一种改进型侧出风立式废气治理设备

技术领域

本发明涉及废气治理设备领域，特别涉及一种改进型侧出风立式废气治理设备。

背景技术

电子企业在生产工艺中使用各种酸液清洗、刻蚀芯片等过程中产生HF、HCl、硫酸雾等酸性气体。对于芯片厂企业在生产工艺过程中产生的腐蚀性气体(如酸、碱性废气)的治理，目前大多企业采用液体吸收法治理，采用液体吸收法治理该废气。酸性废气治理通常采用喷淋塔，通过酸碱中和反应来净化酸性气体，废气治理设备工作原理是将气体中的污染物质分离出来，转化为无害物质，以达到净化气体的目的。它属于微分接触逆流式，塔体内的填料是气液两相接触的基本构件，塔体外部的气体进入塔体后，气体进入填料层，填料层上有来自于顶部喷淋液体及前面的喷淋液体，并在填料上形成一层液膜，气体流经填料空隙时，与填料液膜接触并进行吸收或综合反应，填料层能提供足够大的表面积，对气体流动又不至于造成过大的阻力，经吸收或综合后的气体经除雾器收集后，经出风口排出塔外。

从电子企业侧出风立式废气治理设备的工作原理来看，我们可以发现这样一个事实：为了取得良好的处理效果，废气在治理设备中的分布必须均匀。如果废气在设备中分布不均匀的话(假设喷淋是均匀的)，那么流量偏大的区域喷淋不足，而流量偏小的区域则喷淋过量。这样设备就不能取得良好的净化效果；

参照图1，其为原侧出风立式废气治理设备下方填料某剖面垂直向上速度分量，该速度分量乘以过流面积就是该区域废气的体积流量。可以看出在侧出风立式废气治理设备填料1某剖面左侧废气的垂直向上速度分量(4-6m/s)远高于其他区域的速度，而在设备右侧向上废气的流速(小于1m/s)又远远低于平均速度。这说明原侧出风立式废气治理设备在填料1处的气流分布是不够均匀。气流分布不均匀导致有些区域喷淋不足，有些区域过量喷淋，结果导致废气处理设备净化效果下降，

参照图2，其为原侧出风立式废气治理设备上方填料某剖面垂直向上速度分量。从该图看废气垂直向上速度分量的均匀性比下方填料处有所改善，但设备左侧的流速仍然比右侧普遍偏高，左侧废气的通过率比右侧高30％以上，为了改善净化设备内部空气分布的均匀性，故此，我们提出一种改进型侧出风立式废气治理设备来解决此问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种改进型侧出风立式废气治理设备，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

一种改进型侧出风立式废气治理设备，包括喷淋塔，所述喷淋塔的右侧壁上设有进气口，所述喷淋塔的内腔通过两组输送管道分别连接有第一喷淋头和第二喷淋头，所述喷淋塔的上端设有出风箱且所述的均匀出风箱的左侧设有出风口，内壁为不同开口率的孔板。所述喷淋塔的内腔设有第一支撑格栅和第二支撑格栅，所述第一支撑格栅和第二支撑格栅的上方设有填料，所述第一支撑格栅和第二支撑格栅上均设有不同开口率的孔板。

优选的，所述均匀出风箱的内壁由第一孔板、第二孔板、第三孔板、第四孔板、第五孔板和第六孔板拼接而成。

优选的，所述第一孔板的开孔率最小，第二孔板和第三孔板的开孔率稍大，第四孔板和第五孔板的开孔率再大、第六孔板的开孔率最大。

优选的，所述第一支撑格栅由第七孔板、第八孔板和第九孔板组成。

优选的，所述第七孔板的开孔率最大，所述第八孔板的开孔率其次，所述第九孔板的开孔率最小。

优选的，所述第二支撑格栅由和第十孔板和第十一孔板组成。

优选的，所述第十孔板的开孔率最小，所述第十一孔板的开孔率最大。

优选的，所述第一支撑格栅和第二支撑格栅上方设有的通孔的内腔设有阻挡网且所述阻挡网的表面设有耐酸碱腐蚀涂层。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

1、在喷淋上部与侧出风口之间设置一个均匀出风箱，使来自喷淋段的气流尽量从各个方向，而不是主要从距离出风口近的方向离开喷淋段。这样做的目的是为了保证喷淋塔内的气流尽量均匀；

