一所述沟道位于相邻的两条所述走线之间。

可选的，每一所述沟道的宽度范围为2.5微米至5微米；和/或每一所述走线的宽度范围为2微米至3微米。

可选的，应用于线宽测量装置，所述采集测量样本的视野图像之前，还包括：

移动所述线宽测量装置至目标线宽所在区域；

控制所述线宽测量装置在测量视野内进行对焦操作。

第二方面，本申请实施例还提供一种线宽测量装置，包括：

采集单元，用于采集测量样本的视野图像，所述测量样本为具有线路图案的基板；

匹配单元，用于将预存的与所述视野图像中的特征图案对应的标准图案与所述特征图案进行匹配；

定位单元，用于若匹配成功，则在所述视野图像中获取预设图案；

测量单元，用于以所述预设图案为基准定位所述视野图案中的待测图案，并对所述待测图案的目标线宽进行测量，以得到所述目标线宽的测量结果。

可选的，所述定位单元还用于：

所述预设图案包括两条垂直的线路边线，以所述预设图案的两条垂直的线路边线建立坐标系，所述坐标系中相互垂直的两个坐标轴与所述两条垂直的线路边线部分重合，所述坐标系的坐标轴原点为所述两条垂直的线路边线的交点或所述两条垂直的线路边线延长线的交点。

本申请实施例通过在标准图案与特征图案匹配成功之后，即进行初定位后，在所述视野图像中获取预设图案，以二次定位所述视野图案中的待测图案；再以所述预设图案为基准对所述待测图案的目标线宽进行测量，得到所述目标线宽的测量结果。使用两级定位来减少特征图案的偏移对线宽测量的影响，提高了线路边线抓取识别的准确性，使得线宽测量结果可靠，进而减小了对显示面板制程的影响。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对本领域技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

为了更完整地理解本申请及其有益效果，下面将结合附图来进行说明。其中，在下面的描述中相同的附图标号表示相同部分。

图1为本申请实施例提供的测量样本的一种结构示意图。

图2为本申请实施例提供的测量样本的另一结构示意图。

图3为本申请实施例提供的线宽测量方法的第一流程示意图。

图4为本申请实施例提供的线宽测量方法的第二流程示意图。

图5为本申请实施例提供的线宽测量装置的示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

现有的线宽测量装置在对显示面板生产过程中的各器件进行线宽测量时，如测量显示面板中的第二层金属层的线路宽度时，需要先移动到测量点位，在测量视野中定位特征图案，再通过待测图案设定中的目标线宽与特征图案的相对位置进行抓边识别，从而测量出目标线宽。然而，因定位不精准产生的误差以及特征图案中不同点位间的制程不同，特征图案与标准图案匹配时会产生不同的重合度，由此产生特征图案的偏移，使得线宽测量装置在测量窄距线宽时，会发生由图案偏移导致的线宽位置抓偏，从而导致测量结果失真，影响制程判断。

本申请实施例提供一种线宽测量方法和线宽测量装置，以减少特征图案的偏移对线宽测量的影响。以下将结合附图分别从线宽测量方法和线宽测量装置两个方面进行说明。

本申请实施例提供一种线宽测量方法，具体请参阅图1至图3，图1为本申请实施例提供的测量样本的一种结构示意图，图2为本申请实施例提供的测量样本的另一结构示意图，图3为本申请实施例提供的线宽测量方法的第一流程示意图。线宽测量方法包括：

201、采集测量样本的视野图像，测量样本为具有线路图案的基板。

测量样本100通常为具有线路图案的基板，在对特定区域的器件的线宽进行测量时，需要采集对应目标线宽区域的图像，将能采集到的图像区域称为视野图像，视野图像选自基板上的线路图案。然后，对这个视野图像进行处理以及通过视野图像对目标线宽的测量，比如可以将这个视野图像划分为多个图案，多个图案包括用于定位的特征图案以及用于测量线宽的待测图案。

基板对应待测图案具有多条走线101和多条沟道102。每一沟道102位于相邻的两条走线102之间。多条走线101、多条沟道102、线路103以及线路104等组成基板的线路图案，特征图案和待测图案均为选自视野图像内的图案。线宽可以理解为关键器件的线宽，具体的，线宽可以为沟道102的宽度或者走线101的宽度。对关键器件的线宽进行测量，并判断关键器件的线宽是否满足预设值，由此可以为后续的面板的制程提供制作基础，以更好的进行后续的面板制作。每一沟道102的宽度范围为2.5微米至5微米，每一走线101的宽度范围为2微米至3微米。由于沟道102和走线101的宽度均较小，因此，在进行抓边识别时容易受特征图案定位不准确的影响，导致抓边识别跟随特征图案的偏移而偏移、抓边识别失败，造成测量的沟道102的宽度或者走线101的宽度不准确。

202、将预存的与视野图像中的特征图案对应的标准图案与特征图案进行匹配。

得到视野图像之后，需要定义出用于匹配的特征图案以及以特征图案为基准进行线宽测量的待测图案。将预存的与特征图案对应的标准图案与特征图案进行匹配，匹配包括判定标准图案与特征图案的位置是否对应，标准图案与特征图案的图案匹配度是否满足预设的值，也可以理解为判定标准图案与特征图案的重合度，若重合度在预设的范围内，比如，当特征图案与标准图案的重合度大于或等于70％，则匹配成功，进入后续线宽测量的步骤。若匹配失败，即特征图案与标准图案的重合度不满足上述预设的范围，则测量过程结束。待测图案与特征图案之间的距离一定，在特征图案匹配完成之后，对待测图案的目标线进行抓边识别，根据识别的两条线之间的距离来测量出目标线的线宽。

203、若匹配成功，则在视野图像中获取预设图案。

特征图案匹配成功，示例性的，特征图案和标准图案的重合度大于或等于70％。由于存在定位误差，故特征图案与标准图案对比产生了特征图案的偏移；另外，不同点位间因制程不同也会使特征图案产生偏移。此时若直接进行目标线宽的测量会导致抓边识别偏移而导致测量不准确。

为了改善特征图案的偏移对线宽测量带来的影响，可以在视野图像中获取预设图案，以定位视野图案中的待测图案。

获取预设图案包括：

识别视野图像中两条非平行的线路边线，并将两条非平行的线路边线作为预设图案。

例如，如图2所示，识别视野图像中两条垂直的线路边线103和线路边线104，并将线路边线103和线路边线104作为预设图案。以预设图案的垂直的线路边线103和线路边线104建立坐标系xoy，坐标系xoy中相互垂直的坐标轴x和坐标轴y与两条垂直的线路边线103和线路边线104部分重合，坐标系xoy的坐标轴原点o为垂直的线路边线103和线路边线104的交点或垂直的线路边线103和线路边线104延长线的交点。基于坐标轴原点o、坐标轴x和坐标轴y，对待测图案的目标线宽进行测量。

204、以预设图案为基准定位视野图案中的待测图案，并对待测图案的目标线宽进行测量，以得到目标线宽的测量结果。

比如，测量走线101的线宽，以坐标轴原点o、坐标轴x和坐标轴y为基准，可以理解坐标轴原点o为待测图案的定位基准，并参照坐标轴x和坐标轴y，对走线101的两个边线进行抓边识别，进而可得出走线101的线宽。

再比如，参照坐标轴x和坐标轴y并以坐标轴原点o为基准对沟道102的线宽进行测量。沟道102与坐标轴原点o的位移是确定的，进而以此为基准对沟道102的线宽进行测量，抓取识别沟道102两侧走线101的边线，进而测量出沟道102两侧走线101的边线之间的距离得到沟道102的线宽。