2、将出风箱的内壁(原喷淋塔第二喷淋段上部筒体壁面)改为六块开口率不同的孔板，第一孔板的开孔率最小，第二孔板和第三孔板的开孔率稍大，第四孔板和第五孔板的开孔率再大、第六孔板的开孔率最大；

3、填料的第一支撑格栅和第二支撑格栅由不同开口率的孔板组成；

通过上述措施可以有效地改善废气治理设备内部的气流分布均匀性，提高净化设备的净化效果。

附图说明

图1为原侧出风立式废气治理设备下方填料某剖面垂直向上速度分量图；

图2为原侧出风立式废气治理设备上方填料某剖面垂直向上速度分量图；

图3为本发明一种改进型侧出风立式废气治理设备的正视剖面图；

图4为本发明一种改进型侧出风立式废气治理设备的出风箱俯视图；

图5为本发明一种改进型侧出风立式废气治理设备的支撑板孔板组成图；

图6为本发明一种改进型侧出风立式废气治理设备的下方填料某剖面垂直向上速度分量图；

图7为本发明一种改进型侧出风立式废气治理设备的上方填料某剖面垂直向上速度分量图。

图中：1、喷淋塔；2、出风箱；21、内壁；211、第一孔板；212、第二孔板；213、第三孔板；214、第四孔板；215、第五孔板；216、第六孔板；3、第一支撑格栅；4、进气口；5、第二支撑格栅；6、输送管道；7、第一喷淋头；8、第二喷淋头；9、出风口；10、第七孔板；11、第八孔板；12、第九孔板；13、第十孔板；14、第十一孔板。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1-7所示，一种改进型侧出风立式废气治理设备，包括喷淋塔1，喷淋塔1的右侧壁上设有进气口4，喷淋塔1的内腔通过两组输送管道6分别连接有第一喷淋头7和第二喷淋头8，喷淋塔1的上端设有出风箱2且出风箱2的左侧设有出风口9，出风箱2的内壁由六块开口率不同的孔板组成，喷淋塔1的内腔呈上下设有第一支撑格栅3和第二支撑格栅5，第一支撑格栅3和第二支撑格栅5的上方设有填料，第一支撑格栅3和第二支撑格栅5上均由开口率不同的孔板组成。

出风箱的内壁21由第一孔板211、第二孔板212、第三孔板213、第四孔板214、第五孔板215和第六孔板216拼接而成。

第一孔板211的开孔率最小，第二孔板212和第三孔板213的开孔率稍大，第四孔板214和第五孔板215的开孔率再大、第六孔板216的开孔率最大。

第一支撑格栅3由第七孔板10、第八孔板11和第九孔板12组成。

第七孔板10的开孔率最大，第八孔板11的开孔率其次，第九孔板12的开孔率最小。

第二支撑格栅5由和第十孔板13和第十一孔板14组成。

第十孔板13的开孔率最小，第十一孔板14的开孔率最大。

第一支撑格栅3和第二支撑格栅5上方设有的通孔的内腔设有阻挡网且所述阻挡网的表面设有耐酸碱腐蚀涂层，可防止填料通过通孔在喷淋塔底部积聚，其表面设有耐酸碱腐蚀涂层可防止其被腐蚀损坏。

需要说明的是，本发明为一种改进型侧出风立式废气治理设备，在喷淋上部与侧出风口之间设置一个出风箱，使出风与出风口之间有一个较大的缓冲从而使气流从不同方向尽可能均匀地离开喷淋塔；出风箱的内壁21(原设备喷淋段以上筒壁)为六块开口率不同的孔板，第一孔板的开孔率最小，第二孔板和第三孔板的开孔率稍大，第四孔板和第五孔板的开孔率再大、第六孔板的开孔率最大；填料的第一支撑格栅和第二支撑格栅由不同开口率的孔板组成；通过上述措施可以有效地改善废气治理设备内部的气流分布均匀性，提高净化设备的净化效果，参照图6，可以看出与原设备相比，废气在下方填料范围内的分布得到了很大的改善(见图1)。在该断面上废气向上最大速度分量从6m/s下降到了3.2m/s左右，最低流速也从小于1m/s上升到了1.6m/s左右，参照图7，在该断面上废气向上最大速度分量从3.2m/s下降到了2.5m/s左右，最低流速也从小于1.6m/s上升到了2.2m/s左右。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。