由两条不平行的边作为定位的基准，可以提高定位的精准性。

得到目标线宽的测量结果之后，即可输出测量结果，此次测量过程结束。

本申请实施例通过在标准图案与特征图案匹配成功之后，即进行初定位后，在所述视野图像中获取预设图案，以二次定位所述视野图案中的待测图案；再以所述预设图案为基准对所述待测图案的目标线宽进行测量，得到所述目标线宽的测量结果。使用两级定位来减少特征图案的偏移对线宽测量的影响，提高了线路边线抓取识别的准确性，使得线宽测量结果可靠，进而减小对显示面板制程的影响。

需要说明的是，线宽测量的过程并不限于以上步骤，具体请参阅图4，图4为本申请实施例提供的线宽测量方法的第二流程示意图。

301、移动所述线宽测量装置至目标线宽所在区域。

302、控制线宽测量装置在测量视野内进行对焦操作。

关于步骤301～302：

在进行测量线宽的操作时，首先需要将线宽测量装置移动到目标线宽所在区域，可以理解为测量线宽之前的大致定位。也即是移动到待测图案的区域以获取视野图像。采集视野图像之前，为了采集到清晰的供测量的视野图像，需要对线宽测量装置进行对焦操作。

303、采集测量样本的视野图像，测量样本为具有线路图案的基板。

请结合图1和图2并参阅图4，测量样本100通常为具有线路图案的基板，由于需要对特定区域的器件的线宽进行测量，因此需要采集一定区域的图像，将能采集到的图像区域称为视野图像。对这个视野图像进行处理以及通过视野图像对目标线宽的测量，比如可以将这个视野图像划分为多个图案，多个图案包括用于定位的特征图案以及用于测量线宽的待测图案。视野图像选自基板上的线路图案。

304、将预存的与视野图像中的特征图案对应的标准图案与特征图案进行匹配。

得到视野图像之后，需要定义出用于匹配的特征图案以及以特征图案为基准进行线宽测量的待测图案。将预存的与特征图案对应的标准图案与特征图案进行匹配，匹配包括判定标准图案与特征图案的位置是否对应，标准图案与特征图案的图案匹配度是否满足预设的值，也可以理解为判定标准图案与特征图案的重合度。待测图案与特征图案之间的距离一定，在特征图案匹配完成之后，对待测图案的目标线进行抓边识别，根据识别的两条线之间的距离来测量出目标线的线宽。

305、将标准图案与特征图案进行重合度比较。

将标准图案与特征图案进行重合度比较的过程可以理解为：以线宽测量装置预存的标准图案为基准，将特征图案与标准图案进行匹配，也即标准图案与特征图案的重合度判定，判定结果为：特征图案与标准图案的重合度大于或等于70％，则匹配成功，进入后续线宽测量的步骤。若匹配失败，即特征图案与标准图案的重合度不满足上述预设的范围，则测量过程结束。

306、若匹配成功，则识别视野图像中两条非平行的线路边线，并将两条非平行的线路边线作为预设图案。

特征图案匹配成功，可以理解为特征图案和标准图案的重合度大于或等于70％。由于存在定位误差，故特征图案与标准图案对比产生了特征图案的偏移；另外，不同点位间因制程不同也会使特征图案产生偏移。此时若直接进行目标线宽的测量会导致抓边识别偏移而导致测量不准确。

为了改善特征图案的偏移对线宽测量带来的影响，可以识别视野图像中两条非平行的线路边线，并将两条非平行的线路边线作为预设图案。

例如，如图2所示，识别视野图像中两条垂直的线路边线103和线路边线104，并将线路边线103和线路边线104作为预设图案。以预设图案的垂直的线路边线103和线路边线104建立坐标系xoy，坐标系xoy中相互垂直的坐标轴x和坐标轴y与两条垂直的线路边线103和线路边线104部分重合，坐标系xoy的坐标轴原点o为垂直的线路边线103和线路边线104的交点或垂直的线路边线103和线路边线104延长线的交点。基于坐标轴原点o、坐标轴x和坐标轴y，对待测图案的目标线宽进行测量。

307、以预设图案为基准定位视野图案中的待测图案，并对待测图案的目标线宽进行测量，以得到目标线宽的测量结果。

比如，测量走线101的线宽，以坐标轴原点o、坐标轴x和坐标轴y为基准，可以理解坐标轴原点o为待测图案的定位基准，并参照坐标轴x和坐标轴y，对走线101的两个边线进行抓边识别，进而可得出走线101的线宽。

再比如，参照坐标轴x和坐标轴y并以坐标轴原点o为基准对沟道102的线宽进行测量。沟道102与坐标轴原点o的位移是确定的，进而以此为基准对沟道102的线宽进行测量，抓取识别沟道102两侧走线101的边线，进而测量出沟道102两侧走线101的边线之间的距离得到沟道102的线宽。

由两条不平行的边作为定位的基准，可以提高定位的精准性。

308、输出结果，测量过程结束。

这里的输出结果具体是指两种情况，在步骤305进行重合度比较后，会产生两种结果，第一种结果是重合度满足预设值，比如重合度大于或等于70％，则匹配成功，进入后续线宽测量步骤，进而输出线宽测量结果，测量过程结束。第二种结果是重合度不满足预设值，则匹配不成功，输出测量失败的结果，测量过程结束。

本申请实施例通过在标准图案与特征图案匹配成功之后，即进行初定位后，在所述视野图像中获取预设图案，以二次定位所述视野图案中的待测图案；再以所述预设图案为基准对所述待测图案的目标线宽进行测量，得到所述目标线宽的测量结果。使用两级定位来减少特征图案的偏移对线宽测量的影响，提高了线路边线抓取识别的准确性，使得线宽测量结果可靠，进而减小对显示面板制程的影响。

请参阅图5，图5为本申请实施例提供的线宽测量装置的示意图。线宽测量装置400包括：采集单元401、匹配单元402、定位单元403和测量单元404。

采集单元401，用于采集测量样本的视野图像，测量样本为具有线路图案的基板。

匹配单元402，用于将预存的与视野图像中的特征图案对应的标准图案与所述特征图案进行匹配。

定位单元403，用于若匹配成功，则在视野图像中获取预设图案。

测量单元404，用于以预设图案为基准定位所述视野图案中的待测图案，并对待测图案的目标线宽进行测量，以得到目标线宽的测量结果。

其中，定位单元403还用于：

预设图案包括两条垂直的线路边线，以预设图案的两条垂直的线路边线建立坐标系，坐标系中相互垂直的两个坐标轴与两条垂直的线路边线部分重合，坐标系的坐标轴原点为两条垂直的线路边线的交点或两条垂直的线路边线延长线的交点。基于坐标轴原点和坐标轴，定位视野图案中的待测图案。

请继续参阅图2和图5。识别视野图像中两条垂直的线路边线103和线路边线104，并将线路边线103和线路边线104作为预设图案。以预设图案的垂直的线路边线103和线路边线104建立坐标系xoy，坐标系xoy中相互垂直的坐标轴x和坐标轴y与两条垂直的线路边线103和线路边线104部分重合，坐标系xoy的坐标轴原点o为垂直的线路边线103和线路边线104的交点或垂直的线路边线103和线路边线104延长线的交点。基于坐标轴原点o、坐标轴x和坐标轴y，对待测图案的目标线宽进行测量。比如，测量走线101的线宽，以坐标轴原点o、坐标轴x和坐标轴y为基准，可以理解坐标轴原点o为待测图案的定位基准，并参照坐标轴x和坐标轴y，对走线101的两个边线进行抓边识别，进而可得出走线101的线宽。

本申请实施例通过在标准图案与特征图案匹配成功之后，即进行初定位后，在所述视野图像中获取预设图案，以二次定位所述视野图案中的待测图案；再以所述预设图案为基准对所述待测图案的目标线宽进行测量，得到所述目标线宽的测量结果。使用两级定位来减少特征图案的偏移对线宽测量的影响，提高了线路边线抓取识别的准确性，使得线宽测量结果可靠，进而减小对显示面板制程的影响。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个特征。

以上对本申请实施例所提供的线宽测量方法和线宽测量装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。